穴の深さの関数として穴の口径を計測するための方法および装置が開示される。一実施例では、この装置は、直径プローブ感知軸に沿って第１の計測された口径データを生成するための直径プローブと、穴に平行な面に直径プローブ感知軸を位置決めするための脚部と、直径プローブに結合され、穴の中における直径プローブ感知軸の深さを示す第１の計測された深さデータを生成するための直線距離プローブと、穴の中への直径プローブの挿入の、直径プローブからの第１の計測された口径データと、直線距離プローブからの第１の計測された深さデータとを記録するためのデータ取得システムとを含む。
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【課題】高精度で被測定物を測定可能な測定装置、表面性状測定方法、及び表面性状測定プログラムを提供する。
【解決手段】演算部２１２が、スケール部１９ｂとスライダ１６先端との間の相対変位特性に基づく補正用フィルタ２１２ａにおいて、スケール部１９ｂで検出されたスライダ１６の変位に補正用フィルタ２１２ａを適用した値を先端球１７ａの変位と加算して測定値を算出する構成とする。このような構成とすることにより、高精度で被測定物を測定可能な測定装置、表面性状測定方法、及び表面性状測定プログラムを提供することが可能となる。 （もっと読む）

本発明は、本質的に同じ長さに整えられた、少なくとも2つの棒形プロファイル材の長さを同時に検査するための測定装置および方法に関するものである。その際、2つの互いに向かい合う測定脚（30、40）の間に、少なくとも2つの部材（20）が長手方向（L）に隣り合い、規定の方法で積み重ねられた束の状態で、保持部（10）の上に位置決めされており、両方の測定脚（30、40）の少なくともひとつに取り付けられている移動装置（90）によって、両方の測定脚間の距離が縮小される。また、両方の測定脚（30、40）の少なくともひとつは、長手方向（L）に取り付けられた、ひとつの測定脚（30、40）に対して可動な、少なくともひとつの測定ピストン（60）を有し、両方の測定脚（30、40）の距離が縮小した後で、ひとつの部材（20）の端部が厳密にひとつの測定ピストン（60）と接触し、もう一方の端部が他方の測定脚（40）と接触することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】一人で且つ正確に作業可能な測距装置であるメジャーテープ取付部材の提供。
【解決手段】メジャーテープ取付部材は、鉛直方向調整部４０には、下垂杆４４を介して中間枠４６が着脱自在に連結され、該中間枠４６の下端には心棒径大部５３の頭部を有する回転心棒５２が懸垂され、該回転心棒５２にはメジャーテープ固定部５０が連結されたメジャーテープ取付部材において、前記メジャーテープ固定部５０が、断面コ字形のメジャーテープ固定枠５１からなり、該コ字形の上部面には締付板５６を有するメジャーテープ締付ねじ５５を１個又は２個有し、該コ字形の下部面には糸位置決凸５８、糸溝５７及び該糸溝５７の後方の背壁には糸孔５４を有し、更に背壁の背面に糸止め５９を有する。 （もっと読む）

高さ測定装置（１）は、垂直に移動可能な測定スライド（４）が、手動でも、クラッチ装置（１５）を介した駆動モータ（１４）を使用しても移動させることができるように取り付けられる測定コラム（３）を有する。測定スライド（４）は、駆動モータ（１４）とクラッチ装置（１５）とによって発生される一定の測定力を加工品の測定点に与える測定ヘッド（８）を有する。測定システム（１９）は、測定ヘッド（８）の高さ座標を記録し、さらなる処理および評価のために、この高さ座標を制御装置（２１）に送信する。制御装置（２１）は、測定順序を自動化するための決定論理（３３）を有する。上記決定論理は、ユーザが手動で行う特定の方向への測定ヘッド（８）の位置決めを自動的に検出し、次に、加工品を走査するために駆動モータ（１４）を適切に駆動し、そして測定システム（１９）からの信号を用いて、それぞれの測定に関連する一つまたは複数の測定値を決定する。オペレータが、所望の測定機能を独立して開始するために面でまたは孔でまたは軸で一方向にまたは逆方向に測定しようとすることを完全に自動的に検出するように、制御装置（２１）を設定し得る。
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【課題】加工品に接触する際にヒステリシス効果を最小限にする代替方法を提供する。
【解決手段】プローブヘッド基部５６と触針２２とを有するプローブヘッド２６が提供され、前記触針２２は、プローブヘッド基部５６に対して移動可能である。触針２２は、プローブヘッド基部５６に対して画定された静止位置を有している。接触のために、触針２２が表面点に画定された接触力で触れるまで、プローブヘッドが加工品に対して移動する。静止位置に対する触針２２のヒステリシス作用を表す補正データ記録７４が提供され、接触力が補正データ記録７４を用いて定められる。 （もっと読む）

【課題】触針を被測定物の表面形状に追従させた高精度の測定を迅速に達成することができる形状測定装置用の検出器を提供すること。
【解決手段】推力ポート２８に制御エアが供給された場合、段差部３９の応力発生面３９ａに対して制御エアが作用する。つまり、推力ポート２８からの制御エアによって、ロッド部材３に対して根元側の＋Ｚ方向に押し出す推力すなわち浮上力が与えられる。この際、ロッド部材３のワークＷに対する押圧力Ｆと、ロッド部材３の質量ｍとをバランスさせているので、ロッド部材３のワークＷ表面に対する追従性が良くなり、高精度で表面形状を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】ステージ真直度誤差の影響を受けることなく、高精度にレンズ等の被測定物の被測定面の頂点検出を行うこと。
【解決手段】プローブ２を走査方向（Ｘ方向）に直交するＺ方向に対して、移動可能に支持する支持部３と、該支持部３と被測定物Ｒとを、走査方向に向けて相対的に移動させると共にＹ方向に向けて、所定量づつ相対的にステップ移動させる駆動手段４と、Ｙ方向にステップ移動させられた各位置でＸ方向に走査を行ったときの、プローブ２のＺ方向の変位量から、被測定物Ｒの表面形状に対応したプローブ２の中心座標の軌跡を測定するステップ測定手段５と、該ステップ測定手段５で測定されたプローブ２の軌跡から、各位置における被測定物Ｒの曲率半径を算出する演算手段６と、該演算手段６で算出された各位置における曲率半径の変動推移から、被測定物Ｒの頂点位置を検出する検出手段７とを備えている形状測定装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】簡易な操作で軸調整行うことができる軸調整用装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の軸調整用装置１は、第１円筒内周面に該第１円筒内周面の円周方向へ移動可能に当接する第１当接部２１及び第２当接部２３ａ、２３ｂと、第１当接部２１及び第２当接部２３ａ、２３ｂを保持すると共に第１当接部２１と第２当接部２３ａ、２３ｂとの距離を調整可能なアジャスタ機構を有するベース部２と、ベース部２に配置される基準部３と、基準部３に一端側が保持されると共に、他端が第２円筒空間に配置される１又は複数の位置決め部４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 測定期間中に得られた可動部の変位量に基づいて検出信号を生成する際の検出精度を向上させた変位検出装置を提供する。特に、ヘッドユニットを退避位置に移動させても可動部が復帰しない不具合が生じた場合に、その不具合を検知することができる変位検出装置を提供する。
【解決手段】 検査対象物に接触させた可動部２１の変位量を測定期間中に測定し、検査対象物が非測定期間中に交換される変位検出装置であって、可動部２１を挿抜可能に保持するホルダー２５と、可動部２１を検査対象物側へ付勢するスプリング２８と、ホルダー２５に対する可動部２１の変位量を検出する変位量算出回路１と、測定期間中に得られた変位量の検出値に基づいて、検出信号を生成する検出信号生成部２と、変位量の検出値を閾値と比較し、非測定期間中に可動部２１の変位量が閾値を越えて変化しなかった場合に、エラー信号を出力させるエラー処理部３により構成される。 （もっと読む）

【課題】 プローブを昇降させるＺ軸駆動部のブレを低減して、表面形状の計測を高精度化することができる形状測定装置を提供すること。
【解決手段】 この形状測定装置では、触針１１，２１の尖端を測定用治具ＨＤに載置した光学素子ＯＥの光学面に沿って２次元的に移動させることができる。つまり、レーザ干渉計８３ｄ，８３ｅを利用して得た載置台８２ａのＸＹ座標と、レーザ干渉計９１ｂを利用して得た触針１１のＺ座標とを、制御装置９９で対応付けつつ必要な演算処理を行うことにより、光学素子ＯＥの光学面の３次元的な表面形状を測定することができる。
この際、上記形状測定装置１００では、昇降機構８６に設けた昇降駆動装置８６ｃがリニアモータを備え、昇降部材８６ｂの推力発生位置ＰＰや重心位置ＧＣを基準軸線ＡＸ１に対して比較的近くに配置するので、プローブ装置１０のＺ軸方向に関する昇降運動が滑らかでヒステリシスのない高精度なものとなる。 （もっと読む）

【課題】投光部を支持する支持部のウエブに対する相対的な位置を確実に検出できる見当検出装置の検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】一対のガイドローラ１５に案内されて走行するウエブＷに対して光を照射するとともに、印刷機に備えられた支持部２１に支持される投光部２３を有する見当検出装置２０の検査を、一対のガイドローラ１５の外周面であって印刷時にウエブＷに当接する領域にそれぞれ接触する一対の接触部、及び、この一対の接触部の間に設けられ接触部に対して実質的な剛体によって接続された測定対象部を有する測定基準部４０と、測定対象部に対向して支持部２１に支持され、測定対象部に対する支持部２１の相対的な位置を検出する位置検出部５０とを備える見当検出装置の検査装置２０によって行う。 （もっと読む）

【課題】 触針を簡易に支持することができ表面形状の計測を高精度化することができる変位量検出器等を提供すること。
【解決手段】 エア供給源Ｐから推力ポート２８を介して圧力作用室２７に供給される制御エアによって、ロッド部材３に対して鉛直方向上方すなわち＋Ｚ方向に任意の浮上力（推力）が付与される。この際、ロッド部材３は、コイルバネ６に吊るされた状態で、その自重を一部相殺する付勢力で持ち上げられる。結果的に、ロッド部材３は、シリンダブロック２内でほとんど浮いた状態で−Ｚ方向にわずかに付勢された状態となる。この状態で、ワークＷの表面にロッド部材３の下端に設けた接触部３５ａを接触させ、プローブ装置１０ＡをワークＷに対してＸＹ面内で相対的に走査させることにより、ロッド部材３は、ワークＷの表面形状に沿って±Ｚ方向に変位する。 （もっと読む）

【課題】相対的に変位可能な一方の部材と他方の部材との間の変形履歴を検出する。
【解決手段】相対的に変位可能な一方の部材２と他方の部材４との間に設けられ、一方の部材２又は前記他方の部材４の一方に追従して変位するとともに、複数の移動体２０〜２２を一列に並べてなる収納部１３〜１５が両部材２、４の変位方向に複数列に設けられ、かつ各収納部１３〜１５からそれぞれ列毎に識別された移動体２０〜２２を一つずつ落とし可能な移動体収納手段１１と、一方の部材２又は他方の部材４の他方に追従して変位するとともに、両部材２、４の相対変位量に応じて、何れかの収納部１３〜１５から落とされる列毎に識別された一つの移動体２０〜２２のみを通過させる第１仕切り板２５と、第１仕切り板２５が列毎に識別された一つの移動体２０〜２２を通過させる際に、列毎に識別された他の移動体２０〜２２が第１仕切り板２５を通過するのを規制する第２仕切り板２７とを有する移動体制御手段２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】接触子の摺動動作による摩耗が抑制された接触式変位計を提供することである。
【解決手段】ヘッドケース１１０の下面部ＣＢの貫通孔１１０ｂから下方に延びるように外筒２２０が取り付けられている。シャフトキャップ３２０の回転止ピン挿入部３２２に挿入された回転止ピン３４０は、背面部ＣＣに上下方向に延びる回転止溝１１１に嵌合されている。外筒２２０内には、シャフト３１０が挿入されている。外筒２２０とシャフト３１０との間には、ボールケージ２３０が配置されている。ボールケージ２３０は、筒状部材に複数のボール２３１が規則的な間隔で設けられたものである。ボール２３１は、外筒２２０の内周面およびシャフト３１０の外周面に当接するとともに、上下方向に回転移動可能である。 （もっと読む）

【課題】使用者が使い易く、安価で小型化された変位計などの検出装置を提供する。
【解決手段】７セグメントＬＥＤ４２は、対象物の測定値等を表示する。バー表示部４３は、測定値が許容範囲のどの位置に入っているかという入り度合いを表示する発光ダイオード（ＬＥＤ）等からなる複数のバー（セグメント）４３ａ、上限値表示部４３ｂ、および下限値表示部４３ｃを含む。使用者により設定された許容範囲の上限値および下限値から、使用者が暗に望むある程度の分解能を予測することができる。そこで、本発明では、各バー４３ａの分解能を、（上限値−下限値）／個数により定義する。なお、上記個数とは、上限値表示部４３ｂと下限値表示部４３ｃとの間にあるバー４３ａの個数を示す。 （もっと読む）

【課題】触針式形状測定装置において、触針と被測定面の接触位置を算出することによって被測定面の形状を高精度に測定する。
【解決手段】最初にクランプ１３で触針１４をアーム１５に固定した状態で被測定面を走査し、走査によって変位検出機構１６で得られたＺ方向の変位データを測定する。次に、触針１４がアーム１５に対してクランプ１３による接続部分を中心にＸＹ平面に可動となるようにクランプ１３を切り替え、触針１４が走査した線上において、先端球１０を被測定面に接触させ、その位置からＺ方向に微小な変位を加えた場合のＸ、Ｙ及びＺ方向の変位を測定し、先端球１０と被測定面との接触位置を測定する。これらＺ方向の変位データ及び先端球１０と被測定面との接触位置データに基づいて走査線上における被測定面の形状を計算する。 （もっと読む）

【課題】測定軸方向に計測精度が一定であり、また、取り付け姿勢に関わらず高精度な計測を実現する変位測定装置用スケールを提供する。
【解決手段】本発明による変位測定装置用スケール１００は、上面に目盛が形成されたスケール板１と、これを囲むコの字型のスケール板ホルダ２と、このスケール板ホルダ２を被測定物４に固定保持する取り付け部材３とを備えて構成される。スケール板１底面の測定軸方向ベッセル点で、スケール板１はスケール板ホルダ２に弾性接着剤５が介して接着されている。スケール板１の両側面の中心部で、スケール板１はスケール板ホルダ２に剛性接着剤６によって固定されている。 （もっと読む）

【課題】プレス機のような測定方向以外に振幅の大きな振動が発生する振動機械の振動による誤計数の発生を防止する。
【解決手段】測定方向以外に振動する振動機械（４０）の変位測定装置において、相対変位部材の一方（４８）に固定されるスケール５０及び直動ガイド（レール５２）と、該直動ガイドのスライダ５４に固定される検出器５６と、前記スライダ５６と相対変位部材の他方（４６）を回動自在に連結するリンク６０を備える。 （もっと読む）

【課題】 更なる軽量化が達成できる構成でありながら、精度の高い変位量検出を行うための変位量検出器を提供すること。
【解決手段】 プローブ装置１０に設けたロッド部材４を構成する軸状部材ＢＤがセラミック材料によって形成されており、可動部の重量を小さくしつつその強度を高めることができ、セラミック材料の選択によって低熱膨張化を図ることができる。さらに、面形状測定装置１００によれば、変位量を検出するためのＺミラー９１ａがロッド部材４の上端に直接成膜されたミラー膜ＭＦであるので、ロッド部材４の軽量化や耐久性をさらに達成することができ、ロッド部材４の製造も簡易となる。結果的に、ロッド部材４の応答精度やプローブ装置１０による変位量検出精度を高めることができるので、ワークＷの表面形状の測定精度をさらに向上させることができる。 （もっと読む）