【課題】本発明の目的は、スタイラスで測定されたデータを、より高精度に補正することのできる測定装置を提供することにある。
【解決手段】スタイラス１２の測定子２５でワーク２６（３６）上を測定軸方向にトレースして得られたデータの測定誤差を補正する補正機構１８を備え、該補正機構１８は、補正対象面内で該スタイラス１２を運動させ、該スタイラス１２の高さ方向位置に応じた測定子２５位置のずれ情報を含む校正測定データを得る校正測定手段１４と、該記測定子位置のずれ情報を補正するのに最適な予め所定数に分割された高さ方向測定範囲の各領域毎の補正パラメータの値を同時に求める補正パラメータ設定手段３２と、測定データの高さ方向値に基づき特定された該測定データの属する領域において最適な補正パラメータの値で該測定データを補正するデータ補正手段３４と、備えたことを特徴とする測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】ターボ機械に属する中空軸（１）内の、円筒状空洞の半径などの内部寸法を、規定の長さにわたって測定するシステムに関する。
【解決手段】空洞の内部に軸線に沿った並進可動性を有する支持体に、取り外し可能に取り付けられている測定モジュール（４０）を備え、測定モジュール（４０）は、寸法を測定し測定値に対応する信号を配送する測定要素を（４３）を備え、上記測定値を記録し記憶する記録記憶手段（４６１）を組み込む。より詳しくは、測定モジュール（４０）は、空洞の内部表面を感知するように収縮位置と伸張位置の間を移動することが可能な機械的感知要素（４３）を備える。このシステムは、特にターボ機械の回転軸の内部空洞の穴あけに対する点検に適用される。 （もっと読む）

【課題】 プローブを昇降させるＺ軸駆動部のブレを低減して、表面形状の計測を高精度化することができる形状測定装置を提供すること。
【解決手段】 この形状測定装置では、触針１１，２１の尖端を測定用治具ＨＤに載置した光学素子ＯＥの光学面に沿って２次元的に移動させることができる。つまり、レーザ干渉計８３ｄ，８３ｅを利用して得た載置台８２ａのＸＹ座標と、レーザ干渉計９１ｂを利用して得た触針１１のＺ座標とを、制御装置９９で対応付けつつ必要な演算処理を行うことにより、光学素子ＯＥの光学面の３次元的な表面形状を測定することができる。
この際、上記形状測定装置１００では、昇降機構８６に設けた昇降駆動装置８６ｃがリニアモータを備え、昇降部材８６ｂの推力発生位置ＰＰや重心位置ＧＣを基準軸線ＡＸ１に対して比較的近くに配置するので、プローブ装置１０のＺ軸方向に関する昇降運動が滑らかでヒステリシスのない高精度なものとなる。 （もっと読む）

【課題】試料表面の凹凸形状を検出する検出手段の光学的な位置合わせを簡便に行うこと。
【解決手段】触針式プローブ１０は、Ｘ方向に延在する厚さが薄いレバー１１と、レバー１１の先端付近に設けられる−Ｚ方向に先鋭化された探針１２とを有し、レバー１１の基部に設けられるスペーサー１３を介してガラス基板２０に固定され、レバー１１とガラス基板２０の間に、スペーサー１３の厚さに相当するギャップＧが形成されている。探針１２を試料Ｓに接触させると、試料表面の凹凸形状に応じてレバー１１が撓み、撓んだ部分のギャップＧの間隔が変化する。レーザー光源４からの照明光をガラス基板２０を通して触針式プローブ１０へ照射すると、ギャップＧに起因して干渉縞が現れ、その干渉縞のＸ方向の位置を顕微鏡２とＣＣＤカメラ３で検出することにより、試料Ｓの表面の凹凸量を測定する。 （もっと読む）

【課題】 走査型プローブ顕微鏡において、カンチレバーを高速に移動させてもずれることがないようにカンチレバーを固定でき、かつカンチレバーをカンチレバー保持台に簡単に固定または外すことができるようにすること。
【解決手段】 先端に探針８を有するカンチレバー４を固定するカンチレバー保持台１と、カンチレバー保持台１にカンチレバー４の片面を密着させ、カンチレバー４の逆面と押え板２とを低融点金属３を用いてカンチレバー４を固定するようにした。 （もっと読む）

【課題】プローブと被測定物との接触圧を従来よりもさらに微小に調整できる微小表面形状測定プローブを提供する。
【解決手段】被測定物１と接触する接触子１を先端に有するプローブシャフト４と、プローブシャフト４を移動可能に非接触で支持する支持手段が設けられたプローブ本体２１と、前記プローブシャフト４を被測定物１に向けて付勢移動させる付勢装置と、該付勢装置がプローブシャフトに与える付勢力に対する反力が作用するように前記プローブ本体２１に組み込まれた圧電センサ８ａと、該圧電センサに作用する荷重を測定する荷重検出部８ｂと、該荷重検出部により検出された荷重に基づいて、付勢装置による付勢力を調整する制御部９と、該制御部９により調整された付勢力で被測定物１に接触している接触子２の位置を測定する変位量計測装置と備える。 （もっと読む）

【課題】自動化により手動圧着工具の検査を可能とする。
【解決手段】一対のハンドルに与える握力により，テコを介してダイス部を閉じて圧着端子と電気配線材とを圧着接続する手動圧着工具の検査装置。ハンドルの一方側に周辺が対応づけられる偏心カムと，ロードセンサーと，偏心カムの回転に伴って，手動圧着工具のダイス部に形成される間隙に挿入する方向に所定のピンゲージを移動する手段と，ダイス部に形成される間隙に前記所定のピンゲージが挿入通過するか否かを判定する判定手段を有する。ピンゲージは，二段の異なる径を有する軸により形成され，ピンゲージの一段目の径の軸のみがダイス部に形成される間隙を通過した時，良と判定し，一段目の軸の径より大きい径の二段目の軸も通過する時あるいは，一段目の径の軸も通過できないときは，不良と判定する。 （もっと読む）

【課題】車高を検出するためのアームなどに検出対象である回転方向以外の変位がある場合においても、検出精度の低下を抑制する車高センサを提供する。
【解決手段】車高センサ２０において、支持軸３８は、ロアアームが揺動する中心軸と同軸に車体本体１０に取り付けられる。ブッシュ内筒３２は、円筒状に形成され、支持軸３８に挿着することにより支持軸３８に回転可能に支持される。揺動アーム２４は、ブッシュ３０を介してブッシュ内筒３２と一体的に連結され、ロアアームと共に揺動すうように設けられる。回転センサ２６は、ブッシュ内筒３２の回転を検出することにより、ブッシュ３０を介して揺動アーム２４の回転を検出する。 （もっと読む）

【課題】簡便なメカニックで薄肉厚のワークの厚みの変動を正確に検査でき検査装置を提
供する。
【解決手段】ワーク支持面Ｆに対する接触圧を可及的に零になるようにすると共に、ワー
クＷの幅方向に所定の長さを有する回転ローラ５がこの支持面Ｆに対峙して設けられ、こ
の回転ローラ５とこの回転ローラ５から一体的に延設されたバー６がこの回転ローラ５の
回転軸芯から離れた部位に設けた支軸９を中心にしてワーク支持面Ｆから遠ざかる方向へ
変移自在に配置されていて、ワークＷの厚みの変動がある時、前記回転ローラ５がワーク
支持面Ｆから遠ざかる方向へ変移する動きに合わせてバー６が前記支軸９を中心にしてワ
ーク搬送経路Ｌから遠ざかる方向へ変移し、このバー６の変移を検知する検知素子７がバ
ー６に連携されて設けられている。 （もっと読む）

【課題】 リミットスイッチを確実に作動させる炉内搬送物位置検出装置を提供する。
【解決手段】 加熱炉２にてコンベア１０によって搬送されるコンテナ（搬送物）４の位置を検出する炉内搬送物位置検出装置２０において、加熱炉２のケーシング３を貫通し回転可能に支持されるシャフト２１と、加熱炉２内を通過するコンテナ４のドグ１９に係合してこのシャフト２１を回転駆動する回転フォロワ２２と、加熱炉２の外側でシャフト２１の回転をリミットスイッチ４３の作動に変換するシャフト回転位置検出機構４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ノズル耐火物の減厚量を熱間でしかも短時間に測定することができるノズル状耐火物の減厚量測定装置を提供する。
【解決手段】 取鍋やタンディッシュ等の受鋼容器に装着されるノズル状耐火物の減厚量を測定するノズル減厚量測定装置であって、受鋼容器に形成されている外装穴２ａの周縁部と係合し得る係合部１１ｄを有しその外装穴に被装される本体部１１ａ，１１ｂと、本体部に揺動支点Ｂを持ち、その揺動支点より前側はノズル耐火物５内に延設され揺動支点よりも後側は受鋼容器外に延設されている揺動アーム１２と、揺動アームの先端に設けられノズル状耐火物の内壁５ａと当接する接触部１２ｂと、揺動アームを測定基準位置Ｍにセットするための位置決め部と、接触部１２ｂがノズル状耐火物の内壁に当接する際の揺動支点よりも後側の揺動アーム振れ量を検出するダイヤルゲージ１３とを備えてなることを特徴とする。 （もっと読む）

測定プローブ（８）を、支持体が支持している対象物の表面に沿って測定経路を横断させるために、第１の方向（Ｘ）に支持体（４）と測定プローブ（８）のキャリッジ（７）との間で相対移動を行うドライバ（３３）を有する計量装置。測定プローブ（８）は、表面特性を追従する場合に第１の方向を横切る第２の方向（Ｚ）に移動する。第１および第２の位置トランスジューサ（３５，３２）は、それぞれ第１および第２の方向の測定プローブの位置を表す第１および第２の位置データを提供する。較正装置（３００）は、既知の形状の表面上で入手した測定データを使用して較正手順を実行する。較正装置は、基準面の既知の形状を補正後の測定データとして使用することにより、補正後の測定データおよび実際の測定データに関する式の較正係数を決定する。較正装置は、少なくとも１つの式がデータに適合するまで、チェビシェフ点に対する較正係数を変化させる。 （もっと読む）

ペンタポッド式運動学を用いて動作し、５つの軸の周りにおいて測定点の先端における絶対位置を決定するための座標測定機である。この機械は、第１の、２つに分岐したリンケージと、第２の、３つに分岐したリンケージと、さらに複数の長細い支柱とを備える。複数の支柱のうち、第１および第２の支柱は、第１のリンケージを共有し、複数の支柱のうち、第３、第４および第５の支柱は、第２のリンケージを共有し、第１および第２のリンケージは、ハンドルによって連結されている。第１および第２の支柱は、第１のリンケージに対して回転可能に係止されていることが好ましく、第３、第４および第５の支柱は、第２のリンケージに対して回転可能に係止されていてもよい。第１から第５のノードを設け、それぞれが第１から第５の支柱のうちの対応する１つに対してスライド可能に係止してもよい。これらのノードは、ノードに対する対応の支柱の変位を測定するための手段を備えてもよい。
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【課題】 ベース面に対して傾いているか否かの許容範囲を明確化し、判断を容易なものとすることで、精度の高い状態で測定値を導き出すことができる間隔測定装置を提供する。
【解決手段】 盤面１２に設けられた釘１１，１１の間隔を測定する間隔測定装置は、盤面１２に宛がわれる当て部４ｂを有する基準アーム４と、釘１１，１１の間隔を測定する一対の測定子５，６と、盤面１２側に突出すると共に当て部４ｂの長手方向に対して交差する上下方向に亙って２つ設けられた突起部７とを有する。釘１１，１１間の測定時において、当て部４ｂの長手方向の両端が盤面１２から離間し、２つの突起部７のみが盤面１２に当接することにより、長手方向には不安定な状態となり、この状態が盤面１２に対して傾いているか否かを判定する許容範囲として設定されている。 （もっと読む）

【課題】探針の取付けや交換を他の構成要素を損傷させることなく容易に実施でき、装置の搬送時に支点やその部品の損傷を防ぐことができ、しかも探針の取付けや交換を容易に実施できる触針式表面形状測定器及びその探針取付け方法を提供する。
【解決手段】本発明の触針式表面形状測定器は、支持体が、変位センサの測定子と針圧発生装置の磁性体コアとを一端及び他端に支持する第１の支持部材と探針を一端に支持する第２の支持部材とで構成され、第１の支持部材の支点の近くにおいてその下側に、磁石を埋め込んだホルダーが取付けられ、第２の支持部材の他端が高透磁率部材で形成され、第２の支持部材の他端における高透磁率部材が、第１の支持部材の支点の近くにおいてその下側に取付けたホルダーにおける磁石による吸着力でホルダーに当接させて第１の支持部材に同一軸線に沿って固定される。 （もっと読む）

【課題】チェーンＣの伸びδを目視可能に指示する。
【解決手段】基材１１の両端部に設ける楔形の固定突部１２、揺動突部１３と、揺動突部１３と一体の指示部１４とを設け、伸びδによる揺動突部１３の揺動角度を指示部１４により拡大して指示させる。 （もっと読む）

【課題】 カンチレバーに支持された触針を、ワークの測定面に接触させたまま移動させて触針に生じる変位量を検出することにより、測定面の表面形状を測定する表面粗さ／輪郭形状測定装置において、土手部と底部とを有する段差のあるワークの底部の表面粗さや輪郭形状を容易に測定することを可能とする。
【解決手段】 表面粗さ／輪郭形状測定装置１を、触針９の長手方向（Ｚ）とカンチレバー７の長手方向（Ｙ）の両方に直交する方向（Ｘ）に、ワークと触針９とを相対移動させる移動手段８を備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】 単一形態のレバー部材を用いて高精度に用紙の通過を検出可能であるとともに、用紙が紙送り方向とは逆の方向から挿入された場合でもレバー部材を破損させることのない用紙検出装置を得る。
【解決手段】 紙検出器１７は、用紙搬送路に設けられるとともに、用紙搬送路を遮るように配置されて搬送される記録用紙と接触し、または、接触が解除されることによりその回動軸を中心に回動変位するレバー１５と、レバー１５の回動変位を検出する検出部１６とを備えて構成されている。レバー１５は、回動軸１５ａを中心に、用紙搬送路の上流側方向及び下流側方向の双方向に回動可能に設けられているとともに、搬送される記録用紙との接触が解除された状態における当該レバー１５の姿勢を保持する姿勢保持手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】円筒状被検査物、特に、感光体ドラム両端部の検査時に、位置決め時のセッティング誤差や回転振れにより円筒状被検物の姿勢が傾いた場合においても、円筒状被検物上の凸欠陥を確実に検出することができる装置を提供する。
【解決手段】円筒状被検査物の外周面に所定の圧力で接触し従動回転する接触ローラと、接触ローラをその回転軸が傾動可能に前記支持基部に支持する弾性体または傾動機構と、接触ローラの位置を測定する距離測定手段とを備える。 （もっと読む）

【目的】 ボーリング孔へ挿入されるケースの内蔵用として好適な変位伝達装置を提案する。
【構成】 ケースの軸方向に配置された変位伝達用の第１の軸と、該第１の軸に取り付けられて該第１の軸とともに回転する第１の入力部であって、該第１の入力部の第１の入力作用点にケースの半径方向の変位が入力され、第１の軸の回転中心と第１の入力作用点との距離をＬ１とする第１の入力部と、第１の軸に取り付けられて該第１の軸とともに回転する第１の出力部であって、該第１の出力部の第１の出力作用点の変位が直接的に又は間接的に前記変位センサにより検出され、第１の軸の回転中心と第１の出力作用点との距離をＬ２とする第１の出力部と、を備え、第１の軸の回転中心と第１の入力作用点との距離Ｌ１より第１の軸の回転中心と第１の出力作用点との距離Ｌ２が長くする。 （もっと読む）