【課題】単一配向の結晶配向性が高いセラミックス薄膜を得ることができるセラミックス前駆体薄膜の製造方法および前駆体溶液を提供する。
【解決手段】本発明に係るセラミックス前駆体薄膜の製造方法は、金属アルコキシド溶液を希釈した希釈溶液に、アモルファス粉末を混合し、金属アルコキシド系化合物を含む前駆体溶液を作製する前駆体溶液作製工程と、前記前駆体溶液を用いてゲル膜を成膜するゲル膜成膜工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡易な成膜装置によって、被成膜基材の表面に、シランカップリング剤の被膜を均一且つ強固に形成することができ、また、一の成膜サイクル終了から次の成膜サイクル開始までに要するリセット時間が短く、連続処理を好適に行うことができるシランカップリング剤の成膜方法、及び、これを用いるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】チャンバー３０１の内部にシランカップリング剤ガスを導入し、チャンバー３０１の内壁３０１ａにシランカップリング剤を吸着させる第１の工程と、チャンバー３０１内に被成膜基材１２５を導入し、チャンバー３０１にシランカップリング剤ガスを導入することなくチャンバー３０１内に被成膜基材１２５を放置し、内壁３０１ａから脱離したシランカップリング剤を被成膜基材１２５の表面に成膜する第２の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】露出電極は、圧電層の振動層と反対側に露出しているため、エッチングによって貫通孔を形成する場合には、露出電極を形成した後に貫通孔を形成すると、エッチング液によって露出電極が損傷しまう虞がある。また、これを防止するためには、エッチングにより貫通孔を形成する前に、露出電極にマスクをするなど余分な工程が必要となる。
【解決手段】本発明の目的は、エッチング液によって露出電極が損傷してしまうことがなく、上述したマスクの処理などが不要な圧電アクチュエータの製造方法、及び、このような圧電アクチュエータを有する液体移送装置の製造方法を提供することである。 （もっと読む）

【課題】圧電層のクラックとバンプとが接触するのを抑制する。
【解決手段】アクチュエータユニット２１が圧電シート１４１〜１４３を含んでいる。圧電シート１４１の表面には、流路ユニット９の圧力室１１０と対向する電極本体１３５ａと電極本体１３５ａに接続された個別ランド１３６とを含む個別電極１３５が形成されている。個別ランド１３６上にバンプ７１が載置されている。圧電シート１４１と圧電シート１４２との間には共通電極１３４が介在している。圧電シート１４１の表面において、個別ランド１３６を全周に亘って包囲する環状保護層６１が形成されている。樹脂層６２が、環状保護層６１の内側の側壁面と、個別ランド１３６の外側の側壁面とが画定している環状領域を全周に亘って覆っている。 （もっと読む）

【課題】活性部に作用する力の方向を揃え、圧電特性のばらつきを低減する圧電アクチュエータの製造方法を提供する。
【解決手段】共通電極４３を挟んでほぼ同じ厚みの２枚のグリーンシート４８を積層する（積層工程）。そして、２枚のグリーンシート４８及び共通電極４３を一体に所定の焼成温度で焼成する（焼成工程）。その後、２枚の圧電シート５０の反り方向を確認し、２枚の圧電シート５０の積層体の凹となった側の一方の圧電シート５０に活性部Ｒ１を形成することを決定する（活性部位置決定工程）。そして、圧電層４１の活性部Ｒ１を形成することとなる部分の表面に複数の個別電極４２を形成し、個別電極４２と共通電極４３の間に電圧を印加して、これらの電極間の圧電層４１の部分を厚み方向と平行な方向に分極させて、活性部Ｒ１を形成する（活性部形成工程）。 （もっと読む）

【課題】圧電層と焼成電極端子とに跨るクラックが発生するのを抑制する。
【解決手段】圧電層４１の表面上に蒸着によって金属層３６を形成し、さらに焼成によって個別電極３５を形成する。このとき、個別電極３５の接続部３５ｂの一部及び端子形成部３５ｃは金属層３６上に重畳され、主電極部３５ａ及び接続部３５ｂの残りの部分は圧電層４１の表面上に形成される。そして、個別電極３５の端子形成部３５ｃ上に焼成によって金属層であるランド３７を形成する。ランド３７は、平面視で金属層３６に包含されている。さらに、ランド３７上に焼成によって金属端子であるバンプ３８を形成する。バンプ３８は、金属層３６、個別電極３５、及びランド３７に包含されている。 （もっと読む）

【課題】結晶粒径、配向等の結晶状態の安定した圧電体膜の製造方法、変位量の確保された圧電素子の製造方法および液体の必要な噴射量が確保された液体噴射ヘッドを得ること。
【解決手段】脱脂工程（Ｓ４）後の放置時間Ｔを、常温、常湿の状態で６時間以内とすることにより、圧電体前駆体積層膜７２への雰囲気中の水等の影響が抑えられ、焼成された圧電体膜７３の結晶粒径、配向等の結晶状態を安定にできる。したがって、圧電性能が安定した圧電体膜７３の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 複雑なプロセスを必要とせず、振動板の撓みと残留応力を制御でき、圧電膜による安定な変位特性を有する液体噴射装置およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 液体噴射装置を構成する流路構造基板１１は液体を通過させる流路構造を有し、流路構造の一部に圧力室１４が形成され、圧力室１４においてその上に配置された圧電素子１３により生ずる圧力によって液体を噴射するように構成され、圧力室１４はステンレス材により形成され、圧電素子１３は圧力室１４の壁の外側の一つの面に形成された圧電膜２２と上部電極２１、下部電極２３とからなり、圧電素子１３に接する圧力室１４の壁の内面に１つの流路方向の溝１５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】吐出液が保護膜を浸食して下地のシリコンが溶出することがないノズル基板及びノズル基板の製造方法並びに液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル基板は、シリコン基材６０に液滴を吐出するためのノズル孔１０を有し、ノズル孔１０の液滴吐出側の面からノズル孔１０の内壁まで導電性酸化物からなる第１の保護膜２４を連続して形成し、第１の保護膜２４を被覆する酸化物からなる第２の保護膜２６を形成した。 （もっと読む）

【課題】第１電極と引出電極の導通の信頼性を向上させるとともに、製造工程を簡略化し、コストを低減する。
【解決手段】振動板４０の一表面の中央領域に、拡散防止層４１を形成する。拡散防止層４１の上面全域及び拡散防止層４１の外縁を越えて振動板４０の上面にまたがって共通電極４２を形成する。共通電極４２の表面及び拡散防止層４１が設けられていない振動板４０の上面にまたがって、ＡＤ法により圧電層４３を形成する。圧電層４３を加熱して熱処理を施す。すると、圧電層４３の振動板４０と当接している領域は、振動板４０の金属原子が拡散して高導電領域４３ｂとなり、振動板４０及び共通電極４２と導通する。圧電層４３の平面視で共通電極４２の拡散防止層４１上に形成された領域の一部と重なる領域に個別電極４４を形成するとともに、圧電層４３の平面視で拡散防止層４１と重ならない領域に引出電極４７を形成する。 （もっと読む）

【課題】２つの部材同士を、接合面の一部の領域において選択的に、高い寸法精度で強固に接合可能な接合方法、２つの部材同士を、接合面の一部の領域において選択的に、高い寸法精度で強固に接合してなる接合体、かかる接合体を備えた信頼性の高い液滴吐出ヘッド、およびかかる液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本発明の接合方法は、２つの基材２１、２２の表面上に、それぞれプラズマ重合膜３０１、３０２を形成する工程と、各プラズマ重合膜３０１、３０２の表面の一部の所定領域３１１、３１２にそれぞれ紫外光を選択的に照射して、表面を活性化させる工程と、活性化させた表面同士を密着させるように、２つの基材２１、２２を貼り合わせ、２つの基材２１、２２が、所定領域３１１と所定領域３１２とが重なり合った部分、すなわち接合部３１３において、部分的に接合してなる接合体を得る工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】高剛性、高変位の圧電アクチュエータを備えた液体吐出ヘッド、その製造方法、並びに、その駆動方法、及び、画像記録装置を提供する。
【解決手段】上下に変位して、圧力室１１２の容積を拡縮させる圧電アクチュエータ１３４が、初期状態において、圧力室側に凸状に湾曲して形成される。圧電アクチュエータ１３４は、駆動電圧が印加されると、中立点を超えて、圧力室１１２とは反対方向に変位して、圧力室１１２の容積を拡大させ、駆動電圧の印加を停止すると、元の状態に復帰して、圧力室１１２の容積を縮小させる。 （もっと読む）

【課題】 流路壁と基板との接合強度の向上が図られた液体吐出ヘッドを製造する方法を提供する
【解決手段】 ポリメチルイソプロペニルケトンと、メタクリル酸とメタクリレートとの共重合体と、の混合物を含む層を基板上に設ける工程、前記混合物を含む層に対して、露光を施した後に現像を行い、前記層から前記流路の型を形成する工程と、前記流路壁部材となる層を、前記型を被覆するように前記基板上に設ける工程と、前記型を除去して前記流路を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】この発明は、駆動電極の表面に均一な絶縁膜を成膜できるインクジェットヘッドの製造装置、およびその製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】電着装置５０は、インクジェットヘッド１１へ電着塗料を流通させるための流通管６１を有する。電着塗料を流通させる前に、供給側の流通管６１を介してエタノールを流通させて流通管７３から排出させ、電着塗料を流通させて絶縁層を修復した後、流通管６１を介して純水を流通させて流通管７３から排出させる。そして、この後、給気管７５を介してインクジェットヘッド１１のインク流路に温風を送り込んで複数の流通管６１、６１、７３から排出させる。 （もっと読む）

【課題】酸化ジルコニウム層の剥離等の破壊や圧力発生素子の破壊を低減することができる液体噴射ヘッド、液体噴射装置、アクチュエーター装置及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 基板１０上方に形成された酸化シリコンを主成分とする第１の層５０と、第１の層５０上に気相成膜法により形成された酸化ジルコニウムを主成分とする第２の層５６と、第２の層５６上に塗布液を塗布し、焼成することにより形成された酸化ジルコニウムを主成分とする第３の層５７と、第３の層５６の上方に形成された圧力発生素子３００と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】圧電層に作用する圧縮応力を緩和し、圧電層の見かけ上の圧電特性の低下を抑制する。
【解決手段】まず、振動板４０の一表面に、エアロゾルデポジション法により圧電層４１を形成する（圧電層形成工程）。そして、圧電層４１が形成された振動板４０を所定の温度（例えば、９００℃）で加熱する（加熱工程）。その後、加熱された圧電層４１が形成された振動板４０を環境温度まで冷却し（冷却工程）、圧電層４１の表面に複数の個別電極４２をそれぞれ形成する（電極形成工程）。続いて、個別電極４２を覆うように圧電層４１の上面に、ＡＤ法により圧電層形成工程で用いた粒子とキャリアガスとを含んだエアロゾルと同様のエアロゾルを噴きつけて絶縁層６０を形成する（噴きつけ工程）。 （もっと読む）

【課題】組成傾斜を抑制し圧電体膜の組成がＭＰＢ付近から外れないように圧電体層の組成を所望の組成で厚さ方向に略均一化することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子の製造方法は、圧電体層形成工程が、第１電極上に、鉛（Ｐｂ）、チタン（Ｔｉ）及びジルコニウム（Ｚｒ）を少なくとも含む圧電体前駆体膜７１を成膜する前駆体膜成膜工程と、圧電体膜を構成する組成物の少なくとも一つを含有し、圧電体膜の組成を調整する圧電体組成調整膜を成膜する調整膜成膜工程と、圧電体前駆体膜及び圧電体組成調整膜を一括して焼成する焼成工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】薄い振動膜を有する圧電アクチュエータを単体で容易に製造できる。
【解決手段】まず、アニール処理工程での所定の温度よりも低い鉛からなる分離膜８１（基材）をステージ８０上に形成する。次に、圧電材料の粒子を分離膜８１の表面に堆積させることにより圧電層３２を形成する。続いて、ＡＤ法によりステンレスの粒子を圧電層３２の表面に堆積させることにより振動膜３１を形成する。次に、分離膜８１、振動膜３１及び圧電層３２を所定の温度に加熱して、圧電層３２に対して熱処理を施す。このとき、分離膜８１はアニール処理工程で溶けて、振動膜３１及び圧電層３２はステージ８０から取り外され、振動膜３１及び圧電層３２を傾けて、溶けた鉛を除去する。その後、圧電層３２上の複数の圧力室１４と対向する領域に、複数の個別電極３３をそれぞれ形成する。 （もっと読む）

【課題】溝内に電極とその電極上に無機絶縁膜と有機絶縁膜からなる２層保護膜を形成した圧電部材に、溝を覆い圧力室を形成するための天板を接着し、ポリイミドプレートが溝を覆うように接着した後に、エキシマレーザー加工によって圧力室にあわせてポリイミド上にノズルを形成してインクジェットヘッドを形成する。この場合、エキシマレーザーがノズル加工のためにポリイミドプレートを貫通し、さらに有機絶縁膜に照射される。そのため、レーザー光によって有機絶縁膜が破壊される。
【解決手段】有機絶縁膜の破壊を防止するため、有機絶縁膜のエキシマレーザーが照射される部位における無機絶縁膜の厚さを０．５μｍ以上とした。 （もっと読む）

【課題】振動板を被固定対象物に磁力によって簡便に固定するとともに、固定解除後に振動板の残留磁化を消磁することが可能な、圧電アクチュエータの製造方法を提供すること。
【解決手段】まず、強磁性体からなる振動板４０を、磁石を有するステージ５２に固定する。次に、振動板４０に、圧電材料からなる粒子とキャリアガスとを含んだエアロゾルを吹き付けて粒子を堆積させて圧電層４１を成膜する。その後、圧電層４１が形成された振動板４０を所定の消磁温度以上に加熱して、圧電層４１のアニール処理と振動板４０の残留磁化の消磁とを同時に行う。 （もっと読む）