【課題】インクチャンバーの開口部の幅が同一チップ内で異なるインクジェット記録ヘッドにおいて、インクチャンバーの高さのばらつきを抑える。
【解決手段】記録ヘッドは、インク供給口３を備えた基板２と、流路壁１０とインクチャンバー１２ａ，１２ｂとを有する流路構成部材８と、複数の櫛状部１５ａを備えた密着層１５とを有している。インクチャンバー１２ａ，１２の開口部１３ａ，１３ｂの、インク供給口３の延びる方向１６における幅は、少なくとも一部のインクチャンバー１２ａ，１２ｂ同士で互いに異なり、櫛状部同士１５ａの空隙部の、インク供給口の延びる方向１６における幅は略同一である。 （もっと読む）

【課題】 任意の形状の孔をより容易に高品質で形成出来るレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】 第一反射ミラー２１０は、反射面２１０Ａの反対面２１０Ｂに圧電体２１２の一端が接合し、圧電体２１２の他端は固定部２１４に固定されており圧電体２１２を振動させることで、第一反射ミラー２１０がＹ軸方向に振動する。第二反射ミラー２２０は、Ｙ軸方向と直交するＸ軸方向に変位可能とされており反射面２２０Ａの反対面２２０Ｂには、圧電体２２２の一端が接合し、圧電体２２２の他端は固定部２２４に固定されている。第一反射ミラー２１０はＹ軸方向にＹ＝ＡＳｉｎ（ωｔ）で振動し、第二反射ミラー２２０はＸ軸方向にＸ＝ＡＣｏｓ（ωｔ）で振動する。同期したＹ軸方向とＸ軸方向との振動が合成されると、各レーザ光Ｌは、半径Ａ（振幅Ａ）の円軌道を描き、半径Ａの孔が複数同時に形成される。 （もっと読む）

ノズルプレート部材は、基板上のフォトレジストを形成し、選択的に露光し、異なるボディのアレイを画定するために材料を除去することで製造される。そして、ニッケルは、プレートを形成するためにボディの周囲で電鋳され、ノズルがその後フォトレジストを介した溶発によって形成される。前記処理は、各ノズルの周囲にガード構造を形成するために、本質的に繰り返すことができる。

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【課題】インクジェットプリントヘッドのような液滴付与装置において、製品の技術的優位性と製造コストをバランスさせた液滴付与装置部品、特にノズルの形成方法を提供する。
【解決手段】圧電物質の平面体を形成し、該平面体の第一面に第二物質の領域を形成し、該平面体の第一面と反対側の第二面に、該第二物質の領域を露出するのに充分な深さの流路を形成し、該露出された領域内の第二物質の該層を通るノズルをノズルが該流路と連通するように形成する工程からなる液滴付与装置用部品の形成方法。
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【課題】良好な画像を記録することができ、且つ高速記録に対応可能な高性能のインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】本発明に係るインクジェットヘッドは、熱エネルギーによりインク７を吐出すように構成されている。本インクジェットヘッドは、ベースプレート２、該ベースプレート２の上面に主走査方向に配列される多数の発熱抵抗体３、および、該多数の発熱抵抗体３の各々に対して電気的に接続され、パルストリミング用パッド４ａが形成されている一対の給電配線４を含んでなるヘッド基板１と、主走査方向に対して交差する副走査方向でベースプレート２より幅が狭い天板５と、ヘッド基板１と天板５との間に介在し、インク７を充填するための間隙を形成するためのスペーサとを備え、パルストリミング用パッド４ａは、天板５の配設領域外で且つ前記間隙外に位置している。 （もっと読む）

【課題】板状部材の剛性を損なうことなく、開孔の小さい孔を精度良く貫通加工でき、積層時に流体漏れ等の不具合を引き起こす心配のない板状部材の積層構造およびその製造方法の提供を目的とするものである。
【解決手段】貫通孔が形成された板状部材を含む少なくとも１枚または複数枚の板状部材が積層され、前記貫通孔が流体の流路として構成される板状部材構造において、エッチングにより板状部材１に貫通孔６より大きい孔３を形成させ、その孔３に樹脂４を充填させ、充填物４にレーザー７により形成された貫通孔６を有する。これにより、板状部材の板厚に対して開口径が小さく精度の良い貫通孔を穿設できるとともに、バリやダレといった積層不良を引き起こすことも防止できる。 （もっと読む）

【課題】 マニホールドにおいて圧力波を確実に減衰する。
【解決手段】 インクジェットヘッド３は、２つのマニホールド１４から各マニホールド１４に夫々隣接する５個の圧力室１０を経て、ノズル１５に連通する１０個の個別インク流路が形成された流路ユニット３１と、流路ユニット３１の上面に設けられた振動板４０、振動板４０の上面に設けられた圧電層４１、及び、圧電層４１の上面に圧力室１０に対応して設けられた個別電極１６を備えた圧電アクチュエータ３２とを有する。振動板４０は、１０個の圧力室１０と２つのマニホールド１４とを覆うように配置されており、その下面の２つのマニホールド１４に重なる領域には、表面が平面状であり、下側ほどその幅が大きくなったテーパー状の断面形状を有する凹部４０ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子を薄膜化しても取り扱い性を良くする。
【解決手段】 板状圧電体２０２が支持基板２０６に接合された状態で薄膜化するので、薄膜化に伴う薄膜圧電体２１０の反りが抑えられる。また、薄膜圧電体２１０は脆くて割れやすいが、支持基板２０６に接合されているので、以降の工程での取り扱いが容易である（ハンドリング性が良い）。よって、歩留まりが向上する。また、従来よりも、薄くして変形効率を向上させることも容易である。 （もっと読む）

【課題】低コストで高精度な液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】略等ピッチの凹凸を設けた原版１１の表面に、流路部材１２となる材料を成膜し、一旦原版１１から薄膜として形成された流路部材１２を剥離する。次に梁部材１４と流路部材１２とを接着剤あるいは圧着により密着接合し、流路１３をシールする。さらに中間保持部材を剥離する。次に例えばブレード４４で梁部材１４を流路方向に切断し、梁部材１４をノズルごとに分離し、ドットごとのインク滴吐出が行えるように、流路ごとに独立してアクチュエータによる動作を可能にする。さらにレーザ４２などでスキャン加工を行い、流路ごとに分離された流路部材１２にノズルを形成する。これにより、流路１３を一括形成できるため、高精度な位置合わせ作業を必要とせず低コスト化が可能であり、また流路壁や隣接隙間を薄くできるため、ノズルを高密度化できる。 （もっと読む）

【課題】 液体流路部の形状安定性の向上と、マニホールド等の液体供給部材と液体流路部との接着強度（連結強度）の向上を両立させ、高い構造安定性、供給安定性を有するインクジェットヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明のインクジェットヘッド１０（１０’）は、描画対象に液体を吐出するための液体流路部３０が基板２０の上面に形成されており、液体流路部３０には、基板２０上面に平行な流路３９が設けられている。この液体流路部３０の一部である供給領域４０上に保護部８０（８０’）を配置する。 （もっと読む）

【課題】 製造中にシリコン基板に割れや欠けが生じることがなく、また薄膜化された振
動板や電極取出し部が割れることのない静電アクチュエータの製造方法等を提供する。
【解決手段】 ガラス基板２ａに電極１１を形成するための電極用凹部１０ａを形成して
、該電極用凹部１０ａ内に電極１１を形成する工程と、ガラス基板２ａに、電極用凹部１
０ａに連通し、該電極用凹部１０ａ内の気体を吸着するゲッタ材３１を収容するためのゲ
ッタ室となる凹部３０を形成して、該ゲッタ室となる凹部３０内にゲッタ材３１を成膜す
る工程と、ガラス基板２ａにシリコン基板１ａを陽極接合した後に、該シリコン基板１ａ
を薄板化する工程と、電極用凹部１０ａを封止材を用いて封止することにより、電極用凹
部１０ａとゲッタ室を封止材２２によって分離する工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの位置精度および真直度を向上させることが可能な液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 形成すべきノズルプレート９２より厚肉の母材９２ａの裏面に、母材９２ａの構成材料より硬い材料からなる補強層９２ｂを形成する工程と、母材９２ａの表面におけるノズルの形成位置に凹部７５を形成する工程と、補強層９２ｂを除去するとともに、母材９２ａの裏面を追い込んで凹部７５の先端部を開口させ、ノズル９１を形成する工程と、を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 １つの圧力室と複数のノズルとを連通させる連通孔に気泡が滞留するのを防止可能な液滴噴射装置、及び、その製造方法を提供すること。
【解決手段】 ノズルプレート１３には、１つの圧力室１４に連通し、且つ、所定の一方向に配列された２つのノズル２０が互いに近接して形成され、ノズルプレート１３に接するマニホールドプレート１２に形成された連通孔１９は、２つのノズル２０の径よりも大きな径をそれぞれ有し、プレート直交方向から見てそれらの中に２つのノズル２０がそれぞれ完全に収まるように配置された２つの円形孔４０を含んでいる。そして、これら２つの円形孔４０は、前記プレート直交方向から見て部分的に重なるように連結され、さらに、その連結部４１が、円形孔４０の径よりもその幅が小さくなるようにくびれた形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 複数の記録素子を共通に電源に接続するための共通電源配線と、複数の記録素子を共通にグランドに接続するための共通グランド配線との低抵抗化のための構成を損なうことのないインクジェット記録ヘッド用基板と外部との電気的接続構成を提供する。
【解決手段】 電極パッド（Ｈ１１０５）を介さずに共通配線（Ｈ１１０６）と電気配線テープ（Ｈ１３００）の電極リード線（Ｈ１１０７Ａ）とを電気的に接続する。この構成では、基板（Ｈ１１００）端部の電極パッド近傍で共通配線幅を狭める必要がなく、従って共通配線の低抵抗化を損なうことがない。 （もっと読む）

【課題】セラミックスを含む配向膜を低コストで製造できる配向膜の製造方法を提供する。
【解決手段】基板に向けて粉体を噴射して該基板上に堆積させるエアロゾルデポジション法を用いることにより、少なくとも表面における結晶配向が制御された種基板１上にセラミックス膜１０を形成する工程（ａ）と、工程（ａ）において形成されたセラミックス膜１０を熱処理することにより、セラミックス膜に含まれる結晶粒を配向させる工程（ｂ）とを含む。 （もっと読む）

【課題】高度な製造プロセスを使用することなく製造でき、安価で信頼性が高いインクジェットヘッド用貫通電極付き基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】インクジェットヘッド用貫通電極付き基板３の製造方法であって、基板１に該インクジェットヘッドのチャネルと同ピッチに溝を形成する工程と、該溝中に導電性部材１０１を設ける工程と、前記基板１にカバー基板２を固着する工程と、前記固着された基板１とカバー基板２を前記溝と垂直方向に所定幅に切断する工程とを有することを特徴とするインクジェットヘッド用貫通電極付き基板３の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 短い処理時間かつ低コストで、接着剤が逃げるための段差部が形成可能な基板の接合方法を提供する。
【解決手段】 第１基板１上にエッチング保護膜２を形成する保護膜形成工程と、少なくとも位置決め用孔１１とピンＰとの接触箇所に応じた領域のエッチング保護膜２に対してレーザ光Ｌを走査することによってエッチング保護膜２をパターニングするパターニング工程と、第１基板１をエッチング処理するエッチング処理工程と、第１基板１に形成された位置決め用孔１１及び第２基板３に形成された位置決め用孔３１にピンＰを挿入した状態で第１基板１と第２基板３とを接着剤４を介して貼り合わせる貼り合わせ工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】生産性を格段的に向上させ得る圧電アクチユエータ及びその製造方法。
【解決手段】圧電材料からなる第１のシート及び所定材料からなる第２のシートのうち、第１のシートの一面に導電材料からなる上部電極層３４Ａを形成すると共に、当該第１のシートの他面又は第２のシートの一面に導電材料からなる下部電極層を形成し、第１及び第２のシートを下部電極層を介して重ね合わせて焼結し、上部電極層又は下部電極層を圧力室形成部の各圧力室２０Ｃとそれぞれ対応する複数の電極を形成するようにパターニングするようにしてを作製するようにした。 （もっと読む）

【課題】プリントヘッドアセンブリの製造方法のなかには、プリントヘッドの加工中に、ダイヤフラムにおいて開口したポートがないことを必要とすることがある。そこで、プリントヘッドの加工後にダイヤフラムプレートにポートを開口するための構成を有するプリントヘッドアセンブリを提供する。
【解決手段】流体チャンバ及び流体チャネルを含むボディと、ボディに取り付けられるように構成されたダイヤフラムプレート１０とを備える液滴放出装置において、ダイヤフラムプレート１０は、エッチングによって画定されたポートトレース５０を含み、ポートトレース５０は、部分的にエッチングされたポート外周６０と、部分的にエッチングされていないヒンジ領域６２とを有する。 （もっと読む）

【課題】配線が狭ピッチ化しても半導体素子を実装することが可能な、液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】圧力発生室１２の上面に形成され圧電素子３００に導通接続された第１配線３６と、リザーバ形成基板２０の上面に形成された第２配線３４と、リザーバ形成基板２０の側面に形成された第３配線３５と、半導体素子２００の接続端子４４とが、各配線および接続素子の表面に析出させたメッキ４６により導通接続されている構成とした。 （もっと読む）