【課題】触針が測定点の直上に位置している状態において測定対象物の表面の測定点を実質的に真上から検知することを可能とする観察手段を備えた触針式測定装置を提供する。
【解決手段】触針式測定装置１００において、長手軸線方向に延在する細長い触針１１０であって、測定対象物１０の表面１２の所定の測定点１４に運ばれて同測定点１４に接触するようにされる尖端部１１２を有する触針１１０と、該触針１１０の周囲の少なくとも一部に配置され、表面１２の測定点１４及び該測定点１４の周囲からの光を受光する受光部１３０と、を備え、受光部１３０で受光した光に基づき、測定点１４に対する尖端部１１２の位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】スタイラスの変位を正確に測定すること。
【解決手段】位置測定装置に用いる表面検出装置は、測定すべきワークピースの表面を走査するためのチップ８２をもつ長いスタイラス７４を有する。スタイラスチップの横変位は、光源６６から逆反射体（ｒetroreflector）７８にスタイラスに沿って通過するライトビームによって測定される。これは、ビームを反射して、ブームスプリッタ７０を介して位置高感度検出器７６に戻す。スタイラスは、キャリッジ７２に縦変位のために設置される。その縦変位は、ビームスプリッタ７０によって、第２の位置高感度検出器８４に投光される他のライトビームによって測定される。 （もっと読む）

【課題】高速走査を精度と共に達成するため、測定システムの運動質量、動的誤差を最小にする関節式プローブヘッドを提供する。
【解決手段】ＣＭＭは、その直線駆動に関する回転誤差（例えばピッチ，ロールおよびヨー）のための誤差マップが作成される。走査ヘッドもまた、回転誤差のための誤差マップが作成される。測定データは、ＣＭＭおよび走査ヘッドの組み合わされた回転誤差に関して実時間に同期して誤差補正される。この同期補正ためＣＭＭおよび走査ヘッドの誤差マッピングデータを使用する。 （もっと読む）

【課題】 プローブの伸び、及び周辺空気の温度、湿度の影響を抑えた高精度な形状測定を行うことのできる形状測定用の接触式プローブおよび形状測定装置を提供する。
【解決手段】 プローブシャフト２と先端球１６を備えた接触式プローブ１において、
前記プローブシャフト２内の測長光路の少なくとも一部に透明体を設けることにより、少なくともこの部分だけ空気に暴露された光路を減らすことができる。その結果、外気の屈折率変化による測定誤差を抑え、精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】自動車等の車両には、運転者が快適且つ安全に運転を行うための車内設備が備えられているが、これらの車内設備は運転者の身長又は体型によって最適な設定が異なるため、運転中の運転者が最適な設定を得るために車内設備を操作すると安全運転の妨げになるといった問題が生じる。
【解決手段】車両内に備えられた複数の点のうち、基準点を移動させて前記複数の点を重ね合わせることで運転者の頭部の位置を検出する頭部位置検出方法において、前記頭部位置検出方法はナビゲーション又はエアコン、オーディオ、車両状態等の少なくとも１つの情報の表示を行うディスプレイを有した表示装置を用いて行われ、前記表示装置によって検出された前記運転者の頭部の位置に基づいて車内設備の設定変更を行う。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成でスタイラスの姿勢を容易、かつ適切に調整することができるスタイラス観察装置の提供。
【解決手段】スタイラス観察装置２は、スタイラス１１の軸に直交する平面内で光軸を互いに直交させるように配設され、スタイラス１１からの光を反射させる２つのミラー２１，２２と、各ミラー２１，２２にて反射される光を合成するハーフミラー２３と、ハーフミラー２３にて合成される光を撮像する撮像手段２５とを備える。スタイラス１１からの光は、２つのミラー２１，２２にて反射され、ハーフミラー２３にて合成される。そして、ハーフミラー２３にて合成される光は、撮像手段２５にて撮像されるので、スタイラス１１を互いに直交する２つの方向から同時に撮像することができる。 （もっと読む）

【課題】任意形状の被測定面を、被測定物を回転させることなく高精度で測定可能な、形状測定装置用プローブ及び形状測定装置を提供する
【解決手段】プローブ１は、揺動部材３、取付部材４、及び連結機構５を備える。揺動部材３は、測定物２の被測定面２ａに接触するスタイラス８と、形状測定装置６が備える同一の集光レンズ２３を通って集光されるレーザ光２２ａ〜２２ｃが照射されるミラー２１ａ〜２１ｃとを備える。揺動部材３は取付部材４によって形状測定装置６に取り付けられる。連結機構５は取付部材４に固定された載置台１１と、揺動部材３又は載置台１１に固定された支点部材１２とを備える。揺動部材３は支点部材１２の先端１２ｂを支点として揺動可能である。 （もっと読む）

【課題】側面形状測定において形状測定プローブの先端の移動量をレーザ光と４分割フォトダイオードを用いて高精度に測定する。
【解決手段】Ｚ軸に沿って移動可能な形状測定プローブと、該形状測定プローブ内に一点で支持され先端がＸＹ方向の力により傾斜可能でかつレーザ光を反射するミラーを有するスタイラスがあり、反射するレーザ光を４分割フォトダイオードに集光して得られる電気信号出力から該スタイラスの傾斜を検知して該スタイラス先端のＸＹ方向移動量を得る３次元形状測定方法において、実測定に先んじて該電気信号出力から得られるＸＹ方向移動量（ＴＸｍ，ＴＹｍ）の生データと真のＸＹ方向移動量（ＴＸ、ＴＹ）の関係を求める参照テーブル測定工程によって参照テーブルを作成し該参照テーブルを用いて実測定した生データから補正した真のデータを得る。 （もっと読む）

【課題】接触式プローブ方式と非接触式プローブ方式の両方に対応し、被測定物によって簡単に切り替えることの可能な三次元形状測定装置を実現する。
【解決手段】接触式プローブ方式では、プローブ先端球１０９を被測定物１１０に接触させてＺ軸アーム１０３によって倣い走査させ、第１、第２の基準ミラー１０２、１１１とプローブ軸ターゲットミラー１１４を用いて被測定物１１０の表面形状のデータを得る。非接触式プローブ方式においては、プローブ軸１０６及びプローブ軸ターゲットミラー１１４をＺ軸アーム１０３から取り外して、第１、第２の基準ミラー１０２、１１１を用いた同じレーザ測長器によって被測定物１１０の表面形状のデータを得る。 （もっと読む）

【課題】光学系を簡単にした上で、熱膨張、振動、機構の運動の変動等の外乱を除去し、信頼性の高い高精度な微細形状の測定を実現する。
【解決手段】単色光６を、測定面１３方向に進行する測定光８と、該測定光に直交する方向に進行する参照光９とに分割する分割手段７と、該参照光を測定光と平行な方向に反射する反射手段１７と、前記測定面に反射された後、前記分割手段７により前記参照光９とは反対の方向へ反射された測定光１５と、前記測定面で反射された測定光１４と平行な方向に戻ってきた前記参照光１９とを合成する合成手段１６とを備えたマイケルソン干渉計を基本とした微細形状測定装置であって、前記測定面１３を直角三面鏡のコーナポイントＯに対応させ、前記反射手段１７により反射された参照光１８の光路に、該直角三面鏡に対応する各鏡面部Ｍ_１、Ｍ_２、Ｍ_３を配置した。 （もっと読む）

【課題】磁気浮上式プローブでは、空気軸受けで保持されたスタイラス部が、完全非接触で、保持されているため、スタイラスが非測定物と接触していないときに、振動しやすく、スタイラス部の上下位置を検出するレーザ計測が出来なくなる場合があるので、低振動で安定して測定できる三次元測定プローブを提供する。
【解決手段】三次元測定プローブの磁気発生手段を、透明板で密閉構造とするとともに、その一部に小径穴を設け、空気流れのダンパ効果により、振動低減を行なう。 （もっと読む）

【課題】スタイラス軸方向のフォーカス変位と傾斜角度を精度良く、スタイラス質量をほとんど増やさず、信頼性良く検知できる三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】互いに直交する方向に偏向した太い光束径のフォーカス検出光２１３と細い光束径の傾き測定光２２１を偏光プリズム３７で合成し、スタイラスに貼られたミラー１２３にレンズ１４で集光し、反射光を偏光プリズム３７で異なる光路に分離し、フォーカス検出光の反射光からスタイラス軸方向変位を光検出器３４で検出し、傾き測定光の反射光からスタイラス軸方向傾斜角度を傾斜角度検出部２２２で測定する。 （もっと読む）

【課題】非球面レンズなどの測定物の形状等をより高精度に測定でき、壊れにくく長寿命、低コストの三次元測定プローブを実現する。
【解決手段】小エアー軸受け部７Ａに取り付けられた磁石２９とヨーク８と小摺動軸部６に取り付けられた磁性体ピン２０とが磁気回路を形成することにより、小摺動軸部６の回転と軸方向の変位を妨げる磁力を発生させる。非接触の磁力なので下からでも横からでも測定できる三次元測定プローブとなる。 （もっと読む）

【課題】無端ベルトの蛇行を検知して色ずれを防止できる画像形成装置を提供する。
【解決手段】複数の感光ドラム５１に形成されたトナー画像を周回する無端ベルトから成る中間転写体６１上に重ね合わせて順に転写する画像形成装置１において、中間転写体６１の蛇行を検知する蛇行検知装置８０を備え、蛇行検知装置８０は、支持部８２により支持されるとともに中間転写体６１の側面６１ａに接触する開放端８１ａがこれに追随して傾斜角度を変える接触子８１と、接触子８１に一体に設けられて光を反射する反射部８３と、反射部８３に向けて光を出射する出射部８５と、出射部８５の両側方に配されるとともに反射部８３で反射した光を受光して受光量に応じた信号を出力する第１、第２受光部８６ａ、８６ｂとを有して第１、第２受光部８６ａ、８６ｂの受光量の違いに基づいて中間転写体６１の蛇行を検知する。 （もっと読む）

【課題】表裏を同時に共通の座標系で超高精度に測定し、非球面レンズの表裏面の傾きと偏心を超高精度に算出する。
【解決手段】ＸＹＺ座標を形成するＸＹＺ参照ミラー２、３、４と、Ｚエアスライドガイド部１１を上下で共通とすることにより、上下の測定座標系を完全に同一とした。さらに、スタイラス５の変位検出ユニットを回折格子を使って薄くし、プローブの支持を滑車と定荷重バネを使うことによりさらに薄くし、構造が単純、小型化、製作容易にした。 （もっと読む）

【課題】測定の不確かさを軽減し、測定対象物の姿勢及び変位量についての測定精度を向上させ、かつ、高速応答が可能な三次元センサを提供する。
【解決手段】光源２からの光を２分割し一方を参照光ｃ１として参照ミラー１０に照射し、他方を測定光ｃ２として測定対象物９に照射する第１のＰＢＳ３と、参照ミラー１０で反射した参照光ｃ１と測定対象物９で反射した測定光ｃ２とを２分割してそれぞれ干渉させる第２のＰＢＳ４と、一方の干渉光ｃ５を所定の測定直線１４上に導く第１の光学系５と、他方の干渉光ｃ６を光軸を法線とする平面にて９０度回転させて前記測定直線１４上に導く第２の光学系６と、測定直線１４上にて干渉光ｃ５，ｃ６を受光するラインイメージセンサ８とを備えた。 （もっと読む）

位置測定装置に用いる表面検出装置は、測定すべきワークピースの表面を走査するためのチップ（８２）をもつ長いスタイラス（７４）を有する。スタイラスチップの横変位は、光源（６６）から逆反射体（retroreflector）７８にスタイラスに沿って通過するライトビームによって測定される。これは、ビームを反射して、ブームスプリッタ（７０）を介して位置高感度検出器（７６）に戻す。スタイラスは、キャリッジ（７２）に縦変位のために設置される。その縦変位は、ビームスプリッタ（７０）によって、第２の位置高感度検出器（８４）に投光される他のライトビームによって測定される。
（もっと読む）

【課題】 押し込みすぎのない位置制御を実現し、しかも制御回路の制御パラメータを追従性のよい条件に設定でき、高精度測定可能な形状測定用プローブを提供する。
【解決手段】 出力ホールド回路（４９）と加算器（４５）を備え、フォーカスをかける時に、フォーカス制御回路（３９）の出力にＺ位置制御回路（３８）の出力をローパスフィルタ（４８）を通して出力ホールド回路（４９）でホールドしたものを加算したものを電流指令としてＺ駆動回路（３５）出力する。 （もっと読む）

【課題】 空気軸受から流れ出る空気による影響を少なくして、安定した測定のできる測定用プローブを提供する。
【解決手段】 空気軸受３１の中央部に軸に吹き付けた空気の溜り部４７と、この空気の溜り部から空気を排出する排出口４８と、この空気の溜り部の両側に軸への空気の吹出口４５および吹出口４６を形成しているので、可動部材１１と空気軸受の隙間から被測定物２やレーザ光Ｆｚを反射する反射面１３のある空間に流れ出る空気の量が少なくなり、計測に与える影響を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】レンズ、特に小径レンズの偏心を迅速、かつ高精度に測定できるレンズ偏心測定装置等を提供すること。
【解決手段】接触子の変位量を検出するレーザ変位計１１２からの出力信号を電気信号に変換するＤ／Ａコンバータ２０５と、Ｄ／Ａコンバータ２０５からの出力信号Ｓ１の周波数成分を電圧に変換するＦ／Ｖコンバータ２０６と、Ｆ／Ｖコンバータ２０６からの出力信号Ｓ２と第１の閾値Ｓ３とを比較する第１比較器２０７と、出力信号Ｓ１の直流成分を抽出する直流成分抽出回路２１６と、出力信号Ｓ１と出力信号Ｓ５との差分を算出する減算器２１３と、減算器２１３からの出力信号Ｓ６と第２の閾値Ｓ７とを比較する第２比較器２１５と、第１比較器２０７の出力信号Ｓ４と第２比較器２１５の出力信号Ｓ８とに基づいて、接触子１１１の移動量を制御する制御部２０２とを有する。 （もっと読む）