【課題】エンジンごとにバンドパスフィルタ等を選定することなくエンジンの燃焼室で起こるノッキングを正確に検出することができるノッキング検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】エンジン１０のシリンダヘッド１２とシリンダブロック１１との間に介設するシリンダヘッドガスケット１と、ガスケット面圧を検知して電気信号に変換するノックセンサ５を有し、前記ノックセンサ５がシリンダヘッドガスケット１に配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】陽極接合の際に影響を受けず、しかも目的とする感度を得ることができる静電容量型圧力センサを提供すること。
【解決手段】ガラス基板１１のキャビティ１７内には、固定電極である第１導電部材１２が埋設されている。ガラス基板１１のキャビティ１７以外の領域に、可動電極用の接続電極である第２導電部材１３が埋設されている。ガラス基板１１の主面１１ｂ上には、第１及び第２導電部材１２，１３の露出部分とそれぞれ電気的に接続するように引き出し電極１４ａ，１４ｂが形成されている。キャビティ１７は、感圧ダイヤフラム１６ａと固定電極である第１導電部材１２との間の領域１７ａと、領域１７ａ以外の領域１７ｂとを有する。ガラス基板１１の主面１１ａの接合面１１ｄ上には、圧力センサの可動電極である感圧ダイヤフラム１６ａを有するシリコン基板１６が接合されている。 （もっと読む）

【課題】 基板同士の接合に伴う面内歪みの低減がなされた圧力センサを提供する。
【解決手段】 可動基板１０には、第１の薄肉部（ダイアフラム）１１が形成されており、ダイアフラム１１の周辺に導電膜１４ａが形成されている。固定基板２０には、導電膜１４ａと対向するように、可撓性を有する第２の薄肉部（接合部）２４が形成されている。接合部２４は、固定基板２０の両面に形成された凹部２５ａ，２５ｂの底面部で構成されており、接合部２４上には、導電膜２２ａが形成されている。ガラスリング３０は、凹部２５ａに格納可能になっており、凹部２５ａに格納された状態で、一方の面が導電膜２２ａと陽極接合され、他方の面は、導電膜１４ａと陽極接合されている。つまり、可動基板１０及び固定基板２０は、それぞれがガラスリング３０と陽極接合されることによって密着接合されている。 （もっと読む）

【課題】 可動基板と固定基板との接合に伴う面内歪みの低減がなされた圧力センサを提供する。
【解決手段】 圧力センサ１は、可動基板１０、及び固定基板２０を有しており、それぞれの対向面１０ａ，２０ａが対向するように密着接合されている。可動基板１０には、第１の薄肉部としてのダイアフラム１１が形成されており、ダイアフラム１１の周辺に導電膜１４ａが形成されている。固定基板２０には、その両面に形成された凹部２５ａ，２５ｂの底面部で構成された第２の薄肉部としての緩衝部２４が形成されて、その外周に接合部３５が形成されている。可動基板１０と固定基板２０との接合は、固定基板２０の接合部３５の接合面３５ａと、可動基板１０に形成されている導電膜１４ａとが陽極接合されることによって行われている。 （もっと読む）

【課題】電極板の振動を抑制することにより、出力される電気信号を大きくすることが可能なセンサ装置を提供する。
【解決手段】マイクロホン（センサ装置）３０は、振動可能に設けられたダイアフラム部４ａと、ダイアフラム部４ａと所定の距離を隔てて対向するように設けられ、上下方向に貫通された音響孔９を有する電極板部７ａと、電極板部７ａを構成するポリシリコンの弾性率よりも高い弾性率を有するＳｉＮからなり、電極板部７ａを支持する下部支持体層５および上部支持体層８とを備えている。そして、下部支持体層５は、電極板部７ａの下面を覆うように形成され、上部支持体層８は、電極板部７ａの上面を覆うように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 センサハウジングの締結時に生じる出力特性のバラツキを抑えられる薄膜型圧力センサを提供する。
【解決手段】 被取付部材に螺合するネジ部１１を有するセンサハウジング１０と、このネジ部１１の内側に形成されるセンサ部収装穴１６と、このセンサ部収装穴１６に収められ圧力に応じて撓む金属製ダイヤフラム３０と、このセンサ部収装穴１６とこのダイヤフラム３０の間に介装される絶縁材からなる隙間フィルム５１と、このダイヤフラム３０の歪みを検出する検出回路とを備える薄膜型圧力センサ１において、センサ部収装穴１６の内径Ｄを、ダイヤフラム３０のフランジ部３３の外径に隙間フィルム５１の２倍の厚さを加えた外径ｄより所定の隙間分だけ大きく形成し、センサハウジング１０を締結するネジ部１１の締め付け荷重によってダイヤフラム３０のダイヤフラム部３１に歪みが生じることを回避する。 （もっと読む）

【課題】 音圧センサチップ等の半導体チップを備える半導体装置において、半導体チップに備えるダイヤフラムの振動特性の変化を抑制できるようにする。
【解決手段】 シリコンから形成され、圧力変動に応じて振動する薄膜状のダイヤフラム９ａを備えた半導体チップ９が、シリコンからなる集積回路基板７の表面７ａに実装されていることを特徴とする半導体装置１を提供する。また、前記半導体チップ９と前記集積回路基板７とが相互に電気接続されていることを特徴とする半導体装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】耐圧性と耐久性の高い小型の圧力計を実現する。
【解決手段】コネクタハウジング１の首部１ａの下方に位置するコネクタハウジング１の肩部１ｃは、コネクタハウジング１を補強するリング形状の金属プレート１０１より構成されている。センサハウジング３の端部３ａは、金属プレート１０１の外周一周に渡って内側に折り曲げられることによって、金属プレート１０１の底面Ａ全体に略均等に圧力が加わるように、カシメを構成している。圧力導入孔３ｂより入力された圧力は、シールダイヤフラム７、封入液（圧力伝達媒体）１３等を経由して、感圧素子５に伝達される。本構成により、カシメの接合部となるコネクタハウジング１の肩部１ｃの耐圧強度が大きく向上したため、製造時にコネクタハウジング１の樹脂が変形したり、破損したりすることがなくなり、高い圧力を測定する際にも、変形や撓みが発生し難くなった。 （もっと読む）

基板とケーシングとを備えたセンサ配置構造ならびにセンサ配置構造を製造する方法が提案されており、ケーシングが、基板を第１の基板領域でほぼ完全に包囲しており、ケーシングが、第２の基板領域で開口によって少なくとも部分的に開放して設けられており、開口の領域で、第２の基板領域が、ケーシングから突出して設けられている。
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【課題】 歩留まりの向上を図ると共に、検出精度の向上を可能とした小型の静電容量型圧力センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 表面部２ａに第１の電極７を有する基材２と、基材２の表面部２ａと対向して配置されると共に、第１の電極７と対向する第２の電極１３を有するダイヤフラム３と、基材２とダイヤフラム３との間に配置されて、第１の電極７と第２の電極１３との対向間隔を規定すると共に、第１の電極７と第２の電極１３との対向部分を取り囲む環状の内側スペーサ部材４と、内側スペーサ部材４の外側を取り囲む環状の外側スペーサ部材５と、内側スペーサ部材４と外側スペーサ部材５との間に埋め込まれた状態で基材２とダイヤフラム３とを接合する接合部材６とを備え、基材２とダイヤフラム３と内側スペーサ部材４との間には、接合部材６により気密に封止された気密室１４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】タイヤのインナーライナー７と電子部品取付用ゴムパッチ９との接着性を十分に確保する。
【解決手段】第１ゴム層２５は、加硫促進剤を含まないゴム材料からなり、一側に、インナーライナー７に直接的に取付可能な第１取付面２９を有し、他側に、第１接合面３１を有し、第１ゴム層２５には第２ゴム層２７が重合される。第２ゴム層２７は、加硫促進剤を含むゴム材料からなり、一側に、第１ゴム層２５の第１接合面３１に接着した第２接合面３３を有し、他側に、電子部品１１を直接的又は間接的に取付可能な第２取付面３５を有し、第１接合面３１と第２接合面３３を貼り合わせた状態の下で、第２ゴム層２７全体が加硫される。これにより、第２ゴム層２７に含まれる加硫促進剤が第２接合面３３に染み出て、第１接合面３１に架橋反応を起こすので、第１ゴム層２５と第２ゴム層２７は加硫接着される。 （もっと読む）

【課題】タイヤ５に大きな外力が入力されても、トランスポンダ１１に生じる応力をより十分に緩和して、トランスポンダ１１の内部回路等の損傷が生じ難くくする。
【解決手段】
電子部品取付台座９は、一側に、インナーライナー７に取付可能な第１取付面２５ａを有した第１台座部２５を備え、他側に、電子部品１１を取付可能な第２取付面２７ａを有した第２台座部２７を備えてあって、第１台座部２５の第１取付面２５ａをインナーライナー７に取付けた状態の下で、第１台座部２５の１００％モジュラスをM100とした場合に、０．１ＭＰａ≦M100≦０．５ＭＰａの関係が成立するように構成されたこと。 （もっと読む）

【課題】 台座付タイヤ１の走行距離又は走行時間が長くなっても、電子部品取付用台座９及び電子部品１１の接着剥離が生じ難くなるようにする。
【解決手段】電子部品取付用台座９は、一側に、タイヤ５におけるインナーライナー７に取付可能な第１取付面２５ａを有した第１台座部２５を備えると共に、他側に、電子部品１１を取付可能な第２取付面２７ａを有した第２台座部２７を備えてあって、少なくとも第１台座部２５は、半加硫済みのゴム材料からなる。 （もっと読む）

【課題】 シールリングの締付け時に発生する応力が感圧部に伝達されてダイヤフラム等に歪が発生することを緩和して、長期間使用にかかわらず正確かつ安定よい圧力計測性能を維持できるようにする。
【解決手段】 静電容量型圧力計１におけるケース本体３の感圧ダイヤフラム４側とは反対の端部から外方へ突出させた環状フランジ部５の外側に当接させた押え板部材１０側から圧力計取付ブロック２に締付けネジ１１をねじ込むことにより、環状フランジ部５を圧力計取付ブロック２側に移動させて金属ガスケット等のシールリング９を締付けて圧力計取付ブロック２に対しシール状態に固定する取付構造において、前記環状フランジ部５のシールリング締付け部位を除く箇所に切り込み溝１３を設けて当該箇所に薄肉部５ｂを形成してある。
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【課題】 樹脂を成形してなるケースに圧力検出用のセンサチップを設け、このセンサチップを保護材で被覆保護してなる圧力センサにおいて、ケースにおける保護材との接触部にてクラックの発生を極力防止する。
【解決手段】 樹脂を成形してなるケース１０と、ケース１０に設けられた圧力検出用のセンサチップ２０と、ケース１０に設けられセンサチップ２０を被覆して保護する保護材４０とを備える圧力センサにおいて、ケース１０のうち保護材４０と接触する角部１８ａ、１８ｂが丸められた形状となっている。 （もっと読む）

【課題】組み付け作業が簡単でかつ精度に優れ小型軽量なダイヤフラム型圧力検出装置を提供すること。
【解決手段】回路基板２とハウジング３とにより圧力センサ１は挟設され、圧力センサ１の主面はハウジング３に接合、固定されるため、製造が容易で小型軽量となり、好ましくない応力も低減することができる。 （もっと読む）

【課題】締め付けトルクの管理が容易で、広い締め付けトルクの範囲に亘り、燃焼圧の変化を適切に検知できる燃焼圧検知機能付グロープラグを提供する。
【解決手段】燃焼圧検知機能付グロープラグ１０００は、第１圧電素子１４００と第２圧電素子１５００はそれぞれ、ハウジング１２００のハウジング基端部１２０２と中軸１３００とに係合して、軸線方向に圧縮する予荷重がかけられて挟持されている。中軸１３００が基端側に変位したとき、第１圧電素子１４００と第２圧電素子１５００のうちの一方は、軸線方向の予荷重が増加し、他方は軸線方向の予荷重が減少する形態に配置されている。 （もっと読む）

【課題】 外部からの応力による影響を小さくできるマイクロ構造体を提供する。
【解決手段】 半導体層１１に複数のビーム１１１〜１１４を介して重錘体１４を支持してセンサパッケージ１を構成し、センサパッケージ１を枠部材２の底面２２に配置し、底面２２に対面する支持基板層１３の底面を、底面形状の重心位置を中心として４分割した領域に分けて、そのうちの１つの領域でのみ、支持基板層１３の底面と枠部材２の底面２２とをダイボンディングペースト４で接合する。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子に発生する電気信号を取り出すための端子部がセンサの側面に配置されたノッキングセンサにおいて、端子部およびその近傍に発生した不要な振動が圧電素子に伝わることを防止することにより、センサの周波数特性を向上させる。
【解決手段】 非共振型ノッキングセンサ１において、電極部材１７ａ，１９ａは、支持部材１１の本体部１２を挿通するための挿通孔と切欠部１７３，１７４，１９３，１９４とが形成され圧電素子２３の端面の少なくとも一方に積層して配置される環状部１７２，１９２と、環状部１７２，１９２から外側に延出する端子部１７１，１９１と、を備えている。従って、電極部材１７ａ，１９ａに切欠部１７３，１７４，１９３，１９４を形成することにより端子部１７１，１９１およびその近傍で発生した振動が電極部材１７ａ，１９ａを伝わり難くすることができる。 （もっと読む）

【課題】
燃焼圧検知機能付グロープラグにおける燃焼圧の出力信号のＳ／Ｎ比を向上させる。
【解決手段】
燃焼圧検知機能付グロープラグは燃焼室の燃焼圧力の変化に伴ってハウジングに配置された圧電素子４００に対して相対変位を生じる。この相対変位によってハウジングの対向部３２０は圧電素子４００へ荷重変化を与える。圧電素子４００は圧電セラミック部材と電極層とを有してなり、圧電素子４００は対向部３２０の剛性が不均一である場合に、その不均一であることによって増加するノイズを低減するための電極欠落部分を有する。 （もっと読む）