【課題】 向上したインク吐出速度およびインク吐出周波数を有するインクジェットヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 チャネルダンパーＤを備えたインクジェットヘッドおよびその製造方法であって，インクジェットヘッドは，基板Ｓと，該基板Ｓ上に配置され，インク吐出のための圧力を生成する発熱抵抗器Ｒとを備える。基板Ｓ上に，少なくとも１つの開放部Ｏを提供するように発熱抵抗器Ｒを取り囲み，かつ基板Ｓから第１の高さを有するチャンバー層Ｃが配置される。開放部Ｏに，チャンバー層Ｃと共に発熱抵抗器Ｒを完全に取り囲み，かつ第１の高さより低い第２の高さを有するチャネルダンパーＤが配置される。そして，発熱抵抗器Ｒに対応するノズルＮを有するノズル層が，チャンバー層Ｃの上部面に当接するように配置される。かかる構成により，インクの吐出時のインクの逆流現象が減少し，インク吐出周波数およびインク吐出速度が向上される。 （もっと読む）

【課題】高密度配置に容易に対応し得るとともに、高密度配置した場合であってもクロストークの発生を回避することができ、安定した流体噴射特性を得られるようにする。
【解決手段】基板１２上に形成された振動アクチュエータ１１，１３，１５，１６と、当該振動アクチュエータ１１，１３，１５，１６によって流体に圧力変化が与えられる圧力室２２と、当該流体の排出口２５とを備えたを備えた機能素子において、前記基板１２に前記圧力室２２へ通じる少なくとも一つの貫通孔３０を設け、その貫通孔３０を介して前記圧力室２２内への流体の供給を行い、前記排出口２５を介して当該圧力室２２内からの当該流体の排出を行うように構成する。 （もっと読む）

【課題】 低温または高温環境下において発生する課題を解決するための応力緩和領域を隔壁内に形成し、安価で安定した記録画像を達成することが可能な、液滴吐出記録ヘッドおよびこれを備えた液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】 複数の液滴吐出エネルギ発生体を備えたノズル列を複数備えた液滴を吐出させる液滴吐出記録ヘッドにおいて、液滴を吐出する液滴吐出口５を有する液滴吐出部とこの液滴吐出部に供給された液体を吐出するために利用される熱エネルギを発生するための電気熱変換素子３を備える基板１を有し、前記液滴吐出部を複数配列するために電気熱変換素子３に対応して隔壁４で仕切られた液貯留室１０および液流路１１を設け、前記隔壁４を２種類以上の部材で形成する。 （もっと読む）

【課題】微細化適正・高生産性・ダメージレス化を両立させる機能膜の加工方法、及びそれを利用したインクジェト記録ヘッドの製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 例えば、基板（例えば振動板２００）上に凸状パターン２０４を形成し（図１（Ｃ）参照）、凸状パターン２０４上及び凸状パターン２０４の非形成領域上に機能膜（例えばＰＺＴ膜２０６）を形成した後（図１（Ｄ））、凸状パターン２０４上に形成された機能膜（例えばＰＺＴ膜２０６）を凸状パターン２０４が少なくとも露出するまで研磨する（図１（Ｅ）参照）。これにより、微細化適正・高生産性・ダメージレス化を両立させつつ、凸状パターン２０４の非形成領域に沿った機能膜（例えばＰＺＴ膜２０６）の加工を施すことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの液滴の吐出異常の原因を正確に特定する。
【解決手段】本発明は、アクチュエータ２２を駆動し、液滴吐出動作を行った際に、このアクチュエータによって変位させられた振動板の残留振動を検出し、その振動板の残留振動パターンに基づいて、液滴が正常に吐出されたか否かを検出し、吐出異常の場合、上記振動板の残留振動の残留振動波形から計測したパルス幅計測値に基づいて、液滴の吐出異常の原因が気泡混入によるものか否かを判定し、液滴の吐出異常の原因が気泡混入以外と判定された場合に、上記振動板の残留振動の残留振動波形から計測したパルス幅計測値の初期状態における初期計測値と、前記初期状態の後に液滴吐出動作を所定回数駆動する毎にパルス幅計測値の順次計測値を比較し、液滴吐出動作の駆動回数の増加に応じて初期計測値が順次計測値が大きくなった場合に紙粉異常と判定し、逆に小さくなる場合に乾燥異常と判断するようにした。 （もっと読む）

【課題】 駆動装置との電気的接続の高い信頼性を確保しつつ、その電気的接続にかかるコストを低減することが可能な圧電アクチュエータ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 圧電アクチュエータ３は、金属製のステンレス板３０と、このステンレス板３０の表面に形成された絶縁層３１と、この絶縁層３１の表面に形成された複数の個別電極３２と、これら複数の個別電極３２の表面に形成された圧電層３３と、圧電層３３の表面に複数の個別電極３２に亙って形成された共通電極３４とを備え、絶縁層３１の表面に、複数の個別電極３２に夫々対応する複数の端子部３６と、複数の個別電極３２と複数の端子部３６とを夫々電気的に接続する複数の配線部３５とが形成されている。 （もっと読む）

【課題】 吐出性能に優れたインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 ノズル孔４は、ノズルプレート１１の一方面側に開口する吐出口４ａと、ノズルプレート１１の他方面側に開口する流入口４ｂと、吐出口４ａから流入口４ｂ近傍まで所定テーパ角度θで拡径するテーパ形状部４ｃと、テーパ形状部４ｃの所定テーパ角度θに沿うよりも大きく拡径して、テーパ形状部４ｃの端部と流入口４ｂとを曲面で接続する周縁部４ｄとを有し、流入口４ｂの開口径Ｄ１が、テーパ形状部４ｃをその所定テーパ角度θに沿って流入口４ｂ側に仮想延長して得られる仮想流入口４ｅの開口径Ｄ２に対して、Ｄ２＜Ｄ１＜１．２×Ｄ２の関係となっている。 （もっと読む）

流体噴射装置（１００）が、チャンバ（１１０）と、チャンバとそれぞれ連通する第１の流体チャネル（１２０）及び第２の流体チャネル（１２２）と、第１の流体チャネルに沿って延在する第１の半島（１４０）及び第２の流体チャネルに沿って延在する第２の半島（１４２）と、第１の半島とチャンバとの間に延在する第１の側壁及び第２の半島とチャンバとの間に延在する第２の側壁（１５２）とを備える。第１の側壁はチャンバに対して第１の角度（１５４）を成して方向付けられ、第２の側壁はチャンバに対して第２の角度（１５６）を成して方向づけられ、第２の角度は第１の角度とは異なる。
（もっと読む）

マイクロ流体噴出ヘッド用半導体基板。この基板は、該基板上に配置された複数の流体噴出アクチュエータを含む。それら流体噴出アクチュエータの各々は、薄膜ヒータと該ヒータと隣接する１つ或はそれ以上の保護層とを含む薄いヒータ・スタックを含む。前記薄膜ヒータが、ＡｌＮ、ＴａＮ、並びに、ＴａＡｌ合金から本質的に成るナノ-結晶世構造を有するタンタル・アルミニウム窒素薄膜材料から構成され、その薄膜材料が約３０から約１００オーム／スクエアまでの範囲のシート抵抗を有する。薄膜材料は、約３０から約７０原子％までのタンタル、約１０から約４０原子％までのアルミニウム、並びに、約５から約３０原子％の窒素を含有することから成る。 （もっと読む）

【課題】 複数の記録素子毎におけるドットの形成位置のバラツキの影響を小さくして、ラスタ間におけるドットの形成位置のずれを抑えることによって、画像品位の低下を防止することができる記録装置および記録方法を提供すること。
【解決手段】 複数のインク吐出口が複数列形成された記録ヘッドを用いて、記録ヘッドの主走査方向における複数のＰ回の主走査と被記録媒体の少なくとも１回の副走査方向の搬送とによって、互いに隣接するＮラスタ上のドットおよび互いに隣接するＭカラム上のドットを異なる条件で記録する記録方式において、画像データの同一レベルに対して用いられるドット配置パターンを複数、周期的に変更し、その複数のドット配置パターンとしては、それが繰り返し用いられる１周期内において、Ｎラスタのそれぞれに形成されるドット数、およびＭカラムのそれぞれにて形成されるドット数を均一化するパターンを用いる。 （もっと読む）