【課題】マトリクス状に配列した凹部内で細胞が選択的に接着・増殖し、且つ増殖の様子を透過観察型顕微鏡によって細胞を観察することができる細胞培養担体を提供すること。
【解決手段】基材の主成分が透明材料で形成され、細胞を培養する複数の凹部を有する細胞培養担体であって、複数の凹部の少なくとも内表面にはセラミックス粒子が露出されており、基材側から凹部内が観察可能であり、基材には基材との重量比で０．５％以上１．０％以下のセラミックス粒子を含むことを特徴とする細胞培養担体。 （もっと読む）

【課題】研磨前のＳＲ法による先行抜き取り評価を最適化することで、非拡散層厚のバラツキを抑制する拡散ウェーハの製造方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハと面抵抗モニタウェーハに不純物を拡散する第１の拡散工程と、不純物を更に深さ方向に拡散する第２の拡散工程と、面抵抗モニタウェーハの面抵抗を評価する工程と、この評価結果に基づき、補正値算出用ウェーハの抜き取り枚数を決定する抜き取り枚数決定工程と、補正値算出用ウェーハの非拡散層厚をＦＴ−ＩＲ法で測定する第１の非拡散層厚測定工程と、補正値算出用ウェーハの非拡散層厚をＳＲ法により測定する第２の非拡散層厚測定工程と、これらの測定結果から両者の測定結果間の補正値を算出する工程と、ＦＴ−ＩＲ法による非拡散層厚測定と補正値を用いて研磨量をモニタしながら半導体ウェーハの非拡散層を研磨する研磨工程とを有することを特徴とする拡散ウェーハの製造方法。 （もっと読む）

【課題】セラミックス部材の表面の一部のみを効率的にエッチングすることが可能であり、また、該部材の形状により、酸性溶液によって該部材の表面以外の部分がエッチングされたり、抽出液を回収できなかったりする等の不具合を生じることなく、金属不純物の抽出液を簡便かつ効率的に回収して、該部材の表面の金属不純物を高精度で分析することができるセラミックス部材の不純物分析方法を提供する。
【解決手段】セラミックス部材の表面の一部に、酸性溶液の液滴を形成した後、前記酸性溶液の膜を形成してエッチングし、金属不純物を抽出する工程（Ｓ１０１）と、前記金属不純物の抽出液を回収する工程（Ｓ１０２）と、前記抽出液に含まれる金属不純物を分析する工程（Ｓ１０３）とを経て、分析を行う。 （もっと読む）

【課題】一つの排気路（主排気路）のみ有する減圧装置にも適用でき、排気速度が速くパーティクルの舞い上がりを抑制できる減圧排気弁及びこの減圧排気弁を含む減圧排気機構を用いた減圧装置を提供する。
【解決手段】減圧排気弁１０は、一端が真空チャンバに連通し、他端が真空ポンプに連通する排気路中に取付けられる。この減圧排気弁１０は、前記排気路に接続される管部１１と、前記管部１１内において支持軸１４によって支持され、当該支持軸の軸芯回りに回転して前記排気路を開閉する偏平状に形成されたバタフライ弁１２により構成される。前記バタフライ弁１２は、その全体が通気孔を有する多孔質部材により形成されている。 （もっと読む）

【課題】一つの排気路（主排気路）のみ有する減圧装置にも適用でき、排気速度が速くパーティクルの舞い上がりを抑制できる減圧排気弁及びこの減圧排気弁を含む減圧排気機構を用いた減圧装置を提供する。
【解決手段】減圧排気弁１０は、一端が真空チャンバに連通し、他端が真空ポンプに連通する排気路中に取付けられる。この減圧排気弁１０は、バルブ本体１１と、前記バルブ本体１１内に回動可能に収容され、内部に形成された連通孔が少なくとも３つに分岐されると共に、その一つの連通孔に通気孔を有する多孔質体１３が配置されたボール弁体１２とにより構成されている。前記バルブ本体内におけるボール弁体の回動位置に応じて、前記減圧排気弁１０は、閉弁状態、前記多孔質体を介した開弁状態、前記多孔質体を介さない開弁状態が選択できるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】一つの排気路（主排気路）のみ有する減圧装置にも適用でき、排気速度が速くパーティクルの舞い上がりを抑制できる減圧排気弁及びこの減圧排気弁を含む減圧排気機構を用いた減圧装置を提供する。
【解決手段】一端が真空チャンバ２に連通し、他端が真空ポンプ４に連通する排気路５中に取付けられる減圧排気弁１０において、前記排気路５に接続された管部１１と、前記管部１１内に対し進退自在に設けられ、前記排気路５を開閉する開閉弁２０と、前記開閉弁２０に設けられ、通気孔を有する多孔質体部２２とを備え、前記開閉弁２０の進退動作による前記排気路５の開状態と閉状態との間に、前記多孔質体部２２を介して前記真空チャンバ２と前記真空ポンプ４とが連通する状態を有する。 （もっと読む）

【課題】一つの排気路（主排気路）のみ有する減圧装置にも適用でき、排気速度が速くパーティクルの舞い上がりを抑制できる減圧排気弁及びこの減圧排気弁を含む減圧排気機構を用いた減圧装置を提供する。
【解決手段】本発明にかかる減圧排気弁１０は、一端が真空チャンバ２に連通し、他端が真空ポンプ３に連通する排気路５中に取付けられる減圧排気弁１０において、前記減圧排気弁１０が、前記排気路５に接続される管部１１と、前記管部内に収容された、前記排気路５を開閉する開閉弁１２と、前記開閉弁１２に設けられた、通気孔を有する多孔質体部１３と、前記開閉弁１２の上流側または下流側の排気路中に設けられ、排気路５の遮蔽面積が可変となされた遮蔽量調整部１０Ｂとを備える （もっと読む）

【課題】マイクロ波光導電減衰法によりシリコンウェーハのキャリアライフタイムを測定する際に、不純物等による影響を受けることなく、シリコンウェーハ表面全面にわたって、ケミカルパッシベーション効果を、簡便かつ安定的に保持し、正確なキャリアライフタイム測定が可能となるシリコンウェーハのキャリアライフタイム測定方法を提供する。
【解決手段】シリコンウェーハ１をフッ化水素酸溶液に浸漬してケミカルパッシベーション処理を行った後、該シリコンウェーハ１を測定ステージ２に載置し、前記シリコンウェーハ１表面と３ｍｍ以上５０ｍｍ以下の間隔Ｓをあけた位置で、かつ、マイクロ波およびレーザ４の非照射部分に、前記測定時にマイナスに帯電する物質５を配置して、シリコンウェーハ表面に帯電した電荷を一定状態に維持してキャリアライフタイムを測定する。 （もっと読む）

【課題】粒子自体を小径化することなく、溶離液等との反応面積を大きくすることができるセラミックス粒子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係わるセラミックス粒子１０は、外表面１０ａに開気孔２０が複数設けられ、開気孔２０は、平均気孔径が５００ｎｍ以上５０μｍ以下であり、開気孔２０の外表面１０ａの開口部の口径は、３００ｎｍ以上２０μｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】粒子自体を小径化することなく、溶離液等との反応面積を大きくすることができるセラミックス粒子の提供。
【解決手段】
平均粒径が５μｍ以上５ｍｍ以下で、外表面に開気孔が複数設けられたセラミックス粒子であって、水銀ポロシメータによる測定において、２つの気孔径分布を有し、前記２つの気孔径分布は、３００ｎｍ以上２０μｍ以下の範囲内にピークを有する第１の気孔径分布と、２００ｎｍ以下の範囲内にピークを有する第２の気孔径分布である。 （もっと読む）