【課題】ノズルを高精度な形状に形成可能な液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドの製造方法は、シリコン基板３０にノズルとなる凹部６ｃをエッチングによって形成する工程と、凹部６ｃの内壁にシリコン酸化膜３４を形成する工程と、シリコン基板３０の凹部６ｃが形成されている面３０ａの反対面３０ｂからシリコン基板３０を薄板化することによって、凹部６ｃを貫通孔に形成する工程と、を有する。凹部６ｃを貫通孔に形成する工程は、シリコン酸化物用スラリーＬを用いたＣＭＰ法によって、シリコン酸化膜３４を研磨することを含む。 （もっと読む）

【課題】インクを吐出する位置や方向にばらつきがなく、印字品質を向上することが可能なラインヘッド、ラインヘッドの製造方法、及び記録装置を提供する。
【解決手段】複数の第１ノズル孔２３を有するベースプレート２１と、ベースプレート２１上に配置された、第１ノズル孔２３に連通する第２ノズル孔２５と、第２ノズル孔２５毎に設けられたアクチュエーターと、を有するノズルユニット２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明はインクジェットヘッドアセンブリー及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドアセンブリーは、インク流路が形成されるインクジェットヘッドプレートと、上記インクジェットヘッドプレート内の圧力チャンバに対応するように形成され、上記圧力チャンバからノズルへとインクを吐出するための駆動力を提供する圧電アクチュエーターと、上記インクジェットヘッドプレート上に積層され、外部から流入されるインクを上記インクジェットヘッドプレートの流入口に移動させる流路が形成されるパッケージ部と、上記パッケージ部に貫通形成されるビアに充填され、上記圧電アクチュエーターと電気的に接続する電気接続部を含むことができる。 （もっと読む）

【目的】上下２段に配置した圧力室にそれぞれ対応する絞り部の加工時間及び加工コストを抑制可能なインクジェットヘッドを提供すること。
【構成】複数の層からなる積層体によって構成され、前記積層体内に設けられた圧力室内のインクを圧力発生手段によってノズルから吐出するインクジェットヘッドであって、前記積層体を構成する第１の層１２に形成された第１の圧力室１２１に連通する第１のインク供給路５０に設けられた第１の絞り部５２と、前記積層体を構成する第２の層１３に形成された第２の圧力室１３１に連通する第２のインク供給路７０に設けられた第２の絞り部７２とを有し、前記第１の絞り部５２と前記第２の絞り部７２は、共に前記積層体中の同一の層に形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】ガラス基材とシリコン基材との接合位置精度を向上させる。
【解決手段】電極部を有するガラス基材と、振動部を有するシリコン基材と、ノズル部を有するノズル基材と、を備えた液滴吐出ヘッドの製造方法であって、前記ガラス基材と前記シリコン基材のうち少なくとも一方の面に、レーザー光を吸収する吸収材を付着する吸収材付着工程と、前記吸収材を介して、前記ガラス基材とシリコン基材とを重ね合わせるとともに、接合の位置の位置決めを行うアライメント工程と、常温下において、前記吸収材に向けてレーザー光を照射して、前記ガラス基材と前記シリコン基材とを接合する第１接合工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】所望の吐出性能の維持と圧力室への気泡浸入による吐出性能への悪影響の抑制とを図り得るインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インク供給路は、インクの供給方向に沿って共通流路２２に近い側から順に、第１の流路部３２、第２の流路部４２及び第３の流路部４３を少なくとも有し、第１の流路部３２は、共通流路２２から供給されるインクを第２の流路部４２内に上向きに流入させる縦流路であり、第３の流路部４３は、第２の流路部内４２のインクを該第２の流路部４２から横向きに流出させる横流路であり、第１の流路部３２の横断面積をＡ１、第２の流路部４２の横断面積をＡ２ａとしたとき、Ａ２ａ＞Ａ１であり、且つ、第２の流路部４２の縦断面積をＡ２ｂ、第３の流路部４３の縦断面積をＡ３としたとき、Ａ２ｂ＞Ａ３である。 （もっと読む）

【課題】振動板の貼り付きを防止し、また当接面側の絶縁膜あるいはＤＬＣ膜の異物化を防止するとともに、駆動耐久性に優れ、高電圧駆動が可能な静電アクチュエーター、吐出ヘッド及びそれらの製造方法並びに吐出装置を提供する。
【解決手段】静電アクチュエーターは、基板８上に形成された固定電極１４と、固定電極１４に対して所定のギャップＧを介して対向配置された可動電極１２と、を備え、固定電極１４と可動電極１２との間に静電気力を発生させて、可動電極１２に変位を生じさせる静電アクチュエーターであって、可動電極１２又は固定電極１４上に酸化物系絶縁膜２２が形成され、この酸化物系絶縁膜２２の上に、水酸化アモルファスカーボン膜２４が形成され、さらにギャップＧ内部が放電抑制ガス５８雰囲気に保たれている。 （もっと読む）

【課題】ギャップの封止を複雑な工程を要することなく、安価な材料を用いて行なうようにして小型化及び低コスト化を実現するようにした静電アクチュエーターを提供する。
【解決手段】本発明に係る静電アクチュエーターは、固定電極３２及びリード部３３が形成された凹部３１を有する第１の基板（電極基板３０）と、固定電極３２にギャップ４０を隔てて対向し、固定電極３２との間で発生させた静電気力により動作する可動電極（振動板２２）及びリード部３３に対向し、凹部３１に挿入されることでギャップ４０を封止している封止薄膜部２５を有する第２の基板（キャビティ基板２０）と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】吐出室の側壁の幅精度を向上させ、吐出性能の安定化を図るようにした液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１００は、液体を吐出するノズル孔１１が形成されたノズル基板１０と、ノズル孔１１と連通し、底壁が振動板２２となる吐出室２１が形成されたキャビティ基板２０と、振動板２２を駆動する個別電極３２が振動板２２にギャップ４０を隔てて対向するように形成された電極基板３０と、を備え、吐出室２１の側壁のうち少なくとも長手方向の側壁（隔壁２５）を耐アルカリ性部材で構成している。 （もっと読む）

【課題】高精度が求められる難しい工程を必要とせずに初期変形をなくし、必要量のインクを吐出することができるインクジェットヘッドを提供することである。
【解決手段】圧力室１９の側壁となる基板１０と、圧力室１９の上壁となる振動板とを有し、該振動板の変形動作により圧力室１９内のインクを吐出させるインクジェットヘッド２３において、振動板は、下から順に、弾性層２０、拡散防止層１０ａ、下電極密着層１３、下電極１４、圧電層１５、上電極密着層１７、上電極１８が積層されてなり、弾性層２０は、圧力室１９内の拡散防止層１０ａの下に形成され、拡散防止層１０ａより厚く、その残留応力は拡散防止層１０ａの残留応力より小さい構成とする。 （もっと読む）

【課題】同一ノズルから吐出できる液滴量の幅を広くすることができ、またヘッドとして打ち分けることが可能な液滴量の種類を増やすことができる液滴吐出ヘッド等を提供すること。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル孔３０と、それぞれのノズル孔３０に連通する複数の吐出室１０と、吐出室１０に連通して吐出室１０に液体を供給する共通液滴室１１と、吐出室１０の壁面に形成された振動板Ａと、振動板Ａに対向して配置された個別電極Ｃとを備え、振動板Ａと個別電極Ｃとの間の静電力によって振動板Ａを変位させて吐出室１０の液をノズル孔３０から吐出させる液滴吐出ヘッドであって、各吐出室１０の壁面に形成された振動板Ａ１、Ａ２は吐出室１０の幅方向ロに厚みが異なり、振動板Ａ１、Ａ２のそれぞれの厚みに対応させて個別電極Ｃ１、Ｃ２を幅方向ロに分割形成した。 （もっと読む）

【課題】ノズル基板の製造中に、ノズル孔内に撥インク膜やプライマー液が入り込むのを抑制して、ノズル孔内壁の親水化をより向上させる。
【解決手段】シリコン基板１をドライエッチングしてノズル孔１０となる部分を形成する工程と、ノズル孔１０となる部分が形成されたシリコン基板１の表面に酸化膜１０２を形成する工程と、ノズル孔１０となる部分に溶解性樹脂２０１を充填する工程と、支持基板１０３をシリコン基板１のノズル孔１０部を加工した面に貼り合せる工程と、支持基板１０３を貼り合せた面と反対側の面からシリコン基板１を研削及び研磨して薄板化し、ノズル孔１０を貫通させる工程と、シリコン基板１の研削及び研磨した面に撥インク膜１２を成膜する工程と、支持基板１０３を剥離し、シリコン基板１の撥インク膜１２成膜面をプライマー処理する工程と、溶解性樹脂２０１をノズル孔１０から除去する工程と、を備えたノズル基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】陽極接合における精度向上、高歩留まりを実現することができる静電アクチュエーターの製造方法等を得る。
【解決手段】可動電極となる振動板２２を形成したシリコン基板５１に、アライメント用の凸状のＤＬＣ膜５２を形成する工程と、ガラス基板６１に溝部１１及びＤＬＣ膜５２を嵌合させるためのアライメント用凹部６２を形成し、溝部１１に振動板２２と所定の間隔で対向させて変位させるための電極部１２を形成する工程と、シリコン基板５１とガラス基板６１とを、ＤＬＣ膜５２をアライメント用凹部に嵌合させて位置合わせして陽極接合する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】液との適合性に優れ、複雑な構造を必要とせず加工が容易で高精度の液滴吐出ヘッド等を提供すること。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔５０を有するノズル基板５と、振動板３０が壁面の一部に形成されてノズル孔５０と連通する吐出室３２、及び吐出室３２に液を供給するリザーバ３３とを有するキャビティ基板１と、振動板３０と対向配置された個別電極４１を有する電極基板４とを備え、振動板３０と個別電極４１との間の静電力により振動板３０を変位させて吐出室３２の液をノズル孔５０から吐出させる液滴吐出ヘッドであって、キャビティ基板３は、第１キャビティ基材１と第２キャビティ基材２とからなり、第１キャビティ基材１はシリコン材料で形成され、第２キャビティ基材２は硼珪酸ガラス材料で形成され、電極基板４は硼珪酸ガラス材料で形成され、ノズル基板５はシリコン材料で形成されている。 （もっと読む）

【課題】振動板部に任意の寸法で精度良く高潤滑硬質膜を形成することが可能な静電アクチュエーターの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る静電アクチュエーターの製造方法は、絶縁膜１９の振動板８に対応する表面位置に高潤滑硬質膜（ＤＬＣ膜２０）を形成する工程と、絶縁膜１９及び高潤滑硬質膜を保護するエッチング保護膜２１を形成する工程と、シリコン基板３’の振動板８形成面とは反対側面からエッチングを施す工程と、含んでいる。 （もっと読む）

【課題】高潤滑硬質膜の成膜工程において基板間の接合ズレを効果的に防止することが可能な静電アクチュエーターの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る静電アクチュエーターの製造方法は、シリコン基板３’を、シリコン基板３’の外径よりも大きな外径を有し、振動板８に対応する位置に貫通穴５３が形成されているシリコンマスク５０、及び、シリコン基板３’の外径よりも大きな外径を有するサポート基板６０で挟み込み、貫通穴５３を介して高潤滑硬質膜を成膜する工程と、を有している。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドの液滴流路が形成されたキャビティー基板に対し、陽極接合により接合可能なノズル基板を簡単に製造することが可能なノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】シリコン基板１００の一方の面に液滴吐出側の第１ノズル孔となる凹部１０３を形成する工程と、凹部１０３の内壁を含むシリコン基板１００の表面全体に耐インク保護膜１０４を形成する工程と、ガラス基板１１０の一方の面に液滴供給側の第２ノズル孔となる凹部１１１を形成する工程と、シリコン基板１００の一方の面とガラス基板１１０の一方の面同士を、凹部１０３と凹部１１１とが対向するようにして陽極接合する工程と、ガラス基板１１０の他方の面を凹部１１１の底面が開口するまで薄板化し、第２ノズル孔１１ｂを形成する工程と、シリコン基板１００の他方の面を凹部１０３の底面が開口するまで薄板化し、第１ノズル孔１１ａを形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】絶縁膜間に発生する界面分極による帯電を除去することにより、耐久性及び信頼性を向上させることが可能な構造とした静電アクチュエーターを提供する。
【解決手段】本発明に係る液滴吐出ヘッド１００は、個別電極１７を形成した電極ガラス基板４と、個別電極１７にギャップ１８を隔てて対向し、個別電極１７との間で発生させた静電気力により動作する振動板８を有するキャビティ基板３とを備え、個別電極１７及び振動板８の対向面のうち少なくとも一方に絶縁膜を多層に形成し、絶縁膜間に導電性の導線部２１を介在させている。 （もっと読む）

【課題】吐出エネルギーを高めることができ、配線の引き回しや回路接続の自由度も向上する液滴吐出ヘッドを提案すること。
【解決手段】吐出液をそれぞれのノズル孔１０１から吐出させる複数の加圧室２０１が、対向する振動板の間に形成されたキャビティ基板２００を備え、振動板の一方は複数の加圧室に対して共通の共通電極振動板２１１とされ、振動板の他方は複数の加圧室にそれぞれ対応した個別電極２２３を有した個別電極振動板２２１とされており、キャビテイ基板２００に、共通電極振動板２１１と電極対を形成し複数の加圧室にそれぞれ対応した個別電極３１２を有した個別電極基板３１０と、個別電極振動板２２１と電極対を形成し複数の加圧室に対して共通の共通電極基板３２０とを、積層した液滴吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】高い位置合わせ能力を要求することなしに、高精度で信頼性の高い静電アクチュエーターおよび液滴吐出ヘッドを得ること。
【解決手段】可撓性の振動板１２が形成されたシリコン基板２と、振動板１２に隙間２２を介して対向する個別電極１７を有したガラス基板３とが接合された静電アクチュエーターであって、シリコン基板２は、ガラス基板３と対向する面のほぼ全域に絶縁膜１６ａが成膜されたものであり、ガラス基板３は、個別電極１７の表面に絶縁膜１６ｂが成膜されているが、シリコン基板２との接合部２０には絶縁膜１６ｂが形成されていない。 （もっと読む）