【課題】圧力発生室を形成した後の保護膜形成工程を無くして、耐液体性に優れた液体噴射ヘッドを形成することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が画成される流路形成基板となるベース基板の一方面に、少なくとも前記圧力発生室となる領域の外周に亘って当該圧力発生室以上の深さで凹部を形成する工程と、前記ベース基板の前記凹部内に耐液体性を有する保護層を形成して前記凹部を当該保護層で埋める工程と、前記ベース基板の前記一方面を平坦化する工程と、前記ベース基板の平坦化された面に振動板を介して圧電素子を形成する工程と、前記ベース基板の他方面を研磨して前記保護層を露出させる工程と、前記ベース基板を前記他方面側から前記保護層が残るようにエッチングして、前記保護層で側面が画成された前記圧力発生室を有する前記流路形成基板を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】基材に設けられた貫通孔の内周面の局所領域に、簡易な工程・設備を用いながら、低コストで膜を形成することができる成膜方法、および、かかる成膜方法により形成された撥液膜を備える液体供給ヘッド、および、この液体供給ヘッドを備えた液体供給装置を提供すること。
【解決手段】本発明の成膜方法は、ノズル板２のインク吐出口２１１側の面２２と、ノズル孔２１の内周面２１２の局所領域２１２ａとに連続して形成された撥液膜７を、ノズル孔２１の内周面２１２およびノズル板２のほぼ全面に被加工膜を形成する第１の工程と、ノズル孔２１内に被加工膜を保護するマスク材を充填する第２の工程と、ノズル板２の上面２３側からプラズマ処理を施して、被加工膜のマスク材から露出した部分を除去して撥液膜７を得る第３の工程と、ノズル孔２１内に残存するマスク材を除去する第４の工程とにより形成する。 （もっと読む）

【課題】エアロゾルデポジション法（ＡＤ法）にて製膜された圧電膜であっても膜応力が除去された圧電膜を有し、これにより振動板の反りの発生やデバイスの耐久性の低下を解決することができる液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】犠牲基板６１上に犠牲層６２を形成し、この犠牲層６２上にＡＤ法にてＰＺＴ圧電膜６３を製膜する（図５（Ａ）、（Ｂ））。このＰＺＴ圧電膜６３のアニール処理後、ＰＺＴ圧電膜６３上に共通電極６４及び振動板６５を形成し、その後、エッチングで犠牲層６２を取り去り、犠牲基板６１を剥離する（図５（Ｃ）〜（Ｆ））。これにより、ＡＤ法にて製膜されたＰＺＴ圧電膜６３の膜応力を除去する。その後、圧力室隔壁６６の接着、ＰＺＴ圧電膜６３のパターン化、個別電極６７の形成、及びノズルプレート６８の接着を行って液圧シリンダ６０を作製する（図５（Ｇ）〜（Ｉ））。 （もっと読む）

【課題】 振動板の剥がれを防止して耐久性及び信頼性を向上した液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 基板の一方面に振動板を形成する工程と、振動板上に下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を形成する工程とを具備し、振動板を形成する工程が、基板の一方面側にジルコニウム層を形成する成膜工程と、ジルコニウム層を所定の熱酸化温度で熱酸化させて酸化ジルコニウム層からなる絶縁体膜を形成すると同時に絶縁体膜の応力を調整する熱酸化工程とを少なくとも含む絶縁体膜形成工程を有するようにする。 （もっと読む）

【課題】 振動板の角部に隙間を確保して壁部と振動板との角部に接着剤を存在させないようにする。
【解決手段】 弾性膜５０の少なくとも圧力発生室１２内側の面にＴｉＷ薄膜６２を形成した後にノズルプレート２０を接着する工程と、ＴｉＷ薄膜６２をエッチング除去するための過酸化水素水を通水してＴｉＷ薄膜６２を除去する工程とを備え、壁部１１と弾性膜５０とが当接する角部に接着剤を存在させないようにし、弾性膜５０の変位量の低下やばらつきを防止する。 （もっと読む）

【課題】基材に設けられた貫通孔の内周面の局所領域に、簡易な工程・設備を用いながら、低コストで膜を形成することができる成膜方法、および、かかる成膜方法により形成された撥液膜を備える液体供給ヘッド、および、この液体供給ヘッドを備えた液体供給装置を提供すること。
【解決手段】本発明の成膜方法は、ノズル板２のインク吐出口２１１側の面２２と、ノズル孔２１の内周面２１２の局所領域２１２ａとに連続して形成された撥液膜７を、ノズル孔２１の内周面２１２およびノズル板２のほぼ全面に被加工膜を形成する第１の工程と、ノズル孔２１内に被加工膜を保護するガス状のマスク材を充填しつつ、ノズル板２の上面２３側からプラズマ処理を施して、被加工膜のマスク材から露出した部分を除去して撥液膜７を得る第２の工程とにより形成する。 （もっと読む）

【課題】加工精度が良く、耐熱性、耐久性、信頼性の高い安価な液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】この液体吐出ヘッド６０は、熱膨張係数が13×10^-6／°Ｃ以下の耐熱性及び耐食性材料のシリコンからなる圧力室隔壁６１’と、圧力室隔壁６１’上にエアロゾルデポジション法によって形成され、熱膨張係数が13×10^-6／°Ｃ以下の耐熱性及び耐食性材料のアルミナからなる振動板６２と、振動板６２上（下部電極６３上）にエアロゾルデポジション法によって形成されたＰＺＴ圧電膜６４とを備えている。圧力室隔壁６１’及び振動板６２は、アニールを行っても変形や変質、組成変化が発生することがなく、また、ＰＺＴ圧電膜６４の剥離や割れなどが生じず、更に腐食性がある液体を使用しても溶解や変質することがない。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の倒れ、チッピングなどが生じることなく、歩留まり良く、多数ノズル数を有するヘッドを得ることができない。
【解決手段】流路基板１と振動板２及びノズル板３とを備えてノズル５が連通する加圧液室６を形成し、各加圧液室６に対応して振動板２には積層型圧電素子１２ａを接合し、この複数の圧電素子１２ａを有する複数の積層型圧電素子部材１２、１２…を、積層型圧電素子部材１２の長手方向に沿ってベース部材１３上に配置するとともに、各積層型圧電素子部材１２の圧電素子１２ａは完全に分割しないで架橋部２７を残して溝３０を形成した。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録ヘッド用の発熱抵抗体について上述した諸問題を解決し、高品位な記録画像を長期にわたって得ることを可能にする発熱抵抗体を有するインクジェットヘッドとその製造方法を提供することにある。
【解決手段】ＲｕＳｉＯＮで表わされる材料からなる発熱抵抗体膜を、インクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生する発熱抵抗体に用いたインクジェット装置である。 （もっと読む）

【課題】印刷方法において、より安価で耐久性があることである。
【解決手段】材料を付着させる印刷システムについて記述する。本システムでは、少なくとも１つの片持ち梁、より典型的には複数の片持ち梁を用いて、材料の供給元から基板表面まで少量の材料を移送する。本システムの応用例の１つは、前記材料がインク、前記基板が用紙である印刷システムである。このプロセスを繰り返すことで、片持ち梁は複数単位のインクを配置して画像内の画素を形成する。 （もっと読む）

【課題】低温でプリンタヘッドの部材同士を接合して溶剤系のインクの流路を形成する。
【解決手段】プリンタヘッドの吐出口２１が形成された前面部材２とベース部材３とにおいて、前面部材２のベース部材３側の面の流路との境界に金の金属層である境界部２２１を設け、ベース部材３の前面部材２側の面にも金の金属層３０２を設ける。境界部２２１と金属層３０２とはプラズマ処理を施した後、低温にて金属接合される。これにより、前面部材２とベース部材３との母材同士を直接金属接合する場合に比べて低温で接合を行うことができ、高い精度にて形成された吐出口２１を有する前面部材２の変形を抑えつつ接合を行うことができる。また、金属接合により溶剤系のインクに適した流路を形成することができる。さらに、ピエゾを有する部材とベース部材３との接合に際してもプラズマ処理を利用した低温の金属接合を行うことにより、ピエゾの破損を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット記録ヘッドの小型化、高精細を安価で高品位なものを可能にする製造方法を提供する。
【解決手段】 インクジェット記録ヘッドの主たる機能が形成されたＳｉ基板とそのＳｉ基板を保持し、外部インク供給機能を持つ支持部材の接着にＳｉ基板を貫通するインク供給口形成に用いた樹脂を用いて接着する。その際にインク供給口形成に用いる樹脂はインク供給口幅より狭く形成し、支持部材は相対するインク供給口と嵌合する凸部を有しておりインク供給口部に支持部材の凸部を挿入する時に、前記インク供給口より狭く形成された樹脂を折り曲げて挿入、接着を行う。 （もっと読む）

【課題】 より精度高く、効率よく分割をするための加工を行えるような基板加工方法及
びその加工方法に基づいた、基板に形成される素子の製造方法を得る。
【解決手段】 基板１０を分割しようとする予定分割線のうち、第１の予定分割線と交差
してＴ字形状を成す第２の予定分割線に沿って、第１の予定分割線との交差地点から所定
の長さ及び深さでエッチング加工を行い、エッチング加工を行なっていない予定分割線の
部分に対して基板１０を分割するためのスクライブ、改質、切断等のレーザ加工を行うも
のである。 （もっと読む）

【課題】 従来は、フィルタのリフレッシュが行なえないという課題がある。。
【解決手段】 本発明は、圧力室に連通したノズルと、インクを加圧する圧力室と、圧力室の蓋板をなす振動板と、が複数ならんで形勢されており、複数の圧力室にインクを供給するマニホールドと該マニホールドとインクタンクとを結ぶインク供給路からなるインク流路を、加圧手段を用いてノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドにおいて、前記マニホールドにはフィルタが形成されており、前記マニホールドには前記インク供給路が２経路設けられ、前記インク供給路の一方は前記フィルタを通して圧力室と連通し、他方は前記フィルタを介在せずに圧力室と連通する貫通孔であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータ部の配線接続部における上電極と下電極の高低差を低減し、配線基板との接続不良を防ぐ。
【解決手段】流路基板１に形成された圧力発生室２を覆うように配設された振動板４上に、下電極５、圧電層６、上電極７を順次積層して圧電アクチュエータ部８を形成し、上電極７および下電極５を配線接続部９まで引き出して、駆動信号を供給する配線基板に接続する。圧電層６は、その膜厚を漸減しながら下電極５の積層領域を越えて延在する膜厚漸減部６ａを有し、上電極７は、膜厚漸減部６ａに沿って下電極５と同一平面に引き出される。 （もっと読む）

【課題】 半導体基板を含む液体吐出ヘッドを高精度に形成する。
【解決手段】 シリコン基板７に半導体を作り込み、第１の配線層を形成して一部を犠牲層とする。シリコン酸化膜（層間絶縁膜）１３を形成し、発熱抵抗体１４と第２の配線層１５を形成してヒーター３を作る。犠牲層上では第２の配線層１５を除去し発熱抵抗体１４のみを残す。保護用のシリコン窒化膜１６と耐キャビテーション用のタンタル膜１７を形成してパターニングする。この半導体基板１に樹脂基板２を積層し、犠牲層を除去し供給口５を形成する。供給口５内のメンブレン膜のシリコン酸化膜１３をウェットエッチングで除去する。発熱抵抗体１４がエッチングストッパー層となり、シリコン窒化膜１６は損傷しない。メンブレン膜の残りの部分である発熱抵抗体１４とシリコン窒化膜１６をドライエッチングで除去し、樹脂基板２に流路４と吐出口６を形成する。 （もっと読む）

【課題】圧電層の厚さのばらつきを電極の幅により補正することが可能な液体移送装置の圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの製造方法等を提供すること。
【解決手段】圧電層３１の厚さを測定し、測定された圧電層３１の厚さの、予め設定された圧電層３１の基準厚さに対するずれ量に基づいて、個別電極３２の幅を決定し、決定された幅の個別電極３２を、圧電層３１の圧力室１４と反対側に形成することにより、圧電層３１の厚さのばらつきを個別電極３２の幅で容易に補正することができる。 （もっと読む）

【課題】インク流路壁となる被覆樹脂層を形成する際に、溶解力の強い溶媒を用いてもインク流路パターンの形崩れのおそれがない、高品位のインクジェットヘッドの製造方法、該製造方法で製造されたインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】エネルギー発生素子が設けられた基板面上に、光照射により架橋反応が進行し加熱により分解反応が進行する感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層を形成し、光照射及び現像処理によってパターニングしてインク流路パターンを形成する。そして、その上にインク流路壁となる被覆樹脂層を形成し、インク吐出口を形成後、インク流路パターンを形成している感光性樹脂層を加熱し、該感光性樹脂層を溶解除去する。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートが無機材料によって形成された液体吐出記録ヘッドを低コストで歩留まり良く製造可能とする。
【解決手段】液体を吐出させるためのエネルギーを発生する発熱抵抗体２と、発熱抵抗体２を駆動するための電気回路とを備えたシリコン基板３の表面側に無機材料からなるノズルプレート６が積層され、シリコン基板３を貫通する液体供給口からシリコン基板３とノズルプレート６との間に設けられている流路２１へ液体を供給可能な液体吐出記録ヘッドであって、シリコン基板３の表面のうち、流路２１が設けられている部位に所定の深さの凹部８が形成され、その凹部８の上に吐出口７が形成されている。 （もっと読む）

【課題】ノズルに形成されるメニスカスの変位量を精度よく制御し、所望の量の液体を精度よく安定して吐出可能にする。
【解決手段】圧電素子３でノズル１０のメニスカスを一定以上の凸に選択制御した上で、吐出電圧を印加し静電吸引力によって選択されたノズル１０から液滴を吐出する構成を有する。ノズル１０を樹脂基材４と第２シリコン基材５の接合基材で構成し、第２シリコン基材５に溝１３を有する第１シリコン基材２を接合してノズル１０に接続する液体流路を構成した。これによりヤング率の高いシリコン材料により液体流路が高剛性に構成され、圧電素子３の駆動により発生した圧力の液体流路の弾性変形による減衰を低いレベルに抑え、メニスカスの変位量を高精度に制御する。樹脂基材４としては体積低効率の高い材料を適用する。 （もっと読む）