【課題】本発明は、凹部を有し、形状精度よい吐出口部材が歩留まりよく得られる吐出口部材の製造方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、吐出口を形成するための絶縁性の第１のレジストと、流路壁の凹部を形成するための絶縁性の第２のレジストと、を表面に備えた、少なくとも前記表面が導電性の基体を用意する工程と、前記第１のレジストと前記第２のレジストとをマスクとして利用してめっきを行い、吐出口部材の一部分となるめっき層を形成する工程と、前記第２のレジストを除去する工程と、前記第１のレジストをマスクとしてめっきを行い、前記壁の凹部となるめっき層を形成する工程と、前記第１のレジスト及び前記基体を除去する工程と、をこの順に有する吐出口部材の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、オリフィスプレートの表裏面において同形状を有するノズルを形成することが可能なノズル形成装置及びその形成方法を提供する。
【解決手段】 本発明では、光ビーム発生源１から出射される光ビームの光路上に、光ビームを複数に分割する第１及び第２のアレイレンズ２、３、複数に分割された光ビームを集光して重ね合わせるコンデンサレンズ４、重ね合わされた光ビームを整形するマスク６及び整形された光ビームに集光角を与える投影レンズ７を、順次、設置してなり、光ビーム発生源と光路間に、投影レンズ７から出射されるＸ，Ｙ方向の光ビームの集光角を均一にする集光角調整手段１１を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電鋳法を用いて、高い吐出性能を有する吐出口部材を効率的に製造する方法を提供する。
【解決手段】（１）吐出口を形成するための絶縁性の第１のマスク１４０９’と、絶縁性の第２のマスク１４１０’と、がこの順に積層された導電性の基体１４０８を用意する工程と、（２）第１のマスク１４０９’と第２のマスク１４１０’とをマスクとして利用してメッキを行い第１のメッキ層１４１３の高さが所定の範囲になるように形成する工程と、（３）第２のマスク１４１０’を除去する工程と、（４）第１のマスク１４０９’をマスクとして利用して基体１４０８にメッキを行うことにより、第２のメッキ層１４１３’を第１のメッキ層１４１３を覆うように形成する工程と、（５）基体１４０８と第１のマスク１４０９’とを除去することにより吐出口部材１４０５を形成する工程と、をこの順に有する。 （もっと読む）

【課題】短い加工時間で精度良く被加工物に傾斜部を形成することができる加工装置を提供する。
【解決手段】加工装置１０は、光を出射するマスク照明系１１と、マスク照明系１１からの光を変調して出射する変調マスク３３と、変調された光を結像して被加工物１８に照射し、被加工物１８に傾斜部１８ｂを形成する結像光学系１７とを備えている。変調マスク３３は、被加工物１８の傾斜部１８ｂに照射される光を位相変調する変調マスク傾斜部２４ｂと、変調マスク傾斜部２４ｂに隣接し、被加工物１８の非加工部１８ｃに対応する変調マスク遮蔽部２４ｃと、を有している。このうち変調マスク傾斜部２４ｂは、複数の位相変調単位領域２４ｅからなっている。一方変調マスク遮蔽部２４ｃは、光を遮蔽する光遮蔽層２７を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】流体吐出装置の非湿潤性コーティングを提供する。
【解決手段】流体吐出装置への非湿潤性コーティングの形成方法は、基板に酸素プラズマを当てて基板の内側部分の密度よりも高い密度を有する基板の外側部分を形成する工程と、外側部分の外表面上に非湿潤性コーティングを付与する工程と、を含む。外側部分の厚さは８ｎｍ未満である。 （もっと読む）

【課題】ＵＶ又は固体インクのプリントヘッド前面全体にわたる濡れや垂れを低減することが可能なインクジェットプリントヘッド前面のコーティングを提供することである。
【解決手段】インクジェットプリントヘッド前面のコーティングは、低粘着性コーティングから成り、低粘着性コーティングをインクジェットプリントヘッド前面の表面上に配置したときに、紫外線ゲルインクの噴出液滴又は固体インクの噴出液滴がプリントヘッド前面の表面に対して約３０°以下の低滑り角を示すことを特徴とする。低粘着性コーティングは、イソシアネート官能基を含有するポリマー又はオリゴマーと、ヒドロキシル官能基を含有するポリマー又はオリゴマーと、少なくとも１つのポリシロキサンユニットを含むヒドロキシル官能化ポリマー又はオリゴマーと、任意のヒドロキシル官能化フルオロ架橋剤と、を含有する。 （もっと読む）

【課題】 複数の吐出口とエネルギー発生面との距離の均一化を図る。
【解決手段】 液体が吐出される吐出口と、該吐出口に連通する流路と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、第１の層と第２の層とがこの順で平坦に積層されている基板を用意するＡ工程と、前記第２の層に前記吐出口形成用の部材（Ａ）を形成するＢ工程と、前記第１の層に前記流路形成用の型を形成するＣ工程と、前記型の上面以上の厚さで前記型と前記部材（Ａ）とに密接に第３の層を設けるＤ工程と、前記型を除去して前記流路を形成するＥ工程と、をこの順に有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】吐出液が保護膜を浸食して下地のシリコンが溶出することがないノズル基板及びノズル基板の製造方法並びに液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル基板は、シリコン基材６０に液滴を吐出するためのノズル孔１０を有し、ノズル孔１０の液滴吐出側の面からノズル孔１０の内壁まで導電性酸化物からなる第１の保護膜２４を連続して形成し、第１の保護膜２４を被覆する酸化物からなる第２の保護膜２６を形成した。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、リング照明の集光点を光軸上の所定の深度範囲に適切に調節可能なミラーユニットおよびこれを用いた孔内検査方法、並びに孔内検査装置を提供することを課題とする。
【解決手段】撮像カメラに周設したリング照明の照射光を、撮像カメラの光軸上における所定の深度範囲に集光するミラーユニットであって、光軸を中心に周方向にコーン状に並べた扇状の複数のミラー片を有し、照射光を反射するミラー部と、複数のミラー片の反射角度を可変する反射角度可変機構を備えたミラーユニットを提供する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットインクの吐出方向のばらつきが抑制されたインクジェットプリントヘッド、ならびにこれを備えたインクジェットプリンターを用いた画像形成方法および電子デバイス形成方法を提供する。
【解決手段】インクジェットプリントヘッドの印刷プレート表面又は印刷オリフィスの内側の少なくとも一方に形成された自己組織化単層（ＳＡＭ）を含む、インクジェットプリントヘッド。 （もっと読む）

【課題】複数のノズルを列設して成るノズル群を備える液体噴射ヘッドにおいて、各ノズルの噴射特性のばらつきを低減することができる液体噴射ヘッドの製造方法、及び、当該方法で製造された液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】複数のノズルを列設してなるノズル列（ノズル群）と、ノズル毎に対応して形成された複数の圧力室と、各圧力室に対応して配設され当該圧力室の容積を変動させる複数の圧電素子（圧力発生手段）と、を備える記録ヘッドにおいて、各ノズルの開口径は、対応する圧電素子の変位量又は周波数特性に基づいて定められる。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリンタのノズルプレートのノズル孔を所望形状に精度高く加工可能なレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】マスク４の複数の開口４１を通過したパルスレーザのビームがそれぞれ開口４１に対応した形状でフィルム９に照射される。パルスレーザのパルス周期となる期間に、マスク４の隣接する開口４１を通過して被加工物に照射されるレーザビームどうしの間隔に対応した所定距離を移動する所定速度で、マスク４の開口４１の並び方向に沿ってフィルム９を移動させる。フィルム９を移動させた状態で、移動する被加工物の複数箇所において、それぞれ同一位置に、１パルス分ずつのパルスレーザがマスク４の異なる開口４１を介して複数回照射されることで順次ノズル孔１０が形成される。 （もっと読む）

【課題】ノズルからインク滴を吐出して画像を記録する短尺ヘッドのノズルプレートは、複数のノズル加工装置により作製されている。ノズルを形成するレーザ光の出射角度はノズル加工装置の個体差により調整が難しく、異なるノズル加工装置により作製されたノズルを混載した短尺ヘッドは、インク滴の着弾位置が異なり色ずれとなる。
【解決手段】画像記録装置は、製作に用いたノズル加工装置の機番の情報をノズルプレートに記録し、同じ機番が記録されるノズルプレートを短尺ヘッドに組み付けて、同じインク滴の飛翔特性のノズルによる短尺ヘッドを作製し、これらの短尺ヘッドを記録媒体の搬送方向にインク色毎に並べて配置する。 （もっと読む）

【課題】インクの吐出状態が安定した液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】貫通孔を有するＳｉ基板からなり、前記貫通孔は、前記Ｓｉ基板の一方の面に開口する第１ノズルと、前記第１ノズルに連通し、前記Ｓｉ基板の他方の面側に開口している前記第１ノズルの断面より大きな断面を有する第２ノズルと、を有し、前記第１ノズルの前記一方の面の開口を液滴が吐出される吐出孔とする液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法において、所定の深さの前記第１ノズルを形成する第１ノズル形成工程と、前記一方の面及び前記第１ノズルの内面の内、側面を覆うエッチングマスクを用い、前記一方の面の開口側からＳｉ等方性ドライエッチング方法によるエッチングを行い、他方の面側に貫通させて前記第２ノズルを形成する第２ノズル形成工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】吐出室の側壁の幅精度を向上させ、吐出性能の安定化を図るようにした液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１００は、液体を吐出するノズル孔１１が形成されたノズル基板１０と、ノズル孔１１と連通し、底壁が振動板２２となる吐出室２１が形成されたキャビティ基板２０と、振動板２２を駆動する個別電極３２が振動板２２にギャップ４０を隔てて対向するように形成された電極基板３０と、を備え、吐出室２１の側壁のうち少なくとも長手方向の側壁（隔壁２５）を耐アルカリ性部材で構成している。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔について所望の孔径及び形状となるように形成すると共に、吐出室の酸化膜を成膜する際にシリコンの溶出を抑制する最適な膜厚とした液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を得る。
【解決手段】吐出室２１の耐久性を具備するためのキャビティー深さＨ及び酸化膜厚Ｔとして、本実施の形態におけるインクジェットヘッド５１のノズル基板１及びキャビティー基板２において、３５０≦Ｈ／Ｔ≦７００の条件を満たすように酸化膜１５及び吐出室２１を形成した。 （もっと読む）

【課題】製造時の負荷を低減し、所望の形状の吐出口を精度よく得ることが可能な液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を吐出する吐出口と連通する液体の流路を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、第１の感光性樹脂からなる第１の層を基板上に設ける工程と、前記第１の層から前記流路の型を形成する工程と、前記型の表面に光吸収剤を提供する工程と、前記光吸収剤が提供された前記型を被覆するように、第２の感光性樹脂からなる第２の層を設ける工程と、前記第２の層の一部を露光した後に現像して、前記吐出口となる開口を前記第２の層に形成する工程と、前記開口を形成した後に、前記型を除去して前記流路を形成する工程と、を含む液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ドット抜け検出を容易に行なうことを可能とするノズル基板、液滴吐出ヘッド、及び、液滴吐出装置、並びに、ノズル基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るノズル基板１は、液滴を吐出する複数のノズル孔１０を有するノズル基板１であって、導電性を有するシリコン基板１’で構成され、シリコン基板１’の吐出面１ａ以外の面（たとえば、キャビティ接着面１ｂ）に、ノズル孔１０から吐出される前の液滴をシリコン基板１’の表面を介して帯電させるための電圧印加に用いる電極（吐出検出用導通電極１２）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ワイピング性能を損なうことなく、ノズル穴のインクを吐出する側の開口の周囲に、記録媒体との接触を回避するための突出部を、簡単に形成する。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル穴４３が未加工のノズルプレート基材６１に対し、ノズル穴４３の液滴を吐出する側の開口４３ａが形成されるべきノズルプレ―ト基材６１の表面に突出部５１を形成する。ノズルプレート基材６１の前記液滴を吐出する側の面であって開口４３ａとなる部分付近に対し、ポリイミド樹脂で構成される液滴を付着させる。それから、その液滴を硬化させることにより突出部５１を開口４３ａとなる部分付近に対し形成し、前記液滴を吐出する側の面に撥液膜７３を形成する。その後、前記液滴を吐出する側の面にノズル穴４３を形成してノズル面とする。 （もっと読む）

【課題】パンチ打ち込み面の隆起の発生を抑制することが可能なノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】金属板２５にパンチ２６を打ち込んでノズル開口を開設するノズルプレートの製造方法であって、パンチを打ち込む金属板表面に、金属板が製造された時点における表面粗さよりも表面粗さを粗くした粗面部２７を形成する粗面工程と、金属板の粗面部にパンチを打ち込んで有底下穴２８を形成すると共に裏面に隆出部４８を形成する有底下穴形成工程と、前記隆出部を研削除去して有底下穴を貫通させてノズル開口を開口する貫通開口工程を経てノズルプレートを製造する。 （もっと読む）