【課題】熱膨張に起因する露光用マスクの歪みを抑制することができる露光装置を提供する。
【解決手段】光源１と、前記光源からの光を露光用マスク５を通して基板７に照射する光学系９と、前記マスクの両面の温度を測定する測温センサー１１ａ、１１ｂ、１１ｃと、前記光源、前記マスク、前記基板及び前記光学系を収容する露光装置本体１３と、前記露光装置本体内に放出される冷却用流体１５を冷却する冷却ユニット１４を有し、前記冷却ユニットで冷却された前記冷却用流体を前記露光装置本体内に放出する冷却用流体放出部１６と、前記冷却ユニットの冷却出力を制御する制御部１７とを備え、前記冷却用流体放出部は、前記マスクの前記光源側の空間に前記冷却用流体を放出し、前記制御部は、前記測温センサーの出力に基づいて前記マスクの両面の温度が実質的に等しくなるように前記冷却ユニットの冷却出力を制御する。 （もっと読む）

【課題】従来のＰＤＰは、使い方によっては表示パネルに電荷が偏って蓄積し、異常放電が発生することがあった。
【解決手段】第１の電極Ｘおよび第２の電極Ｙを交互に隣接させて複数配置し、該第１および第２の電極に交わるように第３の電極Ａを形成したプラズマディスプレイパネルの駆動方法であって、前記第１の電極と前記第２の電極との間でリセット放電を実行し、前記第２の電極と前記第３の電極との間でアドレス放電を実行し、前記第１および第２の電極に交互に維持パルスを印加して維持放電を行った後であって、次のフィールドにおける前記リセット放電を行う前に、直前に実施していた維持放電以上の規模の補助放電を行うように構成する。 （もっと読む）

【課題】温度上昇を抑えることができるプラズマディスプレイ装置を提供する。
【解決手段】本発明のプラズマディスプレイ装置は、前面側基板構体と背面側基板構体とが貼り合わされて形成される放電空間内に放電ガスが充填されているプラズマディスプレイパネルを有するプラズマディスプレイ装置であって、前記パネルは、それぞれが放電空間に繋がる第１孔及び第２孔を有し、第１孔及び第２孔は、前記パネルの外部において互いに配管で連結され、前記パネルの通常設置状態で第１孔が第２孔よりも高い位置にあるか、前記配管中に前記放電ガスを循環させるガス循環機構が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】維持放電を発生させるペアとなる表示電極の一方に印加する維持電圧と他方に印加する維持電圧とのバランスをとることで、画面の輝度のアンバランスや輝度ムラを防止する。
【解決手段】駆動回路に、表示ラインで維持放電を発生させる維持期間に表示電極に対しインダクタンスを介して所定の維持電圧の５０〜９０％の電圧まで印加するインダクタンス回路と、インダクタンス回路によって印加された電圧に上乗せして所定の維持電圧まで電圧を印加する定電圧供給回路とを設け、維持放電を発生させるペアとなる表示電極の一方に電圧を印加するインダクタンス回路と、他方に電圧を印加するインダクタンス回路との、いずれか一方または両方に印加電圧調整用の回路素子を設け、それにより、表示電極の一方に印加するインダクタンス回路による到達電圧と、他方に印加するインダクタンス回路による到達電圧との差が所定値以下になるように構成する。 （もっと読む）

【課題】隔壁の高さを高くして放電空間を広くし、プラズマディスプレイパネルの発光効率を向上させる。
【解決手段】前面側基板と背面側基板の対向間隙に放電ガスが封入され、片方の基板の内面上にガス封入空間を放電セル配列に区画する隔壁１８が配置されてなるプラズマディスプレイパネルにて、隔壁が上層隔壁１８ｂと下層隔壁１８ａからなり、上層隔壁１８ｂ及び下層隔壁１８ａをエッチングに対する耐性が互いに異なる隔壁材料で構成して、下層隔壁の形成時に上層隔壁に対して影響を及ぼすことなく、高い隔壁を形成し放電空間を広くできるようにする。 （もっと読む）

【課題】パネルの封着排気工程の際に、封着材よりも軟化点の高いスペーサを基板間に配置することで、スペーサで通気パスを確保しながらパネル内の不純物ガスを排気した後、スペーサを軟化させて接着材として利用し、基板封着時の通気パスの確保と基板の接着性向上を図る。
【解決手段】放電空間をセル毎に区画する閉鎖型の隔壁が形成された一方の基板が他方の基板と対向され、基板の周辺が加熱により軟化する封着材で封着されてなるＰＤＰにおいて、一方の基板に形成された隔壁の頂部と他方の基板との間に、基板封着時の加熱の際に前記封着材よりも高温で軟化し、かつ隔壁の頂部と他方の基板とを接着するスペーサを配置する。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成された表示電極を覆う誘電体層上に形成される材料層に起因する品質劣化を防ぎ、ＰＤＰの品質向上に寄与することができるＰＤＰ用基板構体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のＰＤＰ用基板構体の製造方法は、基板上に形成された表示電極を覆う誘電体層上に、粉体又はこの粉体が分散媒中に分散された懸濁液を散布して粉体材料層を形成する工程を備え、前記基板は、表示領域と、この表示領域を囲むように設けられたシール層形成領域と、前記表示領域と前記シール層形成領域の間の中間領域とを有し、前記散布は、前記シール層形成領域に前記粉体又は懸濁液が付着しないように予めストッパー部材を前記中間領域に配置した状態で行われることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プラズマディスプレイパネルの放電特性の変化による表示品位低下を防止できるプラズマディスプレイ装置を提供する。
【解決手段】プラズマディスプレイパネル２１と、パネルに印加される電圧及び流れる電流を検出する電圧電流検出部２８と、パネルに印加される電圧を変化させて電圧電流検出部により検出した電圧及び電流の値から電圧−電流特性を取得し、それに基づいてサステイン電圧の電圧値を設定する電圧設定処理部２７と、設定された電圧値のサステイン電圧をパネルに印加するための駆動回路部２２及び電源回路部２３を備え、電圧−電流特性に基づいて放電安定状態となるサステイン電圧の電圧値を決定し、パネルの放電特性に応じた適切な電圧値に設定できるようにする。 （もっと読む）

【課題】成膜室内において循環搬送装置内に充填された蒸着材料にビームを照射して蒸発させて基板面上に膜を形成する成膜方法において、蒸着の不均一による膜厚ムラの低減、及び、小片蒸着材料・スプラッシュによる歩留まり低下の防止を実現できる技術を提供する。
【解決手段】循環搬送装置１００は、蒸着材料２を充填する充填部２０を含むロール形状を有する。充填部２０に充填される蒸着材料２を、搬送方向（ｂ）に一定にスライドするように搬送させて、ロール形状により循環させる。ビーム３の照射領域１０に、均一に照射される。 （もっと読む）

【課題】行方向の隔壁を列方向に２分割することで設けた通気路に、分割した２本の行方向の隔壁を接続する、行方向の隔壁よりも低い隆起部を設けることで、隔壁焼成時に行方向の隔壁がセル側に傾かないようにする。
【解決手段】一対の基板間に放電空間が形成され、その放電空間が行方向に伸びる横隔壁と列方向に伸びる縦隔壁によってセル毎に区画され、横隔壁が列方向に２分割されて、その分割部分に通気路が形成されたプラズマディスプレイパネルにおいて、通気路に、２分割された横隔壁どうしを接続する、横隔壁よりも低い隆起部を形成する。 （もっと読む）