【課題】駆動周波数を高くすることが可能なインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】ヘッド６は、加圧室３１側から順に積層された、振動板３７、共通電極３９、圧電体４１及び個別電極４３を有する。圧電体４１は、個別電極本体４４が重なる駆動部４１ａと、その外周の非駆動部４１ｂとを有する。駆動部４１ａは厚み方向に分極されており、非駆動部４１ｂは駆動部４１ａに比較して厚み方向への分極がなされていない。駆動信号出力部８は、非駆動部４１ｂが、駆動部４１ａと同様の分極が施された状態から引張り応力が加えられることによりドメインスイッチング及びこれに伴う形状変化が生じたものであると仮定したときに、その形状変化が生じる前の状態の吐出素子１９における最高駆動周波数ｆｃよりも高い周波数で、共通電極３９と個別電極４３との間に電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】半導体プロセス中のプラズマや大気中の水分による圧電体の劣化を防止し、圧電素子の変位量を増大させると同時に、個別電極等の配線の制約を無くすことで、高い信頼性（耐湿性）と高い吐出特性を維持しつつ、小型のインクジェットヘッドを実現して提供する。
【解決手段】個別電極配線７と下部電極４との間に、絶縁膜９と絶縁膜１０とが形成されており、駆動信号入力部２０を除く個別電極配線７の形成領域を含む領域に、絶縁膜１１と絶縁膜１２とが積層されており、個別液室１の形成領域の一部に、絶縁膜１０と絶縁膜１１または絶縁膜９〜１１が開口する領域があり、圧電素子１５の形成部を含む領域であって、絶縁膜１０と絶縁膜１１との開口領域に絶縁膜９と絶縁膜１２とが形成されているか、または絶縁膜９〜１１の開口領域に、絶縁膜１２が形成されているインクジェットヘッドである。 （もっと読む）

【課題】電界印加時に発生する変位量の大きい非鉛系複合酸化物薄膜アクチュエータ、それを用いた液体吐出ヘッド、および、インクジェットプリンタを提供する。
【解決手段】チタン酸バリウム、および、チタン酸ニッケル酸ビスマスを主成分とする（１−ｘ）ＢａＴｉＯ３−ｘＢｉ（Ｎｉ０．５，Ｔｉ０．５）Ｏ３で表される複合酸化物薄膜を用い、前記複合酸化物薄膜の主成分中のｘが０＜ｘ≦０．１の範囲をとること。 （もっと読む）

【課題】絶縁性と圧電性が良好で、鉛とカリウムを含まない圧電材料を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で表わされるペロブスカイト型金属酸化物１ｍｏｌに対して、銅をｙ×０．０５ｍｏｌ％以上ｙ×２ｍｏｌ％以下含むことを特徴とする圧電材料である。一般式（１）（Ｎａ_ｘＢａ_１−ｙ）（Ｎｂ_ｙＴｉ_１−ｙ）Ｏ_３（式中、 ０．８０≦ｘ≦０．９５、０．８５≦ｙ≦０．９５） （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子１００は、第１電極１０と、第１電極１０の上方に、長手方向と短手方向とを有して形成された圧電体層２０と、圧電体層２０の上方に形成された第２電極３０と、を含み、圧電体層２０の前記短手方向の側面２２の少なくとも一部は、凹凸面２３であり、第２電極３０から第１電極１０に向かうに従って、圧電体層２０の前記短手方向の幅Ｗｙは、凹凸面２３によって変化する。 （もっと読む）

【課題】単一配向の結晶配向性が高いセラミックス薄膜を得ることができるセラミックス前駆体薄膜の製造方法および前駆体溶液を提供する。
【解決手段】本発明に係るセラミックス前駆体薄膜の製造方法は、金属アルコキシド溶液を希釈した希釈溶液に、アモルファス粉末を混合し、金属アルコキシド系化合物を含む前駆体溶液を作製する前駆体溶液作製工程と、前記前駆体溶液を用いてゲル膜を成膜するゲル膜成膜工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動板部材を電鋳で形成するときに圧電部材と接合する凸部のオーバーハング形状部を小さくすると凸部高さが確保できず、接合領域が狭くなり、薄肉部を狭くすると応答性が悪くなる。
【解決手段】振動板部材２は凸部２Ｂを構成する二段の電鋳膜である第２層２ｂ、第３層２ｃは、いずれも、パターンエッジ部分が薄肉部（第１層）２ａに対してオーバーハング形状で形成されているオーバーハング形状部１０１、１０２を有し、第２層２ｂ、第３層２ｃの積み重ね方向に沿う方向における断面において、第３層２ｃ（二段目の電鋳膜）のオーバーハング形状部１０２の第２層２ｂ（一段目の電鋳膜）のオーバーハング形状部１０１の弓形状の外周面１０１ａと対向する側（対向面）１０２ａは弓形状をなし、かつ、二段目のオーバーハング形状部１０２の先端１０２ｂは、第３層２ｃと第２層２ｂとの連結部分１１２よりも薄肉部２ａ側に位置している。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低減できる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体室となるリザーバの一部を構成するリザーバ部３１及び電導性を有する接続配線２００を有するリザーバ形成基板用ウェハ１３０と、リザーバ部３１と連通してリザーバを構成する連通部１３を含む液体流路及びリザーバ部３１と連通部１３との間を閉塞する配線層１９０を有する流路形成基板用ウェハ１１０と、が接合状態となった後に、上記液体流路に臨む壁面部に保護膜１６を形成する保護膜形成工程を有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、保護膜形成工程の前に、配線層１９０を貫通させる貫通工程と、接続配線２００を被覆する被覆膜１４０を形成する被覆膜形成工程と、を有するという手法を採用する。 （もっと読む）

【課題】支持部材が斜めに挿入されても確実に電気接続することができるインクジェットヘッドの電気接続構造を提供する。
【解決手段】液体が吐出される液体吐出口１２と、液体吐出口１２に連通する圧力室１６を構成する圧力室形成基板１８と、圧力室形成基板１８の液体吐出口１２の反対側に設けられたエネルギー発生素子２２と、を有し、圧力室形成基板１８のエネルギー発生素子２２側には凹部構造８２が設けられ、一方の端部がエネルギー発生素子２２に接続され、他方の端部が凹部構造２２内に配設された基板配線４８と、支持部材６２に接着され、支持部材配線のパターンが形成されたフレキシブル基板６０と、が当接され電気的に接続されたことを特徴とするインクジェットヘッドの電気接続構造である。 （もっと読む）

【課題】基板上に良好な圧電アクチュエータを容易に且つ低コストで作製できる圧電アクチュエータ作製方法を提供する。
【解決手段】アクチュエータを形成する基板１上に、第１電極となる第１導電膜１Ａを形成し、第１導電膜１Ａ上の所望のエリアに、自己組織化による単分子膜２を形成し、単分子膜２を圧電膜の短冊形状にパターニングして第１電極膜１Ａを短冊形状に露呈させ、露呈した第１電極膜部分１Ａ１に、圧電膜材料の前駆液６をインクジェット方式で塗布し、塗布された前駆液６を圧電膜に変質させ、圧電膜化された圧電膜の上に第２電極膜を形成し、前駆液６に対して、第１電極膜１Ａが親液性で、単分子膜２が疎液性となるように、これら３者の材料を調整し、圧電膜化工程が、塗布された前駆液を乾燥し、熱分解する乾燥・熱分解工程と、熱分解された圧電膜材料を結晶化させる結晶化工程を含む。 （もっと読む）

【課題】ヘッド構成部品の多くに高い平面度が要求されて接合信頼性の確保が難しく、またヘッドが大型化する。
【解決手段】ノズル板５１とフレーム部材５５はヘッド部１Ａ〜１Ｄに共通の部材であり、フレーム部材１７は２つのヘッド部１、１間でノズル板５１と接合する第１接合部分６１と、振動板部材３と接合する第２接合部分６２とを有し、第１接合部分６１と第２接合部分６２とは段違い位置でノズル板５１及び振動板部材３と接着剤７０にて接合され、第１接合部分６１は２つのヘッド部１、２間の流路間隔壁を形成している。 （もっと読む）

【課題】 共通液室の面積を大きくすることなくダンパー室による圧力変動の減衰効果を高め、さらに、ダンパー室内の気体を共通液室内の液体と接触させつつ両者の混合を抑制可能な、液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】 インクジェットヘッド３は、複数のノズル４５と、複数のノズル４５にそれぞれ連通した複数の圧力室４３と、複数の圧力室４３と共通に連通するマニホールド４１が形成された流路ユニット３１と、複数の圧力室４３内のインクに選択的に圧力を付与する圧電アクチュエータ３２とを備えている。流路ユニット３１は、さらに、マニホールド４１の上方に配置された第１ダンパー室４７と、マニホールド４１と第１ダンパー室４７を上下に仕切る仕切り壁２８ａを有し、仕切り壁２８ａには、マニホールド４１と第１ダンパー室４７とを連通させる連通孔２８ｃが形成されている。 （もっと読む）

【課題】加圧液室はもとより補強部においても構造コンプライアンスのばらつきを低減することが可能な液体吐出ヘッド及びこれを用いる記録装置を提供する。
【解決手段】振動板６１と、振動板６１の一方の面上に形成された変位発生手段７０と、振動板６１の他方の面に接続し流路隔壁６６ａにより区画されてなる加圧液室６６ｂと、加圧液室６６ｂに連通するノズル孔６７ａとを有し、加圧液室６６ｂに収容された液体が変位発生手段７０により生じた振動板６１の変位により加圧され、加圧された液体をノズル孔６７ａより液滴として吐出する液体吐出ヘッド７において、振動板６１の一方の面上かつ流路隔壁６６ａと対向する位置であって流路隔壁６６ａよりも加圧液室６６ｂ側に突出する補強部材６８を設け、補強部材６８を少なくとも２層以上の複数層を有する積層体から構成し、積層体を構成する全ての層の中で最大の曲げ剛性を有する層６８ｂを振動板６１に接する層以外の層とした。 （もっと読む）

【課題】樹脂部材からなるヘッドベース部材に配線パターンやドライバＩＣを形成した場合、駆動時の発熱による変形や圧電部材加工時の強度が得られない。
【解決手段】ヘッドベース部材１３は、圧電部材１２を接合固定した、樹脂材料などの絶縁材料からなる第１部材１０１と、第１部材１０１よりも剛性が高いＳＵＳなどの金属材料からなる第２部材１０２とを積層して形成し、第１部材１０１には、電気回路としての配線パターン１０３が形成され、第１部材１０１の側面に形成された配線パターン１０３と圧電部材１２の駆動柱１２Ａの電極２３、２４とはフレキシブル配線基板であるＦＰＣ１０４で接続されている。 （もっと読む）

【課題】圧電特性に優れ、長期に亘って良好な吐出特性を維持することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子のエージング方法を提供する。
【解決手段】 ニッケル酸ランタン層を備える第１電極を形成する工程、ニッケル酸ランタン層上方に圧電体層を形成する工程、及び圧電体層上方に第２電極を形成する工程を備える圧電素子形成工程と、圧電素子に対して印加する最大駆動電圧差の６０％以上７０％以下の電圧を印加するエージング工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】振動板部材を電鋳で形成するときに位置合わせパターンを形成する領域の厚みが不均一になって高い精度で中心位置がずれ、圧電部材との接合精度が低下する。
【解決手段】振動板部材２は、電鋳で形成され、圧電部材１２の駆動柱１２Ａが当接する厚肉部からなる島状凸部２ｂと島状凸部２ｂの周囲の薄肉部２ａとからなるアイランド部２０を有し、振動板部材２には圧電部材１２と位置合わせするときの位置合わせパターンとして貫通穴２１、２１が形成され、貫通穴２１のノズル配列方向の両側にはアイランド部２０と同じ形状の肉抜きパターン２２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】配向制御層をスパッタ法で形成するためにエッチング工程が必要になるとともに無駄な材料消費が生じる。
【解決手段】第１の電極上に電気機械変換素子を形成する素子形成領域の表面改質を行う工程と、素子形成領域に配向制御層となるゾルゲル液を第１の液体吐出ヘッドから吐出させて塗布し、配向制御層を成膜する工程と、成膜された配向制御層上に電気機械変換膜となるゾルゲル液を第２の液体吐出ヘッドから吐出させて塗布し、電気機械変換膜を成膜する工程と、成膜された電気機械変換膜上に第２の電極を形成する工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】作業工程の短縮と、電気機械変換膜のパターン形状の質を向上させる電気機械変換膜の製造方法、並びに、これにより得られた電気機械変換膜、該電気機械変換膜を備えた電気機械変換素子、該電気機械変換素子を備えた液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】少なくとも所望の位置を除く基板上に撥液膜を形成し、次いで、前記所望の位置にゾルゲル液を塗布し、さらに、前記ゾルゲル液をレーザ光源よりレーザ光を照射して結晶化して電気機械変換膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータの電極が破断されて分断されることを防止する。
【解決手段】
圧電アクチュエータ７は、圧電材料からなり、圧力室２４と対向するように配置された圧電層４１と、圧電層４１の一方の面の圧力室２４と対向する領域に設けられた個別電極４２と、圧電層４１の他方の面の圧力室２４と対向する領域に設けられた共通電極とを有し、個別電極４２に、局部的に電極厚さが大きい補強部４２ａが環状に設けられている。この補強部４２ａが設けられているため、個別電極４２の一部に破断が起きた場合であっても、電極全体が分断されることを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドの接合信頼性を向上できる製造方法の提供。
【解決手段】接着剤として使用するエポキシ接着剤は、（Ａ）水酸基を持たないエポキシ樹脂モノマー、（Ｂ）硬化剤、（Ｃ）式１で示されるシラノール基を持つシランカップリング剤（１０重量％〜３０重量％）が含まれている処方とし、エポキシ接着剤を、希釈溶剤で希釈した状態で接合する部材の一方の部材に塗布する工程と、減圧下で希釈溶剤を蒸発させる工程と、高湿度雰囲気で加湿した状態で、２つの接合する部材をエポキシ接着剤を介して接合する工程と、を行う。


（ただし、式中、Ｒ１〜Ｒ３は、炭化水酸基（炭素数１〜３）、Ｒ４は、アミノ基,グリシジル基,エポキシ基,炭化水素鎖,エーテル鎖） （もっと読む）