【課題】シングルパスのインクジェットヘッドにおいて外乱要因により吐出方向安定性が悪化してもすじムラを目立ち難くする。
【解決手段】シングルパス印字用のインクジェットヘッドであって、インクジェットヘッドと記録媒体とを相対的に搬送しながら前記記録媒体に向けてノズル開口部からインクを吐出するためのノズルが前記インクジェットヘッドのインク吐出面に複数形成され、前記ノズル開口部の断面形状は、前記インクジェットヘッドと前記記録媒体の相対搬送方向の幅よりも、該相対搬送方向と略直交する方向の幅が大きく形成されたことを特徴とするインクジェットヘッドを提供することにより前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出ヘッドの製造方法において、流路と基板との位置精度が良好で、かつ形状精度の高い吐出口を形成する。
【解決手段】 ｉ線と、第１の層９の感光波長に吸収を有する第２の層１０ａをマスクとして第１の層９をパターニングして流路のパターン９ａを形成する工程と、流路のパターン９ａおよび前記第２の層１０ａを被覆するように、流路壁部材となる被覆層３を設ける工程と、前記被覆層に対して第２の層１０ａが吸収可能な波長の光による露光を含むパターニングを行い吐出口４を形成する工程と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】より簡便な方法で、吐出性能の高いノズルとなる穴を形成することができるノズル基板等を得る。
【解決手段】液体を吐出するためのノズル３１を備えるノズル基板３０において、ノズル３１は、ノズル基板３０に形成され、液体を吐出させる方向に向かって孔の口径を小さくした多段状のノズル孔（第１ノズル５８、第２ノズル５９）と、ノズル３１をテーパー形状にするため、ノズル孔（第１ノズル５８、第２ノズル５９）の段差部分に、液体に対する耐性を有する材料により形成した斜面部６０Ａとを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドにおいて、不吐出の補完を容易に可能とする、また、高解像度化を可能とする液体吐出装置を得る。
【解決手段】圧力室１１および圧力室１１に連通し圧力室内の液体１２を外部に吐出する液体吐出口１３を有する液体吐出部材１０と、圧力室１１内の圧力を高め、液体吐出口１３から液体１２を吐出させる圧力付与手段２０とを備えた液体吐出装置において、液体吐出部材１０の液体吐出口１３が設けられている部分が薄板材１６により形成されており、薄板材１６の、液体吐出口１３の外周に、薄板材１６を変形させることにより液体吐出口１３の形状を変形させて液体吐出口１３から吐出される液滴の吐出方向を変化させる圧電手段３０を備える。 （もっと読む）

【課題】圧力発生素子とインク流路及び吐出口の位置関係を高精度かつ再現性良く制御できるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】前記圧力発生素子が形成された基板上に第一の樹脂層、シリコン原子を含有するポジ型レジスト層を積層する工程と、該シリコン原子を含有するポジ型レジスト層に対して縮小投影露光装置を用いたｉ線露光及び現像処理を施しインク流路パターンの一部をパターニングする工程と、該シリコン原子を含有するポジ型レジスト層をマスクとして酸素プラズマを用いたドライエッチングにより該第一の樹脂層をパターニングしインク流路パターンを形成する工程と、該インク流路パターンの周囲に被覆樹脂層を形成する工程と、該被覆樹脂層に対して露光及び現像処理を施し該吐出口を形成する工程と、該インク流路パターンを溶解除去する工程と、を有するインクジェットヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】短い加工時間で精度良くインクジェットヘッドのノズル用テーパ穴を形成することができるテーパ穴形成装置を提供する。
【解決手段】テーパ穴形成装置１０は、光源１１と、光を振幅変調する振幅変調マスク１４と、振幅変調された光を結像して被加工物１８にテーパ穴を形成する結像光学系１７とを備える。振幅変調マスク１４は、テーパ穴の貫通部に照射される光を変調する振幅変調マスクテーパ穴形成中央部と、テーパ穴のテーパ部に照射される光を変調する振幅変調マスクテーパ穴形成傾斜部と、振幅変調マスクテーパ穴形成傾斜部の周縁に位置する振幅変調マスクテーパ穴形成周縁部とからなる。また、振幅変調マスクテーパ穴形成中央部、振幅変調マスクテーパ穴形成傾斜部および振幅変調マスクテーパ穴形成周縁部はそれぞれ、複数の振幅変調単位領域からなる。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔の形状を適正化することによって、気泡排出性に優れたノズル形状を獲得する。
【解決手段】インク液室を有する液室基板と、インク液室に連通する複数のノズル孔が配列されるノズルプレートと、インク液室に圧力を印加して、インク液室内のインク液をノズル孔から液滴として吐出させる吐出手段とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、ノズル孔の液室基板側の断面形状を、ノズル孔の配列方向に対して長円ないし楕円形状を有するとともに、ノズル孔の吐出側の断面形状は、ノズル孔の配列方向に沿う開口径がインク液室側の開口径よりも小径とする。 （もっと読む）

【課題】歩留まりを向上させることができる液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】複数の短尺の液体噴射ヘッドとしての短尺状インク噴射ヘッド８が配列されて構成される液体噴射ヘッドとしてのインク噴射ヘッド４において、短尺状インク噴射ヘッド８の各ノズルの液体噴射方向に、各ノズルにそれぞれ連通する複数の孔部１１が形成されるプレート７が配置され、短尺状インク噴射ヘッド８のノズルプレート９のノズル開口部１０の開口径は、プレート７の孔部１１の開口径よりも大きく、短尺状インク噴射ヘッド８とプレート７とは、プレート７の各孔部１１が、それぞれノズルプレート９のノズル開口部１０の内側に位置するように配置されていること。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ノズルが形成された吐出面の撥水処理を容易に行うことができるとともにノズルからのインクの良好な吐出状態を実現することができるインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】インクを吐出するノズルが形成される金属製のノズルプレート及びノズルに連通するインク流路を形成する複数の金属製のヘッドプレートを積層してインクジェットヘッドを製造する場合、ノズルが形成されていないノズルプレートを最外側に配置した状態でヘッドプレートと積層して拡散接合により一体化し、一体化された積層プレートのノズルプレート表面に対して撥水性樹脂微粒子を共析させた複合メッキ被膜を形成して撥水処理し、撥水処理されたノズルプレートに対して放電加工によりノズル孔を形成することで、撥水処理の影響を受けずにノズル孔を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】生産効率を向上させてコストダウンを図ることを目的とする。
【解決手段】本発明に係るレーザー加工装置は、レーザー光を発生するレーザー光源部と、レーザー光を透過しレーザー品質を調整する光学系と、加工対象を加工する上で所望の加工パターンに成形するためのフォトマスクと、フォトマスクによって成形されたレーザー光を縮小し加工対象にレーザー光を照射する投影レンズとを有するレーザー加工装置において、フォトマスクの設置位置を制御することができるフォトマスク調整機構を具備する。 （もっと読む）

【課題】使用材料種が少なく製造工程の簡略な液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】下地基板上に重合開始剤を含まず重合開始剤存在下活性エネルギー線照射により重合可能な化合物を含む樹脂組成物からなる第一層と、第一層上に重合開始剤を含む活性エネルギー線硬化性樹脂組成物からなる第二層とが形成された基板を用意し、吐出口パターンのあるモールドを第一層及び第二層に押し付け、モールド又は下地基板にある吐出口対応部分への活性エネルギー線照射を選択的に遮蔽する機構を介しモールド又は下地基板越しに第二層に活性エネルギー線を照射後、露光後ベークし、活性エネルギー線を照射された第二層を硬化し、第二層の重合反応点が拡散した第一層の一部に硬化部を形成し残部を残し、モールドを除去し、第二層を他の支持基板に貼付、第一層未硬化部を溶解し下地基板を分離する液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】加工容易性を向上させた上で、チャネルの挟ピッチ化を実現することができ、高分解能化を図ることができる液体噴射ヘッドチップ及びその製造方法、並びに液体噴射ヘッド及び液体噴射記録装置を提供する。
【解決手段】第１アクチュエータプレート４１ａと第２アクチュエータプレート４１ｂとの両者の隔壁３６が互い違いになるようにして重ね合わせられ、第１アクチュエータプレート４１ａの隔壁３６と第２アクチュエータプレート４１ｂの隔壁３６との間に、インクＷが充填される吐出チャネル５０が形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液保護膜の表面に傷やピンホール等を生じさせず、アルカリ耐性を向上させることができる高品質のシリコン製ノズル基板等を提供すること。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液導入側の面１ｂからノズル孔１１の内壁１１ｃまでドライ酸化膜１２を形成し、ドライ酸化膜１２にＴａ₂Ｏ₅ 膜１３を積層した。このとき、ノズル孔１１の液導入側の面１ｂからノズル孔１１の内壁１１ｃまでドライ酸化膜１２を形成し、ノズル孔１１の液吐出側の面１ａに撥水膜１４をさらに形成し、ドライ酸化膜１２に、ノズル孔１１の液導入側の面１ｂからノズル孔１１の内壁１１ｃの開口部１１ｄまで連続するＴａ₂Ｏ₅ 膜１３を積層する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、パターニング特性、密着性等のノズル材としての好ましい機能を有しつつ、ノズル表面、特に吐出口周囲の機械的強度が向上したインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、（１）エネルギー発生素子が設けられた基板の上に、無機微粒子を含む光硬化性樹脂組成物を設け、ノズル部材となる層を形成する工程と、（２）該ノズル部材となる層に、第１の吐出口パターンを露光する工程と、（３）該ノズル部材となる層に、第２の吐出口パターンを露光する工程と、（４）現像によりノズル部材及び吐出口を形成する工程と、をこの順で有し、前記第１の吐出口パターンと第２の吐出口パターンにおける吐出口形状は同一の中心点を持つ相似形であり、さらに前記第１の吐出口パターンよりも第２の吐出口パターンの吐出口面積のほうが小さいことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】湾曲面を有する対象物、又は、湾曲された状態の対象物に対して、対象物と複数のノズルとの間のそれぞれの距離が大きく異なるのを避けるとともに、構成部品となる構造体の接合が容易な液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】ラインヘッド１は、複数のノズル６１が開口する液滴噴射面６０を有するノズルプレート７２と、ノズルプレート７２に接合されるプレート７０，７１，及び、圧電アクチュエータ５７とを備えている。そして、ノズルプレート７２は、液滴噴射面６０と反対側に平面状の接合面を有し、前記接合面にはベースプレート７１が接合されており、さらに、液滴噴射面６０が曲面状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】製造工程を増やさず、型部材を破損することなく、生産性を損なわずに製造コストを軽減するとともに、高精度で微細な貫通孔を有する微細貫通孔構造体を製造する。
【解決手段】同一材料の構造体層１０を重ね合わせて形成された被加工体１１と、転写パターン１４を形成した金型１３とを加熱する工程であって、被加工体１１と金型１３の少なくともいずれか一方を、被加工体１１が金型１３の押込みにより変位可能な状態であり、かつ金型１３が被加工体１１に押込まれる際に互いに接する構造体層１０が溶着しない温度まで加熱する加熱工程と、金型１３を被加工体１１における少なくとも一つの構造体層１０に押込む押込み工程と、被加工体１１と金型１３とを冷却する冷却工程と、被加工体１１から金型１３を引き離す離型工程と、被加工体１１を各構造体層１０に分離する分離工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】より簡便な方法で、吐出性能の高いノズルとなる穴を形成することができるノズル基板の製造方法等を得る。
【解決手段】シリコン基板５１に形成したフォトレジスト５２に対して露光及び現像を行って、ノズル３１を形成するためのシリコン露出部分周辺におけるフォトレジスト５２に対して、傾斜部分を設けたパターンを形成する工程と、フォトレジスト５２をマスクとして異方性ドライエッチングを行って、テーパ形状のノズル３１となる穴を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】吐出口周辺においてディッシング形状を有さず、安定した吐出特性を得ることができるノズル基板等を得る。
【解決手段】平板を貫通させて、液体を吐出するためのノズル３１を形成した、シリコンからなるノズル基板３０において、液滴の吐出面において、吐出口周辺部分が凹んだディッシング形状（ラウンド形状）とならないようにノズル３１が基板の表面よりも突出した吐出口を有するようにする。 （もっと読む）

【課題】容易に液滴を形成することができるノズルプレートを提供する。
【解決手段】本発明に係るノズルプレート１００は、基板１０と、基板１０に形成された複数のノズル孔２０と、を含み、複数のノズル孔２０の各々は、基板１０の液体を吐出する吐出側の面１０ａに形成された第１開口２２と、基板１０の吐出側の面１０ａと反対側の面１０ｂに形成された第２開口２４と、を有し、複数のノズル孔２０の第１開口２２を、複数のノズル孔２０から吐出される液体の吐出方向３２に平行移動させたときの軌跡２３は、互いに重なり合う部分２３ａを有する。 （もっと読む）

第１の表面、第１の表面と表裏をなす第２の表面及び、半導体材料体を貫通して形成された、第１と第２の表面を連結するノズルを有する半導体材料体を有し、第２の表面のノズル噴出口を通して液体を射出するようにノズルが構成され、噴出口が丸められたコーナーで連結された直辺を有する、ノズル層が説明される。
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