【課題】インクジェットヘッド用接着剤および該接着剤で接着されたインクジェットヘッドの提供。
【解決手段】本発明に係るインクジェットヘッド１００は、インクのチャネル３を有するチャネル基板１とチャネル基板１に対し接着されるカバープレート２等の被接着部材とを備え、チャネル基板１と前記被接着部材とで１２ｐｐｍ／Ｋを超える線膨張係数の差があり、チャネル基板１と前記被接着部材とが特定組成の接着剤で接着されている。 （もっと読む）

【課題】吐出口がフォトリソグラフィー技術を用いて形成可能であり、記録速度の高速化を図り主滴と副滴の着弾位置のずれを抑え、画像の高品質化を実現できるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】複数の吐出口から記録媒体に対して液滴を吐出するインクジェット記録装置において、明細書中に定義される平面の法線が、該記録媒体に記録する際の該記録媒体に対するインクジェット記録ヘッドの相対移動方向を向いて各吐出口の軸線に対して傾斜しているインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、基板上に感光性樹脂材料を塗布し感光性樹脂層を形成する工程と、該感光性樹脂層にその感光性樹脂層表面に対して傾斜する面を有する凹みを形成する工程と、該傾斜する面に該複数の吐出口を形成する工程とを含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】無駄な液体の吐出廃棄を伴うことなく、吐出特性を従来の汎用の液体噴射ヘッドと同等に維持しつつ吐出液体の増粘を抑制し得る液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】インク供給路５４を介してインクが供給される圧力発生室５２と、この圧力発生室５２内に圧力変化を生じさせる圧電素子１１と、前記圧力変化に伴い圧力発生室５２から排出されたインクを外部に吐出させるノズル開口５６と、圧力発生室５２よりもノズル開口側に形成されて圧力発生室５２から排出されたインクの一部を分流させる循環用流通路６３とを具備し、インク供給路５４、ノズル開口５６および循環用流通路６３の各イナータンスをＭｓ，Ｍｎ，Ｍｃとするとき、Ｍｓ≧（１／Ｍｎ＋１／Ｍｃ）^−１の関係が成立するように構成した。 （もっと読む）

【課題】ノズル列の長さが長くなった場合でも、吸引回復動作時の共通液室内の気泡の滞留を軽減する。
【解決手段】エネルギー発生素子を備える記録素子基板１２０６と、液室と、一面に形成され、該液室と連通し記録素子基板１２０６と流体的に接続されている第一の供給口１２１０と、該一面の裏面に形成され、前記液室と連通する第二の供給口１２０９と、を備える支持部材と、第二の供給口１２０９に対して液体を供給する流路形成部材と、を有する液体吐出ヘッドであって、第二の供給口１２０９は第一の供給口１２１０の長手方向における一端部側に対応する位置に形成されており、前記液室の第二の供給口１２０９から第一の供給口１２１０に向かう方向に直交する断面は、該向かう方向に関して徐々に増加している部分を備えた。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドを多階調で駆動させる場合、各階調での１ドロップあたりの吐出体積を均一にすることが望ましく、1つの1次関数式で補正していたが、１ドロップあたりの吐出体積をどの階調でも一定にすることが難しかった。
【解決手段】基準となる階調での１ドロップ当りのインクの吐出体積が目標値となる１ドロップ毎の駆動電圧を基に、ドロップ数に対応した各階調での１ドロップ毎の駆動電圧を求める駆動電圧決定部１２を有する。すなわち、基準階調での駆動電圧をＶｏとし、他の階調での電圧補正係数をｙとする。この補正係数ｙを、基準階調近くの予め設定した第１の階調域までは、ｙ＝ａ１・ｘ＋ｂ１で求め、第１の階調域より外れた第２の階調域では、ｙ＝ａ２・ｘ＋ｂ２で求め、各階調の駆動電圧をＶｏ×ｙとして求める（ただし、ｘはドロップ数、ａ１，ａ２，ｂ１，ｂ２は定数、ａ１，ａ２の絶対値はａ１＜ａ２とする）。 （もっと読む）

【課題】装置本体側から記録ヘッド側へのデータ転送において、印字周期に対して十分なマージンを確保し、インク滴の吐出の安定性を向上させる。
【解決手段】記録ヘッドを駆動させる記録ヘッド駆動手段は、制御データに含まれる共通駆動信号のうち所定の駆動信号をマスクするマスクパターン転送データをマスクパターン転送クロックと同期して取り込む格納手段と、マスクパターン転送データをラッチして複数の駆動信号をマスクするマスクパターン信号を生成するマスクパターンラッチ手段と、を有し、マスクパターンラッチ手段は、ラッチ動作状態とされたときのマスクパターン転送データの値とマスクパターン転送クロックの値との組み合わせにより、格納手段に格納されたマスクパターン転送データに対してラッチ以外の複数の制御を行う。 （もっと読む）

【課題】第１の基板と第２の基板の接合面の耐エッチング性を高めて、高い信頼性を有する液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】第１の基板３のノズル孔２に連通する加圧液室６と該加圧液室６へインクを供給するための共通液室４を有し、加圧液室６に充填されたインクに対してノズル孔２から吐出させるための液滴吐出エネルギーを発生させる圧電体素子７、振動板８が設けられた第２の基板９と、外部からインクが供給される液体供給貫通口１０に連通するとともに、共通液室４とも連通している共通液体供給流路１１を有する第３の基板１２と、が積層されるように接合された液滴吐出ヘッド１において、接合された第２の基板９と第３の基板１２の、少なくとも連通している共通液室４と共通液体供給流路１１の内壁側の接合面Ｃを含む範囲を覆うようにして保護層１９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子１００は、第１電極２０と、第１電極２０の上方に形成された第１積層体１２と、第１電極２０の上方に第１積層体１２と離間して形成された第２積層体１４と、第１積層体１２の側面、第２積層体１４の側面、および第１積層体１２と第２積層体１４との間であって第１電極２０の表面を覆う被覆層６０と、を含み、第１積層体１２および第２積層体１４は、第１電極２０の上方に形成された圧電体３０と、圧電体３０の上方に形成された第２電極４０と、を有し、第１電極２０は、塩素と化学反応する金属を含有し、第１積層体１２と第２積層体１４との間であって第１電極２０の表面２０ａには、凸部５０および凹部の少なくとも一方が形成されている。 （もっと読む）

【課題】信頼性が向上した圧電素子等を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子は、第１の面１６において凹部１４を有する振動板１０と、凹部１４内に形成された、第１電極２０と、振動板１０および第１電極２０の上に形成された圧電体層３０と、圧電体層３０の上に形成された第２電極４０と、を含み、第１電極２０の上面２１は、第１の面１６と連続した平面を構成する。 （もっと読む）

【課題】使用される環境や移動の際に晒される温度変化に対してカバープレートの剥離や吐出不良を無くした高信頼性の液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッド１は、表面に溝１３から成る複数のチャンネル１１を有し、この複数のチャンネル１１が一方向に配列しているアクチュエータ基板３と、チャンネル１１に液体を供給するための複数の液体供給孔７ａ、７ｂを有し、この複数の液体供給孔７ａ、７ｂが一方向に離隔して配列し、アクチュエータ基板３の表面に接合するカバープレート２と、を備え、カバープレート２の複数の液体供給孔７ａ、７ｂが離隔する離隔領域ＳＲの表面に第一の凹部Ｍ１を設置した。 （もっと読む）

【課題】ドライエッチングを用いてシリコン基板における凹部の底部に垂直な開口を設けることができるシリコン基板の加工方法を提供する。
【解決手段】第１の開口４の底部に、パターン開口１０を有するパターニングマスク１４’を用いて、プラズマを用いた反応性イオンエッチングにより第２の開口５を形成するシリコン基板の加工方法であって、前記プラズマに対する前記第１の開口内の露出を妨げる遮蔽構造１１’を前記シリコン基板内又は上に形成した状態で前記反応性イオンエッチングを行うシリコン基板の加工方法である。これにより、第２の開口の傾きの原因である、プラズマモールディング効果と呼ばれるシースの歪みを緩和することが出来る。 （もっと読む）

【課題】変位低下を抑えつつ、基板と下電極との密着性が向上し、安定した駆動の行なえる圧電アクチュエーター、圧電アクチュエーターを備えた液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】チタン膜６１と、チタン膜６１上に形成され、膜厚の比が１．５以下の白金膜６２とが、チタンと白金と酸素とを含むＰＺＴ前駆体膜７１とともに焼成される。チタン膜６１の膜厚を４０ｎｍ以下とすることで、ＰＺＴ前駆体膜７１との界面への焼成によるチタンの拡散を抑えることができ、酸化チタンの形成を抑えることができる。また、白金膜６２の膜厚に応じてチタン膜６１の膜厚の下限が決まる。したがって、変位低下を抑えつつ、弾性膜５０および絶縁体膜５５と下電極６０との密着性を向上でき、安定した駆動が行なえる圧電アクチュエーター３１０および圧電アクチュエーター３１０の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子などを精度よく、かつ、簡便に製造することができる製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、基板の上に、第１導電層を形成する工程と、前記第１導電層の上に、圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層の上に、第２導電層を形成する工程と、前記第２導電層の上に、第３導電層を形成する工程と、前記第３導電層をパターニングし、第１の部分と、第２の部分と、前記第１の部分と前記第２の部分との間に設けられた開口部と、を形成する工程と、前記開口部を覆い、かつ、前記第１の部分および前記第２の部分の前記開口部側の周縁部を覆うレジスト層を形成する工程と、前記第１の部分、前記第２の部分、および前記レジスト層をマスクとして、前記第２導電層をドライエッチングし、前記第１の部分および前記第２の部分からなる第１導電部および第２導電部と、前記第２導電層からなる第３導電部と、を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 高信頼性のインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 インクジェットヘッドは、複数のノズルおよび前記複数のノズルからインクを吐出させる駆動素子を有したヘッド本体と、前記駆動素子を制御する制御部と、前記ヘッド本体および前記制御部が取り付けられたセラミックス製のベースと、を具備する。インクジェットヘッドは、内部に前記制御部を覆うように前記ベースに固定されるとともに、セラミックスの微粒子が混ぜられた樹脂で成形されたカバーと、前記ベースと前記カバーとの間に介在されるとともに、前記カバーの内部を密封した接着剤と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】回路基板の移動を効果的に抑制でき、回路基板のコネクターに対して外部配線を良好に挿抜することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】回路基板９０上に、外部配線が接続されるコネクター９２を、外部配線が挿抜される接続口９３を流路部材８０側に開口させて固定し、流路部材８０が、回路基板９０に対向する領域に回路基板９０に向かって突出すると共に回路基板９０の表面に実質的に当接する変形規制部２００を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】ヘッドチップの一端面上に凸部が存在する場合でもノズル間の封止不良を防止できるインクジェットヘッドの製造方法の提供。
【解決手段】チャネルが形成されたヘッドチップの該チャネルの出口が位置する一端面に接着剤を介してノズルプレートが接着されたインクジェットヘッドの製造方法において、ノズルプレートが接着されるヘッドチップの一端面の全面とヘッドチップの一端面の近傍のチャネル内の側壁面とに跨って接着剤を塗布して接着剤層を形成する接着剤層形成工程と、ヘッドチップの他端面に位置するチャネルの入口からチャネルの出口に向かう空気流を形成して、チャネル内の側壁面に形成された接着剤層を成す接着剤の一部をヘッドチップの一端面側へ押し出す接着剤押し出し工程と、ヘッドチップの一端面に対しノズルプレートを接着する接着工程とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法で、ポリパラキシリレンの過剰エッチングによりチップ端部の電極が露出した場合でも、電極を腐食から保護することができるインクジェットヘッドの製造方法の提供。
【解決手段】インクチャネル内に電極膜を成膜する電極膜成膜工程と、電極膜上に絶縁性保護膜を成膜する保護膜成膜工程と、保護膜成膜工程の処理に伴ってチャネル基板の一端面に成膜された絶縁性保護膜を除去する保護膜除去工程と、チャネル基板の一端面及びインクチャネルの内側面の保護膜欠損部から露出した電極膜露出部を連続的に被覆する接着剤層を形成する接着剤塗布工程と、チャネル基板の他端面に位置するインクチャネルの入口からチャネル基板の一端面に位置するインクチャネルの出口に向かう空気流で、インクチャネルの内側面に塗布された接着剤の余剰部分をインクチャネル外部へ押し出す接着剤押し出し工程と、チャネル基板の一端面に対し前記ノズルプレートを接着する接着工程と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大型化することなく、ノイズ電圧が温度検出素子に及ぼす影響を低減させた、インクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明のインクジェット記録ヘッドは、インク供給口と、発熱素子と、配線接続パッドと、温度検出素子とを有する記録素子基板１００と、外部接続パッドが設けられたプリント基板３００とを有する。また、２本の電極配線によって、温度検出素子と温度検出素子用の配線接続パッドとがそれぞれ接続されており、さらに電極配線２１０、２１１によって、配線接続パッドと外部接続パッド３１０、３１１とが接続されている。電極配線２１０、２１１は、配線接続パッドと、外部接続パッド３１０、３１１との間では、外部接続パッド３０１、３０５と発熱素子とを接続するための電源配線２０１、２０２と、外部接続パッド３０３、３０４と発熱素子とを接続するためのグランド配線２０３、２０４との間に配置されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な駆動制御系により、大きな液滴を高い周波数で吐出することが可能な液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】吐出口（51,52）を有する圧力室（53,54）と、圧力室（53,54）に液体を供給する供給流路（60,62）と、圧力室（53,54）に対応して設けられた吐出エネルギー発生手段（65,66）と、を備えた吐出要素(41,42)が複数配置され、各吐出要素（41,42）から吐出させた液（76）で被描画媒体上の同一画素が記録される。組になった各吐出要素（41,42）の吐出動作特性は同等であり、各吐出エネルギー発生手段（65,66）は、共通の信号線(73)に接続され、同一の駆動信号が同時に印加される。圧力室（53,54）はジョイント流路(55)を介して接続され、複数の吐出口(51,52)は、当該ヘッド(40)と被描画媒体の相対移動方向に並んで配置される。 （もっと読む）

【課題】大型化を招くことなく、電流密度の小さな共通電極を容易に形成することができる独立駆動型のインクジェットヘッドの提供。
【解決手段】チャネル１２と駆動壁１１とが配置されたチャネル列を有し、駆動壁１１に駆動電極が形成されると共に、駆動チャネルとダミーチャネルとが配置されて構成されてなるヘッドチップ１と、ヘッドチップ１の各駆動電極を該ヘッドチップ１の側方に電気的に引き出す配線電極を有する配線基板と、駆動回路からの駆動信号をヘッドチップの各駆動電極に印加するための電気配線部材４とを有するインクジェットヘッドであって、電気配線部材４は、一面に個別電極が形成されていると共に、他面にダミーチャネル用配線電極に共通に電気的接続される広幅共通電極が形成されていると共に、電気配線部材を貫通して、配線基板のダミーチャネル用配線電極と電気的接続されている。 （もっと読む）