【課題】液体を吐出する複数のノズルと複数のノズルに対応して設けられた複数のアクチュエーターとを有する液体吐出ヘッドを駆動する際の駆動信号の波形再現性を向上させる。
【解決手段】液体吐出ヘッドを駆動するための駆動回路は、アクチュエーターを駆動するための駆動信号の基準となる駆動波形信号をパルス密度変調方式によりパルス変調して変調信号とする変調回路と、変調信号を電力増幅して電力増幅変調信号とするデジタル電力増幅回路と、電力増幅変調信号を平滑化して駆動信号とする平滑フィルターと、を備える。変調回路は、駆動波形信号に同期した所定の信号に基づき、発振開始タイミングを決定する。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドの液滴吐出装置への位置決め精度を向上させ、画像品質を向上させるとともに、液滴吐出ヘッドの製造コストを低減させる。
【解決手段】複数のノズル吐出口を有するノズル板と、ノズル吐出口に液滴を供給する複数の個別液室が形成され、個別液室内の液滴を加圧する電気機械変換素子を有する個別流路基板と、個別流路基板に液滴を供給する共通流路基板と、インクジェット記録装置の所定位置に係合し、インクジェット記録装置に対してノズル吐出口の開口面に沿う方向の位置決めをする金属製の位置基準面３０ａ、３０ｂを有するベースプレート３０と、インクジェット記録装置に対して開口面と交差する方向の位置決めをする位置基準面４０ａを有する樹脂製のハウジング４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】エッチング残渣が少なく信頼性が良好であり、かつリーク電流を抑制することができる強誘電体素子を提供する。
【解決手段】シリコン基板１０の上に順に、振動板１１、下部電極２０、強誘電体層３０、上部電極４０を形成し、強誘電体層３０の側面の傾斜角はθ２＝３０°、上部電極４０の側面の傾斜角はθ１＝３０°としている。これにより、エッチングガスやプラズマ粒子の衝突角度が平面に近づき、傾斜面でのエッチング残渣の除去率が向上する。 （もっと読む）

【課題】流動体を付着させて熱処理を行う工程を繰り返し行うことにより微細パターンの膜を所望の膜厚で精密に作製可能とするパターン形成用基板と、パターン形成用基板を用いた圧電アクチュエータの製造方法を提供する。
【解決手段】所定の流動体を特定領域に付着させて熱処理を行うことによりパターン化された膜を形成するためのパターン形成用基板１０で、特定領域を親和性とし、それ以外の領域を非親和性とする表面改質をおこなう。パターン形成用基板１０の表面改質処理対象となる金属膜はＰｔ膜５３を積層し、基体として、Ｔｉ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｖ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｗから選ばれる少なくとも１つの金属元素、酸素元素および炭素元素から構成されるＭＯＣ膜５２を用いる。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドの外形形状を小型化し、かつ電極のパターニングを容易にする。
【解決手段】液体噴射ヘッド１は、液体を吐出するためのノズル３を有するノズルプレート４と、その上方に設置され、長手方向の深さが一定である溝５を構成する側壁６と、側壁６の壁面に形成され、側壁６を選択的に変形させる駆動電極７と、側壁６の上面ＵＳに設置され、溝５に液体を供給する供給口８と溝５から液体を排出する排出口９とを備えるカバープレート１０と、溝５と供給口８の間、及び溝５と排出口９の間の各連通部よりも外側の溝５を閉止する封止材とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で駆動回路が高集積化されたインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 インクを吐出させるための所定数の負荷を駆動する複数の駆動部を備えた配線基板がインク吐出部に接続されたインクジェットヘッドにおいて、配線基板には、複数の駆動部に対してインク吐出に係るデータの入出力を行うデータ入出力配線が一組ずつ形成され、複数の駆動部は、２以上の駆動部により構成される１又は複数の駆動部群に分けられ、同一の駆動部群に含まれる駆動部は、データ入出力配線と、インク吐出部に設けられた接続配線とにより互いに直列に接続される。 （もっと読む）

【課題】十分な接合強度と高い耐インク性を併せ持つインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】金属からなりインクを吐出するノズルが設けられたノズル板６と、液体吐出エネルギー発生部を有する振動板３と、ノズル板６と振動板３の間に設けられる隔壁４と、により区画されて、それぞれが前記ノズルを有する複数の液室５が形成されるインクジェットヘッドにおいて、ノズル板６と隔壁４が、水酸基を分子鎖にもつエポキシ樹脂を含む第１の接着剤により接着され、振動板３と隔壁４が、前記第１の接着剤よりも低吸湿性の第２の接着剤により接着されており、ノズル板６と隔壁４との接着接合部分であって液室５内部に面する部分（硬化樹脂２１）が、振動板３と隔壁４とを接着した前記第２の接着剤の余剰分（硬化樹脂２３）により被覆されている。 （もっと読む）

【課題】下部電極にバイアス電圧を印加しても加圧液室内の導電性の液体に電圧は印加されず液体の吐出性能を維持できる。
【解決手段】加圧液室１２内を昇圧する振動板３０は、シリコン基板の表面にシリコン酸化膜、ポリシリコン、シリコン酸化膜、ｐドープしたポリシリコン、シリコン酸化膜の順に成膜することで形成されている。振動板３０におけるｐドープしたポリシリコンは接地（ＧＮＤ）されている。液滴吐出ヘッドにおける下部電極５１と加圧液室１２との間に、ｐドープしたポリシリコンに相当し接地されている導電層３１を設けている。このため、下部電極５１にバイアス電圧を印加して駆動する方法を用いた場合下部電極５１と導電層３１との間に電界が生じ、下部電極と加圧液室との間には電界は生じない。 （もっと読む）

【課題】ノズルの位置に依存する滴吐出特性の補正が簡略にできる滴吐出装置を提供する。
【解決手段】駆動電圧生成部と圧力発生素子間の導通、非導通を切り替えるスイッチ１１、スイッチ制御部１２を備え、スイッチ制御部１２は、液滴データに基づいてスイッチ１１の導通または非導通を決定し、ノズル列の端部からの距離に応じた複数のノズル群１０１，１０２，１０３に分類し、各ノズル群１０１，１０２，１０３毎に、それぞれ対応するスイッチ１１の導通、非導通を切り替えるタイミングを制御する。 （もっと読む）

【課題】高吐出口密度を有する記録素子基板の接着固定に必要な精度を容易に満足できるインクジェット記録ヘッド、記録素子基板、インクジェット記録ヘッドの製造方法、および記録素子基板の製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド１は、インクが内部を通るとともに互いに離間して配された複数の流路を有する記録素子基板３を複数備えている。各記録素子基板３は、各流路が開口する複数のインク吐出口７が配された第１の面１３と、第１の面１３と交差して記録素子基板３の側面を形成するとともに、少なくとも一部がエッチング処理によって形成された第２の面１５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】安定性の高い前駆体溶液の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る前駆体溶液の製造方法は、酸とアルコールと金属錯体とを含む、複合酸化物の前駆体溶液の製造方法であって、溶媒に対して２０質量％以上の水を添加する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を有する圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、第１電極１０と、第１電極１０の上方に形成され、第１のヤング率を有する圧電体層２０と、電体層２０の上方に形成された第２電極３０と、第１のヤング率より大きい第２のヤング率を有する絶縁体層４０と、を含み、圧電体層２０は、第１電極１０と第２電極３０とに挟まれた部分２２を有し、挟まれた部分２２の外側に、絶縁体層４０が隣接している。 （もっと読む）

【課題】支持部材が斜めに挿入されても確実に電気接続することができるインクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体が吐出される液体吐出口１２と、液体吐出口１２に連通する圧力室１６を構成する圧力室形成基板１８と、圧力室形成基板１８の液体吐出口１２の反対側に設けられたエネルギー発生素子２２と、を有し、エネルギー発生素子２２に接続された基板配線と、支持部材６２に接着された配線基板６０にパターン状に形成された支持部材配線と、が電気的に接続されており、支持部材６２は、複数の支持基板８２を接合して形成されており、支持基板８２間に柔軟な層８４を有するインクジェットヘッドおよびこのインクジェットヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】少ない記憶容量でも複数種類の駆動信号を出力することが可能で、しかも高い駆
動周波数で圧電素子を駆動可能とする。
【解決手段】第１の電圧と第２の電圧との間で往復する基準電圧波形を、スイッチを介し
て圧電素子に供給する。スイッチを接続状態（ＯＮ）とすれば基準電圧波形が圧電素子に
印加され、スイッチを切断状態（ＯＦＦ）とすれば、ＯＦＦにした時の電圧が印加され続
ける。従って、基準電圧波形の増減に合わせてスイッチを切り換えるだけで種々の駆動信
号を印加可能となり、複数種類の駆動信号を記憶しておく必要がない。また、基準電圧波
形の電圧が目的の電圧になったら直ちに駆動信号の印加を開始できる。従来のように、印
加しようとする駆動信号を供給されるまで、圧電素子の駆動開始を待つ必要がない。この
ため、圧電素子の駆動周波数を高くすることもできる。 （もっと読む）

【課題】均一に形成でき、液体吐出特性を長期間一定に維持することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】シリコンからなり、液体を噴射するノズル２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０を具備し、前記流路形成基板の、前記圧力発生室が形成され前記液体の流路となる面に、金属シリサイドからなる保護膜が設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の駆動を効率的に行う液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板１０の一方面側に圧力発生室１２に対応して設けられた第１電極６０、第１電極上に設けられた圧電体層７０及び圧電体層上に設けられた第２電極８０を有する圧力発生素子３００と、圧力発生素子３００毎に対して個別に設けられた第１電極６０に電気的に接続されるリード電極９０と、第２電極８０が形成されておらず前記圧電体層７０が露出している領域の、前記第１電極６０が部分的に露出されている領域に、前記第１電極６０に少なくとも一部が接して設けられている導電層８１と、を具備し、リード電極９０は、前記導電層８１を介して前記第１電極６０に接続されている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の応力集中を低減して圧電素子の破壊を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズルに連通する圧力発生室１２が複数並設された流路形成基板１０と、該流路形成基板の一方面側に前記圧力発生室に対応して設けられて、第１電極６０、該第１電極上に設けられた圧電体層７０及び該圧電体層上に設けられた第２電極８０を有する圧電素子３００と、を具備し、前記圧力発生室の並設方向と交差する方向の少なくとも一方の端部において、前記流路形成基板が薄い一定の厚さとなって当該圧力発生室の深さが浅くなった段差部１１０を具備し、前記圧電体層の前記第１及び第２電極の両者に挟まれて電界が発生される活性部３２０と前記第１及び第２電極の何れかが存在しないで電界が発生しない非活性部３３０との境界が、前記段差部に対向する位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の応力集中を低減して破壊を抑制する。
【解決手段】圧力発生室１２が複数並設された流路形成基板１０と、流路形成基板の一方面側に圧力発生室に対応して設けられて、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を有する圧電素子３００とを具備し、第１電極が、圧力発生室毎に設けられて並設方向の幅が圧力発生室の幅より小さい個別電極であると共に、第２電極が複数の圧電素子に亘って連続して設けられた共通電極であり、圧力発生室の並設方向と交差する方向の少なくとも一方の端部において、第１及び第２電極の両者に挟まれて電界が発生される活性部３２０と第１及び第２電極の何れかが存在しない非活性部３３０との境界Ａが、第２電極の端部８１によって規定され、この境界Ａに対応する領域の第１電極には並設方向の幅が圧力発生室の幅より大きい部分６７があり、境界Ａに対応する領域の圧力発生室には深さが浅くなった段差部１１０がある。 （もっと読む）

【課題】流路内に生じた圧力変動をより確実に抑制することが可能な液体噴射ヘッド、および、これを備えた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インク導入路２１′の入口側開口部に、当該インク導入路よりも拡径し、フィルター１６が配置される下流側フィルター室６０が設けられ、当該フィルター室におけるフィルターよりも下流側の内壁に可撓膜６１が設けられ、流路内のインクの圧力変動に応じて可撓膜が変形するように構成された。 （もっと読む）

【課題】流路に塗布された接着剤が孔又は凹部に流れ込むのを溝によって抑制しつつ、溝内に落ち込んだエアをパージ時に効率的に排出する。
【解決手段】出口開口１５１と複数のインク供給口１１５ａとの間に形成された共通インク流路の上壁面に逃し溝群１７４が形成されている。逃し溝群１７４は、４つの逃し溝１７４ａ、１７４ｂ、１７４ｃ、１７４ｄからなる。逃し溝１７４ａの外形線は、接着領域１６１と非接着領域１６２との境界であるマニホールド流路１０５を画定する側壁面と実質的に平行になっている。逃し溝群１７４の副走査方向に関する形成範囲は、出口開口１５１及び複数のインク供給口１１５ａの副走査方向に関する形成範囲を包含している。４つの逃し溝１７４ａ、１７４ｂ、１７４ｃ、１７４ｄの外形線は、インクの流動線Ｒの各逃し溝に対応した位置における接線方向と平行な平行部分だけから構成されている。 （もっと読む）