【課題】インクの誤吐出を抑制するインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】一つの実施の形態に係るインクジェットヘッドは、基部と、ノズルプレートと、複数の第１のノズルと、複数の第２のノズルとを具備している。前記基部は、インクが供給される複数の圧力室と、電圧を印加されると変形して前記圧力室のインクを加圧する複数の駆動素子と、を有する。前記ノズルプレートは、前記基部に取り付けられる。前記複数の第１のノズルは、前記ノズルプレートに設けられ前記圧力室に開口し、インク吐出電圧を印加された前記駆動素子が変形することで前記圧力室のインクが吐出する。前記複数の第２のノズルは、前記ノズルプレートに設けられ前記圧力室に開口し、前記第１のノズルよりも開口面積が大きく、前記インク吐出電圧を印加された前記駆動素子が変形した際に前記圧力室のインクを留める。 （もっと読む）

【課題】高精度な流路形状を形成可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法及びそれにより得られるインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】エネルギー発生素子を有する基板と、インクを吐出する吐出口と、前記吐出口と連通するインクの流路を形成する流路形成部材と、を有するインクジェット記録ヘッドを、前記基板上に、ポジ型感光性樹脂にて前記流路のパターンを設ける工程；前記基板上に、前記パターンを被覆するように前記流路形成部材となるネガ型感光性樹脂の被覆樹脂層を設ける工程；３００ｎｍ以上の波長の光のみで前記被覆樹脂層を露光して、前記吐出口を形成する工程；および前記パターンを除去して前記流路を形成する工程；を有する方法で製造する。ただし、前記パターンは、３００ｎｍより短い波長の光には感度を有し、前記被覆樹脂層を露光するために用いられる光に対しては、感度をもたない。 （もっと読む）

【課題】振動しやすい検査対象基板を生産性良く検査する基板検査方法及び基板検査装置を提供すること。
【解決手段】ステージの移動後にワークの振動が減衰するまでの時間である振動継続時間を各ワークにて測定し、振動継続時間を記録する準備工程と（ステップＳ１〜ステップＳ６）、ワークを移動し、振動継続時間を読み出してワークの移動後に振動継続時間の間待機し、画像の撮影と検査を行う検査工程（ステップＳ７〜ステップＳ１３）と、を有する。準備工程で記録した振動継続時間を検査工程で行う複数の基板の検査において用いる。 （もっと読む）

【課題】液体噴射時のクロストークを防止することが可能な液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル２３に連通する主圧力室２０を隔壁３７によって複数区画し、当該圧力室の開口面を封止する作動面（弾性膜１６）を圧電素子１８によって変形させて当該圧力室内のインクに圧力変動を生じさせることで当該圧力室に連通するノズルからインクを噴射させる記録ヘッドにおいて、ノズル形成基板１５には、主圧力室とノズルとを連通する副圧力室３６が、複数の主圧力室にそれぞれ対応してノズル列設方向に複数形成され、副圧力室のノズル列設方向の幅は、主圧力室の同方向の幅よりも狭い。 （もっと読む）

【課題】 吐出口を形状精度よく形成する。
【解決手段】 インクの吐出口が設けられた吐出口部材を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、基板上に設けられた光カチオン重合開始剤とカチオン重合性樹脂とを含み、前記吐出口部材となるためのネガ型感光性樹脂を露光し、露光が行われた部分を硬化させる硬化工程と、前記露光工程後にカチオンをトラップする能力を有する窒素原子含んだ物質を前記ネガ型感光性樹脂へ付加する付加工程と、前記硬化が行われなかった部分を除去することにより前記吐出口を形成する工程と、を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】従来の検査装置では、検査を効率化することが困難である。
【解決手段】ノズルプレート１１のノズル面側とは反対側からノズル孔を撮像する第１撮像装置２１ａと、第１撮像装置２１ａの光軸に対して同軸であり、第１の波長成分の光でノズルプレート１１を照明する第１照明２３ａと、ノズル面側から、ノズル面を撮像する第２撮像装置２１ｂと、第２撮像装置２１ｂの光軸に対して同軸であり、第２の波長成分の光でノズル面を照明する第２照明２３ｂと、第３の波長成分の光で、第２撮像装置２１ｂの光軸に対して傾斜した方向からノズル面を照明する第３照明と、第１撮像装置２１ａでの第１の波長成分の画像と第２の波長成分の画像とを合成して第１検査画像を生成し、第２撮像装置２１ｂでの第２の波長成分の画像と第３の波長成分の画像とを合成して第２検査画像を生成する画像処理装置２６と、を有する、ことを特徴とする検査装置。 （もっと読む）

【課題】相異なるノズル列のノズルから噴射された液体の着弾位置の距離を簡易な構成で低減する。
【解決手段】記録ヘッド２４は記録紙２００に対してＸ方向に相対移動する。Ｙ方向に配列する複数のノズルＮを含む第１ノズル列Ｌ1と、Ｙ方向の位置が第１ノズル列Ｌ1の各ノズルＮとは相違する複数のノズルＮをＹ方向に配列した第２ノズル列Ｌ2とが、Ｘ方向の距離ｄをあけて記録ヘッド２４の吐出面２６に並列に形成される。第１ノズル列Ｌ1の第１ノズルＮ1から噴射されたインクで記録紙２００に形成されるドットＤ1と、第２ノズル列Ｌ2の第２ノズルＮ2から噴射されたインクで記録紙２００に形成されるドットＤ2とのＸ方向における中心間の距離が距離ｄを下回るように、第１ノズルＮ1と第２ノズルＮ2とは相異なる寸法に形成される。 （もっと読む）

【課題】各ノズルから吐出される液滴の吐出方向のばらつきを抑制することにより、印刷
品質を向上させた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル２１と、ノズル２１に連通する圧力発生室を含む個別
流路を備える液体流路と、圧力発生室に圧力変化を生じさせてノズル２１から液滴を吐出
させる圧電素子と、を具備し、ノズル２１は圧力発生室に対して複数設けられ、１つの個
別流路内において隣り合うノズル２１の開口の間の領域には、前記圧力発生室側に突出す
る凸部２２の最大突出部２３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】吐出面に対するワイパやマスク等の部材からの圧力のばらつきを軽減する。
【解決手段】吐出面１０ａに凹部１４ｂが形成されており、凹部１４ｂの底部１４ｂ３に吐出口１４ａが開口している。凹部１４ｂを含む吐出面１０ａの全体（吐出口１４ａを除く）に、撥インク膜１２ｋが形成されている。凹部１４ｂは、間隔ｄ１の間隔ｄ２に対する大小関係が間隔ｘ１の間隔ｘ２に対する大小関係と同じになるように、底部１４ｂ３の中心が吐出口１４ａの中心に対して偏心して配置されている。 （もっと読む）

【課題】従来より微小な液滴を高精度に着弾させることが可能な形状精度の高い吐出口を有するインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル層と撥液層とが形成されたインクの吐出口を備えるインクジェットヘッドであって、撥液層がカチオンの拡散が小さいアニオン部を有する熱カチオン開始剤を含む撥液層原料を硬化した層であることにより、形状精度の高い吐出口を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】吐出口がフォトリソグラフィー技術を用いて形成可能であり、記録速度の高速化を図り主滴と副滴の着弾位置のずれを抑え、画像の高品質化を実現できるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】複数の吐出口から記録媒体に対して液滴を吐出するインクジェット記録装置において、明細書中に定義される平面の法線が、該記録媒体に記録する際の該記録媒体に対するインクジェット記録ヘッドの相対移動方向を向いて各吐出口の軸線に対して傾斜しているインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、基板上に感光性樹脂材料を塗布し感光性樹脂層を形成する工程と、該感光性樹脂層にその感光性樹脂層表面に対して傾斜する面を有する凹みを形成する工程と、該傾斜する面に該複数の吐出口を形成する工程とを含むことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】 ヘッド構造、製造に与える制約が少なく、フォトリソグラフィーの工程で膨張する内気を効率よく排出して高精度に形成された吐出口部材を備えた液体吐出ヘッドを歩留まりよく製造する。
【解決手段】 流路壁部材となる流路壁部材５が設けられた基板１を用意する工程と、感光性樹脂からなり吐出口部材となる樹脂層６ａと、流路壁部材５と、を流路８となる空間を内側に包むように接合する工程と、空間と外気とが連通するように、樹脂層に貫通孔７を設ける工程と、樹脂層６ａを部分的に露光する工程と、露光が行われた樹脂層６ａを加熱する工程と、加熱が行われた樹脂層６ａから露光が行われなかった部分を除去して吐出口７を樹脂層に形成して吐出口部材を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】液滴表面にレーザ光を直接照射することで乾燥・焼成して薄膜形成を行う、従来のインクジェット法において生じる特性劣化を低減させることを可能とする。
【解決手段】インクジェット法により基板上の所定の領域に薄膜形成にかかるインク滴Ｉを塗布し、そのインク滴Ｉが塗布された領域に対応した位置の、そのインク滴Ｉが塗布された面の裏面にレーザ光源２１３からのレーザ光Ｌを照射し、そのインク滴Ｉを加熱して焼成させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インクの吐出精密度を向上したノズルプレート及びこれを備えるインクジェットプリンタヘッドを提供する。
【解決手段】第１のシリコン基板１５３と、該第１のシリコン基板１５３とは異なる結晶方位を有し、第１のシリコン基板１５３と接合される第２のシリコン基板１５６とを含み、第１のシリコン基板１５３は第１の貫通ホール１５７ａを有し、第２のシリコン基板１５３は第１の貫通ホール１５７ａと連通しており、第１の貫通ホール１５７ａと異なる構造を有する第２の貫通ホール１５７ｂとを含む。 （もっと読む）

【課題】 生産工程で実施される印字テストを不要にし、生産性を向上させるインクジェットプリンタヘッドを提供する。
【解決手段】 金属で形成され、インク滴が吐出されるノズル孔２ａを中央側に配列するノズル板２と、該ノズル板２上に積層され、ノズル孔２ａと連通するインク流路３ａを有し、赤外線の透過を許容する材質を用いてインク流路３ａがエッチング加工される流路板３と、該流路板３上に積層され、インク流路３ａ内のインク液を加圧する金属で形成される振動板４と、該振動板４を変形させる圧力を発生させる圧力発生手段とを備え、流路板３とノズル板２との積層状態で、インク流路３ａはノズル孔２ａとその積層方向で重なり合って連通する連通孔３ｃと、該連通孔３ｃの外側に形成される凹状の連通溝３ｄとを含み、ノズル板２は連通溝３ｄが形成される個所の流路板３には積層されずに、流路板３の連通孔３ｃを囲う近傍に積層される大きさで形成される。 （もっと読む）

【課題】位置ずれを発生させずに圧力室とノズルを高精度に形成する。
【解決手段】基板にノズルストレート部及びノズルテーパー部の領域を規定するための第１のマスクパターンと前記基板に圧力室に相当する空間部の領域を規定するための第２のマスクパターンとを同時に形成するパターニング工程と、前記第１のマスクパターンに基づいて第１のエッチングを行い、前記基板にストレート状の貫通孔を形成する第１のエッチング工程と、前記第２のマスクパターンに基づいて第２のエッチングを行い、前記基板に前記圧力室に相当する空間部を形成する第２のエッチング工程と、前記第１のマスクパターンに基づいて第３のエッチングを行い、前記圧力室に相当する空間部の前記貫通孔が形成された面のうち、該貫通孔の周辺にテーパー形状を形成する第３のエッチング工程とを備えた液体吐出ヘッドの製造方法によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】耐久性のある撥液性コーティングを流体噴射装置に施す。
【解決手段】流体噴射装置のノズル板を形成する方法は、多層基板の第一面に穴をエッチングにより形成する工程と、穴内にライナーを付ける工程と、ライナーの閉端部を露出させるように多層基板の第二面から層を除去する工程と、撥液性コーティングをライナーの閉端部及びライナーの閉端部を囲む領域に施す工程と、ノズルを開けるようにライナーの閉端部を除去する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】吐出口から外部に伸びた吐出液体が、吐出口内にある液体から分離するタイミングを大幅に早めることを可能とし、画質の低下を引き起こすサテライト及びミストの一層の低減を可能とする。
【解決手段】液体吐出ヘッドは、吐出口は互いに並列する側壁部と、前記側壁部同士をつなぐ前記側壁の面と交差する方向に延在する先端壁部と、を含む、吐出口の中心に向かって突出する複数の突起部を備える。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートにシリコンを用いたインクジェットヘッドを長期間使用しても精度良く吐出を行うことができるインクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】シリコンからなるノズルプレート３０にインク吐出用ノズル３２を形成するノズル形成工程と、ノズル３２のインク吐出側の面に、ノズル３２内部に入り込むように、金属膜４２を成膜する金属膜成膜工程と、シリコン基板に流路構造体を接合する接合工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッドである。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリントヘッドのようなマイクロ電子機械デバイスにおけるノズルを形成するための方法および装置を含む技術を提供すること。
【解決手段】ノズル４６０は、層４２０がデバイスの別の部分４４０上にボンディングされる前に、層４２０内に形成される。ボンディング前に、層４２０内にノズル４６０を形成すると、所望の深さと所望の幾何学的形状を有するノズル４６０を形成することができる。ノズル４６０に対して、特定の幾何学的形状を選択すると、インク流れの抵抗を減らし、マイクロ電子機械デバイスにわたるノズル４６０の均質性を改善できる。 （もっと読む）