【課題】振動板の絶縁破壊が抑えられ、駆動回路の損傷が抑えられた液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】ノズルプレート３１が導電性セラミックスからなり、ノズルプレート３１は接地されているので、ノズルプレート３１に電荷が蓄積しにくく、電荷がノズル開口３１０から圧力発生室３２０を満たしたインクを流れて、振動板３３に到達しにくい。したがって、振動板３３に蓄積した電荷による振動板３３の絶縁破壊を抑えることができ、駆動回路３７０の損傷が抑えられたインクジェット式記録ヘッド１００を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】液体の特性を正確に検出して駆動波形を補正し、液体を適切に噴射させる。
【解決手段】液体噴射装置１００が、液体が充填された圧力室５０と、振動板Ｄfと、振動板Ｄfを変位させて圧力室５０内の液体の圧力を変動させる圧力発生素子４５とを含み、圧力室５０内の液体の圧力変動に応じて液体をノズル５２から噴射させる噴射駆動を実行可能な液体噴射ヘッド２４と、噴射駆動を実行させる駆動波形ＣＯＭを生成する駆動波形生成部６４と、圧力室５０内の液体を排出させるフラッシング動作を液体噴射ヘッド２４に実行させる制御部６０と、振動板Ｄfの残留振動Ｒvを検出する残留振動検出部３２４とを備える。制御部６０は、フラッシング動作により発生した残留振動Ｒvに基づいて液体の特性に応じた特性値Ｃvを算出し、特性値Ｃvに基づいて駆動波形ＣＯＭを補正する。 （もっと読む）

【課題】液体の溶媒によるリード電極とフレキシブル配線基板との接触不良が生じるまでの時間の長い液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】インク導入路１１１，４１０に連通するインク導入口４５からコンプライアンス基板４０を伝わって、コンプライアンス基板４０に形成された開口部４７の内面４８から保持孔１１３および貫通孔３２に向かうインクの溶媒の流れは、開口部４７の内面４８を覆う接着剤１２０によって妨げられ、保持孔１１３および貫通孔３２へ漏れる溶媒の量を減少できる。したがって、インクの溶媒が保持孔１１３および貫通孔３２へ漏れるまでの時間を稼ぐことができ、開口部４７の内面４８を覆う接着剤１２０がない構成と比較して、リード電極９０とＣＯＦ基板２１０との接触不良が生じるまでの時間が長いインクジェット式記録ヘッド１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】製造ロット毎に室温での硬化時間に差がある接着剤を用いて、効率良く電子部品の隙間を封止する。
【解決手段】第１工程Ｓ３で、接着剤として２液混合により重合を開始するものを用い、重合の開始後に一定時間Ｔ１の予備重合を行う。第２工程Ｓ４で、第１工程で予備重合された接着剤を用いて、各外装部材の隙間に接着剤を充填する。第３工程で、第２工程を経た両外装部材を接着剤硬化温度まで昇温させ、接着剤硬化温度で接着剤が硬化するまで保持する。接着剤の充填による接着エリア内の残存空隙が、第３工程での温度上昇による空気膨張によって前記接着エリアに破裂が発生しない破裂抑制粘度に接着剤がなってから、第３工程を開始する。残存空隙の熱膨張による破裂が抑えられ、接着エリアにボイドの発生が無く、耐久性や耐薬品性が向上する。 （もっと読む）

【課題】圧電体に発生するクラックが少なく、電極間の短絡や圧電素子の駆動不良の少ない安定した液体の噴射を行なう液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】流路形成基板１０の壁１５に形成された突出部１６の厚みは、流路形成基板１０の厚みより薄いので、突出部１６は流路形成基板１０と比較して変形し易い。また、振動板５６は対向面１０１と対向面１０１に連続した突出部１６の支持面１６０によって支えられているので、圧電体能動部３２０および振動板５６は連続して緩やかに変形することができる。したがって、圧電体能動部３２０の端３２１の圧電体層７０に応力が加わりにくく、圧電体層７０のクラックの発生を抑えることができ、下電極６０と上電極８０との間の短絡や圧電素子３００の駆動不良の少ない、安定したインクの吐出を行なうインクジェット式記録ヘッド１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】デバイスの小型化や高密度化が可能な薄膜圧電体を用い、高い圧電効果を発揮して、高効率で駆動、検出が可能となる薄膜圧電体デバイスを提供する。
【解決手段】基板Ｂ１上にペロブスカイト構造の誘電体材料を成膜した薄膜圧電体２を備える薄膜圧電体デバイス１は、基板Ｂ１下側に形成される圧力室２と、圧力室２を形成する上面となる薄膜状の従動膜３と、この従動膜３の上に積層され、所定の部位に電極を備える薄膜圧電体２と、を備え、薄膜圧電体２の滑り方向の変形（ｄ１５変形モード）を用いて入力信号を変換して出力信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】駆動劣化を抑制できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】圧電体４１は、結晶構造が正方晶のチタン酸ジルコン酸鉛によって形成されており、平面視において加圧室３１内に収まる範囲において、個別電極４３に重なる駆動部４１ａと、その外周の非駆動部４１ｂとを有する。圧電体４１の主面４１ｓに対してＣｕＫαのＸ線を照射して反射したＸ線の強度を測定するＸ線回折法を、主面４１ｓの平面視におけるＸ線の照射方向を駆動部４１ａを中心とする放射方向とし、主面４１ｓの側面視における主面４１ｓに対するＸ線の照射角度を変化させながら行うことによって測定される、（００２）面及び（２００）面に対応するピークの強度比（００２）／（２００）が、非駆動部４１ｂにおいて１．０以下である。 （もっと読む）

【課題】ヘッド全体がコンパクトになるように圧力室を配列する。
【解決手段】流路ユニットが主走査方向に関して長尺である。平行四辺形の２次元領域にマトリクス状に吐出口１０９が配置されている。この吐出口１０９に連通する圧力室１４１を、主走査方向に関する長さが副走査方向に関する長さより大きくなるように配置する。例えば、圧力室１４１の長尺方向が主走査方向に沿うように配置する。 （もっと読む）

【課題】鉛を含有せず、かつ膜剥がれ等の問題がなく、圧電特性の劣化のない圧電素子の製造方法、液体噴射ヘッド及び圧電素子を提供する。
【解決手段】酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５上にジルコニウムからなる密着層５６を形成する工程と、密着層５６上に第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上にビスマスを含む複合酸化物からなる圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上に第２電極８０を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】外部マニホールドを有する高密度インクジェットプリントヘッドアッセンブリの高精度かつより単純化された製造方法の提供。
【解決手段】隣接する圧電素子２０間の空間を満たしかつダイヤフラム３６に接触するように感光性の侵入型層５０を計量分配することと、隣接する圧電素子２０間の空間内の感光性侵入型層５０の第１の部分を除去し、かつ感光性侵入型層５０の第２の部分を隣接する圧電素子２０間の空間内に残すことと、隣接する圧電素子２０間の空間に感光性侵入型層５０の第２の部分が存在する状態で、各圧電素子２０と各圧電素子２０へ付着される電極１１４との間に電気経路を形成するために複数の圧電素子２０を複数の電極１１４へ付着することを含む方法。 （もっと読む）

【課題】性能検査の精度・効率を改善した液滴吐出ヘッドの吐出不良検査方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド３の検査対象となる複数の吐出ノズル３５から検査ワークＷに液滴を吐出着弾させる単位吐出工程Ｓ３１を、着弾位置をずらして２回行う検査吐出工程Ｓ３と、検査ワークＷ上の複数の着弾ドットＤを画像認識する単位認識工程Ｓ４１を２回行う画像認識工程Ｓ４と、画像認識の認識結果に基づいて、隣り合う着弾ドットＤの間隔をそれぞれ測定する単位測定工程Ｓ５１を２回行う測定工程Ｓ５と、測定した複数の着弾ドットＤの間隔と、良否の基準となる閾値範囲とをそれぞれ比較し、複数の吐出ノズル３５の良否を判定する単位仮判定工程Ｓ６１を２回行う仮判定工程Ｓ６と、仮判定工程Ｓ６において、少なくとも１回の単位仮判定工程Ｓ６１で「良」と判定された場合に、該当する吐出ノズル３５を正常と判定する本判定工程Ｓ８と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 液体噴出装置において、低コストで精度の高い駆動信号を生成して液体を噴出させる。
【解決手段】 （Ａ）信号の波形形状を規定するデジタル信号に基づいてアナログ電圧信号を生成する制御部と、（Ｂ）前記アナログ電圧信号を電圧増幅する電圧増幅部と、電圧増幅された前記アナログ電圧信号を電流増幅して駆動信号を生成する電流増幅部と、前記駆動信号によって駆動され、ノズルから液体を噴出させる素子と、を有するヘッド部と、（Ｃ）前記アナログ電圧信号を、前記制御部から前記ヘッド部へ伝送する伝送部と、（Ｄ）電圧増幅された後、かつ、電流増幅される前の前記アナログ電圧信号の電圧を測定して得られる値を記憶する記憶部と、を備える液体噴出装置であって、前記制御部は、前記記憶部に記憶された前記値を用いて前記デジタル信号を変更し、該デジタル信号に基づいて前記アナログ電圧信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の破壊を抑制して耐久性を向上した液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電アクチュエーターを提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、第１電極６０、該第１電極６０上に設けられた圧電体層７０及び該圧電体層７０上に設けられた第２電極８０を有し、前記圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧電アクチュエーター３００と、を具備し、前記圧電体層７０が、（１００）面に優先配向するペロブスカイト構造を有し、前記第２電極８０側の前記圧電体層７０の（１００）面に由来するＸ線の回折ピーク位置（２θ）を、前記第１電極６０側の前記圧電体層７０の（１００）面に由来するＸ線の回折ピーク位置（２θ）よりも小さくする。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換膜を繰り返し駆動させても、安定した圧電特性を得ることが可能な電気機械変換素子、電気機械変換素子の製造方法、液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板２２、下部電極１２と、電気機械変換膜１６、及び上部電極１８がこの順に積層された構成とされ、下部電極１２が、一般式（１）：ＡＢＯ_３で表され、Ａサイト元素とＢサイト元素との組成比率Ａ／Ｂが１．１以上であるペロブスカイト型導電性酸化物を主成分とし、電気機械変換膜１６が、化学溶液法により形成された、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とするペロブスカイト型酸化物強誘電体からなる。一般式（１）中、Ａは、Ｌａ、Ｓｒから選ばれる少なくとも１種のＡサイト元素を示し、Ｂは、Ｎｉ、Ａｌ、Ｍｏ、Ｃｏ、Ｒｕから選ばれる少なくとも１種を主成分とするＢサイト元素を示す。 （もっと読む）

【課題】従来の構造体より製造が容易な電気接点を有するプリントヘッドを製造する方法、及びプリントヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットプリントヘッドを形成するための方法は、複数の圧電素子２０をダイヤフラム３６へ付着することと、ダイヤフラムを覆って侵入型層５０を計量分配することと、複数の圧電素子に物理的かつ電気的に接触するように侵入型層へ複数のパターン化された導電トレース８０を形成することを含むことが可能である。複数のパターン化されたトレースは、例えばフォトリソグラフィ、リフトオフプロセス、レーザアブレーション、他を用いて形成されてもよい。複数のパターン化された導電トレースと複数の圧電素子との間の電気連通は、これらの２構造体間の表面接触を介して、別個の導体を要することなく確立される。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子は、第１電極１０と、第１電極１０の上方に形成され、貫通孔２２が形成された絶縁体層２０と、貫通孔２２の内部および貫通孔２２の上方に形成された第１部分３２、および絶縁体層２０の上方に形成された第２部分３４を有する圧電体層３０と、第１部分３２および第２部分３４の上方に形成された第２電極４０と、を含み、第２部分３４は、第１部分３２の周囲を囲み、圧電体層３０の側面３６は、絶縁体層２０の上面２４に接続されている。 （もっと読む）

【課題】圧電体層のクラックを抑制することができる圧電素子の製造方法、圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】絶縁体膜５５上に第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上に圧電体前駆体膜を形成し、圧電体前駆体膜を焼成することで結晶化した圧電体膜を形成する圧電体膜形成工程を繰り返し行って、複数層の圧電体膜からなる圧電体層７０を形成する工程と、を具備し、第１電極６０上に１層目の圧電体膜７２を形成した後、第１電極６０と圧電体膜７２とをパターニングすることにより、第１電極６０及び圧電体膜７２の側面を傾斜させる工程と、絶縁体膜５５上、第１電極６０及び１層目の圧電体膜７２の側面上、及び１層目の圧電体膜７２上に島状のランタンニッケル酸化物２００を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】小型化により全体的なコストを低減できる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口２１が設けられたノズルプレート２０と、圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と前記圧力発生室１２内の液体に圧力変化を生じさせる圧電アクチュエーター３００とを備えたアクチュエーターユニット２００と、圧力発生室１２とノズル開口２１とを連通する連通路１６が設けられた連通板１５と、アクチュエーターユニット２００が内部に配設されるように連通板と接合される枠体４０Ａであり、圧力発生室に供給する液体を貯留しておくマニホールド１００をアクチュエーターユニットと形成する第１のケース部材４０と、第１のケース部材４０に接合され、外部からマニホールド１００に液体を送る導入路４２が形成された第２のケース部材４１とを有する。 （もっと読む）

【課題】残留分極が小さく、電圧印加時に電歪効果によりアクチュエータとしての使用に十分な変位を示す、圧電特性に優れた非鉛薄膜アクチュエータ、それを用いた液体吐出ヘッド、および、インクジェットプリンタを提供する。
【解決手段】チタン酸バリウム、および、錫酸バリウムを主成分とするＢａ（ＳｎｘＴｉ１−ｘ）Ｏ３で表される複合酸化物薄膜を用い、前記複合酸化物薄膜の主成分中の錫酸バリウム添加量ｘが０＜ｘ≦０．１の範囲をとること。 （もっと読む）

【課題】膜厚にばらつきのないようにすることを可能とする電気機械変換膜の製造方法を提供する。
【解決手段】下地とする下地層の上に撥液性を有する機能性インクを塗布する工程と、塗布された機能性インクを乾燥させることで、その機能性インクが塗布された領域の周縁にバンクを有するコーヒーステイン形状のバンク膜５を形成する工程と、バンク膜の内側に、機能性インクとは異なる、電気機械変換膜用の機能性インク６の塗布と、その塗布された機能性インク６の焼成とを繰り返し行って電気機械変換膜７を形成する工程とを含む。 （もっと読む）