【課題】
探針の針圧を低くして被測定試料の変形を避け、しかも探針の走査速度を高くしても上記の問題を解決して正確な測定を比較的短い時間で行うことのできる試料の表面形状の測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】
探針を被測定試料の表面に接触させて被測定試料の表面形状を測定する方法において、被測定表面上における探針の垂直方向変位に基いて、探針の速度及び加速度の少なくとも一つをリアルタイムでモニターして、探針のとびを検出し、とびを検出したら探針のとびを抑える力を増して表面形状を測定することから成る。また、試料の表面形状の測定装置は、探針の垂直方向の変位を検出する検出手段の出力信号に基き探針のとびを検出すると共に探針のとびの検出に応じて針圧付加手段を制御して探針の針圧を漸減させる制御手段を有する。 （もっと読む）

【課題】 触針の軌跡が、固定および固定解除の動作の際においてでさえも、完全に制御される測定ヘッドとを提供する。
【解決手段】支持要素（３０）と、該支持要素（３０）に接続され、支持要素（３０）に対して第一軸（Ｂ）を中心に回転可能な第一可動要素（４０）と、固定状態および固定解除状態にするためのアクチュエータとを有し、該アクチュエータが、固定解除状態にあるときに、第一可動要素（４０）を支持要素（３０）から離隔させ、第一軸（Ｂ）を中心に回転可能にするために第一可動要素（４０）に固定解除力をかけるように構成され、固定状態にあるときに、支持要素（３０）に対して第一可動要素（４０）を再び締め付け、第一軸（Ｂ）の周囲の回転を防止するように第一可動要素（４０）に固定力をかけるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 等速ジョイントの外輪のマウス部内面に形成された研削加工で形成されるトラック溝の形状を確認するのに、相対向するトラック溝へ測定子を当接させて、そのときの測定子間の距離を測ったり、全トラック溝に対向した基準ボールを案内面でトラック溝側へ移動させ、この時の案内面の位置からトラック溝の径を計算して研削の状況を確認していた。しかし、直接トラック溝の径を測定していないのでトルク伝達ボールの挙動を把握できなかった。
【解決手段】 基準ボールの中心からトラック溝４の谷４ｃへ摺動移動できる測定杆９と、この測定杆９の移動を平行に測定してトラック軸４の谷４ｃと基準ボール２４との距離を計測する計測器１０とを設けて、この測定杆９と計測器１０を相対的に移動可能にしたものである。 （もっと読む）

【課題】 外輪１が変形しない様に、３個の玉７ａ、７ｂを外輪軌道２に軽く当接させた状態で、これら各玉７ａ、７ｂを外輪軌道２の最深部に移動させる事により、この外輪軌道２の最深部の内径を正確に測定可能とする。
【解決手段】 上記各玉７ａ、７ｂを上記外輪軌道２に押し付けた状態で、ピエゾ素子１２により振動を加える。この結果上記各玉７ａ、７ｂが、力学的に安定した、上記外輪軌道２の最深部に移動する。この状態で、測定器６ａの測定値に基づいて、上記各玉７ａ、７ｂの中心を結ぶ三角形の外接円の直径を求める。そして、この直径と、これら各玉７ａ、７ｂの外径とから、上記外輪軌道２の最深部の内径を求める。 （もっと読む）

【課題】等速ジョイントを構成するインナ部材のオフセット量を簡便な操作で測定する。
【解決手段】オフセット量が所定の値であるインナ部材１４を、寸法測定装置３０の収容部３６に収容する。この際、収容部３６の内部に位置決め固定されたボール４４ａ〜４４ｃが、インナ側ボール溝２６ａ、２６ｃ、２６ｅに挿入される。この状態で、回動部材６０を回動させて、測定子４６をインナ部材１４の外周面に当接させる。この測定子４６の変位に追従してマイクロゲージ５０の測定芯９８が変位し、その変位量は、マイクロゲージ５０の指針の変化量として表示される。この際に指針が示す目盛を原点とし、次のインナ部材に対して同様の操作を行ったとき、指針の原点からのずれがオフセット量の公差範囲内に対応する許容範囲内であれば、寸法精度を満足するものと判別する。 （もっと読む）