【課題】信頼性が向上した圧電アクチュエーター等を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電アクチュエーターは、基面を有する振動板と、前記振動板の前記基面の上に形成された第１電極と、前記振動板の前記基面の上および前記第１電極の上に形成された圧電体層層と、前記圧電体層層の上において、第１の方向に延びるように形成された第２電極と、を含み、前記第２電極は、第１の幅を有する第１の部分と、前記第１の幅よりも小さい第２の幅を有する第２の部分と、前記第１の部分と前記第２の部分とを接続する第３の部分と、を有し、前記第１電極は、前記基面の法線方向から見た平面図において前記第１電極の外周をなし、第１の方向と直交する第２の方向に延びる、第１の辺を有し、前記第２電極の前記第３の部分は、前記第１電極の前記第１の辺の上方に配置され、前記第３の部分の第３の幅は、前記第１の部分から前記第２の部分へ向かうほど狭くなる。 （もっと読む）

【課題】制御の処理負荷やデータの転送量を削減しながら微振動駆動を適切に実行する。
【解決手段】圧電素子４５は、圧力室５０内の圧力を変化させてノズル５２からインクを噴射させる。第１保持部３４２は、印字周期ＴP[k]についてインクの噴射／非噴射を示す制御データＤC[n]を保持する。第２保持部３４４は、印字周期ＴP[k]の直前の印字周期ＴP[k-1]についてインクの噴射／非噴射を示す参照データＤR[n]を保持する。駆動回路３４６は、制御データＤC[n]がインクの噴射を示す場合には印字周期ＴP[k]にて圧電素子４５に噴射駆動を実行させる。制御データＤC[n]がインクの非噴射を示す場合、駆動回路３４６は、参照データＤR[n]がインクの非噴射を示すときには圧電素子４５に微振動駆動を実行させ、参照データＤR[n]がインクの噴射を示すときには圧電素子４５に微振動駆動を実行させない。 （もっと読む）

【課題】共通電極抵抗とインク流路のコンプライアンスばらつきを低減することで吐出均一性を向上し、かつノズル数が多いヘッドにおいても小型化することが可能なインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】個別液室１０の領域の振動板１上に下部電極１４、圧電体１５、上部電極１３を含む圧電素子１１が積層され、インク供給路７の領域に圧電素子から延伸された下部電極と下部電極と導通する共通電極配線が形成されると共に、個別液室の配列方向に共通電極配線が延伸されていて、共通電極配線が、第１の共通電極配線１６１と第２の共通電極配線１６２の積層した構造であり、第１の共通電極配線１６１の膜厚が第２の共通電極配線１６２の膜厚より薄く形成されていて、流路基板２と保持基板５の接合領域に、第１の共通電極配線１６１の少なくとも一部を形成し、第２の共通電極配線１６２を形成しない構成とした。 （もっと読む）

【課題】信頼性が向上した液体噴射ヘッド及び該液体噴射ヘッドを有する液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル孔に連通する圧力発生室と、前記圧力発生室の上に形成された振動板と、前記振動板の基面の上に並設された複数の第１電極１０と、前記振動板上において、複数の第１電極をそれぞれ覆うように形成された複数の圧電体層と、前記複数の前記圧電体層を連続して覆うように形成された第２電極３０と、第２電極の上に形成された一対の導電層４０と、を含み、前記圧電体層は、第１電極と第２電極によって挟まれた駆動領域２５を有し、一対の導電層は、駆動領域の両端をそれぞれ押さえるように配置され、前記基面の法線方向から見た場合に、導電層に第１電極の外周が交差する線を交差線としたとき、導電層は、前記交差線に沿って駆動領域の中央側に向かう突出部を備える。 （もっと読む）

【課題】歪量が大きく且つ結晶粒径が均一な圧電体層を有する圧電素子を具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、圧電体層と該圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸ニオブ酸バリウムの混晶として表される複合酸化物であって、Ｎｂと、Ｎｂ及びＴｉの総量とのモル比であるＮｂ／（Ｎｂ＋Ｔｉ）が、０．０７２５以上０．１２５以下である液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】循環方式において着弾ズレを所定の許容範囲に抑制できる液体噴射ヘッドの提供。
【解決手段】インクがインク供給路５４を介して供給される圧力発生室５２と、圧力発生室５２内に圧力変化を生じさせる圧電素子１１と、圧力発生室５２からインク滴として吐出させるノズル開口５６と、圧力発生室５２内のインクの一部を流出させる循環用流通路６３とを具備し、液体供給路５４、ノズル開口５６および循環用流通路６３の各イナータンスをＭｓ，Ｍｎ，Ｍｃとするとき、下式（１）の関係が成立するように構成した。


ここで、Ａ；媒体の送り速度（ｍ／ｓ）、Ｂ；ノズル面と媒体との間のギャップ（ｍ）、Ｃ；インクの吐出速度（ｍ／ｓ）、Ｄ；ノズル列を形成する各ノズル開口におけるインク滴の吐出速度のバラつき（％） （もっと読む）

【課題】リーク電流が抑制され高い絶縁性を有して絶縁破壊が防止される液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と該圧電体層に設けられた電極６０、８０とを備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層７０は、鉛、ジルコニウム及びチタンを含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、酸素サイトに窒素を含む。 （もっと読む）

【課題】液体噴射時のクロストークを防止することが可能な液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル２３に連通する主圧力室２０を隔壁３７によって複数区画し、当該圧力室の開口面を封止する作動面（弾性膜１６）を圧電素子１８によって変形させて当該圧力室内のインクに圧力変動を生じさせることで当該圧力室に連通するノズルからインクを噴射させる記録ヘッドにおいて、ノズル形成基板１５には、主圧力室とノズルとを連通する副圧力室３６が、複数の主圧力室にそれぞれ対応してノズル列設方向に複数形成され、副圧力室のノズル列設方向の幅は、主圧力室の同方向の幅よりも狭い。 （もっと読む）

【課題】環境負荷を低減し、高い絶縁性を有してリーク電流が抑制される液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と該圧電体層に設けられた電極６０、８０とを備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層７０は、ビスマス及び鉄を含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、マグネシウム及び亜鉛からなる群から選択される少なくとも一種の第１ドープ元素と、セリウムからなる第２ドープ元素とを含む。 （もっと読む）

【課題】隔壁の剛性を高めることでクロストークを抑制可能な液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを噴射する複数のノズル２７と、各ノズルに対応して設けられて当該対応するノズルに連通する複数の圧力室２３と、圧力室と当該圧力室に対応するノズルとを連通する連通口２５と、を有する流路ユニット２０を備えた記録ヘッド２であって、隣り合う連通口を区画する隔壁同士を連結する梁部３２が、連通口内に形成された。 （もっと読む）

【課題】保護膜の剥離を抑制して耐久性を向上すると共に、液体吐出不良や液体噴射特性の著しい低下を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧力発生室１２の一方面を画成する振動板５０と、圧力発生室１２の内面に設けられて耐液体性を有する保護膜２００と、を具備し、振動板５０が振動することにより圧力発生室１２内の液体に圧力変化を生じさせてノズル開口２１から液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、圧力発生室１２内の振動板５０側の角部には、角部を覆うヤング率が１０ＧＰａ以下の樹脂材料で形成された樹脂部２３が凹状の円弧状で設けられ、圧力発生室１２の振動板５０に画成された側の幅ｗと、樹脂部２３の表面の半径ｒとの比率ｗ／ｒが、０．０１７以上、０．０８７以下である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フリップチップ実装時又はワイヤボンディング実装時の破損を抑制すると共に、集積度を高くしても小型化することが可能なインクジェットヘッド及び該インクジェットヘッドを有するインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のノズル１１１ａが形成されているノズル基板１１１と、ノズル基板１１１上に配置されている振動板１１２ａの間の空間が、隔壁１１２ｂにより隔てられている複数の液室１１０が形成されているインクジェットヘッド１００は、振動板１１２ａの隔壁１１２ｂにより隔てられている空間上に、共通電極１２１、圧電体１２２及び個別電極１２３が順次積層されている圧電素子１２０が形成されていると共に、個別電極１２３から配線１４０が引き出されており、配線１４０と駆動ＩＣ１５０を電気的に接続する電極パッド１４１が配線１４０上に形成されており、電極パッド１４１は、隔壁１１２ｂ上に延在している。 （もっと読む）

【課題】 環境負荷が小さく且つ（１００）面に結晶が優先配向した圧電体層を備えた液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置、及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 カリウム、ナトリウム、及びニオブを含むゾル−ゲル溶液と、カリウム、ナトリウム、及びニオブを含むＭＯＤ溶液と、を少なくとも混合することにより圧電体膜形成用組成物を調製する工程と、圧電体膜形成用組成物を塗布して圧電体前駆体膜７１を形成する工程と、圧電体前駆体膜７１を加熱して結晶化することにより圧電体膜７２を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】安定した圧電特性を得ることが可能な電気機械変換素子、電気機械変換素子の製造方法、液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】最表面に酸化物電極層１２Ａを有する第１の電極１２と、酸化物電極層１２Ａ上に設けられ、パターニングされてなる金属電極である第２の電極１４と、第１の電極１２上の第２の電極１４の形成されていない領域に設けられた電気機械変換膜１６と、電気機械変換膜１６上に設けられた酸化物を含む第３の電極１８と、を備え、酸化物電極層１２Ａが下記一般式（１）で示されるペロブスカイト型複合酸化物を主成分とし、且つ該酸化物電極層１２Ａにおける、第２の電極１４の形成されていない領域の電気機械変換膜１６側の最表面の、一般式（１）ＡＢＯ_３中のＡとＢとの組成比Ａ／Ｂが０．８以上１．２以下である。 （もっと読む）

【課題】 圧電特性および機械的強度が良好なチタン酸バリウム系圧電セラミックス及びそれを用いた圧電素子を提供する。
【解決手段】 そのための本発明は、少なくともチタン酸バリウム粒子を有する酸化物粉末とバインダーを有する成形体を成形する工程と前記成形体を焼結する工程と前記焼結する工程の後に降温する工程とを含む圧電セラミックスの製造方法であって、前記焼結する工程が前記成形体の収縮過程の温度である第一の温度まで昇温し保持する工程（Ａ）と、工程（Ａ）の後に前記成形体の液相焼結過程の温度である第二の温度まで昇温する工程（Ｂ）と、工程（Ｂ）の後に前記成形体の収縮過程の温度である第三の温度まで降温する工程（Ｃ）と工程（Ｃ）の後に前記第三の温度で保持する工程（Ｄ）を少なくとも有することを特徴とする圧電セラミックスの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 環境負荷が小さく、クラックの発生が抑制された液体噴射ヘッド、液体噴射装
置、及び圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と圧電体層７０に設
けられた電極６０と、電極８０と、を備えた圧電素子３００と、を具備し、圧電体層７０
は、Ａサイトに、カリウム、ナトリウム、及びビスマスを含み、Ｂサイトにニオブ、鉄、
及びクロムを含むペロブスカイト構造の複合酸化物からなる。 （もっと読む）

【課題】インク供給孔部分をインク耐性のある膜で容易且つ確実に保護できる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】シリコン基板１に振動板材料及び圧電素子材料を成膜していくことでアクチュエータを作成していく。まず、シリコン酸化膜５を成膜し、さらにポリシリコン膜６を成膜する（（ａ））。さらにシリコン窒化膜１３を成膜し、その後個別インク供給孔２４となる部分のポリシリコン６及びシリコン窒化膜１３を除去する。高温酸化膜７を成膜し、これらの積層膜を振動板層とする（（ｂ））。その後、圧電素子の下電極８、圧電材層９、上電極１０を成膜する（（ｃ））。吐出室１４の形成前に個別インク供給孔２４となる部分の振動板積層膜をパターニングし、インク耐性の高いシリコン酸化膜５及び７で保護しておくことで、インク耐性の低い振動板材料をインクから保護することができる。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の破壊を抑制して耐久性を向上した液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と、該流路形成基板１０上に設けられた第１電極６０、該第１電極６０上に設けられた圧電体層７０及び該圧電体層７０上に設けられた第２電極８０を有する圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層７０が、（１００）配向のペロブスカイト構造を有し、前記第２電極８０側の前記圧電体層７０の（１００）配向に対応するＸ線回折強度分布の半価幅が、前記第１電極６０側の前記圧電体層７０の（１００）配向に対応するＸ線回折強度分布の半価幅よりも狭い。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく、良好な圧電特性を有する圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子の製造方法は、圧電体層の原料液となる前駆体溶液を第１電極１０上に塗布して前駆体層２２を形成する工程と、前駆体層２２を熱処理により脱脂する工程と、脱脂した前駆体層２２を結晶化して、圧電体層を形成する工程と、を含み、前駆体溶液は、ビスマス、ナトリウム、バリウム、およびチタンを含み、熱処理の温度は、４２５℃以上４５０℃以下である。 （もっと読む）

【課題】剛性が高められた表面を備えた圧電素子を形成する。
【解決手段】圧電素子のインク室に隣接した湾曲した領域が、第１の方向および第２の方向に沿ってインク室に跨っており、該湾曲した領域が、該第１の方向に沿って変化する第１の曲率半径と該第２の方向に沿った第２の曲率半径とを備え、かつ該第１および第２の方向が直交している。 （もっと読む）