【課題】 鉛を含有せず、かつ変位特性の高い圧電素子を有する液体噴射ヘッド及びこれ
を用いた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液体噴射ヘッドＩは、液滴を噴射するノズルに連通する圧力発生室１２を
備えた流路形成基板１０と、該流路形成基板上に設けられる圧電素子３００とを具備し、
前記圧電素子が、圧電体層７０とこの圧電体層の両面に設けられる一対の電極とで構成さ
れていると共に、前記圧電体層がＢａＴｉＯ_３、ＣａＴｉＯ_３及びＥｕ_２Ｏ_３を有する。
液体噴射装置は、この液体噴射ヘッドを備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造でノズルの高解像度化を実現できるインクジェットヘッド及びインクジェットヘッド用アクチュエータを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド１１は、複数のノズル１２を有するノズルプレート１３と、複数のノズル１２に対応して設けられる複数の圧力室１４と、複数の圧力室１４にインクを送るインク流入部１６と、複数の圧力室１４からインクを回収するインク流出部１７と、複数の圧力室１４同士を仕切るとともに、圧力室１４内のインクに圧力を加えてノズル１２からインクを吐出させる仕切片２６と、を具備する。圧力室１４は、複数の仕切片２６を櫛歯状に有した２つの圧電部材３１を対向配置した間の位置に形成される。一方の圧電部材３１の複数の仕切片２６と、他方の圧電部材３１の複数の仕切片２６とは、互いにオーバーラップして配置され、前記圧電部材３１のインク吐出方向における端面に電極２８が形成される。 （もっと読む）

【課題】メニスカスが壊れやすく、気泡を巻き込みやすい状態となっている記録ヘッドに対して空吐出を行った場合、メニスカスが破壊されると、空吐出動作による回復成功率が低くなり、空吐出動作を繰り返さなければならなくなる。
【解決手段】記録ヘッド３４は、ノズル配列方向の中央部にインク供給口１３２が配置されて、１列分の複数のノズル１０４にインクが供給される構成であり、空吐出動作を行うときには、ノズル配列方向においてインク供給口１３２までの経路が短い中央部のノズル１０４からインク供給口１３２までの経路が長い両端部のノズル１０４の順に空吐出を行わせる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、リング照明の集光点を光軸上の所定の深度範囲に適切に調節可能なミラーユニットおよびこれを用いた孔内検査方法、並びに孔内検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】撮像カメラに周設したリング照明の照射光を、撮像カメラの光軸上における所定の深度範囲に集光するミラーユニットであって、光軸を中心に周方向にコーン状に並べた扇状の複数のミラー片を有し、照射光を反射するミラー部と、複数のミラー片の反射角度を可変する反射角度可変機構を備えたミラーユニットを提供する。 （もっと読む）

【課題】簡素な駆動信号の波形により画質低下を抑制すること。
【解決手段】
記録ヘッド２に印加する駆動信号は、少なくとも、圧力発生室２８の容積を膨張させる膨張パルスと、圧力発生室２８の容積を収縮させる収縮パルスと、から構成され、以下の関係式を満足することを特徴とするものである。
Ｐ１＝１ＡＬ
Ｐ２＝２ＡＬ
｜Ｖ_ｏｎ／Ｖ_ｏｆｆ｜＞１
｛（２ｎ＋１）−０．５｝ＡＬ≦Ｔ≦｛（２ｎ＋１）＋０．５｝ＡＬ
Ｐ１：膨張パルスのパルス幅
Ｐ２：収縮パルスのパルス幅
ＡＬ：圧力発生室２８の音響的共振周期の１／２
Ｖ_ｏｎ：膨張パルスの電圧値
Ｖ_ｏｆｆ：収縮パルスの電圧値
Ｔ：膨張パルスの開始時点から次の膨張パルスの開始時点までの駆動幅
ｎ：２以上８以下の自然数 （もっと読む）

【課題】液体の経過時間に応じた着弾位置のズレを抑制することが可能な液体吐出装置、及び、その制御方法を提供する。
【解決手段】圧電振動子の作動により圧力発生室内に圧力変動を与え、当該圧力室に充填されたインク滴Ｉをノズル開口から吐出する記録ヘッド２と、記録ヘッドと吐出されたインク滴Ｉが着弾する記録紙６とを相対的に移動させるキャリッジ移動機構および紙送り機構と、圧電振動子を駆動する駆動パルスを発生する駆動信号発生回路と、インクの吐出終了時点からの経過時間を計時するタイマー回路と、タイマー回路の計時した経過時間に基づいて、駆動パルスの吐出タイミングを変更する制御部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】複数のノズルを列設して成るノズル群を備える液体噴射ヘッドにおいて、各ノズルの噴射特性のばらつきを低減することができる液体噴射ヘッドの製造方法、及び、当該方法で製造された液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】複数のノズルを列設してなるノズル列（ノズル群）と、ノズル毎に対応して形成された複数の圧力室と、各圧力室に対応して配設され当該圧力室の容積を変動させる複数の圧電素子（圧力発生手段）と、を備える記録ヘッドにおいて、各ノズルの開口径は、対応する圧電素子の変位量又は周波数特性に基づいて定められる。 （もっと読む）

【課題】鉛を含有せず、電流のリークを抑制し、かつオフセット電圧を低くすることができる圧電素子を有する液体噴射ヘッド及びこれを用いた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドＩは、第１電極６０と、該第１電極上に設けられ、結晶面方位が（００１）面に優先配向したＢｉＦｅＯ_３を有するシード層７５と、結晶面方位が（００１）面に優先配向すると共にＢｉＦｅＯ_３、ＮｄＭｎＯ_３及びＢｉＡｌＯ_３を有する圧電体層７０と、第２電極８０とがこの順で積層されている圧電素子３００を備える。液体噴射装置はこの液体噴射ヘッドＩを備える。 （もっと読む）

【課題】基板上の素子配置、配線の自由度を上げる微小構造体の圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイス１において、表面に絶縁層14を備えた導電層13を上面に備え、複数のダイアフラム構造15を内部に並列して備えた基板10と、基板10の絶縁層14上に、ダイアフラム構造15に対応して配置された複数の圧電素子20であって、圧電体膜22の自発分極Ｐが、下部電極21側から上部電極23側に向かう向きに配向しており、下部電極21および上部電極23が、複数の圧電素子20間で互いに離間して設けられた個別電極である複数の圧電素子20と、複数の圧電素子20の上部電極23のそれぞれを、導電層13に電気的に接続する電気配線28とを備える。 （もっと読む）

【課題】フォトレジストを除去するための優れた方法などを提供する。
【解決手段】ベール除去と同時にフォトレジストを除去する方法が提供される。この方法は、Ｏ_２、ＮＨ_３およびＣＦ_４などのフッ素含有ガスを含むガス化学種から形成されたプラズマを用いる。この方法は、インクジェットプリントヘッド作製などのＭＥＭＳ作製プロセスでの使用に特に適している。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子、圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッド、および液体噴射装置を提供する。
【解決手段】圧電素子１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成された下部電極２０と、下部電極２０の側面３４および上面３２を覆って形成された圧電体層３０と、圧電体層３０の側面３４および上面３２を覆って形成された上部電極４０と、を含み、上部電極４０は、圧電体層３０の上面３２において、第１領域４０Ａと、第２領域４０Ｂと、を有し、第１領域４０Ａは、平面視において下部電極２０と重なる領域の少なくとも一部を含み、第２領域４０Ｂは、第１領域４０Ａ以外の領域であり、第１領域４０Ａは、第２領域４０Ｂよりも厚みが小さい。 （もっと読む）

【課題】下部電極と配線層とのコンタクト面積を大きくすることができる信頼性の高い圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイス１００は、圧電体層３０の側面は、圧電体層３０の上面３２と接続する第１部分と、第１部分と接続する第２部分と、を有し、第１部分は、基板１０の上面１２に対して第１角度α_１で傾いており、第２部分は、基板１０の上面１２に対して第１角度α_１より小さい第２角度α_２で傾いており、開口部６０の内壁を形成する圧電体層３０の側面３６は、基板１０の上面１２に対して第３角度β_１で傾く第３部分３７を有し、開口部６０の内壁を形成する下部電極２０の側面２４は、基板１０の上面１２に対して第３角度β_１より小さい第４角度β_２で傾く第４部分２５を有する。 （もっと読む）

【課題】低温環境下でもサテライトの発生を軽減しつつ、短時間で画像の記録を行うことができるインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】制御部２６は、インクジェットヘッド１に供給されるインクの温度を検知する温度検知部２２の検知結果を用いて、通常波形またはサテライト対策波形を選択し、選択した波形によりインクジェットヘッド１を駆動するようにヘッド駆動部２１を制御する。通常波形は、インクジェットヘッド１のインク室の容積を拡大させた後、元の容積に戻し、その後容積を縮小させてから再度元の容積に戻すように、インク室の容積を変化させる可変手段を駆動する電圧の波形であり、サテライト対策波形は、通常波形よりも電圧が小さく、インク室の容積を拡大させた後に元の容積に戻してから容積の縮小を開始するまでの時間が通常波形よりも短い波形である。 （もっと読む）

【課題】クロストークを防止することができるインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法の提供。
【解決手段】外部から注入されたインクが保存されるマニホールド１２２と、上記マニホールド１２２からインクを伝達を受け、ノズルを通じて外部に吐出させるためのインクチャンバ１１２と、上記マニホールド１２２と上記インクチャンバ１１２を相互連結するように形成し、複数の連結通路を提供するレストリクタ１５０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出手段の液滴吐出時に生じる圧力伝達の影響を抑制可能な液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴吐出口１、液室、及び前記液室内の液体を加圧する圧力発生手段３０、３１を少なくとも備える液滴吐出手段と、共通液室３とを備える液体吐出ヘッドにおいて、前記液室が、前記液滴吐出口に連通する第１液室９、及び前記共通液室に連通する第２液室１１に区画され、第１液室と第２液室とを接続する第１接続流路１０と、第２液室と共通液室とを接続する第２接続流路１２とを有し、第２液室が、断面積が漸次増減するような傾斜面を少なくとも一つの面に有し、第２接続流路から第２液室方向へ拡大する断面積の拡大率が、第１接続流路から第２液室方向へ拡大する断面積の拡大率より小さい形状であることを特徴とする液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】 更なる高画質化、高速化の要求に対し、微少量のインク液滴においても、ノズルの水分供給を効率的に補い、放置発一不吐出現象のない、安定した吐出を実現したインクジェット記録ヘッドの実現。
【解決手段】 ノズル列方向におけるインク流路の幅は圧力室の幅より小さく、インク流路の長さは圧力室のインク供給路方向における長さより長いノズル構成において、前記インク流路の最狭部のインク流路壁が直線上にないようにする。 （もっと読む）

【課題】 更なる高画質化、高速化の要求に対し、微少量のインク液滴においても、主滴だけでなくサテライトを含め、インク液滴の吐出方向の直進性をあげることにより、インク液滴の着弾精度を向上し、印刷画像の高画質化、高速化達成を目的とする。
【解決手段】 ノズル列方向における前記電気熱変換素子幅より前記吐出口幅は狭く、圧力室壁は吐出口縁から一定距離以上離れており、少なくとも吐出口部含む領域のみ圧力室幅が大きくなっていることにより主滴だけでなくサテライトを含め、インク液滴の吐出方向の直進性を確実かつ的確にあげることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明はインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドは複数のインクチャンバが形成される流路プレートと、前記インクチャンバのインクを外部に吐出するために前記インクチャンバに夫々連結される複数のノズルが形成されるノズルプレートと、前記流路プレート及び前記ノズルプレートの内部に形成され、前記インクチャンバの駆動のための振動が隣接する他のインクチャンバに影響を与えるクロストークを防ぐためのエアトラップ部とを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、機械的強度及びリフィル性能に優れた液体吐出ヘッドに用いることのできる基板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明では、（１）絶縁材料からなる絶縁層を表面に有し、複数の開口を有するエッチングマスク層を裏面に有するシリコン基板を提供する工程と、（２）前記エッチングマスク層をマスクとして、エッチング領域が絶縁層の開口と対向する部分に到達するようにリアクティブイオンエッチングを行うことで、隣接する複数の開口に対応した供給口となる穴を形成する工程と、をこの順に有し、工程（１）において、絶縁層は開口と対向する位置からマスク層の隣接する開口同士の間の部分と対向する位置にまで設けられ、工程（２）において、隣接する穴同士の間に設けられたシリコンの壁の裏面側の部分よりもシリコンの壁の表面側の部分を薄くするようにリアクティブイオンエッチングが行われる。 （もっと読む）

【課題】インクの吐出状態が安定した液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】貫通孔を有するＳｉ基板からなり、前記貫通孔は、前記Ｓｉ基板の一方の面に開口する第１ノズルと、前記第１ノズルに連通し、前記Ｓｉ基板の他方の面側に開口している前記第１ノズルの断面より大きな断面を有する第２ノズルと、を有し、前記第１ノズルの前記一方の面の開口を液滴が吐出される吐出孔とする液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法において、所定の深さの前記第１ノズルを形成する第１ノズル形成工程と、前記一方の面及び前記第１ノズルの内面の内、側面を覆うエッチングマスクを用い、前記一方の面の開口側からＳｉ等方性ドライエッチング方法によるエッチングを行い、他方の面側に貫通させて前記第２ノズルを形成する第２ノズル形成工程と、を有する。 （もっと読む）