【課題】 本発明は、ノズル板に形成するノズル孔の精度を高め、吐出インク滴の高い着弾位置精度を実現するとともに、生産性に優れた液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】 本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法によれば、マスクに形成された所定のノズル孔パターンにレーザビームを照射してマスクのノズル孔パターンを透過して加工試料に照射する。そして、加工試料をノズル孔パターンの配列方向に移動させてレーザビーム内の異なった複数のビーム領域を用いて加工試料にノズル孔を形成する。よって、ノズル孔の精度及び形状のばらつきが抑えられ、均一化されたノズル孔が形成可能となる。 （もっと読む）

【課題】 ヘッド本体に張付けられたノズルプレートにレーザ光を照射して孔をあけてノズルを形成する際に、レーザ加工による副生成物・異物がヘッド内に入ることのないノズル形成方法を提供する。
【解決手段】 インクジェットヘッド製造方法は、内部流路を作りこんだヘッド本体１２にノズルプレート１３を接着して内部流路を密閉し、内部流路に気体を送って内部流路の気圧をヘッド本体１２の外部の気圧よりも高くした後、ノズルプレート１３にレーザ光４２を照射してノズル列２４を形成する。 （もっと読む）

【課題】テーパー形状と垂直形状が連通した形状を効率的に形成できる微細構造の形成方法及び流体噴射ヘッドの製造方法の提供。
【解決手段】基板１に垂直な側壁部を有する第１開口部７と、第１開口部７と連通するテーパー状の側壁部を有する第２開口部１０と、を備えた微細構造の形成方法であって、基板１上に階段状の構造を有する貫通孔５を備えたマスク２を形成する第１工程と、マスク２を介してドライエッチング工程と、保護膜８を形成するパッシベーション工程とを交互に連続して繰り返すことにより第１開口部７と第２開口部１０とを形成する第２工程と、を備え、第２工程では、ドライエッチングにおけるエッチング量をパッシベーションにおいて形成される保護膜８の量よりも多くし、第２開口部１０の側壁部となる基板１の一部をエッチングしつつ第１開口部７の底面をエッチングすることで、第２開口部１０の側壁部をテーパー状に形成する。 （もっと読む）

【課題】噴射性を安定させることができ、さらに、製造時間を短縮することができる液滴噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴噴射ヘッドの製造方法において、液体を収容する複数の液室５ａを有する液室プレート５を形成する工程と、液室５ａに連通する曲線形状の液体流路６ａの壁面を連続面で形どった流路形状部材を含むように樹脂材料でモールド成形を行い、モールド成形後に流路形状部材を除去し、液体流路６ａを有するノズルプレート６を形成する工程と、形成した液室プレート５と形成したノズルプレート６とを組み立てる工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】下地の液滴浸食による撥水膜の剥れを防止することができ、液滴に対する耐久性
に優れたノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】基材１００の表面にエッチング加工によってノズル孔１１を形成する工程と
、基材１００のノズル孔１１を形成した面に支持基板１２０を貼り合わせる工程と、基材
１００のノズル孔１１を形成した面と反対側の面を薄板化してノズル孔１１を開口させる
工程と、基材１００のノズル孔１１を形成した面とは反対側の面を撥水処理する工程と、
支持基板１２０を基材１００から剥離する工程とを有するノズル基板１の製造方法であっ
て、撥水処理する工程が、基材１００のノズル孔１１を形成した面とは反対側の面に金属
系酸化膜１３を形成したのち、金属系酸化膜１３の上に撥水膜１４を形成することにより
行われる。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔が所望の傾斜面を有してノズルが高密度化され、ノズル孔が連続する曲
面で形成されて流路特性が最適化されたノズル基板およびその製造方法等を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１が、基板面に対して垂直な中心軸１１ｄ
を有する回転体の連続曲面で構成され、前記中心軸１１ｄと垂直な断面積が、吐出部１１
ａから導入部１１ｂにむけて漸増し、前記中心軸１１ｄを含む断面形状が、前記中心軸１
１ｄを対称軸として線対称な指数曲線１１ｅを有することを特徴とするシリコン製ノズル
基板。 （もっと読む）

流体吐出装置の加熱素子（１１２／４１２／６１２／８１２／８２２）の態様を開示する。
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【課題】キャップ部材を用いることなく、ノズル孔を閉塞して流体の増粘・固化を防止することができる流体噴射ノズル、流体噴射装置、流体噴射装置のメンテナンス方法を提案する。
【解決手段】流体噴射ノズル２３は、流体を噴射するノズル孔１７が形成されたノズル孔形成壁２６と、ノズル孔形成壁２６に対向するノズル対向内壁２７と、ノズル孔１７を取り囲むようにノズル孔形成壁２６及びノズル対向内壁２７に連結されると共にノズル孔形成壁２６及びノズル対向内壁２７を接離可能とする外周壁２８と、からなる流体収容室１９を有し、ノズル対向内壁２７にインク孔１７を閉塞可能な塞栓部２９が形成される。 （もっと読む）

【課題】基板厚みが変化せず、底部径の制御が可能で、所望の傾斜面を有し、流路特性が最適化されたノズル基板の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基材４１の表面に第１の保護膜４２を形成する工程と、第１の保護膜４２に積層して第１の保護膜４２と材質が異なる第２の保護膜４３を形成する工程と、第２の保護膜４３に第２の開口孔４３ａを形成し、さらに第１の保護膜４２に第１の開口孔４２ａを形成する工程と、第１、第２の開口孔４２ａ、４３ａから異方性ドライエッチングを行って垂直孔部１１０を形成する工程と、第１の保護膜４２をエッチングして第１の開口孔４２ａを拡径する工程と、第１、第２の開口孔４２ａ、４３ａから等方性ドライエッチングを行って、第１、第２の開口孔４２ａ、４３ａ側に向かって断面積が漸増するテーパ状孔部を形成する工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】液体噴射特性を劣化させることなく、ノズル開口の高密度化を実現することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口１３に連通するノズル連通孔２３と、圧力発生室１１とが幅方向に複数並設されて設けられ、表面の結晶面方位が（１１０）面の流路形成基板１２と、圧力発生室１１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段とを具備し、ノズル連通孔２３が、流路形成基板１２の表面に対して垂直な結晶面方位が（１１１）面で画成されていると共に、当該ノズル連通孔２３の液体供給側とは反対側の端部の２つの前記（１１１）面が鋭角となる角部に２つの（１１１）面に対して鈍角で形成された傾斜面４０を設ける。 （もっと読む）

【課題】 剪断モード型インクジェットヘッドを用いたマルチドロップ階調印字の駆動において、１印刷周期に占める休止期間を短くして、これにより印刷速度の向上を図る。
【解決手段】 ノズルプレートと、ノズルに各々連通する圧力室と、隣接する２つの圧力室に共有される複数のアクチュエータと、各圧力室をｎ−１個おきのｎ組（ｎ≧２）に分割して組ごとに駆動する位相を変えるとともに同一組内の各圧力室から複数のインク滴を連続的に吐出させるようにアクチュエータを駆動する駆動信号を発生する駆動信号発生手段とを有し、連続的に吐出するインク滴数を変化させることで階調印字を行うインクジェットヘッドにおいて、ノズルプレートのインク吐出側のノズル開口部の外周部がインクに対して親液性であることとしたインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】パンチの耐久性を確保しつつ微細な貫通穴を形成することができ、また、バリに
よる不具合が生じ難いプレス加工方法、パンチングプレート、および、液体噴射ヘッドを
提供する。
【解決手段】基材プレート３′の第１の面（裏面）を弾性材からなる弾性マット４６に当
接させた状態で第１の面とは反対側の第２の面（表面）からパンチ４９で打ち抜いて第１
の貫通穴５２ａを開設し、表面を弾性マット４６に当接させた状態で裏面から第１の貫通
穴とは異なる領域に第２の貫通穴５２ｂを開設する。 （もっと読む）

【課題】吐出特性の向上とノズル密度の高密度化とを図ることができるノズル基板、液滴吐出ヘッド及びそれらの製造方法並びに液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するノズル孔１１を、シリコン基板面に対して垂直に形成された第１のノズル部１１ａと、第１のノズル部と同軸上に設けられ、第１のノズル部よりも断面積が大きく形成された第２のノズル部１１ｂと、第１のノズル部から第２のノズル部に向けて断面積が漸増する傾斜部１１ｃとから構成する。 （もっと読む）

【課題】所望のノズル形状を形成することができるノズル基板の製造方法等を得る。
【解決手段】シリコン基板５１の一方の面側からノズル供給口３１Ｂ−１を開口するとと
もに、ノズル３１となる凹部を形成する工程と、液状物質を塗布し、ノズル３１となる凹
部を形成した面を覆う塗布膜５４を形成する工程と、異方性ウェットエッチングを行って
、ノズル３１となる凹部を形成した面と反対側の面から凹部を貫通させてノズル吐出口３
１Ａ−１を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】クロストーク防止に十分なリザーバ容積の確保をしながらも、流路基板になるシリコン基板に高精度でノズルを加工形成できるようにした流路基板の製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル孔１１と、キャビティ１２と、所定の容積を有するリザーバ１３とで構成される液体流路を１つのシリコン基板からなる流路基板基材に形成する流路基板１の製造方法であって、流路基板基材の一方の面から、ノズル孔１１、キャビティ１２及びリザーバ１３になる部分を所定の深さまでエッチング加工する際、流路基板基材に貫通させるアライメント用貫通孔部を併せて形成しておき、ノズル孔を所定の深さまでエッチングした後、流路基板基材をアライメントして、流路基板基材の他方の面からノズル孔を貫通させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】加工するときにシリコン基材を破損させることがなく、加工処理後にはノズル孔
内部に異物が侵入することがない、高歩留まりのノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】２段形状で連通されたノズル孔１１をエッチング加工によってシリコン基材
１００に形成する工程と、大径孔側の面１００ａとノズル孔１１の内壁に窒化シリコンよ
りなる無機酸化物保護膜５１を形成し、ＳＯＧよりなる無機酸化物５０を無機酸化物保護
膜５１を介してノズル孔１１に充填する工程と、大径側の面１００ａと支持基板１２０と
を貼り合わせる工程と、小径孔側の面１００ｂを薄板化して小径孔１１ａの先端部を開口
する工程と、小径孔側の面１００ｂを撥インク処理する工程と、支持基板１２０を剥離す
る工程と、無機酸化物５０と無機酸化物保護膜５１を溶解して除去する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】インク液滴の安定吐出速度限界を向上させ、かつインク液液の着弾精度の向上を実現し得るノズル孔を形成することができるレーザー加工方法を提供する。
【解決手段】基板にノズルとなる孔９を形成してノズルプレート８を製造するために、レーザー光を照射光軸に対して偏心させた状態で、照射光軸を中心軸として回転させながら、基板に照射する。このとき、レーザー光の偏心量、例えば傾き角度を、より大きな偏心量（角度）から小さな偏心量に変化させる。大きな偏心量を第１の偏心量とし、これより小さな偏心量を第２の偏心量とする。 （もっと読む）

【課題】ノズルの流路抵抗を低減化してリフィルの高速化を実現するとともに、リフィル時の気泡の巻き込みを防止するノズル板及び液体吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル５１の内側面５１Ａには、ノズル５１の内側に向かって開いたテーパ形状を有する第１のテーパ部４Ａとノズル５１の内側に向かって絞られた形状を有する第２テーパ部４Ｂが形成される。ノズル開口部５１Ｂから第１のテーパ部４Ａが形成され、該第１のテーパ部４Ａと連続して第２のテーパ部４Ｂが形成され、このようにして、第１のテーパ部４Ａと第２のテーパ部４Ｂが交互に連続して形成される。ノズル５１の内側面５１Ａには、第１のテーパ部４Ａ及び第２のテーパ部４Ｂから成る鋸歯状の段差が少なくとも２つ形成される。 （もっと読む）

【課題】 ＦＭヘッドを低コストに製造ＦＭヘッドの不吐保証。
【解決手段】 ヒータボード上にオリフィスプレート貼付後レーザでノズル孔あけ。タブ上にヒータボードを一体形成し配線接続部を無くす。１液室１ヒータ２ノズル構成。 （もっと読む）

【課題】 インクジェットヘッドにおいて、撥水性の向上および高精度に加工されたノズルを備えたオリフィスプレートを提供する。
【解決手段】 ンクジェットヘッドにおいて、フォトリソグラフィーによるノズルの型作製とガスデポジション法によるプレート基材および撥水膜の連続成膜により、オリフィスプレートを作製する。 （もっと読む）