【課題】
構造が簡単で安価に製造でき、持ち運びが便利であると共に被測定物の任意の位置に接触子を接触させて任意の部分の寸法を容易に測定することができる測定装置を提供する。
【解決手段】
測定装置１は、被測定物Ａの寸法を測定するもので、被測定物Ａを載置する載置面３を備えた基台２と、基台２の載置面３と略平行の面で回動可能となり、且つ長手方向に摺動可能となるようにして基台２に取り付けられたアーム部材３５と、基台２の載置面３と略直角の方向に移動可能となるようにして、アーム部材３５の先部に取り付けられた接触子４５と、アーム部材３５の回動角度Ｐを検出する第１の検出手段２１と、アーム部材３５の長手方向の移動距離Ｎを検出する第２の検出手段３９と、接触子４５の移動距離Ｍを検出する第３の検出手段４９とを有する。 （もっと読む）

【課題】ハイカーブフレーム枠のフレーム形状を正常に測定できるとともに、フレームＰＤも正確に測定することのできる玉型形状測定装置を提供する。
【解決手段】眼鏡のフレーム枠を保持するスライド枠３，３を有する保持手段と、フレーム枠のヤゲン溝に当接させる測定子３７，３８とを備え、スライド枠３，３及び測定子３７，３８を相対的に移動させることによりフレーム枠の形状を測定する玉型形状測定装置であって、測定装置本体１から離れた位置にある仮想軸４０２を中心にして、前記保持手段を矢印Ｄ方向にスイングさせるための保持手段スイング機構を備えた。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で、被測定物の平面度や形状を測定するワイヤ式三次元座標測定機を提供するものである。
【解決手段】スタンド１の上部にリニアスケール４を取付けた水平アーム３を設け、このリニアスケール４上を水平に移動するリードヘッド３０の先端にワイヤ８を接続し、水平アーム３の先端に、リニアスケール４から引出されたワイヤ８が通過する回転ガイド５と、これに回動自在に接続された角度ガイド６とからなるワイヤガイド器７を設け、前記回転ガイド５に角度ガイド６の回転角度を検出する中空エンコーダ３３を設け、回転ガイド５と角度ガイド６とを回動自在に接続する軸３０に、ワイヤ８の曲がり角度を検出するエンコーダ４２を設けると共に、先端子１０の座標を演算する座標演算器を設けて、被測定物１２に接触させた先端子１０の位置座標を演算するようにしたものである。 （もっと読む）

電動の関節式走査ヘッド（１６）における角度測定スケールを、基準加工品（４０；６０；８０）を用いて較正する方法が記載される。この方法は、走査ヘッド（１６）に取り付けられた走査プローブ（２８）などの表面検出デバイスを走査ヘッド（１６）の少なくとも１軸（Ａ１，Ａ２）のまわりに回転させ、基準加工品（４０；６０；８０）に対し異なる複数の角度方向に表面検出デバイスを移動させる工程を含む。次に、その異なる角度方向のそれぞれで、表面検出デバイスにより、基準加工品（４０；６０；８０）の少なくとも１つの特性を測定する工程が実行される。そして、測定された基準加工品（４０；６０；８０）の特性を用い、また付加的に既知または較正済みの基準加工品（４０；６０；８０）の特性を用いて、走査ヘッドの少なくとも１つの測定スケールに対する誤差マップまたは関数を生成する。この方法は、走査ヘッド（１６）を移動させるために、座標測定機械（１４）などの座標位置決め機械の使用を含むことができる。基準加工品（４０；６０；８０）は、単一の特徴部または配列された複数の特徴部（４６；６６）を含むことができる。
（もっと読む）

【課題】 高精度で面形状を測定でき、そのために短時間で加工を終了できる形状測定装置及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】 形状を測定する被測定物の加工面に所定の接触力で接触する接触体と、この接触体を前記加工面に対して進退可能に保持する保持部と、前記被測定物を載置するステージと、予め定められた所定軌跡で相対移動させ、前記被測定物の加工面形状と前記所定軌跡とのズレを、前記接触体の前記保持部に対する所定閾値以上の前記移動量変動の有無によって検出する。 （もっと読む）

【課題】プローブ軸及びプローブ枠の精密加工に要する加工コストを軽減することができること、微小な測定力を精密に調整しつつ、高精度の測定を実現することのできる、接触式形状測定器用プローブヘッドを提供すること。
【解決手段】測定用触針３が取り付けられるプローブ軸１と、このプローブ軸１を進退自在に支持するプローブ枠２とを備えた接触式形状測定器用プローブヘッドにおいて、プローブ枠２には、プローブ軸１をプローブ枠２との間で隙間を設けて支持する支持用空気静圧パッド４ａ、４ｂと、支持用空気静圧パッド４ａ、４ｂ以外にプローブ枠２に設けられ、空気の粘性抵抗により発生する圧力差を利用して、プローブ軸１に測定力を発生させる測定力発生用空気静圧パッド５ａ、５ｂとが設けられている。 （もっと読む）

【課題】プレス機のような測定方向以外に振幅の大きな振動が発生する振動機械の振動による誤計数の発生を防止する。
【解決手段】測定方向以外に振動する振動機械（４０）の変位測定装置において、相対変位部材の一方（４８）に固定されるスケール５０及び直動ガイド（レール５２）と、該直動ガイドのスライダ５４に固定される検出器５６と、前記スライダ５６と相対変位部材の他方（４６）を回動自在に連結するリンク６０を備える。 （もっと読む）

【課題】傾斜を有する被測定物表面を高精度に倣い測定する表面性状測定装置を提供する。
【解決手段】 測定部２１０により被測定物表面を倣い走査する。測定部２１０は、接触部２１２を先端に有するスタイラス２１１と、接触部２１２が被測定物表面に当接した際のスタイラス軸方向の測定力を検出する測定力検出手段を有する。移動機構は、測定力を一定にしながら測定部２１０を被測定物表面に対して相対移動させる。
移動機構は、接触部２１０を回転中心として測定部２１０を回転させてスタイラス２１１を被測定物表面に垂直にする回転機構４００を備える。 （もっと読む）

【課題】プローブの倣い走査による形状測定装置の測定タクトを短縮する。
【解決手段】被測定面１０４を倣い走査するプローブ１０１の走査経路を第１〜第３の測定経路１０５〜１０７に分割する。第１の測定経路１０５による形状測定後に、その測定データと被測定面１０４の設計形状を比較する形状解析を行い、誤差が大きい場合には、第２の測定経路１０６における形状測定を強制終了させる。誤差の原因を検討し、適切な処理を行ったうえで第１の測定経路１０５から形状測定を再開する。すべての測定経路の測定を終了後に形状解析を行って再度測定を行う場合に比べて、トータルの測定タクトを短縮できる。 （もっと読む）

ペンタポッド式運動学を用いて動作し、５つの軸の周りにおいて測定点の先端における絶対位置を決定するための座標測定機である。この機械は、第１の、２つに分岐したリンケージと、第２の、３つに分岐したリンケージと、さらに複数の長細い支柱とを備える。複数の支柱のうち、第１および第２の支柱は、第１のリンケージを共有し、複数の支柱のうち、第３、第４および第５の支柱は、第２のリンケージを共有し、第１および第２のリンケージは、ハンドルによって連結されている。第１および第２の支柱は、第１のリンケージに対して回転可能に係止されていることが好ましく、第３、第４および第５の支柱は、第２のリンケージに対して回転可能に係止されていてもよい。第１から第５のノードを設け、それぞれが第１から第５の支柱のうちの対応する１つに対してスライド可能に係止してもよい。これらのノードは、ノードに対する対応の支柱の変位を測定するための手段を備えてもよい。
（もっと読む）

【課題】被測定物の３次元形状を高精度に測定することが可能となる３次元形状測定装置及び方法の提供。
【解決手段】一対のプローブ２０ａ，２０ｂを、その先端同士が所定の間隔を開けて一直線状に対向するように配置し、被測定物１を、被測定物１の表面側及び裏面側がそれぞれ一対のプローブに対向するように位置させた後に、一対のプローブ２０ａ，２０ｂのお互いの位置関係を変更することなく、該一対のプローブ間における被測定物１の相対的な位置を、プローブ固定部材２０やプローブ２０ａ，２０ｂ等の質量体にかかる重力のＺ軸方向成分を駆動力として、スライド移動させて、一方のプローブにより被測定物１表面の３次元形状を測定し、次いで、他方のプローブにより被測定物１裏面の３次元形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】 測定プローブを傾斜させて支持しながら被測定物の表面形状を高精度に測定できる形状測定器を提供する。
【解決手段】 形状測定器３０により既知形状の被測定物（真球）の形状を測定する（Ｓ１２）。次に、測定プローブの設計傾斜角度の値から±０．５度間を５等分し、それぞれの形状誤差を算出し、誤差が最小となる角度値を決定する（Ｓ１６）。更に同様な計算を繰り返すことで、誤差が最小となる傾斜角度に収束させる（Ｓ１８、Ｓ２０）。被加工部材を測定する際には、測定した形状を傾斜角度による誤差分で補正することで、測定精度を高める。 （もっと読む）

【課題】 接触力を変えながら小さな接触力で被測定物の表面形状を測定できる形状測定器を提供する
【解決手段】 測定プローブ３２を傾斜θを持たせて支持する。測定プローブ３２の後退する力は、傾斜θによって生じているため、自重ｍに比べて遙かに小さいｍｇsigθとなる。一方、エアシリンダ４０で押出力Ｆcで付勢する。このため、ワークＷへの測定プローブ３２の接触力は、測定子自重傾斜成分ｍｇsigθと、エアシリンダ４０の押出力Ｆcとの差分（Ｆ＝Ｆc−ｍｇsigθ）になるので、接触力を非常に小さくすることが可能である。更に、エアシリンダ４０で押出力Ｆcを変えることで、接触力を変えることができる。 （もっと読む）

【課題】接触式変位測長器による被測定物の計測において、正確で再現性のある計測結果を得ること。
【解決手段】第１の直線方向に往復移動が可能な第１の移動体２と、第１の移動体２を駆動する駆動部３と、第１の移動体２の移動に連動して第１の直線方向に平行な第２の直線方向に往復移動が可能な第２の移動体４と、第２の移動体４の先端に交換可能に取り付けられた測定子８と、測定子８が被測定物に当接した状態のときに被測定物に及ぼす測定力を第２の移動体４の後端において検出する測定力検出部９と、第２の移動体４の移動量を測定子８と測定力検出部９の間において検出する位置検出部１０と、測定力検出部９の出力に応じて測定力を一定に保つように第１の移動体２の移動量を制御する制御装置３００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】接触式のプローブの接触荷重の変動を低減し、高速かつ高精度な３次元計測を可能にする。
【解決手段】図示しないワークに接触させるプローブ１は、板バネ２ａ、２ｂを介してステージ７に支持され、リニアモータ（１０、１１）によって上下動する。まず、位置設定器１７の指令値に従ってステージ７を移動させ、プローブ１をワークに接触させた後は、板バネ２ａ、２ｂの変位によってプローブ１の接触荷重を検出する変位センサ５と荷重設定器１８を含むプローブ荷重制御系に切換えて接触荷重を制御しながらプローブ１を走査する。走査開始直後には接触荷重に誤差が発生するため、予め設計値を用いた演算あるいはダミー走査によって求めた荷重補正信号を荷重補正器２２に蓄えておき、必要に応じてプローブ荷重制御系の出力に加える。 （もっと読む）