【課題】 吐出室等の液滴の流路部分のイナータンスを低減し、周波数応答性の高い液滴
吐出ヘッド及びその製造方法並びにこの液滴吐出ヘッドを搭載した吐出性能の高い液滴吐
出装置を提供する。
【解決手段】 液滴を吐出させるために該液滴に圧力を加える吐出室１５となる溝部１５
ａが形成された第１の基板１１と、該第１の基板１１と接合される第２の基板１２を備え
、第２の基板１２には、吐出室１５を拡張するための溝部１５ｂが形成されており、第１
の基板１１に設けられた溝部１５ａと、第２の基板１２に設けられた溝部１５ｂが対向す
るように接合されることにより吐出室１５が形成され、第１の基板１１に設けられた溝部
１５ａの幅は、第２の基板１２に設けられた溝部１５ｂの幅よりも大きいものである。 （もっと読む）

【課題】安定した流体噴射特性を確実に得られるようにすべく、壁体形成の際の形状ばらつきを小さく抑えることのできる機能素子を提供する。
【解決手段】中空構造部分１５を形成するための開口１８と、その開口１８を封止する封止膜１９と、その封止膜１２上に形成される壁体２３とを具備し、前記封止膜１９が上面部１９ａと傾斜を有した側壁部１９ｂとを備えてなる機能素子において、前記壁体２３の両側面の間の幅が、前記上面部１９ａの形成幅よりも狭く、または前記上面部１９ａと前記側壁部１９ｂとを含む前記封止膜１９の最大形成幅よりも所定値以上広くなるように、当該壁体２３を形成する。 （もっと読む）

【課題】 電極取出し部の周辺部が割れたり、クラックが発生するのを防止することので
きる液滴吐出ヘッドの製造方法等を提供する。
【解決手段】 外部電源と接続するための電極取出し部２５まで伸びる個別電極１８が形
成される電極用凹部１９と、電極用凹部１９を大気開放するための大気開放用凹部２６と
が形成されている電極基板１２と、液滴を溜めておく吐出室１５となる凹部１５ａが形成
されるキャビティ基板１１とを、個別電極１８と吐出室１５の底面を構成する振動板１４
がギャップを有して対向するように接合させ、キャビティ基板１１の電極取出し部２５に
対向する部分を薄板化して、その後にキャビティ基板１１の大気開放用凹部２６に対向す
る部分を除去し、電極用凹部１９内を大気開放するものである。 （もっと読む）

【課題】高密度配置に容易に対応し得るとともに、高密度配置した場合であっても効率のよい流体吐出特性を得られるようにする。
【解決手段】複数の振動板１１と、その各振動板１１を変形可能に支持する各支持部１７ａと、前記各振動板１１を静電力により変形させて流体に圧力変化を与える、または流体の圧力変化により前記振動板１１を変形させて静電容量を検出する電極対とを有する機能素子において、前記各支持部１１を環状となるように配する。 （もっと読む）

【課題】開口を封止して中空構造部分を形成する場合であっても、当該開口の確実な封止を可能とし、その中空構造部分による機能実現の確実化を図ることのできる機能素子を提供する。
【解決手段】開口４を封止することで形成される中空構造部分２を有した機能素子１において、前記開口４を物理蒸着によって成膜される封止膜６で封止する。そして、前記封止膜６は、前記物理蒸着の際の成膜温度または成膜後のアニール温度が、当該封止膜６の成膜材料のリフロー温度以上に昇温することにより形成する。これにより、前記封止膜６の成膜材料が溶融して表面張力による流動を起こすようにして、前記開口４内への封止膜６の成膜材料の充填を容易にする。 （もっと読む）

【課題】 ヘッドの構成材料が腐食されにくいインクジェット用水性インクおよびその製造方法、インク容器、インクジェットヘッドおよびインクジェットプリンタを提供すること。
【解決手段】 インクジェットヘッド１０には、少なくとも１種の染料と、染料を溶解させる少なくとも１種の液媒体と、ヘッドの構成材料に浸透して腐食を起こす成分を除去するための精製がなされた少なくとも１種の界面活性剤とが調合された水性インク２０が充填されている。 （もっと読む）

【課題】モノクロ及びカラー印字を行うインクジェットプリンタに関し、モノクロ画像は高速印字、カラー画像は高画質印字ができるインクジェットプリンタを提供する。
【解決手段】 インク６が供給され、該インク６を噴射するノズル９を有する複数の圧力室11、少なくとも１つの圧力室11のインク６に外部から加圧する第１の圧力発生手段８及び該第１の圧力発生手段８に対応する圧力室11以外の圧力室11のインク６に内部圧力を発生させる第２の圧力発生手段8Ａを有する印字ヘッド１と、印字情報に応じて第１の圧力発生手段８又は第２の圧力発生手段8Ａの駆動を選択する選択手段20とを備え、選択した第１の圧力発生手段８又は第２の圧力発生手段8Ａにより圧力室11からインク６を噴射してドットによって記録媒体７に印字する構成とする。第１の圧力発生手段８は、複数種類の飛翔インク粒量の噴射タイミングを同一に設定する設定手段を備える。 （もっと読む）

【課題】開口を封止して中空構造部分を形成する場合であっても、当該開口の確実な封止を可能とし、その中空構造部分による機能実現の確実化を図ることのできる機能素子を提供する。
【解決手段】た開口３を封止することで形成される中空構造部分２を有した機能素子１において、前記開口３の断面形状を、前記中空構造部分に向かって当該開口の径が狭くなるテーパ状に形成し、開口側壁部分が垂直面である場合に比べて、開口形成時の残渣物の除去を容易にし、前記開口３を封止する封止膜５の成膜材料を堆積させるのも容易にする。 （もっと読む）

【課題】高密度配置に容易に対応し得るとともに、高密度配置した場合であってもクロストークの発生を回避することができ、安定した流体噴射特性を得られるようにする。
【解決手段】基板１２上に形成された振動アクチュエータ１１，１３，１５，１６と、当該振動アクチュエータ１１，１３，１５，１６によって流体に圧力変化が与えられる圧力室２２と、当該流体の排出口２５とを備えたを備えた機能素子において、前記基板１２に前記圧力室２２へ通じる少なくとも一つの貫通孔３０を設け、その貫通孔３０を介して前記圧力室２２内への流体の供給を行い、前記排出口２５を介して当該圧力室２２内からの当該流体の排出を行うように構成する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの液滴の吐出異常の原因を正確に特定する。
【解決手段】本発明は、アクチュエータ２２を駆動し、液滴吐出動作を行った際に、このアクチュエータによって変位させられた振動板の残留振動を検出し、その振動板の残留振動パターンに基づいて、液滴が正常に吐出されたか否かを検出し、吐出異常の場合、上記振動板の残留振動の残留振動波形から計測したパルス幅計測値に基づいて、液滴の吐出異常の原因が気泡混入によるものか否かを判定し、液滴の吐出異常の原因が気泡混入以外と判定された場合に、上記振動板の残留振動の残留振動波形から計測したパルス幅計測値の初期状態における初期計測値と、前記初期状態の後に液滴吐出動作を所定回数駆動する毎にパルス幅計測値の順次計測値を比較し、液滴吐出動作の駆動回数の増加に応じて初期計測値が順次計測値が大きくなった場合に紙粉異常と判定し、逆に小さくなる場合に乾燥異常と判断するようにした。 （もっと読む）

【課題】 ノズルプレートの製造工程の簡略化を図るとともに、より微細な凹凸を低コストで形成することができるノズルプレートの製造方法、液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】 液滴を吐出するためのノズル孔の周囲に微小な凹凸が形成されたノズルプレートの製造方法であって、前記凹凸の凸部または凹部に対応した凸部２０２Ａ１を有する型２０２Ａを用いて、前記凹凸の凸部とほぼ同パターンのマスク２０５を基板１０５の表面に形成する第１の工程と、マスク２０５を用いて基板１０５をエッチングすることにより、基板１０５の表面に微小な凹凸を形成する第２の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 高い信頼性で直接接合することができない。
【解決手段】 振動板１０を設けた流路基板１と電極１５を設けた電極基板３がいずれもシリコン基板からなり、流路基板１の振動板１０の電極側面を研磨加工して絶縁膜２０を形成し、流路基板１と電極基板３とを直接接合した。 （もっと読む）

【課題】 インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出室と、吐出室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向する電極とを備え、振動板を静電力で変形させてノズルからインク滴を吐出させる静電型インクジェットヘッドにおいて、振動板と電極基板とのギャップを高精度に維持して接合できる、低コストでインク滴吐出性能に優れた液叶出ヘッドの提供。
【解決手段】 振動板１０と電極基板３のギャップスペーサ部１３とをシリコンを含有した金属薄膜２０で接合した。 （もっと読む）