【課題】開口を封止して中空構造部分を形成する場合であっても、当該開口の確実な封止を可能とし、その中空構造部分による機能実現の確実化を図ることのできる機能素子を提供する。
【解決手段】開口４を封止することで形成される中空構造部分２を有した機能素子１において、前記開口４を物理蒸着によって成膜される封止膜６で封止する。そして、前記封止膜６は、前記物理蒸着の際の成膜温度または成膜後のアニール温度が、当該封止膜６の成膜材料のリフロー温度以上に昇温することにより形成する。これにより、前記封止膜６の成膜材料が溶融して表面張力による流動を起こすようにして、前記開口４内への封止膜６の成膜材料の充填を容易にする。 （もっと読む）

【課題】 隣接する素子構造間の熱絶縁を改良した半導体ヒータを提供する。
【解決手段】 加熱素子（１６）とベース（１１）との間に可密閉エア・ギャップ（１４）を形成することにより、半導体ヒータ（１０）の熱絶縁を改善する。加熱素子（１６）上に最上層（１７）を形成し、エア・ギャップ（１４）を密閉することにより、可密閉エア・ギャップ（１４）を大気圧または真空のいずれかにすることができる。半導体ヒータ（１０）は、それを覆う抵抗層（１８）の抵抗率を調節するための熱源としての用途を含む、様々な用途において使用することができる。半導体ヒータ（１０）の実施例は、化学センサ（２０）も含む。加熱素子（２６）からの熱を用いて、上に配された化学物質検出物層（２８）を最適な温度に維持する。本発明の実施例は、インク・ジェット・プリンタにおけるように、ウエル（５５）内の流体を加熱する変換器（４０）も含む。
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【課題】従来の圧電薄膜素子の機械的な脆さを改善し、従来品と同等の圧電特性を維持しつつ、その耐久性の向上を可能とする。
【解決手段】上部電極４と下部電極２との間に、圧電体薄膜３ａ、３ｃ、３ｅを少なくとも２層以上設け、各圧電体薄膜の間に、強化用金属薄膜３ｂ、３ｄを挿入することにより、圧電体薄膜と強化用金属薄膜の積層領域３を形成する。強化用金属薄膜３ｂ、３ｄの材料としては、Ｐｔ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｒｕ、Ｔａ、Ｔｉ、Ａｕ、Ｉｎ、Ｚｎ、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｍｎ、Ｃｒ、Ｖ、Ａｌ、Ｍｇ等々、これら各種金属元素の合金、これらとＰｔとの合金等が好適に用いられる。この積層領域３の形成工程においては、製造すべき圧電薄膜素子を、一つの成膜装置内から外部に出すことなく圧電体薄膜と金属薄膜を交互に、且つ連続的に成膜することが望ましい。 （もっと読む）

【課題】 圧電層と電極との間の密着性を向上させることが可能な圧電アクチュエータの製造方法及び圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】 絶縁材料層３１の表面上に複数の個別電極３２を形成するとともに、各個別電極３２の表面に凹部（貫通穴３２ａ）を形成し、個別電極３２の表面に圧電層３３を形成し、さらに、圧電層３３の表面に共通電極３４を形成するため、個別電極３２の表面上の圧電層３３の一部が貫通穴３２ａ内に入り込んで絶縁材料層３１に密着して、圧電層３３が個別電極３２から剥がれにくくなり、個別電極３２と圧電層３３の密着性が向上する。 （もっと読む）

【課題】インクの滞留、インク漏れ、あるいは、電極にかかる短絡、マイグレーション等の問題発生につながる要素を徹底的に排除したインクジェットプリントヘッドに好適に用いられる圧電／電歪アクチュエータを提供すること。
【解決手段】２つの側壁６と、その２つの側壁６を接続する天井壁７及び底壁２と、を含む壁部により形成された１又は複数のセル３を具備し、少なくとも２つの側壁６が圧電／電歪作動部４で構成され、その圧電／電歪作動部４の変位によってセル３の容積が変化するセル駆動型圧電／電歪アクチュエータである。このセル駆動型圧電／電歪アクチュエータは、天井壁７に２つの微小孔８が備わるとともに、壁部のセル内面を全て覆う１層以上のシームレスな薄膜１７が形成されているところに特徴があり、このアクチュエータをインクジェットプリントヘッドに適用することにより課題が解決される。 （もっと読む）

【課題】近時の印刷機器に求められる高解像度の要望に対応すべく、インク室が高密度に配置され、且つ、信頼性の高いインクジェットヘッド用のアクチュエータの提供。
【解決手段】複数のシート状の圧電／電歪体が積層されてなる圧電／電歪構造体であって、複数のシート状の圧電／電歪体の積層界面が露出する側面に複数の切欠が形成され、その切欠が現す凹凸面に沿って１層以上の薄膜が形成されている圧電／電歪構造体の提供による。この圧電／電歪構造体は、インクジェットヘッド用のアクチュエータとして利用出来るものである。 （もっと読む）

【課題】 インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室と、吐出室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極とを備え、振動板を静電力で変形させてノズルからインク滴を吐出させる静電型インクジェットヘッドにおいて、振動板と電極基板とのギャップを高精度に維持して接合できる、低コストでインク滴吐出性能に優れた液叶出ヘッドの提供。
【解決手段】 振動板１０と電極基板３のギャップスペーサ部１３とをシリコンを含有した金属薄膜２０で接合した。 （もっと読む）

【課題】 プラズマ重合（ＣＶＤ）によって撥インク被膜を形成して、長期に亘る安定した吐出を保証できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 ■予め粗面化処理により表面粗さ（Ｒａ）０．０１〜０．１とされた表面に、フッ素含有化合物又はシラン化合物を原料としたプラズマ重合（ＣＶＤ）により膜厚０．５μｍ以下の撥インク膜が形成されたノズルプレートを有するインクジェットヘッド、■フッ素含有化合物又はシラン化合物を原料としてプラズマ重合（ＣＶＤ）により形成された皮膜上に、フッ素樹脂が塗布されて撥インク膜が形成されたノズルプレートを有するインクジェットヘッド。 （もっと読む）