【課題】環境負荷が小さく且つ歪量が大きい液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１から液体を吐出する液体噴射ヘッド１であって、圧電体層７０と圧電体層７０に設けられた電極６０、８０とを具備する圧電素子３００を備え、圧電体層７０は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、圧電体層７０に駆動電圧を印加したときの変位量をＺ_ｍａｘ、その後印加電圧を０Ｖにしたときの変位量をＺ_０、さらにその後に駆動電圧と逆極性の電圧を印加したときの、変位量の最小値をＺ_ｍｉｎとしたときに、（Ｚ_０−Ｚ_ｍｉｎ）／（Ｚ_ｍａｘ−Ｚ_０）が０．０８以上０．４５以下を満たす。 （もっと読む）

【課題】ヘッド部材間の隙間に充填される接着剤により生じる不具合を防止する。
【解決手段】複数の基板を層畳して構成され、液体吐出面に形成されたノズルから液体を噴射するヘッド本体と、前記液体吐出面とは反対側の面で前記ヘッド部材に固定されるヘッドケースと、を備える複数のヘッド部材と、前記ヘッド部材が前記吐出面側の部位で位置決め固定される固定板と、前記固定板に固定されたヘッド部材と他のヘッド部材との隙間に所定の高さにまで充填し硬化された接着剤からなる補強部と、を有し、前記ヘッドケースの側面には、段部が設けられており、前記補強部の最上部が前記段部よりもノズル側にある構成としてある。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録ヘッド先端部や該ヘッド流路内における目詰まりや汚れがなく、高速印字で高精細画像を得ることができ、高速印字時に過不足なく供給される記録液と該記録液を使用したラインヘッド搭載の画像形成装置を提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッドに用いる記録液であって、水と、色材と、湿潤剤と、浸透剤として２,４-ジエチル-１,５-ペンタンジオールとを含み、湿潤剤の含有量が全液媒体に対して１０〜３５質量％であり、寿命１０ｍｓｅｃにおける表面張力が４０ｍＮ／ｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】記録媒体が傾いたとしても記録媒体上に形成された画像に白い筋状の印字むらが生じるのを防止でき、高画質な画像を得られるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、記録媒体の搬送方向と直交する方向に配列された複数のノズル列を有する。各ノズル列は、記録媒体に向けてインクを吐出する複数のノズルを含む。ノズルは、記録媒体の搬送方向と直交する方向に一定のピッチで並んでいるとともに、ノズル列毎に記録媒体の搬送方向に互いに間隔を存して配置されている。各ノズル列の一端に位置された少なくとも一つのノズルは、当該ノズルに対し一定のピッチで並んだノズルの配列方向に最も近接された他のノズルよりも記録媒体の搬送方向に沿う上流側に設けられている。各ノズル列の他端に位置された少なくとも一つのノズルは、当該ノズルに対し一定のピッチで並んだノズルの配列方向に最も近接された他のノズルよりも記録媒体の搬送方向に沿う下流側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】製造工程において受けたダメージを回復して変位量の均一性や信頼性の良好な圧電素子を提供する。
【解決手段】
本発明にかかる圧電素子の製造方法は、基体側の上方に第１電極を形成する工程と、前記第１電極の上方に圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層の上方に第２電極を形成する工程と、前記第２電極および前記圧電体層の少なくとも一部をパターニングして、前記第１電極、前記圧電体層、および前記第２電極を有するキャパシタ構造部を形成する工程と、前記キャパシタ構造部の少なくとも一部を被覆する保護膜を形成する工程と、第１のアニールを行う工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】端子や配線を共通化しても問題なく、圧電層の第２電極と対向する部分を面方向に収縮させて、圧電層の第１電極と対向した部分に生じた圧縮応力を緩和させる。
【解決手段】圧電アクチュエータ７は、それ自身よりも線膨張係数の大きな流路ユニット６に接合された圧電層４１、４２と、圧電層４２の表面に配置された個別電極４４及び個別電極４４を取り囲んで配置された外周電極４５とを有している。外周電極４５は、個別電極４４よりもガラス材料内に含有された金属粒子の径が大きな材料で形成され、個別電極４４と導通している。そして、外周電極４５と圧電層４２との間には低誘電層が形成されている。 （もっと読む）

【課題】回路の発熱を抑えて耐久性を向上させることが可能な液体吐出装置を提供する。
【解決手段】圧電素子２０を駆動してインクを吐出させるための吐出パルスを含む第１駆動信号ＣＯＭ１を規定発生周期で発生する第１駆動信号生成部９Ａと、吐出パルスを含む第２駆動信号を規定発生周期で発生する第２駆動信号生成部９Ｂと、インクの吐出を制御する画素データＳＩに基づいて、第１駆動信号ＣＯＭ１又は第２駆動信号ＣＯＭ２に含まれる吐出パルスを選択的に圧電素子に供給してインクの吐出を制御する制御部６と、を備え、制御部は、画素データに基づいて、第１駆動信号又は第２駆動信号のうちの何れか一方をノズル列毎に選択して当該ノズル列の圧電素子に対して供給する。 （もっと読む）

【課題】カバーヘッドの変形を防止してノズルプレートを確実に接地させることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出するノズル開口５１が開口したノズルプレート５０を備えるヘッド本体３０と、ノズル開口５１が露出する開口を有するカバー部７１、及びカバー部７１に連続して延設された脚部７２から構成されたカバーヘッド７０と、ヘッド本体３０を保持するとともに、固定部９２にカバーヘッド７０の脚部７２が固定される流路部材９０とを具備し、カバー部７１は、開口の縁部がノズルプレート５０に接触し、脚部７２は、基端部７６から先端部７７までの長さが、先端部７７とヘッド本体３０とを仮想的な直線で結んだ最短距離よりも長い。 （もっと読む）

【課題】複合酸化物を生成させる回数が増加しても、電極を疎水化させることが可能な電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子並びに吐出ヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】複合酸化物膜１２が形成されている共通電極１１上の複合酸化物膜１２が形成されていない領域に自己組織化単分子膜１３を形成して疎水化し、共通電極１１上の自己組織化単分子膜１３が形成されていない領域にゾルゲル液１４を塗布、仮焼して複合酸化物膜１４'を形成し、複合酸化物膜の積層体１５を形成し、複合酸化物膜の積層体１５が形成された共通電極１１を酸洗浄し、複合酸化物膜の積層体１５が形成されていない領域に自己組織化単分子膜を形成して疎水化させ、共通電極１１上の自己組織化単分子膜が形成されていない領域にゾルゲル液を塗布し、ゾルゲル液が塗布された共通電極１１を仮焼して複合酸化物膜を形成し、複合酸化物膜の積層体を形成する。 （もっと読む）

【課題】さらなる高精細印字の実現が求められている。
【解決手段】インクジェットヘッド１は、その長手方向に沿って複数配列された圧力室３６を有する圧電部材２３と、圧電部材２３が接着される基板２０と、基板２０及びノズルプレート２２に接着され、圧電部材２３包囲する枠部材２１と、複数のノズル３３を有するノズルプレート２２と、インク供給路４１と、インク排出路４２と、圧電部材２３の両端部に隣接して基板に設けられた供給穴２９と、圧電部材２３の両端部に隣接して基板に設けられた排出穴３０と、共通液室２４内にインクを循環させるインク供給装置２と、を備え、インク供給路４１及びインク排出路４２は、その圧力損失抵抗が同等に形成され、ノズル３３からのインクの吐出時又は非吐出時において、複数のノズル３３の圧力が一定に形成される。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートを薄型化しても、インクを良好に吐出できるようにする。
【解決手段】ノズルプレートに、圧電体膜とこの圧電体膜を動作させてインク圧力室内のインクをノズルから吐出させる駆動電極とからなるアクチュエータを一体的に配設するインクジェットヘッドにおいて、前記アクイチュエータに前記インク圧力室側に向かって突設され、内部に前記ノズルと前記インク圧力室とを連通させてノズル長を延伸させる通路を有するノズル延伸部を具備する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドのイオンマイグレーション耐性を向上させる。
【解決手段】吐出ダイ１７は、吐出口、圧電素子、プリント配線パターン、駆動ＩＣ、第１端子部３２を有する。フレキシブル配線回路基板１２は、第２端子部３４を有し、この第２端子部３４が吐出ダイ１７の第１端子部３２に接合される。第２端子部３４の銅または銅合金配線の表面には、１，２，３トリアゾールまたは／および１，２，４トリアゾールを含む処理液を接触させて、銅イオン拡散抑制皮膜７７を形成する。第１端子部３２に第２端子部３４を接合し、これらを電気的に接続する。銅イオン拡散抑制皮膜７７により銅イオンが拡散することがなく、銅イオンによるマイグレーションの発生が抑えられる。マイグレーションの発生に起因する誤動作がなくなる。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式の画像形成装置等に備えられ、下地電極にルテニウム酸ストロンチウムを用い、、膜剥がれに対する耐久性を向上し経時的に安定した駆動力を得る電気−機械変換素子、これを備えインク等の液滴を吐出するヘッド、これを備えた液滴吐出装置、これらを備えたかかる画像形成装置の提供。
【解決手段】電気−機械変換素子１０が、化学式ＡＢＯ３で記述されるペロブスカイト構造を有し、Ａ＝Ｌａ、Ｓｒ、Ｂ＝Ｍｎ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｒｕの何れか１つ以上から構成されている密着層１３と、密着層１３上に形成されたＰｔ族の金属からなる電極１４と、電極１４上に形成された電極１５と、電極１５上に形成された電気−機械変換膜１６と、膜１６上に形成された電極１７と、電極１７上に形成されたＰｔ族の金属からなる電極１８とを有し、電極１５、１７は、ＳＲＯ等からなる。 （もっと読む）

【課題】膜内部の組成均一性が高く良好な強誘電体特性・圧電体特性を有する強誘電体膜を低コストで得ることが可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法及び製造装置。
【解決手段】供給工程と搬送工程と位置出し工程と成膜工程と焼成工程と冷却工程とを具備し、一連の動作を所定回数実行することにより圧電体層を構成する所定厚さの強誘電体膜を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、成膜工程にて２種類以上の前駆体液をシリコンウェハ５０に滴下して前駆体膜７２を形成する方法であり、複数の前駆体液は単一のノズルから滴下し、複数の前駆体液送液ライン中には複数の前駆体液を任意の比率に混合可能な混合器を備え、成膜回数に応じてシリコンウェハ５０に滴下する前駆体液の混合比を変化させつつ前駆体膜７２を成膜する。その後の焼成工程を含めた一連の動作を所定回数実行して所定厚さの圧電体層を構成する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式の画像形成装置等に備えられ、振動板の表面粗さを適正にすることにより、下部電極、電気−機械変換膜の結晶配向を適正化し、経時的に安定した駆動力を得る電気−機械変換素子、これを備えインク等の液滴を吐出するヘッド、これを備えた液滴吐出装置、これらを備えたかかる画像形成装置の提供。
【解決手段】電気−機械変換素子１０が、基板１１上に形成された振動板１２と、振動板１２上に直接又は間接的に形成された下部電極２１と、下部電極２１上に形成された電気−機械変換膜１６と、電気−機械変換膜１６上に形成された上部電極２２とを有し、下部電極２１は（１１１）配向を有する層を含み、電気−機械変換膜１６は（１１１）を優先配向とするＰＺＴからなり、振動板１２は表面粗さが５ｎｍ以下のポリシリコン層を含む。 （もっと読む）

【課題】付随液滴がノズル孔の縁に付着して塗布対象物上の狙いの位置に塗布液が塗布できなくなるのを抑制できる薄膜製造装置、前記薄膜製造装置で製造した電気機械変換薄膜を備えた電機機械薄膜素子、液滴吐出ヘッド、及び、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル孔とノズル板電極とを有するノズル板が設けられた液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドと対向する塗布対象物と、塗布対象物を介して液滴吐出ヘッドと対向する対向電極と、対向電極に電圧を印加する対向電極電圧印加手段と、ノズル板電極に電圧を印加するノズル板電極電圧印加手段とを備えた薄膜製造装置において、ノズル孔を基点にして所定方向にノズル板電極が２つ以上並んでおり、各ノズル板電極からの静電気力で付随液滴を前記所定方向に移動させ、ノズル孔側から２番目以降の所定のノズル板電極に付随液滴が静電気力で引き寄せられて回収されるように、各ノズル板電極に電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】簡素化した工程でパターン化と高品質な結晶性を有する電気−機械変換膜が形成可能な電気−機械変換素子とその製造方法、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基板又は下地膜上に第1の電極１１を形成する工程と、第１の電極１１表面にパターン化されたセラミック薄膜１２’を形成する工程と、セラミック薄膜１２’上に電気−機械変換膜１５を形成する工程［第1工程(第1の電極１１のみを表面改質させて疎水性部位を形成)、第2工程(セラミック薄膜１２’上に、前駆体溶液２２を印刷してCSD法により塗膜１４を形成)、第3工程(塗膜１４を熱処理)、第4工程(第1工程〜第3工程を繰返して電気−機械変換膜１５を所望の膜厚に形成)を含む］と、電気−機械変換膜１５上に第2の電極を形成する工程とを備えた製造方法により電気−機械変換素子を作製し、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】低コストで所望パターンの電気機械変換膜を形成することができる。
【解決手段】基板１１上の下部電極に形成された電気機械変換膜上に、塗布領域の所定のパターンに合わせて形成されたガラスマスク１４の透過領域１４−１を通してレーザ光１８を一方向での走査しながら照射する。ガラスマスク１４の遮光領域１４−２によってレーザ光１８が遮光され、エッチングされて残ったＳＡＭ膜１２には照射されない。このため、エッチングされて残ったＳＡＭ膜１２のパターン形状は変わらない。 （もっと読む）

【課題】部品の大型化やコストアップすることなく、液滴吐出ヘッドに印加される駆動信号の変化を低減し、液滴吐出ヘッドの液滴吐出特性を安定化することができる液滴吐出ヘッドの駆動装置を提供すること。
【解決手段】複数のノズルごとに対応して対向配置された電極を備える圧電素子に、駆動信号を印加して前記ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドの駆動装置であって、前記電極の一方は、基準電位が与えられる基準電位部に接続し、前記電極の他方は、並列接続されて選択的にオンオフ制御される複数のスイッチング素子の一端に接続し、前記スイッチング素子の他端は駆動信号源に接続され、前記スイッチング素子のうちの少なくとも一つは、オン制御した状態で駆動信号を印加しても前記ノズルから液滴を吐出しない通電特性を有し、前記ノズルのうちの一つ以上から液滴を吐出させる際に、液滴を吐出しない前記ノズルの前記通電特性を有する前記スイッチング素子をオン制御する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式の画像形成装置等に備えられ、上部電極、下部電極ともにテニウム酸ストロンチウム（ＳＲＯ）を用い、経時的に安定した駆動力を得る電気−機械変換素子、これを備えインク等の液滴を吐出するヘッド、これを備えた液滴吐出装置、これらを備えたかかる画像形成装置の提供。
【解決手段】電気−機械変換素子１０が、電極１４と、電極１４上に形成されＳＲＯからなる電極１５と、電極１５上に形成されたＰＺＴからなる電気−機械変換膜１６と、電気−機械変換膜１６上に形成されＳＲＯからなる個別電極１７と、電極１７上に形成された個別電極１８とを有し、厚さ方向におけるＳｒの分布を、ＳＩＭＳを用いた２次イオン強度比を用いて表したとき、ＰＺＴの厚さの１／２の位置でのＳｒの同強度を、電極１５のＳＲＯの厚さの１／２の位置でのＳｒの同強度で除すると、０．０１以下である。 （もっと読む）