【課題】十分な設計自由度を得ることができ、かつ可動板の変位角度を正確に検出できる偏向器を提供すること。
【解決手段】ミラー１０１と、ベースフレーム１０７と、ベースフレーム１０７に対してミラー１０１を揺動可能に支持する一対のトーションバー１０５ａ、１０５ｂと、ミラー１０１に設けられた駆動コイル１０２と、駆動コイル１０２に作用する磁束を生成する永久磁石１０８ａ、１０８ｂと、ミラー１０１の揺動角を電気特性の変化として出力する静電容量センサ２３０ａ、２３０ｂと、駆動コイル１０２の二端のうち第一端と静電容量センサ２３０ａ、２３０ｂの電気端子の一端とをミラー１０１上で電気的に接続する接続部２２０と、接続部２２０からトーションバー１０５ａ、１０５ｂを通してベースフレーム１０７へ至る第一の配線１１１とを有する。 （もっと読む）

【課題】 エアロゾルデポジション法を用いて成膜を行う過程において、精密に膜厚を測定すると共に、膜質の良否を確認することができる成膜装置を提供する。
【解決手段】 この成膜装置は、原料の粉体を配置するエアロゾル生成部３と、該エアロゾル生成部において、該原料の粉体をガスによって噴き上げることにより、エアロゾルを生成するガスボンベ１及び圧力調整部１ａと、構造物が形成される基板を保持する基板ホルダ６と、エアロゾル生成部において生成されたエアロゾルを基板に向けて噴射するノズル５と、基板上の成膜面における電位を測定する測定部８とを含む。 （もっと読む）

【課題】装置コストを低減し、かつ加熱の問題もなくトレッド面からベルトまでのゴム厚さを容易に測定することが可能なタイヤ表面ゴム厚さ測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】タイヤＴのトレッド部２に埋設されるスチールコードを配列したベルト３に対面してトレッド面４側に磁石５を配置し、その磁石５とベルト３との間に作用する磁力により磁石５がベルト３に吸引される引力を引力測定手段６により測定し、その測定した引力に基づいてトレッド面４からベルト３までのゴム厚さｓを演算処理手段８により算出する。 （もっと読む）

【課題】容器や流通配管の内面に薄く層状に残留付している汚れの有無を精度良く検出することができ、信頼性が高く且つ小型の静電容量型検出装置を提供する。
【解決手段】 非導電性の隔壁２７に汚れとして付着した誘電体層２８に対して当該隔壁２８を隔てて取り付けられた検出電極３に抵抗１７を介して矩形波電圧を印加し、抵抗１７と誘電体層２８とを経由して対地間で高周波電流が流れる際の対地間で生じる静電容量とによって形成されるＲＣ回路による検出電極３での立ち上がり立ち下がりの時間遅れに基づいて検出信号を出力するものであって、検出電極３に印加される矩形波電圧を同周波数の矩形波電圧を発生するガード電圧発生手段３０と、検出電極３の周囲に配設された第二電極４と、検出電極３の背面側をカバーするように配設された第三電極５とを備え、第二電極４及び第三電極５の両方が共に接地されている。 （もっと読む）

【課題】 煩雑な調整作業などを要することなく、供給側リールのテープ終端位置を正確に検知できるようにする。
【解決手段】 供給側リール１０１に巻回されている電気絶縁性テープＳのテープ残量を検知するテープ残量検知装置において、供給側リール１０１の巻芯１０１ａの少なくとも外周面を導電性とするとともに、供給側リール１０１の巻芯１０１ａ上に存在する電気絶縁性テープＳに対して電流検知器１０４から所定の電圧が印加される検査電極１０３を接触させ、電気絶縁性テープＳの終端Ｓｅが検査電極１０３から外れて、検査電極１０３が上記巻芯１０１に接触し、その間に電流が流れることをもって電気絶縁性テープＳの終端Ｓｅを検知する。 （もっと読む）

【課題】 固定素子をセットすべく手持式工具装置により形成される有底孔の深さを、固定素子に関連するデータに基づいて規制することのできる深さゲージを提案することである。
【解決手段】 手持式工具装置（２）により形成される有底孔の深さを規制するための深さゲージ（１）は、その有効長（Ｌ）を調整し得るよう、工具装置（２）の工具軸線（Ａ）と平行に所定範囲内で可動とされた、座屈荷重に対する十分な曲げ剛性を有するロッド（３）を具える。エネルギ源（４）によりエネルギが供給される制御モータ（５）をロッド（３）に関連させて配置し、その制御モータ（５）を、長さセンサ（１０）及び送受信ユニット（７）と共にマイクロプロセッサ（６）に接続する。交信範囲内にある固定素子（９）に設けられている識別手段（８）を送受信ユニット（７）により非接触で識別可能とし、有底孔内にセットされる固定素子（９）に関連してロッド（３）の有効長（Ｌ）を、マイクロプロセッサ（６）及び制御モータ（５）により適応制御可能とする。 （もっと読む）

【課題】透明膜の段差の測定方法に関し、非接触、非破壊で且つ簡単な操作で高速、高精度に位相シフターの段差を測定すること。
【解決手段】第１の透明膜１の一部に形成された複数の第１の溝Ｓａ₁ ，…，Ｓａ_n の段差量ｔ₁ ，…．ｔ_n と該第１の溝Ｓａ₁ ，…，Ｓａ_n からの反射光の偏光状態を示すパラメータの値との相関関係ｆ₁ を求めてデータベース化した後に、第２の透明膜４２の一部に形成された第２の溝４５の反射光の偏光状態を示すパラメータの第１の値を計測して、該第１の値と前記データベースの前記相関関係に基づいて該第２の溝４５の第１の段差量を求める工程を含む。 （もっと読む）