【課題】ノズル開口を高密度化すると共に、液体吐出特性のばらつき及び低下を抑制した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板１０の圧力発生室１２の幅方向における隔壁１１は、圧力発生手段３００側に設けられた幅狭部１８と、圧力発生手段３００とは反対側に設けられて幅狭部１８よりも大きな幅を有する幅広部１９とを有し、幅狭部１８の幅が、幅広部１９の幅の１／１０以上の大きさで且つ幅狭部１８が５μｍ〜１５μｍの幅を有し、幅狭部１８の圧力発生室１２の深さ方向の長さが、圧力発生室１２の深さよりも短く、且つ圧力発生室１２の深さの１／１０以上の長さを有し、幅狭部１８の長さが２μｍ〜２０μｍである。 （もっと読む）

【課題】 隔壁の先端部におけるクラックの発生を抑制できる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液滴を噴射するノズル開口にそれぞれ連通する圧力発生室を少なくとも含む複数の個別流路１２、１３、１４と、各個別流路に液体を供給する共通流路３２と、前記各個別流路を区画する隔壁１１とを有する流路形成基板１０と、該流路形成基板の一方面側に形成される振動板と、該流路形成基板の一方面側に形成される圧力発生素子と、を具備し、前記隔壁の前記共通流路側の端部の幅方向両側には、前記振動板側から流路形成基板の厚み方向の途中まで突出した補強層が形成されている。 （もっと読む）

【課題】駆動部を形成するそれぞれの圧電体を分離してクロストークを低減できるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドの製造方法は、インクを収容する複数のチャンバが形成されるインクジェットヘッドを製造する方法であって、チャンバの位置に対応して圧電体の一面が区画されるように圧電体の一面に分離溝を形成する工程と、分離溝の位置に合わせて圧電体の他面が区画されるように圧電体の他面に位置合わせ溝を形成する工程と、チャンバの位置に対応して位置合わせ溝が配置されるように圧電体をチャンバが形成されるインクジェットヘッドの一面に配置する工程と、圧電体の一面をインクジェットヘッドの一面に接合する工程と、分離溝が露出するように圧電体を分離する工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】組成傾斜を抑制し圧電体膜の組成がＭＰＢ付近から外れないように圧電体層の組成を所望の組成で厚さ方向に略均一化することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子の製造方法は、圧電体層形成工程が、第１電極上に、鉛（Ｐｂ）、チタン（Ｔｉ）及びジルコニウム（Ｚｒ）を少なくとも含む圧電体前駆体膜７１を成膜する前駆体膜成膜工程と、圧電体膜を構成する組成物の少なくとも一つを含有し、圧電体膜の組成を調整する圧電体組成調整膜を成膜する調整膜成膜工程と、圧電体前駆体膜及び圧電体組成調整膜を一括して焼成する焼成工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】振動板の挙動を制御することが可能な静電アクチュエーターを提供する。また、この静電アクチュエーターを備えた液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】可動電極となる振動板４と、振動板４にギャップＧを隔てて対向し、振動板４との間で電圧が印加される固定電極２２と、振動板４の固定電極２２との対向面に形成された絶縁膜１０と、固定電極２２の振動板４との対向面に形成された絶縁膜２３とを備え、絶縁膜１０又は絶縁膜２３のどちらか一方の一部がエレクトレット化されているものである。 （もっと読む）

【課題】薄膜圧電素子の外部環境の変化に起因する動作不良を解消して安定した滴吐出特性が得られ、信頼性の高い高画質記録が可能な圧電型アクチュエータを提供する。
【解決手段】基板１１上に積層された振動板２０を有して、振動板２０の撓み方向に圧力を発生する圧電型アクチュエータにおいて、振動板２０を、複数のチャネルに分離された圧電体膜２４と、圧電体膜２４の両面側に積層され圧電体膜２４に電圧を印加して撓み振動をさせるための一対の電極膜と、一対の電極膜のうちの基板側１１の一方及び基板１１の間に設けた圧電体膜２４のチャネルに対応する、減圧に密封形成した空隙部１４及び各空隙部１４をはさむ隔壁１５からなる層とから構成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、印字品質を高めつつ、耐久性を維持できるインクジェットヘッドを得ることにある。
【解決手段】インクジェットヘッド(1)は、圧力室(19)と隔壁(12)を有する圧電体(7)と、レーザ加工されたノズル(21)を有するノズルプレート(5)と、隔壁(12)の先端にノズルプレート(5)を接着する接着剤(18)と、電極(24)を覆う第１の保護膜(32)と、第１の保護膜(32)の上に積層された第２の保護膜(33)とを備えている。接着剤(18)は圧力室(19)内に食み出す余剰部分(20)を有し、余剰部分(20)にレーザ光の照射方向に沿うカット部(22)が形成されている。第２の保護膜(33)はレーザ光が入射された部位にダメージ穴(35)を有し、ダメージ穴(35)から第１の保護膜(32)が露出されている。第１の保護膜(32)のうちダメージ穴(35)に対応する部分の膜厚が０．１μｍ〜０．５μｍ、第１の保護膜(32)の屈折率が１．１〜２．０の範囲内にある。 （もっと読む）

【課題】鉛を含有せず、電流のリークを抑制することができる圧電素子を有する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びにアクチュエーター装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、第１電極６０と、該第１電極上に形成された圧電体層７０と、該圧電体層７０の前記第１電極６０とは反対側に形成された第２電極８０と、を備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層７０は下記一般式（１）で表され、前記圧電体層７０のＡサイトはビスマスを含み、前記圧電体層７０のＢサイトは、＋３のイオン価数を有する鉄および＋４以上のイオン価数を有する遷移金属Ｃを含む液体噴射ヘッドとする。Ａ_１−ｘＢＯ_３(１）（０．００３≦ｘ≦０．０３３） （もっと読む）

【課題】 記録媒体にインクを吐出するインクの温度を正確に測定することができ、このインク温度に基づいて、インクの吐出状態や吐出量を適切な状態に維持して、高い印刷品質を得ることができるようにすること。
【解決手段】 記録媒体にインクを吐出して記録を行なうインクジェットヘッド１と、インクジェットヘッド１に接合され、インクジェットヘッド１を駆動させるための第１ＩＣチップ３４及び第２ＩＣチップ３５が設けられているＦＰＣ３と、ＦＰＣ３の温度を検出するための第１温度検出部６７及び第２温度検出部７０と、ＦＰＣ３に設けられ、第１温度検出部６７と接続して、ＦＰＣ３の熱を第１温度検出部６７に伝導するための第１熱伝導用パターン６６と、ＦＰＣ３に設けられ、第２温度検出部７０と接続して、ＦＰＣ３の熱を第２温度検出部７０に伝導するための第２熱伝導用パターン６９とを備える。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータサイズを小さくして更なる高密度化、低駆動電圧化、素子の小型化に対応できる薄膜エクチュエータを提供することを目的とする。液滴吐出装置として述べれば、更なる高密度化に際して必要とされる発生力の飛躍的な増大或いは高粘度の液滴吐出（例えば、ＵＶインクなどの高粘度インク、高顔料濃度インク、各種薄膜形成用原料インク、液状レジスト、ＤＮＡ試料などの生物由来液体等）のために要求される発生力を飛躍的に増大させることを目的とする。
【解決手段】振動板５５を変形させて力を発生させる薄膜アクチュエータ１において、振動板５５上に下電極１１と、第一圧電層１２と、中間電極１３と、第二圧電層１４と、上電極１５と、を順次積層したことを特徴とする薄膜アクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造でノズルの高解像度化を実現できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 インクジェットヘッド１１は、複数のノズル１２を有するノズルプレート１３と、複数のノズル１２に対応して設けられる複数の圧力室１４と、複数の圧力室１４にインクを送るインク流入部１６と、複数の圧力室１４からインクを回収するインク流出部１７と、複数の圧力室１４同士を仕切るとともに、圧力室１４内のインクに圧力を加えてノズル１２からインクを吐出させる仕切片２６と、を具備する。圧力室１４は、複数の仕切片２６を櫛歯状に有した２つの圧電部材３１を対向配置した間の位置に形成される。一方の圧電部材３１の複数の仕切片２６と、他方の圧電部材３１の複数の仕切片２６とは、互いにオーバーラップして配置される。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドにおいて、不吐出の補完を容易に可能とする、また、高解像度化を可能とする液体吐出装置を得る。
【解決手段】圧力室１１および圧力室１１に連通し圧力室内の液体１２を外部に吐出する液体吐出口１３を有する液体吐出部材１０と、圧力室１１内の圧力を高め、液体吐出口１３から液体１２を吐出させる圧力付与手段２０とを備えた液体吐出装置において、液体吐出部材１０の液体吐出口１３が設けられている部分が薄板材１６により形成されており、薄板材１６の、液体吐出口１３の外周に、薄板材１６を変形させることにより液体吐出口１３の形状を変形させて液体吐出口１３から吐出される液滴の吐出方向を変化させる圧電手段３０を備える。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を持つ圧電素子を有した液体噴射ヘッドおよびその製造方法並びに高い信頼性を持つ圧電素子を有した液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するためのノズル孔に連通した圧力室と、該圧力室とオーバーラップした第１領域３３を有する振動板と、前記第１領域３３において、第１の方向２００に延びた上面４２と、前記第１の方向２００における一方の端面４１とを有する第１の導電層４０と、該第１の導電層４０を覆うように形成された圧電体層と、前記第１の方向２００に直交する第２の方向において、前記第１領域３３における圧電体層を覆うように形成された第２の導電層６０と、を有し、前記第１領域３３内の前記第１の方向２００において、前記第２の導電層６０は、２つの端面６１、６２を有し、該２つの端面６１、６２は、前記第１の導電層４０の上面４２とオーバーラップするように配置される。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータの分極後に、特段の作業をすることなくフレキシブル基板上の同電位配線を短絡させることのできる液体吐出装置と、該液体吐出装置の製造方法とを提供する。
【解決手段】 プリンタ装置１００は、駆動回路６６と該駆動回路６６が実装されるフレキシブル基板１３（６５）とを備え、該フレキシブル基板には駆動回路及びアクチュエータの夫々へ駆動信号を入力するための第１入力線８４（８３）と第２入力線８５（８６）とが設けられ、所定温度以上では端子間を電気的に非接続状態とする高抵抗値を有すると共に所定温度未満では電気的に接続状態となる低抵抗値を有する物性のサーミスタ８８ａ（８８ｂ）が、第１入力線と前記第２入力線との間に架設されている。 （もっと読む）

【課題】振動板の変位量を増やすことができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】液体を噴射するためのノズル孔に連通した複数の圧力室１１を有する圧力室板と、圧力室板の上方に形成された振動板３０であって、圧力室板と対向した第１の面と、第１の面と反対の第２の面３２を有し、第２の面３２において、複数の圧力室１１とそれぞれオーバーラップした第１領域３３を有する振動板３０と、複数の第１領域３３において、第１の方向に延びるように、それぞれ形成された第１の導電層４０と、圧電体層５０と、第２の導電層６０と、を有し、第１領域３３内において、圧電体層５０と第２の導電層６０とオーバーラップした領域を第２領域３４とし、第１領域３３内において、第１の方向と直交する第２の方向２１０に沿って第２領域３４と連続した領域を第３領域３５とし、第３領域３５の少なくとも一部において振動板３０が露出した露出領域３７を含む。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を持つ圧電アクチュエーターを有した液体噴射ヘッドおよびその製造方法および液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するためのノズル孔に連通した圧力室１１と、圧力室１１とオーバーラップした第１領域３３を有する振動板と、第１領域３３内に形成された第１導電部と第１領域３３外に形成された第２導電部を有する第１の導電層と、第１の導電層を覆うように形成された圧電体層５０と、圧電体層５０の一部を覆い、かつ、第１導電部の少なくとも一部とオーバーラップするように形成された第２の導電層６０と、圧電体層５０において、第２の導電層６０と離間し、第２導電部の上に位置した開口部５４と、を有し、圧電体層５０において、第２の導電層６０が上方に形成されていない部分の少なくとも一部を覆うように形成された、電気的絶縁膜からなる第１の保護膜８０を含む。 （もっと読む）

【課題】温度環境によらず速く正確に液体を噴射できる液体噴射ヘッド、液体噴射記録装置を提供する。
【解決手段】本発明の液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置は、ノズルから飛翔される液滴の飛翔速度を調整するための駆動パルスＴ１１の時間幅Ｗ１１は液体の飛翔速度を最大速度ｖ１０とする時間幅Ｗ１０よりも長く設定され、かつ、駆動パルスＴ１１の電圧は液滴の飛翔速度の減少を補償する値に設定されている。 （もっと読む）

【課題】
フレキシブル配線ケーブル部分に駆動回路であるドライバ基板やＩＣチップを搭載した場合、比較的ヘッドに近いため放熱板を搭載しても、熱の影響によりインクの粘度が変化し、吐出特性に影響を及ぼしてしまう恐れがある。また、狭ピッチに形成されたフレキシブル配線ケーブルの端子部をコネクタに挿入し、勘合する場合にコネクタに対して少しでも傾いた状態で挿入すると、端子間ショートが起こる可能性が高くなる。
【解決手段】
ヘッド部から離れたところに駆動回路部を配置することで、ヘッド部は駆動回路の発熱からの影響を受けず、インクの粘度変化を生じないため、インクの安定した吐出が可能である。また、配線部と配線変換部との接続は、実装材料を介して接続することで、着脱不可能な接続となり、端子部をコネクタに挿入する時の傾きやずれなどの不具合による端子間ショートが発生しない。 （もっと読む）

【課題】良好な変位特性を得ることができる液体噴射ヘッドの製造方法及びアクチュエーター装置の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極を形成する工程と、第１電極の上方に圧電体前駆体膜を形成する工程と、圧電体前駆体膜を熱処理により結晶化させ、圧電体膜を形成する第１の加熱工程と、第２電極を形成する工程と、第１電極と第２電極間との間に電圧を印加しながら１５０℃以上の温度で、圧電体膜で構成される圧電体層を加熱処理する第２の加熱工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】ヘッド毎に適切な駆動パルスのパラメータを設定すること。
【解決手段】第１ノズル列群と第２ノズル列群とから流体を噴射して第１テストパターンと第２テストパターンを形成することであって、第１ノズル列群の各ノズル列はノズル列毎に異なる色の流体を第１駆動パルスに応じて第１テストパターンを形成し、第２ノズル列群の各ノズル列はノズル列毎に異なる色の流体を第２駆動パルスに応じて第２テストパターンを形成することと、各色の前記第１テストパターンと第２テストパターンの濃度を測定することと、第１テストパターンの濃度と第２テストパターンの濃度とが共通の目標濃度となるように、ノズル列毎に第１駆動パルスのパラメータと第２駆動パルスのパラメータとを求めることと、駆動素子の駆動能力が最大のものを前記第１駆動パルス、第２駆動パルスの共通のパラメータに設定することと、を含む流体噴射装置の製造方法。 （もっと読む）