【課題】インクへの塵埃の混入を防止する。
【解決手段】基板部材１１上に設けられた複数の発熱抵抗体１３と、発熱抵抗体１３で発生した熱によってインクを加圧するためのインク液室と、インク液室内で加圧されたインクを吐出するための吐出口を有するノズル１７とを含むインク吐出装置において、各発熱抵抗体１３の上部にノズル１７を配置するとともに、ノズル１７の発熱抵抗体１３側の開口面をインク流入口１７ｂとし、他方の開口面をインクの吐出口１７ａとすることにより、インク液室を別個独立に形成することなく、ノズル１７の内部空間がインク液室を兼ねるようにし、支持部材１４の高さがＨであることにより高さＨのインク流通空間部を形成し、吐出口１７ａ及びインク流入口１７ｂを含むノズル１７の内部空間の最小開口長さをＤmin としたときに、Ｈ＜Ｄmin ／√２の関係を満たすようにした。 （もっと読む）

【課題】 製造時におけるノズル部材の損傷から該ノズル部材を保護し、ノズルプレートの形状精度の安定性を向上することのできる、ノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係るノズルプレート１の製造方法は、犠牲部材９に第１の感光性樹脂層１２を積層し、第１マスク１３を用いて第１の感光性樹脂層１２を感光させて、該第１の感光性樹脂層１２内にノズル２を形成し、さらに、第１の感光性樹脂層１２上に、第２の感光性樹脂層１５を積層し、第２マスク１６を用いて第２の感光性樹脂層１５を感光させて、該第２の感光性樹脂層１５内にベース部４を形成し、現像処理と、犠牲部材９の分離とを行ってノズルプレート１を製造する。 （もっと読む）

【課題】パルス通電の繰り返しに対する耐久性が十分に高い発熱抵抗体膜、それを用いた記録ヘッド用基体、記録ヘッド、および記録装置を提供する。
【解決手段】記録ヘッド用基体のヒーター部１７に、配線１４を介して通電されることによって熱エネルギーを発生させる発熱抵抗体膜１３が形成されている。発熱抵抗体膜１３は、非晶質窒化珪素タンタルを主成分とし、その表面に形成された酸化膜１３ａの膜厚が２.５ｎｍ以下となっている。 （もっと読む）

【課題】高解像度の画像を印刷可能なノズルプレートとインクジェットプリントヘッド及びノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル１５０の周りに少なくとも二つのセグメントに分割した電極１２０を形成、電極のセグメントの表面に、疎水性絶縁膜１４０を形成し、電極のセグメントとノズル内の流体間に電圧を印加し、エレクトロウェッティング現象で疎水性絶縁膜のセグメントに対する流体の接触角を変え、ノズルを通じて吐出流体の吐出方向を偏向するノズルプレート１００。流路プレート２００と複数のインクチャンバ２０４にインクの吐出の駆動力を提供するアクチュエータ３００と、流路プレートに付着されたノズルプレートを備えるインクジェットプリントヘッド。これにより、ノズルより吐出されるインク液滴の吐出方向を制御、低いＣＰＩのヘッドで、高いＤＰＩの画像が印刷可能。 （もっと読む）

【課題】 薄板状部品の板厚が厚くても、開口の小さい孔を貫通加工でき、積層時に流体漏れ等の不具合を引き起こす心配のない薄板状部品の積層構造の提供を目的とするものである。
【解決手段】 貫通孔が形成された薄板状部品を含む複数枚の薄板状部品が積層され、前記貫通孔により流体用の流路が構成される積層構造において、貫通孔としての接続孔３７は、薄板状部品としてのベースプレート１６の少なくとも一方面にあらかじめハーフエッチングにより形成された凹部５０と、その凹部５０の底面にプレス加工により貫通形成された開口５１とを有する。これにより、薄板状部品の板厚に対して開口径の小さい貫通孔を穿設できるとともに、開口５１のバリ５３が、積層不良を引き起こすことを防止できる。 （もっと読む）

【課題】 アクチュエータユニットの端面の広い範囲を接着剤膜などの樹脂膜で覆われやすくすると共に、アクチュエータユニット上面に樹脂膜が形成されにくくする。
【解決手段】 圧力室１０が形成された流路ユニットには、アクチュエータユニット２１が接着されている。アクチュエータユニット２１の厚みは２０μｍ〜１００μｍである。アクチュエータユニット２１の端面２１ａの表面粗さは０．１５μｍ〜０．５μｍであり、アクチュエータユニット２１の上面２１ｂの表面粗さは０．０８μｍ〜０．１２μｍである。アクチュエータユニット２１の端面２１ａは、アクチュエータユニット２１と流路ユニットとの接着の際に接着面から押し出された接着剤層３３によって封止されている。接着剤３３の粘度は、０．５Ｐａ・ｓ〜８．０Ｐａ・ｓである。 （もっと読む）

【課題】 ＦＰＣ等の配線基板を省略して部品点数を減らすとともに、製造工程を簡略化することが可能な液体噴射装置及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 インクジェットヘッド１は、ノズル２０と圧力室１６とを含む複数の個別インク流路２と圧電アクチュエータ３とを有し、個別インク流路２は、積層された複数枚のプレートにより形成されており、複数の圧力室１６を形成する圧力室プレート１３と絶縁材料からなりノズル２０を形成するノズルプレート１４との間に圧電アクチュエータ３が配設され、ノズルプレート１４の圧電アクチュエータ３側の面に、複数の個別電極３２と夫々接続される複数の配線部３４が形成されている。 （もっと読む）

圧電アクチュエータ（１０４）を有する構造体を備えたマイクロ電子機械システムについて説明する。各アクチュエータは、ボディ（２００）に支持される圧電アイランドを含む。圧電アイランドは、工程の一部として、圧電材料の厚いレイヤにカット（１４５）を形成し、カットされた圧電レイヤ（１０７）を、エッチング形成構造を持つ前記ボディ（２００）に接着し、圧電レイヤをカット（１４０）の深さより薄い厚さに研磨することによって形成することができる。導電材料（１５８、２１０）を圧電レイヤ上に形成して電極（１０６、１１２）を形成することができる。
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【課題】ノズルを高密度化しても高周波駆動、特に高粘度インクの吐出が可能なように更なる高密度化を達成する。
【解決手段】液体を吐出する複数の吐出口と、前記複数の吐出口のそれぞれと連通する複数の圧力室と、前記複数の圧力室のそれぞれに液体を供給する複数の液体供給流路と、前記複数の液体供給流路に液体を供給する共通液室と、前記複数の圧力室のそれぞれを変形する圧電素子と、前記圧電素子に駆動信号を供給する圧電素子配線とを有し、前記圧電素子配線が前記共通液室を貫通するように配設されたことを特徴とする液体吐出ヘッドを提供することにより前記課題を解決する。 （もっと読む）

圧電アクチュエータ（１０４）を有する構造体を備えたマイクロ電子機械システムについて説明する。各アクチュエータは、ボディ（２００）に支持される圧電アイランドを含む。圧電アイランドは、工程の一部として、圧電材料の厚いレイヤにカット（１４５）を形成し、カットされた圧電レイヤ（１０７）を、エッチング形成構造を持つ前記ボディ（２００）に接着し、圧電レイヤをカット（１４０）の深さより薄い厚さに研磨することによって形成することができる。導電材料（１５８、２１０）を圧電レイヤ上に形成して電極（１０６、１１２）を形成することができる。
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【課題】 基板の所定位置に設けたインク流路の少なくとも一部となる領域を占める溶解除去可能な固体層を、流路壁の少なくとも一部と吐出口を設けるための吐出口形成材料からなる層で被覆した状態で固体層を溶解してインク流路の少なくとも一部を形成する工程を有する方法によりインクジェット記録ヘッドを製造する際に、吐出口のインク流路への開口部におけるスカムの発生を抑制すること。
【解決手段】 吐出口形成材料として、紫外線吸収剤を含む紫外線硬化型の樹脂組成物を用いる。 （もっと読む）

【課題】記録素子基板を実装するフレキシブルフィルム配線基板のインナーリードによる接合不良等を回避する。
【解決手段】記録素子基板１ａ、１ｂを実装するフレキシブルフィルム配線基板である電気配線テープ２０のデバイスホール２２内には、ベースフィルム２１上の配線の一端部であるインナーリード２３が突出している。記録素子基板１ａ、１ｂの電極パッド２を各インナーリード２３にシングルポイントボンディング方式等によって接続する工程において、ベースフィルム２１が加熱されて熱膨張し、各インナーリード２３が曲がった状態で接続されるのを防ぐため、熱膨張によるベースフィルム２１の変形を分散緩和するハーフカット状の切り込み２４をインナーリード列の周囲に設ける。 （もっと読む）

【課題】振動板の割れを防止しつつ、液滴吐出ヘッドの小型化を図って、電極と振動板との間を気密空間とすることができる液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド、および液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】第１の基板４ａの一方の面に、電極４２を形成する第１の工程と、第２の基板２ａと電極４２との間に微小空隙を形成するように、第１の基板４ａの前記一方の面に、振動板を形成するための第２の基板２ａを接合する第２の工程と、封止材を用いて、前記微小空隙を密閉して、気密空間を形成する第３の工程と、第２の基板２ａの他方の面をエッチングすることにより、振動板を形成する第４の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】多数の電気配線の接続構造を効率的に形成し、生産性、精度を向上させるとともに接続の安定化を図る。
【解決手段】液体を吐出する複数の吐出口と、前記複数の吐出口のそれぞれと連通する複数の圧力室と、前記圧力室の前記吐出口が形成される側とは反対側の面に設けられ、前記複数の圧力室をそれぞれ変形する圧電素子と、前記圧電素子に関して前記圧力室とは反対側に形成され、前記複数の圧力室にそれぞれ液体を供給する共通液室と、前記圧電素子が取り付けられる面に略垂直に立ち上がり、前記共通液室を貫通して前記圧電素子と電気的に接続する電気配線とを有し、前記電気配線は、ワイヤーで形成される。 （もっと読む）

【課題】圧電膜を結晶化する工程で、圧電膜に作用する引っ張り応力による９０°ドメインを抑制し、圧電性能の劣化を防ぐ。
【解決手段】Ｓｉ基板である基板１上に振動板２を形成し、その上に、圧電膜５より熱膨張係数の大きなＭｇＯ膜からなる中間膜３を積層し、基板１の中空部１ａ上に位置する振動板２の可動領域に対応して中間膜３をパターニングしたうえで、電極膜４と圧電膜５の成膜を行う。圧電膜５は成膜中または成膜後の加熱処理によって結晶化させる。振動板２、中間膜３、圧電膜５の熱膨張係数、ヤング率、厚さが所定の条件を満たすように設定することで、結晶化工程において発生する圧電膜５の応力を引っ張りから圧縮に変えて、圧電膜５の結晶化における９０°ドメインを抑制する。 （もっと読む）

【課題】 複数の個別電極に夫々接続される複数の配線部を配置可能な領域をより広く確保することが可能なインクジェットヘッドを提供すること。
【解決手段】 圧電アクチュエータ３は、金属製の振動板３０と、第１絶縁材料層３１及び第２絶縁材料層３８と、圧電層３３と、この圧電層３３の第２絶縁材料層３８側の面に形成された複数の個別電極３２、及び、圧電層３３の第２絶縁材料層３８と反対側の面に形成された共通電極３４とを有し、第１絶縁材料層３１及び第２絶縁材料層３８の誘電率は圧電層３３の誘電率よりも小さく、複数の個別電極３２と、第１絶縁材料層３１の振動板３０と反対側の面に形成された複数の配線部３５とが、第２絶縁材料層３８のスルーホール３８ａ内に形成された配線部３９により接続されている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子と振動板の密着性、振動板の信頼性を向上させるとともに、吐出安定化を図る。
【解決手段】液体を吐出するノズルと連通する圧力室を加圧する振動板を変形する積層圧電素子を、薄膜形成技術によって、前記振動板上に形成する際、前記振動板と前記積層圧電素子の接合部の面積より、前記圧力室の一つの内壁面を形成する振動板の有効振動板面積の方が大きく、さらに、前記有効振動板面積よりも積層圧電素子の活性部の面積の方が大きく、かつ、積層圧電素子の積層方向に垂直な断面積が、積層方向に進むに従って小さくなるように、前記積層圧電素子を形成する。 （もっと読む）

【課題】 低い製造コスト及び高い歩留まりを維持しつつ、振動板及び圧電層にクロストークを抑制する為の溝を形成することが可能な液体移送装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の液体移送装置の製造方法は、振動板３０を流路ユニット２に接合したときに、この振動板３０の流路ユニット２とは反対側の面において、圧力室１４と重ならない領域に、圧力室１４の縁に沿って延びる溝３６を形成する溝形成工程と、振動板３０の流路ユニット２と反対側の面に、圧電材料の粒子を堆積させることにより、圧電層３１を形成する圧電層形成工程とを備えているため、クロストークを抑制する為の溝３０，３１を容易に形成することができ、さらに、圧電層３１に欠けやクラックが生じにくくなる。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】 インクジェット・プリントヘッド・ヒータチップは、その上に複数の薄いフィルム層から形成され、かつ、使用に際してインク滴を噴射するヒータスタックを備えたシリコン基板を有する。この薄いフィルム層は、シリコン基板の断熱層と、断熱層上の抵抗層と、抵抗層上のドープされたダイヤモンド類似カーボン層と、ドープされたダイヤモンド類似カーボン層上のキャビテーション層とを含む。ドープされたダイヤモンド類似カーボン層は好ましくはシリコンを含有し、また、窒素、チタニウム、これらの組合せ又は他の成分を含有していてもよい。シリコンを含有する場合は、好ましいシリコン濃度は、約２０〜約２５原子パーセントである。好適なキャビテーション層は、ドープされていないダイヤモンド類似カーボン層、タンタル層又はチタニウム層を含む。ドープされたダイヤモンド類似カーボン層の厚さは、約５００〜約３０００オングストロームである。キャビテーション層の範囲は、約５００〜約６０００オングストロームである。インクジェット・プリントヘッド及びプリンタもまた開示される。
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【課題】 記録ヘッド内の部材を浸食せず、かつ、常温であってもムラなく耐久性の高い表面処理が行え、効率的に気泡の除去ができる、インクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 酸化シリコンの被膜が形成されたシリコンノズルプレートとインク流路が形成されたシリコン基板とをガラス基板上に設けた静電アクチュエーターを備えた、水性インク用のインクジェット記録ヘッドを製造するための方法であって、特定の化合物と、水溶性有機溶剤と、染料と、水とを少なくとも含んでなり、その溶液粘度が、２．０ｍＰａ・ｓｅｃ以下である処理液を、常温において記録ヘッド内に充填した後に排出することにより、記録ヘッド内のインク流路内壁の表面処理を行う工程を含む。 （もっと読む）