【課題】異物欠陥を抑制することのできる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板用ウェハ１１０と当該流路形成基板用ウェハ１１０よりも大きいリザーバ形成基板用ウェハ１３０とを接着剤３５を介して接合する基板接合工程と、基板接合工程の後、流路形成基板用ウェハ１１０の外縁に沿ってはみ出している接着剤３５ａを２流体洗浄により除去する接着剤除去工程と、を有する液体噴射ヘッドの製造方法を採用する。 （もっと読む）

【課題】保護膜と第２電極との密着性が向上した圧電素子を有する液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電体層７０上方に第２電極８０を形成する工程と、塩素を含有するガスを第２電極に接触させて、第２電極の上面に凸部８３を形成する工程と、第２電極の上面の前記凸部が形成された面に保護膜１００を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】接着層から剥離した保護膜が、液体流路やノズル開口に詰まると、液体の吐出不良となってしまうという課題がある。
【解決手段】流路形成基板となる流路形成基板用ウェハ１１０の接合面と、マニホールド形成基板となるマニホールド形成基板用ウェハ１３０の接合面との間に接着層３５を形成することにより、流路形成基板用ウェハ１１０とマニホールド形成基板用ウェハ１３０とを接合する接合工程と、圧力発生室と、マニホールド部３１に対向する連通部１３とを含む液体流路を流路形成基板用ウェハ１１０に形成する流路形成工程と、マニホールド部３１と連通部１３とが連通して形成されたマニホールド１００に露出した接着層３５の端部３５ａを除去する接着層端部除去工程と、接着層３５の端部３５ａが除去された接着層３５の面を含むマニホールド１００内に保護膜を形成する保護膜形成工程と、を含む液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】吐出口間で液体吐出特性がばらつくのを抑制する。
【解決手段】ヘッドの吐出面２ａに、主走査方向に延在する１６本の溝１０９ａ及び１０本のダミー溝１０９ｂが、副走査方向に互いに平行に配列されている。溝１０９ａの底部に、インク滴を吐出する吐出口１０８ａが形成されている。吐出面２ａにおける副走査方向に関する一方から順に、２本の溝１０９ａで構成される溝群Ｘ１、４本の溝１０９ａで構成される溝群Ｘ２〜Ｘ４、及び、２本の溝１０９ａで構成される溝群Ｘ５が配列されている。互いに隣接している溝群Ｘ１〜Ｘ５間の離隔距離ｌ１〜ｌ４が、各溝群Ｘ１〜Ｘ５において互いに隣接している溝１０９ａ間の離隔距離ｌａ〜ｌｋより大きくなっている。ダミー溝１０９ｂが、各溝群Ｘ１〜Ｘ５の副搬送方向に関する両側にそれぞれ配置されている。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出装置において液体をガス抜きするのに用いられる方法および物品が開示されている。
【解決手段】液滴吐出デバイス２０は、ノズル開口部２１５から液滴を吐出するために、その中の流体が加圧される流路２２０と、流体貯留領域４７、真空領域４９および流体貯留領域と真空領域との間の仕切りを含む脱気器４５とを備えている。脱気器の仕切りは、湿潤層５２、非湿潤層５４、および湿潤層と非湿潤層とを通って延在する１つ以上の通路６０を含む。湿潤層は流体貯留領域に露出されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、機械的強度及びリフィル性能に優れた液体吐出ヘッドに用いることのできる基板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明では、（１）絶縁材料からなる絶縁層を表面に有し、複数の開口を有するエッチングマスク層を裏面に有するシリコン基板を提供する工程と、（２）前記エッチングマスク層をマスクとして、エッチング領域が絶縁層の開口と対向する部分に到達するようにリアクティブイオンエッチングを行うことで、隣接する複数の開口に対応した供給口となる穴を形成する工程と、をこの順に有し、工程（１）において、絶縁層は開口と対向する位置からマスク層の隣接する開口同士の間の部分と対向する位置にまで設けられ、工程（２）において、隣接する穴同士の間に設けられたシリコンの壁の裏面側の部分よりもシリコンの壁の表面側の部分を薄くするようにリアクティブイオンエッチングが行われる。 （もっと読む）

【課題】活性部の圧電特性をほぼ所望の特性にする圧電アクチュエータの製造方法、圧電アクチュエータ及び液体移送装置を提供する。
【解決手段】３枚のグリーンシートの一表面に、スクリーン印刷により上部電極４５、中間電極４４ａ及び下部電極４３をそれぞれ形成し、これらのグリーンシートを積層し、所定の温度で焼成し（積層工程）、圧電体５５を形成する。そして、平面視で第１活性部Ｒ１と重なる領域にある第１活性部Ｒ１以外の、下部圧電層４０及び中間圧電層４１を下部圧電層４０側（第１活性部Ｒ１から離れた面側）から除去し、貫通孔４０ａ、４１ａを形成する（除去工程）。次に、圧電体５５の下部圧電層４０の表面に、振動板５２を押圧して接合して（接合工程）、圧電アクチュエータを製造する。 （もっと読む）

【課題】接着剤によるノズル開口部の塞がりを防止できるようにしたインクジェット式記録ヘッドの製造方法及びインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録装置を提供する。
【解決手段】圧力発生室内の圧力変化によりインク液をノズル開口部から吐出するインクジェット式記録ヘッド１００の製造方法であって、基板１の表面に圧力発生室となる溝部５１を形成する工程と、溝部５１の底面にノズル開口部となる溝部５２を形成する工程と、溝部５１、５２に犠牲膜５３を埋め込むように形成する工程と、犠牲膜５３及び基板１の表面上に振動膜２０を形成する工程と、振動膜２０上に圧電素子３０を形成する工程と、基板１の裏面を研削して溝部５２の底面を開口させる工程と、基板１の表面側から犠牲膜５３を露出する開口部を形成する工程と、この開口部を介して犠牲膜５３をエッチングし除去する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】流路が、液体吐出効率に対し有効である三次元的形状を有し、且つ、流路及び吐出口が良好な形状で形成可能であり、更に、インク吐出口と発熱抵抗体との距離を均一に形成可能な液体吐出記録ヘッドの製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、基板上に光カチオン重合開始剤を含有し且つエポキシ樹脂を主成分とする第１のネガ型感光性樹脂層の硬化樹脂層からなる第一の流路パターンの側壁を形成し、その後、第一の流路パターンを少なくとも埋める第１のネガ型感光性樹脂層よりも厚いポジ型感光性樹脂層を形成した後、ポジ型感光性樹脂の表面を流路の側壁の上端面が露出するまで研磨した後、平坦化により得られた平面に、光カチオン重合開始剤を含有し且つエポキシ樹脂を主成分とする第２のネガ型感光性樹脂層を形成する工程を少なくとも有することを特徴とする、液体吐出記録ヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】圧力緩衝用のダイアフラム部を設けたシリコン基材のダイアフラム部の欠陥検査を、効率よく、高精度かつ容易に行うことができる液滴吐出ヘッドのダイアフラム部の欠陥検出方法等を提供する。
【解決手段】表面に下地となる金属薄膜２５が形成されその上に樹脂薄膜２６が形成されてダイアフラム部２１０となる部分２１０ａを有するシリコン基材２００を欠陥検出用のエッチング液に浸漬する工程と、前記浸漬後に、金属薄膜２５のエッチング浸食の有無を検出して樹脂薄膜２６の欠陥部Ａの有無を検出する工程とを備えた。このとき、金属薄膜２５のエッチング浸食の有無を顕微鏡によって、透過光及び反射光を用いて行うことができる。上記の樹脂薄膜２６をパリレン薄膜とし、金属薄膜２５を白金薄膜またはクロム薄膜とする。欠陥検出用のエッチング液は、６０℃〜８０℃に加熱した塩酸と硝酸との混合液とする。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能で、封止不良を防止でき、材料コスト及び製造コストを削減できる液滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】電極基板１０の個別電極１２ａが形成された面には、個別電極１２ａに対応した端子部１２ｂが個別電極１２ａと離隔して形成され、電極基板１０の個別電極１２ａと端子部１２ｂとの間には、封止材２５を封入するための貫通した封止溝穴１３が形成され、キャビティ基板２０の電極基板１０と対向する面には、封止溝穴１３を横切って個別電極１２ａと端子部１２ｂとを接続するリード配線１２ｃが形成され、電極基板１０のキャビティ基板２０と対向する面の反対側から、電極基板１０とキャビティ基板２０との間に封止溝穴１３を介して封止材２５を堆積させ、ギャップを封止した。 （もっと読む）

【課題】電鋳によるノズル基板の製造方法においては、レジストの剥離工程において、ノズル孔径が小さいために、剥離液がノズル孔の内部のレジストを完全に除去できず、ノズル孔の内部壁面にレジストが残ってしまうことが起こり得る。そして、ノズル孔にレジストが残ってしまった場合は、ノズル孔径が所望する孔径よりも小さくなってしまい、噴射されるインク滴の量が少なくなって正しく画像を形成することが出来なくなるという課題が生ずる。
【解決手段】小さいノズル開口孔５Ａに存在するレジストの剥離残りを、アッシング処理によって除去する。従って、ノズル５の孔径が所望する孔径となることから、噴射されるインク滴９の量が適切になり正しく画像を形成することが出来る。 （もっと読む）

【課題】電圧が印加されて圧電素子が撓むときに、圧電素子が振動板から受ける長手方向の引張応力に起因する圧電素子のクラック発生を、確実に防止することができるアクチュエータと、それを用いた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】基板上に配設された振動板と、前記振動板上に配設された下電極６０と前記下電極６０上に配設された圧電体層７０と前記圧電体層７０上に配設された上電極８０とで構成された圧電素子３００とを具備し、前記圧電体層７０には、当該圧電体層７０を実質的に分離する深さを有する凹部７１が幅方向に亘って設けられているとともに、当該凹部７１が前記圧電体層７０の長手方向に所定の間隔で複数設けられており、前記上電極８０は、前記圧電体層７０の前記凹部７１内にも連続的に形成する。 （もっと読む）

【課題】簡略化された方法で歩留まりの高い噴射ヘッドを製造することが可能な噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の噴射ヘッドの製造方法は、第１開口部１３が形成された第１基板１０と、第１開口部１３と連通する第２開口部３１が形成された第２基板３０とを有する噴射ヘッドの製造方法であって、第１基板１０上に貴金属からなる隔離層９４を形成する工程と、隔離層９４を挟んで第１基板１０と第２基板３０とを接着する工程と、第１基板１０及び第２基板３０の隔離層９４を挟んで対向する位置に第１開口部１３及び第２開口部３１を形成する工程と、第１基板１０の表面に原子堆積法を用いて保護膜１５を形成する工程と、第１開口部１３にエッチング材を供給し、第１開口部１３と第２開口部３１との間に配置された隔離層９４を除去する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】振動板の破損が少なく、接合性が良好な歩留まりの高い液滴吐出装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜振動板１０２上にアクチュエータ１０６を有する流路基板２００とノズルプレート１１４の接合工程において、圧力室と対向していない場所にアクチュエータ１０６と同程度の部材１０４を配置しておき、ヤング率が低い平面の加圧部材１０８を用いて流路基板２００とノズルプレート１１４とに圧力を印加して接合を行う。 （もっと読む）

【課題】振動板の破損が少なく、接合性が良好な歩留まりの高い液滴吐出装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜振動板１０２上にアクチュエータ１０６を有する流路基板２００と、ノズルプレート１１４の接合工程において、圧力室と対向していない場所にアクチュエータ１０６より高さの高い部材１０４を配置しておき、ビッカース硬度が低い平面の加圧部材１０８を用いて流路基板２００とノズルプレート１１４とに圧力を印加して接合を行う。 （もっと読む）

【課題】 インク供給口を設計値通りに形成し、スムーズなインク供給を可能にすることにより印字品位に優れたインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 ＣＲ製法のインクジェットヘッドに於いて、インク供給口形成の為の犠牲層にＡｌＣｕを用いる。（Ｃｕの含有率を０．０５％を超え５％以下に限定。） （もっと読む）

【課題】基板の変形を抑え、突出口の位置ズレを低減でき、機械的強度の高く、ハンドリング及びマウント時の破損を回避できるインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】共通液室８０９と、インクを加熱して気泡を発泡させインクを吐出させる発熱抵抗体を有する基板８０１と、該基板８０１上に設けられた吐出口を有するオリフィスプレート８０４とを備えるインクジェット記録ヘッドにおいて、マスク層８０５よりなる梁が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 （１）基板の変形を抑え、吐出口の位置ズレを低減でき、（２）機械的強度の高く、ハンドリング及びマウント時の破損を回避できる、良好な印字を可能にする高精細且つ高速な記録を行うことが可能な長尺にできるインクジェット記録ヘッド及びその新規な作製方法を提供すること。
【解決手段】 インクジェット記録ヘッドの作製方法において、（ａ）該基板裏面に、開口部を有するマスク層を形成する工程（ｂ）開口部よりエッチングを行い、開口部サイズよりも大きいサイズのエッチング底部を有する溝を形成する工程（ｃ）該溝から露出した基板をエッチングし、基板に貫通孔を形成すると共に、隣接する溝を連通し、梁と共通液室を形成する工程を含むことを特徴とする記載のインクジェット記録ヘッドの作製方法。 （もっと読む）

【課題】吐出能力を確保しつつ、安定した吐出特性を得ることができ、また、ヘッドの高密度化及びクロストークの低減を図ることが可能な液滴吐出ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するための複数のノズル孔１１と、各ノズル孔１１に連通して設けられ液滴に圧力を加えるための圧力室２１と、圧力室２１に液滴を供給する液滴供給路と、液滴を吐出するための吐出圧力を圧力室２１に発生させる圧力発生手段とを有する液滴吐出ヘッドにおいて、複数のノズル孔１１を１列のノズル列構成とし、圧力室２１を、ノズル列におけるノズル孔１１の一個おきにノズル列に対して左右に分けて配置し、且つ、圧力室２１の幅の中心線上に、その圧力室２１に対応するノズル孔１１の中心が位置するように配置した。 （もっと読む）