【課題】ノズル列毎に異なる成分の液体を吐出する場合に、各ノズル列において同じ量の対応する液体を吐出すること。
【解決手段】第１の液体を所定量で吐出するための複数のノズルを有する第１ノズル列と、前記第１の液体とは異なる種類の第２の液体を前記所定量で吐出するための複数のノズルを有する第２ノズル列と、を備え、前記第１のノズル列のノズルの流路の寸法の平均が前記第２ノズル列のノズルの流路の寸法の平均と異なる、ヘッド。 （もっと読む）

【課題】コストの増加および穿孔加工時間の増加を抑制しつつエネルギービームの照射により凹所が形成されることを防止するとともに、微小な複数の孔を被加工部材に高密度に形成することができるエネルギービーム穿孔加工方法を提供する。
【解決手段】遮蔽部材４４を光路に挿脱させる遮蔽機構４３を用い、エネルギービームＬが被加工部材１１上に形成する照射領域４７を部分的に重複させるように、被加工部材１１における照射領域４７を貫通孔パターンにおける整列方向に移動させつつ被加工部材１１をエネルギービームＬで順次照射することにより深さ寸法を順次増加させて複数の貫通孔１５を形成することにともなって、遮蔽機構４３が、照射領域４７において貫通孔１５の形成に寄与しないエネルギービームＬの被加工部材１１への照射を防止するように、被加工部材１１における照射領域４７の移動に応じて遮蔽部材４４を光路に挿入する。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレート１１に流路抵抗の小さいノズル孔５を形成することができる液滴吐出ヘッドの製造方法を実現する。
【解決手段】ノズル孔が未加工のノズルプレート１１にノズル孔５に連通する連通孔２３が形成されたスペーサプレート１２を接合する工程と、ノズルプレート１１のにおける連通孔２３に対応する位置で、連通孔２３から露出している面に対してレーザ光を照射して、ノズルプレート１１にノズル孔５となる貫通孔５０を穿設する工程と、各貫通孔内に、ノズルプレート１１のスペーサプレート１２と反対側の開口側から、粘性を有する液状のレジスト５１を充填して閉塞する工程と、連通孔２３側から露出するノズルプレート１１の面に対して連通孔２３側からエッチングを施し、貫通孔５０におけるレジスト５１の外周のノズルプレート１１に凹部５２を形成する工程と、固化したレジスト５１を除去する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】金属板に複数の孔を開設しても孔の形状が変形することを防止し、また、孔の間隔が拡大することを防止することができる金属板の製造方法を提供する。
【解決手段】ステンレス板３０の表面３０ａからパンチ３２を押し入れて複数の孔を開設する金属板の製造方法であって、ステンレス板の前記した表面に、パンチ押し込み予定位置から外れた位置に肉逃げ用の有底開口空部３８を形成する空部形成工程と、空部形成工程の後に、パンチ押し込み予定位置にパンチを押し込んで孔を形成するパンチング工程と、パンチング工程の後に、金属板の裏面に隆出した隆出部３７を除去する隆出部除去工程と、を経てパンチ押し込み予定位置に孔を開設することを特徴とする金属板の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】吐出口のパターン露光における基板面からの反射光による吐出口パターン形状の変形を抑制しつつ、その変形抑制によるパターニング精度の低下を防止可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板の、その上方からみて吐出口が形成される領域を被覆するように、第一の溶解可能な樹脂と光吸収剤とを含む第一のインク流路パターンを形成し、その第一のインク流路パターンを被覆するように、第二の溶解可能な樹脂を含み光吸収剤を含まない第二のインク流路パターンを形成する。そして、第二のインク流路パターンを被覆するように、ノズル形成材料層を形成して、吐出口を形成した上で、第一のインク流路パターン及び第二のインク流路パターンを溶解除去して、前記インク流路を形成する。 （もっと読む）

【課題】膨潤片による悪影響を最小化する液体噴射ヘッドの製造方法およびそれによって製造された液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】液体貯留室，圧力発生室，ノズル開口を備えた液体噴射ヘッドの積層部材９が板厚の厚い第１板材１６と板厚の薄い第２板材１７とが接合層１８で一体化され、ストレート部２０Ｂとテーパ部２０Ａが設けられたパンチ２０を、第１板材１６に圧入して積層部材９の裏面に膨出部２３を形成し、その後、膨出部２３を切除して供給口８を開口する。ストレート穴８Ｂの断面積と積層部材９の厚さ寸法によって求められる空間容積Ｖ１に対するテーパ穴８Ａによって空間容積Ｖ１に加算される部分の環状容積Ｖ２の比は１以上である。また、第１板材の厚さに対する第２板材の厚さの比は０．２５以下である。これにより、膨潤片１９Ａによるストレート穴８Ｂに対する悪影響が最小化される。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出が良好な液体吐出ヘッド用ノズルプレートを効率よく製造する液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】Ｓｉ基板に貫通孔を備え、貫通孔は、Ｓｉ基板の一方の面に開口する小径部と、他方の面に開口し前記小径部の断面より大きな断面を有する大径部と、を有し、小径部の開口を液滴が吐出する吐出孔とする液体吐出ヘッド用ノズルプレートの製造方法において、Ｓｉ基板の面に大径部を形成するエッチングマスクを設ける工程と、エッチングマスクを設けたＳｉ基板の面に、エッチングと側壁保護膜の形成とを交互に繰り返すＳｉ異方性ドライエッチング方法により、所定の深さの大径部を形成する工程と、大径部を形成する工程の後、形成された大径部に対しＳｉドライエッチングを行うエッチング工程と、エッチング工程の後、エッチングマスクを除去する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 インク流動制御構造を有するインクジェットプリントヘッドを提供すること。
【解決手段】 インクジェットプリントヘッドは、ウェハ基板と、ウェハ基板上に設けられ、ノズルチャンバと外気とを連通させるノズルを各々が有するインク吐出ノズル配列と、使用時にインクメニスカスが形成される、各々のノズル周りに設けられたメニスカスリムと、各々のメニスカスリムから外側に離間して設けられ、且つウェハ基板に向かって延びるピットを形成するようにウェハ基板に延びるインク流動防止リムとを備える。インク流動防止リムは、インクジェットプリントヘッドの表面を横切るインクの流動を防止するように各々のノズル配列を実質的に取り囲む。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れた金型を用いて成型素材にノズルを形成する。また、高い形状再現性が得られ、液滴の吐出量にバラツキが少ない液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】金型２１１にストレート部２２１を形成して液滴吐出ヘッドを形成する工程に代えて、ストレート部を異方性エッチングにより形成する工程を用いる。即ち、加工する技術そのものが非常に難易度の高い細いストレート部を備えた金型を作る必要がなくなる。そのため、耐久性に優れた金型を用いて成型素材にノズルを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】スペーサプレートの一方の面にダンパープレート、他方の面にノズルプレートを積層するものにおいて、共通液室にダンパ壁を臨ませるとともに、スペーサプレート及びダンパープレートの各連通穴とノズルとを高い精度で位置合わせして形成することができる液滴吐出ヘッドの製造方法を実現する。
【解決手段】ダンパ室２８となる窪み部３２と第１連通穴２３ａとが設けられたスペーサプレート１２における、一方に広幅面にダンパ壁２７となる樹脂製のダンパープレート１３を、他方の広幅面に樹脂製のノズルプレート１１を、それぞれ積層して固着する工程と、ダンパープレート１３における第１連通穴２３ａに対応する位置に、レーザ光を照射して第２連通穴２３ｂを穿設する工程と、ノズルプレート１１における第１連通穴２３ａに対応する位置に、レーザ光を照射して、ノズル５を穿設する工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】微細貫通孔構造体を効率的に製造することができる微細貫通孔構造体の製造装置、微細貫通孔構造体の製造方法、微細貫通孔構造体、液滴吐出ノズル、液滴吐出フィルタ、液滴吐出ヘッド、および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】 保持部材１０４に微細孔を穿孔する被加工体１０５を保持し、保持部材１０４に保持される被加工体１０５を加熱して軟化させ、被加工体１０５の厚みより高い突起１０３ａが配置された転写パターンを有する金型１０３を加熱し、被加工体１０５および金型１０３を加熱した状態で、被加工体１０５の応力が軟化した被加工体１０５の破断応力以上かつ金型１０３の耐力以下となるような荷重で金型１０３の転写パターンを被加工体１０５に押し付けることにより、金型１０３の転写パターンに配置された突起１０３ａによって被加工体１０５に微細孔を穿孔する。そして、被加工体１０５が硬化した後、金型１０３から被加工体１０５を取り出す。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出面およびノズル孔内壁が吐出液に浸食されず、耐久性に優れ、撥水性に優れたシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液滴吐出側の面１ａからノズル孔１１の内壁１１ｃまで連続して耐吐出液保護膜１３が形成され、耐吐出液保護膜１３の液滴吐出側の面１ａに凹凸を形成し、耐吐出液保護膜１３の凹凸面に沿って撥水膜１４をさらに形成した。そして、ノズル孔１１の内壁１１ｃから接合面１ｂにかけて連続して保護膜１２を設け、保護膜１２の上に耐吐出液保護膜１３を連続して設けた。ノズル孔１１の内壁１１ｃはノズル孔１１の吐出口縁部１１ｄを境にして親水化処理されている。耐吐出液保護膜１３はＤＬＣからなる膜であり、耐吐出液保護膜１３の凹凸は高さが数十ｎｍから数μｍであり、撥水膜１４はフッ素含有有機ケイ素化合物からなる膜である。 （もっと読む）

【課題】安定した液滴吐出特性を有し、かつ、簡易なプロセスで、安価に得ることができるノズルプレートおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】
本発明に係るノズルプレート１００は、基板１０と、基板１０に形成され、液滴を吐出する吐出側の第１開口部２０と、第１開口部２０と連続して形成され、第１開口部２０より径が大きく、かつ、隅部３０ａを有する第２開口部３０と、隅部３０ａに沿って形成された樹脂からなるテーパ部４０と、第１開口部２０と、テーパ部４０が形成された第２開口部３０とを有するノズル孔５０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】貫通孔を成形すると同時に上記残膜の発生を防止することができるプラスチック薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】厚み方向に貫通する複数の貫通孔を備えるプラスチック薄膜の製造方法であって、材料薄膜をこの材料薄膜より塑性変形能の低い樹脂材料から形成された対向基材に積層するとともに、これら積層体を少なくとも材料薄膜の塑性変形可能温度まで加熱する加熱工程（Ｓ１）と、上記材料薄膜を、上記貫通孔を形成する押し型と上記対向基材との間で加圧して、上記押し型を上記材料薄膜に貫通させるとともに、上記対向基材に押し入れる加圧工程（Ｓ２）と、上記押し型を押し込んだ材料薄膜及び対向基材を冷却する冷却工程（Ｓ３）と、上記押し型を、上記材料薄膜及び上記対向基材から離脱させる脱型工程（Ｓ４）とを含んで構成される。 （もっと読む）

プリンタコンポーネントを処理する方法、プリントヘッド及びプリンタを提供する。本方法では、処理対象となるプリンタコンポーネントの近くに電極を配し、そのプリンタコンポーネントの近くまでプラズマ処理気体を導入し、そしてその電極への通電で発生するマイクロプラズマを大気圧付近の圧力下で作用させてそのプリンタコンポーネントを処理する。
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【課題】ジョイントゴム由来の成分を原因とした析出物の発生が抑えられ、良好な吐出を行うことが可能なインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】吐出口形成部材と流路形成部材と供給口とを備えた基板と、供給路と、支持部材と、供給路形成部材と、支持部材と供給路形成部材との間に設けられ供給路の一部を形成するゴム部材と、を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、流路形成部材および吐出口形成部材のうち少なくとも一方はフッ素原子を含む物質を含有し、ゴム部材は有機物で架橋されたものであることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 （もっと読む）

本発明は、インクに含有される粒状成分によって発生される流れ誘起ノイズの大きさを限定的なものとし、小滴形成の効率を最大化し、ノイズとの悪い相互作用を最小限に抑えるものである。
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【課題】優れた転落性を有する撥液層の形成方法、及び、ノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】撥液層１１Ｂの形成方法では、水酸基発現工程と、塗布工程と、溶媒洗浄工程と、がこの順に行われ、ノズルプレート基材１１Ａの表面にフッ素系シランカップリング剤からなる撥液層１１Ｂが形成される。水酸基発現工程では、ノズルプレート基材１１Ａの表面に水酸基を発現させる処理が行われる。塗布工程では、ノズルプレート基材１１Ａの表面にフッ素系シランカップリング剤が塗布される。溶媒洗浄工程では、ノズルプレート基材１１Ａを常温に保持したままの状態でフッ素系シランカップリング剤の溶媒でノズルプレート基材１１Ａが洗浄される。 （もっと読む）

【課題】シリコンからなる基板に対して形状ばらつきの少ない凹部を形成可能とする。
【解決手段】第１の酸化膜エッチング工程において、第１の酸化膜エッチング工程（ステップＳ４）において、エッチングによって酸化膜３０１に形成される凹部３０４の側壁部３０５は、等方性エッチングによって得られる傾斜角αを有する傾斜部３０７を備え、かつ、該傾斜部３０７の酸化膜エッチングによる深さ距離Ｌ１が、第２の酸化膜エッチング工程（ステップＳ６）にてエッチングされる酸化膜の深さ距離よりも大きな深さ距離となるようにエッチングされることによって形成される。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドにおいて、所望の耐溶剤性を確保しつつインク吐出孔周辺の清浄性を高める。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッド１の製造方法は、インク吐出面７５に溝部７１を有するインクジェットヘッドマニホールド２上のオリフィスプレート３表面に、インク吐出孔３ａを塞ぐマスキングテープ７６を貼り付ける工程と、オリフィスプレート３表面のマスキングテープ７６及び溝部７１と共に、ＦＰＣ５と圧電素子６との間の接着層７４を各圧電素子６の外側から覆う保護膜７２を形成する工程と、この保護膜７２をインク吐出面７５上の溝部７１内で切断しつつマスキングテープ７６を剥離する工程と、を有する。 （もっと読む）