【課題】プラズマエッチング装置を用いて基板をドライエッチングすることにより、基板を常に高精度に加工することができるプラズマエッチング加工方法及びそれを用いた液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に所定寸法の開口を有する保護膜２０１を形成する工程と、保護膜２０１をマスクとしてプラズマエッチング装置により基板をドライエッチングしてエッチング工程とを有し、エッチング工程を実施中にプラズマエッチング装置の電極のＶｐｐ値を測定し、各エッチング工程で設定する設定Ｖｐｐ値を前回のエッチング工程時に測定された測定Ｖｐｐ値に基づいて調整する。 （もっと読む）

【課題】ノズル長のばらつきを低減し、安定した吐出特性を得ることができ、ひいては歩留まりの安定化を図ることが可能な液滴吐出用のノズルプレート製造方法及び液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】Ｓｉ層から成る活性層４１ａとＳｉ層から成る支持体４１ｂとの間に、ＳｉＯ₂ 層から成る誘電体層４１ｃが接合された構成のＳＯＩ基板４１の活性層４１ａ側の表面にエッチングマスク４２を形成する工程と、活性層１４ａに、エッチングを複数回繰り返すことにより、径が異なる複数の孔１１ａ，１１ｂを同一軸上に有する構成のノズル孔を、活性層４１ａに形成する工程と、ＳＯＩ基板４１の支持体４１ｂを除去する工程と、ＳＯＩ基板４１の誘電体層４１ｃを除去する工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドでは、液滴の微細化がさらに進むと、空気抵抗などにより液滴を目標位置に正確に飛ばすことが難しくなり、液滴の直進飛行安定性を十分に確保することが困難となるという課題がある。
【解決手段】圧力室に接続され、液滴を吐出する貫通部が形成されるノズルプレート１０と、ノズルプレート１０の貫通部の内側に位置する、プレスなどの工程で製造された液滴誘導部１３を備える液滴吐出ヘッドを、液滴吐出装置に搭載する。液滴吐出ノズルプレート１０内に液滴誘導部１３が設けられているため、液滴は液滴誘導部１３に導かれるように流れる。そのため液滴の直進飛行安定性を確保することが可能とする液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、および液滴吐出装置を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】ばらつきの少ない、寸法精度の高いオリフィスプレートが作製でき、これを用いて吐出安定性の良好な液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴を吐出させるための複数のノズル１０３と、該ノズル１０３の各々と連通する複数の連通部と、を有し、複数の個別液室と連通する共通液室１０５と、前記個別液室と前記共通液室１０５とを繋ぐ複数の供給口と、の少なくとも一方を更に有する液体吐出ヘッドに用いられるオリフィスプレート１０６であって、該オリフィスプレート１０６は、第１及び第２のＳｉ層間にＳｉＯ₂層１０１を有するＳＯＩ基板からなり、前記ノズル１０３は、前記ＳＯＩ基板における第１のＳｉ層１００に層厚方向に形成され、前記共通液室１０５と前記供給口の少なくとも一方と、前記連通部とは、前記第２のＳｉ層１０２に層厚方向に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ノズル撥インク層のインク接液による撥インク性の低下、ノズル形状の変化等による劣化を抑えて、信頼性の高いインクジェットヘッド、インクジェット記録装置およびそのようなインクジェット記録装置を用いたインクジェット記録方法並びにインクジェット記録用インク。
【解決手段】インクを複数のインク液室に収納し、該複数のインク液室と連通して、インク滴を吐出する複数のノズルを有するノズル形成部材のインク吐出面側に無機酸化物層が形成され、該無機酸化物層上にフッ素系撥水付与剤を含む撥インク層が積層されたインクジェットヘッドにおいて、少なくとも水、色材を含む該インク組成物中にアミノプロパンジオール誘導体を含有することを特徴とするインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】広角のテーパ形状を有するノズルを形成でき、且つ、吐出安定性を向上できること。
【解決手段】（Ｂ）透光性基板２２の一方の面に、Ｒ形状の開口部５１ｂを有する非透光性のＲ形状開口層３２を形成し、（Ｃ）透光性基板２２のＲ形状開口層３２が形成されている面に、感光性材料２４を付着させ、（Ｄ）透光性基板２２上のＲ形状開口層３２をマスクとして用いて、透光性基板２２の裏面に対して斜め方向から光を入射させつつ、透光性基板２２を回転させて、感光性材料２４を露光することにより、感光性材料２４中にテーパ形状の感光部２５を形成する。その後、感光性材料２４を現像して、テーパ形状の感光部２５を残し非感光部を除去し、テーパ形状の感光部２５を型として用いて、Ｒ形状開口層３２上に、Ｒ形状の開口部５１ｂに連結したテーパ形状の開口部を有するテーパ形状開口層を形成し、テーパ形状の感光部２５および透光性基板２２を除去する。 （もっと読む）

【課題】簡易な工程で製造できるインクジェットプリントヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】インクが供給されるインクフィードホール１１１が形成された基板１１０と、基板上に積層され、インクフィードホールから供給されたインクが充填される複数のインクチャンバ１２２が形成されたチャンバ層１２０と、チャンバ層上に積層され、複数のビアホール１３５及びインクが吐出される複数のノズル１３２が形成されたノズル層１３０と、を備え、インクフィールドホールは基板を貫通し、ノズルはノズル層を貫通することにより形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】広角のテーパ部やくびれ部などを有する所望のノズル形状を高精度で作製する。
【解決手段】透明基板(32)の片側面に波長選択層(34)と光遮断層(36)とを積層した露光マスク(22)を用い、該露光マスク(22)の光遮断層(36)側の面にレジスト(24)を付着させる。波長選択層(34)は、入射光の波長成分のうち所定波長より長波長域を遮蔽する透過率特性を有する。上記レジスト付き露光マスク(22)をステージ（20）に固定し、露光光の照射光の波長成分と入射角度を切り替えて回転露光を行う。垂直露光と傾斜露光を組み合わせることでストレート付きのテーパノズル形状を形成することができ、レジスト裏面反射を利用する狭角傾斜回転露光と裏面反射を利用しない広角傾斜回転露光を組み合わせることによって第１のテーパ形状と逆方向の第２のテーパ形状を有するくびれ付きのテーパノズル形状を形成し得る。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドに用いられるノズルプレートの製造方法において、微小なノズルから正確で安定した液滴の吐出が可能なノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】基板の第１の面に開口する大径孔部と、他方の面である第２の面に吐出孔を開口し大径孔部の断面より小さな断面の小径孔部とで構成される貫通孔からなるノズルを形成する工程であって、貫通孔が形成される部位の基板の厚みを測定する工程と、第１の面に切削により基板の厚みに応じて所定の深さの大径孔部を形成する工程と、を有する第１の工程と、第１の工程に続いて第２の面にフォトリソグラフィ処理を行い小径孔部のパターンマスクを形成する工程と、パターンマスクを用いてドライエッチング処理を行い小径孔部を形成する工程と、を有する第２の工程と、を備え、第１の工程は、荒加工工程と仕上加工工程とにより大径孔部を形成し、荒加工工程の孔径は仕上加工工程の孔径よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】 ノズル板の材質が圧力室板の材質と異なっていても、使用環境の温湿度等の変化に因る反りの問題を回避して、吐出性能を良好にすること。
【解決手段】
ノズル板２１は、ノズル板２１を貫通し圧力室５２に連通する複数のノズル５１と、ノズル５１の周囲に形成され、ノズル板２１を貫通し圧力室板２２を露出させている凹部３０とを有する。凹部３０は、各ノズル５１毎に囲む各閉曲線上にそれぞれ複数配置されている。または、凹部３０は、複数のノズル５１からなるノズル群毎に囲む各閉曲線上にそれぞれ複数配置されている。 （もっと読む）

【課題】弱い光強度の紫外線で表面改質が可能となる表面改質方法及び表面改質装置を提供する。
【解決手段】基板７，８の表面に紫外線４４を照射して、表面を改質する方法に関する。基板７，８に加湿されている加湿気体４２を吹付ける第１吹付け工程と、基板７，８に乾燥している乾燥気体４３を吹付ける第２吹付け工程と、発光装置１４が発光する紫外線４４を基板７，８の表面に照射する照射工程とを有し、第２吹付け工程と照射工程とを同時に行う。発光装置１４と、基板７，８との間に乾燥気体４３が存在する中で、発光装置１４が発光する紫外線４４を、基板７，８に照射する。 （もっと読む）

【課題】基板を薄膜化することなく高剛性にノズルプレートを形成し、吐出孔近傍での反りを低減し、高精度にノズルを形成する。
【解決手段】シリコン基板の間に埋め込み酸化膜を有する３層構造の基板を用い、前記３層構造を構成するシリコン基板のうち一方のシリコン基板に対して、前記埋め込み酸化膜をエッチストップ層としてエッチングによりザグリ部を形成し、前記ザグリ部を形成したシリコン基板とは前記埋め込み酸化膜を挟んで反対側のシリコン基板の前記ザグリ部に対応する位置に、エッチングによりノズルのテーパ部を形成し、前記埋め込み酸化膜に対して、前記ノズルのテーパ部の形成に用いたマスクと同一のマスクを用いてエッチングによりノズルのストレート部を形成する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルのインク吐出側開口周辺部にザグリ部が形成されたノズルプレートを生産性よく高精度に製造する。
【解決手段】凸部を有する透明基板、及び前記凸部の略中央部にノズル形状に対応する開口領域が形成されるように前記透明基板の凸部側にパターニングされた不透明金属膜から成る露光用マスクを用いて、前記露光用マスクの不透明金属膜側に感光性樹脂を形成する工程と、前記露光用マスクの透明基板側から前記感光性樹脂を露光する工程と、前記感光性樹脂を現像する工程と、前記不透明金属膜上に金属層を形成する工程と、前記金属層と前記露光用マスクを分離する工程と、を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】液室が作り込まれた流路部材にノズルを形成する部材を積層してノズル穴を形成するとき高精度のノズルを形成することができない。
【解決手段】液体を吐出するノズル２１が形成されたノズル板２と、ノズル２１が連通する液室１１が形成された流路部材１と、ノズル板２と流路部材１との間に液室１１を覆う状態で介在し、ノズル２１と液室１１とを連通する貫通穴３１が形成された樹脂フィルム部材３とを備え、液室１１などが形成された流路部材１上に樹脂フィルム部材３による平坦な面を形成し、この平坦な面上でノズル板２のノズル２１の穿孔を行う。 （もっと読む）

【課題】顔料系インクを用いた場合に吐出効率が低下するとともに、低湿度環境下における間欠吐出安定性が低下し、ノズル面がキャッピングされないまま放置される場合のような異常な条件下において正常な噴射状態に回復することが困難になる。
【解決手段】顔料系インクを吐出するノズル孔１１を形成したノズル基板１は、液滴吐出側の面には撥水処理膜が形成されるとともに、各ノズル孔１１の周囲に内側に撥水処理膜が形成されていない略円形状の凹部１２が形成され、この凹部１２の直径をＤ、凹部１２の深さをｄ、凹部１２と吐出する液体との接触角をθとしたときに、凹部１２はｄ≧Ｄ（１−sinθ)／２cosθの関係式を満たしている形状に形成され、凹部１２の底部を形成するノズル基盤１の厚みは凹部１２の深さよりも厚く形成した。 （もっと読む）

【課題】ザグリ孔に対応させてノズル孔を精度良く形成する。
【解決手段】導電性のザクリプレート５２にプレス加工などにより複数のザクリ１１２を形成し、ザクリプレート５２を支持基板１５０に固定してザクリ１１２に非導電性の第１樹脂１５２を充填する。その後、ザクリプレート５２上にＮｉを電鋳成長させてノズルプレート５４を形成する。その際、電鋳時間を調整することで、ザクリ１１２の内側に所定の径のノズル１１０が形成される。その後、ザクリプレート５２から支持基板１５０を離脱し、第１樹脂１５２を溶液処理により溶解剥離することで、ザグリ付ノズルプレート５０が形成される。 （もっと読む）

【課題】 ノズルのストレート部を加工精度よく形成するとともに、ノズルのストレート部とテーパ部との位置ずれを防止し、吐出性能を向上させること。
【解決手段】 基板２０に対して第１のエッチングを行って、基板２０にストレート形状の貫通孔５１０を形成し（工程Ｆ）、基板２０の一方の面のうちで貫通孔５１０の周辺のみを露出させる保護膜保護膜３４を形成し（工程Ｈ）、保護膜３４が形成された基板２０の前記一方の面側から第２のエッチングを行って、ストレート形状の貫通孔５１０のうちで一方の面側の部分をテーパ形状に変えることによりノズル５１のテーパ部５１２を形成するとともに、ストレート形状の貫通孔５１０のうちで他方の面側の残り部分をノズル５１のストレート部５１１として残す（工程Ｊ）。 （もっと読む）

【課題】着弾特性・飛翔特性などの動作特性が良く、かつ、生産性にも優れたインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を加圧する圧力室を有するノズル本体と、加圧した液体を吐出させるためのノズル孔１２を有するノズルプレート１１と、を備え、前記圧力室と前記ノズル孔１２との間には、角錐形状の流入口１２ａが、前記ノズル孔１２に向けて断面積が小さくなる方向に設けられていること、を特徴とするインクジェットヘッドが提供される。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、着弾特性・飛翔特性などの動作特性や耐食性・耐摩耗性が良く、かつ、生産性にも優れたインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を加圧する圧力室を有するノズル本体と、前記圧力室に連通し加圧した液体を吐出させるためのノズル孔を有するノズルプレートと、を備え、前記ノズルプレートは、前記ノズル本体の一端面に成膜することにより形成されたものであること、を特徴とするインクジェットヘッドを提供する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット式記録ヘッドの製作コストの抑制を図ることができ、配線の断切れの発生や振動板における振動の影響による配線状態の不安定化による耐久性の低下の影響を抑制することができ、インクの吐出状態の安定化を図ることができること。
【解決手段】第１電極と圧電体と第２電極とを備える圧電素子と、外部からの信号により圧電素子を駆動するための駆動信号を生成する駆動信号発生手段と、圧電素子の駆動に伴って振動する振動板と、振動板により一方の面が封止されてノズルに連通する圧力室と、を有するインクジェット式記録ヘッドにおいて、第１電極は、圧電体とともに振動する第１部位と、駆動信号発生手段の電極パッドと接合する第２部位と、第１部位と第２部位の間に挟まれ第１部位と第２部位の配列方向と垂直な方向の幅について第１部位と第２部位の幅よりも小さい第３部位と、を備える。 （もっと読む）