【課題】付随液滴がノズル孔の縁に付着して塗布対象物上の狙いの位置に塗布液が塗布できなくなるのを抑制できる薄膜製造装置、前記薄膜製造装置で製造した電気機械変換薄膜を備えた電機機械薄膜素子、液滴吐出ヘッド、及び、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル孔とノズル板電極とを有するノズル板が設けられた液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドと対向する塗布対象物と、塗布対象物を介して液滴吐出ヘッドと対向する対向電極と、対向電極に電圧を印加する対向電極電圧印加手段と、ノズル板電極に電圧を印加するノズル板電極電圧印加手段とを備えた薄膜製造装置において、ノズル孔を基点にして所定方向にノズル板電極が２つ以上並んでおり、各ノズル板電極からの静電気力で付随液滴を前記所定方向に移動させ、ノズル孔側から２番目以降の所定のノズル板電極に付随液滴が静電気力で引き寄せられて回収されるように、各ノズル板電極に電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】簡素化した工程でパターン化と高品質な結晶性を有する電気−機械変換膜が形成可能な電気−機械変換素子とその製造方法、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板又は下地膜上に第1の電極１１を形成する工程と、第１の電極１１表面にパターン化されたセラミック薄膜１２’を形成する工程と、セラミック薄膜１２’上に電気−機械変換膜１５を形成する工程［第1工程(第1の電極１１のみを表面改質させて疎水性部位を形成)、第2工程(セラミック薄膜１２’上に、前駆体溶液２２を印刷してCSD法により塗膜１４を形成)、第3工程(塗膜１４を熱処理)、第4工程(第1工程〜第3工程を繰返して電気−機械変換膜１５を所望の膜厚に形成)を含む］と、電気−機械変換膜１５上に第2の電極を形成する工程とを備えた製造方法により電気−機械変換素子を作製し、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】低コストで所望パターンの電気機械変換膜を形成することができる。
【解決手段】基板１１上の下部電極に形成された電気機械変換膜上に、塗布領域の所定のパターンに合わせて形成されたガラスマスク１４の透過領域１４−１を通してレーザ光１８を一方向での走査しながら照射する。ガラスマスク１４の遮光領域１４−２によってレーザ光１８が遮光され、エッチングされて残ったＳＡＭ膜１２には照射されない。このため、エッチングされて残ったＳＡＭ膜１２のパターン形状は変わらない。 （もっと読む）

【課題】部品の大型化やコストアップすることなく、液滴吐出ヘッドに印加される駆動信号の変化を低減し、液滴吐出ヘッドの液滴吐出特性を安定化することができる液滴吐出ヘッドの駆動装置を提供すること。
【解決手段】複数のノズルごとに対応して対向配置された電極を備える圧電素子に、駆動信号を印加して前記ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドの駆動装置であって、前記電極の一方は、基準電位が与えられる基準電位部に接続し、前記電極の他方は、並列接続されて選択的にオンオフ制御される複数のスイッチング素子の一端に接続し、前記スイッチング素子の他端は駆動信号源に接続され、前記スイッチング素子のうちの少なくとも一つは、オン制御した状態で駆動信号を印加しても前記ノズルから液滴を吐出しない通電特性を有し、前記ノズルのうちの一つ以上から液滴を吐出させる際に、液滴を吐出しない前記ノズルの前記通電特性を有する前記スイッチング素子をオン制御する。 （もっと読む）

【課題】電気−機械変換膜がインクジェット工法で安定して形成でき、熱処理においても密着性が低下しない電気−機械変換素子と液滴吐出ヘッド及びインクジェットプリンタを提供する。
【解決手段】電気-機械変換素子は、基板３０１または下地膜上に形成された、一般式ABO₃(但し、Aは、Sr、Ba、Ca、La、から選択される元素を示し、Bは、Ru、Co、Ni、Mn、Al、Crから選択される元素を示す。）で表されるペロブスカイト構造を有する酸化物から成る密着層３０３と、その上に形成された金属から成る第１の電極３０４と、電極３０４上に形成された導電性酸化物から成るパターン化された第２の電極３０５と、第２の電極３０５上に第１の電極３０４表面のみを疎水性領域とする改質処理を介してインクジェット工法により形成された電気-機械変換膜３０６と、その変換膜３０６上に形成された導電性酸化物から成る第３の電極３０７とを備える。 （もっと読む）

【課題】耐溶剤性および柔軟性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッドを製造可能な接着剤、かかる接着剤を用いて製造された液滴吐出ヘッド、かかる接着剤を用いて製造する液滴吐出ヘッドの製造方法、およびかかる液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズルプレート１０と、振動フィルム３０および支持板４０で構成される振動板と、圧電素子５０とを有し、基板２０とノズルプレート１０との間、基板２０と振動フィルム３０との間および振動フィルム３０と支持板４０との間が、接着剤を用いて形成された接着層１５、２５、３５を介して接合されており、接着剤は、アルケンとアルケニレンジカルボン酸とを含む、固形状をなす共重合体と、架橋剤とを主材料として含有するものである。 （もっと読む）

【課題】従来の構造体より製造が容易な電気接点を有するプリントヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の圧電素子２０を備えるジェット・スタック・サブアセンブリ３０をプレス内に配置することと、複数の導電性パッド６４を有するフレキシブルプリント回路６０（フレックス回路）を複数の圧電素子２０と位置合わせすることと、複数の導電性パッド６４を変形させるためにプレス内でフレックス回路６０に圧力を印加することと、を含み、プレス内の複数の導電性パッド６４の変形中、複数の導電性パッド６４と複数の圧電素子２０との間に電気接触が確立される、方法。 （もっと読む）

【課題】液体を吐出する駆動波形と液体を微駆動する駆動波形とを生成することができる液体吐出ヘッドの駆動方法を提供する。
【解決手段】液体吐出ヘッドの駆動方法であって、共通駆動波形を生成する工程と、ノズルから液体を吐出させない程度に液体を加圧するための微駆動波形に対応する波形成分を共通駆動波形から選択する工程と、波形成分から微駆動波形の始期に対応する第１の位相を選択する工程と、微駆動波形の終期に対応する第２の位相を選択する工程と、第１の位相と第２の位相とに基づいて、微駆動波形を生成する工程と、を含み、第２の位相は、最初の立ち下り終了時点からｄＴを加算した時点であり、ｄＴは、Ｔｐ＋Ｔｃ×（１／４）×（４ｎ−７）＜ｄＴ＜Ｔｐ＋Ｔｃ×（１／４）×（４ｎ−５）の範囲内であり、Ｔｃはヘッドのヘルムホルツ周期、Ｔｐは吐出速度が極大値を示すパルス幅の値のうちの最小値であり、ｎは自然数である。 （もっと読む）

【課題】プリンティング装置を提供する。
【解決手段】圧力チャンバ内のインクが吐出される出口を含むノズル１２８と、該ノズル１２８周囲に位置し、上記出口と同じ向きに開口され、前記出口が前記開口内部に延びているトレンチ１６０とを含む流路プレート１１０と、圧力チャンバ内のインクに、吐出のための圧力変化を提供する圧電アクチュエータ１３０と、ノズル内のインクに静電駆動力を提供する静電アクチュエータ１４０と、を含むプリンティング装置である。 （もっと読む）

【課題】接合層の膨潤片による液体流動への悪影響防止し得る液体噴射ヘッドおよびそれが装備された液体噴射装置を提供する。
【解決手段】圧力発生室ユニット２４と、供給口形成基板９と、共通液体室形成基板７と、ノズルプレート６とが層状構造として形成され、供給口形成基板９に、共通液体室２から圧力発生室４に液体を導入する導入流路１３が設けられ、供給口形成基板９および共通液体室形成基板７に、圧力発生室４からノズル開口５に液体を供給する供給流路１４が設けられ、共通液体室形成基板７の導入流路１３側の表面７ａに、共通液体室２と導入流路１３とを連通させる制御流路２５が形成されている。上記構成により、制御流路２５の液体流動の制御により、液体噴射時に液体が共通液体室２に逆流する量を低減させ、圧力発生室４への液体導入時には、液体導入量を増量させる。 （もっと読む）

【課題】クラックの発生が抑制された圧電体層を有する圧電素子を具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１から液体を吐出する液体噴射ヘッドＩであって、圧電体層７０と圧電体層７０に設けられた電極６０，８０を備えた圧電素子３００を具備し、圧電体層７０は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、平均結晶粒径が１２０ｎｍ以上２５２ｎｍ以下である液体噴射ヘッドＩとする。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ歪量が高い液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１から液体を吐出する液体噴射ヘッドであって、弾性膜５０上に、第１電極６０と、圧電体層と、圧電体層上に設けられた第２電極と、を具備する圧電素子３００を備え、圧電体層は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含むペロブスカイト構造の複合酸化物からなり、圧電体層の膜厚を６２０ｎｍ以上１５２０ｎｍ以下の範囲とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は圧電素子、インクジェットプリントヘッド及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明の一実施例による圧電素子は、圧電素子用圧電体組成物１００重量部に対し、９０重量部以上１００重量部未満のＰｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ_３を含む圧電セラミックパウダーと、０重量部超過１０重量部以下のガラスフリットとを含み、ガラスフリット１００重量部に１０から２０重量部のＺｎＯを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】圧電式インクジェットプリンティング・モジュールの熱サイクル間のインク速度の低下を減じる方法及び、圧電式インクジェットプリンティング・モジュールを分極する方法を提供する。
【解決手段】圧電素子３４はフィルム３０の上に合わされる。圧電素子３４は、フィルム３０に接する圧電素子３４の側に電極４０を有する。電極４０は、フィルム３０の５１側で電気接点３１と合わせられ、電極が駆動統合回路によって個々に対処されるようにする。電極４０は圧電素子３４の表面上の半導体被膜３６上に配置される。 （もっと読む）

【課題】液滴の微小化を図る。
【解決手段】本発明は、チャンバー内の圧力を変動させるための第１素子と、前記チャンバー内の液体を吐出するノズルの流路の断面積を変動させるための第２素子とを備えたヘッドと、前記第１素子及び前記第２素子の駆動を制御するコントローラーとを備えた液体吐出装置である。前記コントローラーは、前記ノズルの外側に液柱を形成させるように前記第１素子を駆動した後に、前記ノズルの流路の断面積を拡張させるように前記第２素子を駆動することによって、前記ノズルから液滴を吐出させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の破壊を抑制して、流路ユニットとアクチュエーターユニットとの位置決め精度を向上して、液体噴射特性のばらつきを低減することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体の流路が設けられた流路ユニット１６と、該流路ユニット１６の一方面側に接合されるアクチュエーターユニット１８と、を具備し、前記流路ユニット１６の前記アクチュエーターユニット１８が接合される面には、絶縁性を有する絶縁膜２５と、該絶縁膜２５上に独立して複数設けられた導電性を有する島部２７と、を具備し、前記アクチュエーターユニット１８は分極処理された圧電素子１７を具備し、該圧電素子１７が前記島部２７に接合される液体噴射ヘッド１０の製造方法であって、前記圧電素子１７と前記島部２７とを近接させた際に発生する静電場によって生じる電流を測定することで、前記島部２７に対する前記圧電素子１７の位置決めを行って、前記アクチュエーターユニット１８を前記流路ユニット１６に接合する。 （もっと読む）

【課題】増幅される波形の精度を高めつつ省電力を図ること。
【解決手段】入力信号を増幅信号に増幅する増幅回路であって、前記入力信号と前記増幅信号との差分に応じて密度変調した密度変調パルスを出力するパルス密度変調部と、前記密度変調パルスの出力を前記差分に応じて遅延させる遅延回路と、前記増幅のための電力を供給する電力供給部と、前記遅延回路から出力されたパルスに応じて、前記電力供給部からの電力供給のスイッチを切り替えて前記増幅信号を出力するスイッチ部と、を備える増幅回路。 （もっと読む）

【課題】インクジェット式記録ヘッドの記録装置内への組付け作業性を向上し、作業時に発生する不具合を防止する。
【解決手段】ヘッド部29上方に配置されたインクタンク27と、シリアル-パラレル変換画像データ制御素子23を搭載した第１のリジッド基板24と、パラレル伝送される画像データ信号に応じて、圧電素子に駆動波形を入力する圧電素子駆動素子を搭載した第２のリジッド基板28と、両基板を電気的に接続するＦＰＣ基板25とを備え、第１のリジッド基板24のＦＰＣ基板25側とは反対側に、上位基板と接続するコネクタ20を備え、コネクタ20がインクタンク27の上面に配置され、第１のリジッド基板24がインクタンク27の側面に配置され、第２のリジッド基板28がインクタンク27とヘッド部29の間に挟持され、ＦＰＣ基板25が第１のリジッド基板24と第２のリジッド基板28の間に屈曲した状態で配置される。 （もっと読む）

【課題】液体流路内の液体の粘度上昇を防止しつつ、小型化に対応することが可能な液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ケース部材１３は、複数のケース構成部材１３ａ，１３ｂを積層して構成され、各ケース構成部材のうち、少なくとも１つに制御通路３３が形成され、且つ、各ケース構成部材には、大気開放通路３２又は制御通路３３のうち、少なくとも何れか一方が形成され、各通路３２，３３がケース構成部材の積層状態で一連に連通して大気開放されている。 （もっと読む）

【課題】酸素欠陥が少なく、圧電特性に優れた圧電体膜を形成する。
【解決手段】一般式(Ｎａ_ｘＫ_ｙＬｉ_ｚ)ＮｂＯ_３ (０≦ｘ≦１、０≦ｙ≦１、０≦ｚ≦０．２、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１)で表されるペロブスカイト構造のアルカリニオブ酸化物からなる
圧電体膜であって、前記アルカリニオブ酸化物は、擬立方晶、正方晶、斜方晶、単斜晶、菱面体晶、またはそれらが共存した結晶構造を有しており、前記アルカリニオブ酸化物のＫ原子周囲の結合状態において、Ｋ−Ｏ結合とＫ−Ｍｅｔａｌ結合との合計を１００％としたとき、前記Ｋ−Ｏ結合の割合が４６．５％以上、前記Ｋ−Ｍｅｔａｌ結合の割合が５３．５％以下の圧電体膜である。 （もっと読む）