【課題】キャリア周波数の干渉により生じる深さ方向の像の不鮮明さや誤差を低減して、深さ方向の構造をより鮮明かつ高精度に観察・測定する。
【解決手段】周波数が異なる複数のレーザ光を発生する光源１１と、コム周波数間隔が可変で中心角周波数が異なる複数のコム光を順次生成するコム光生成装置１２からのコム光が順次入射され参照鏡からの戻り光と測定対象からの戻り光との干渉出力を、コム周波数間隔を掃引することにより複数回検出する光学干渉計１３と、複数のコム光の中心角周波数を設定し、コム周波数間隔を掃引し、所定の演算を行う演算制御部１４は、光学干渉計１３における参照鏡からの戻り光と測定対象からの戻り光との干渉出力を、コム周波数間隔を掃引することにより複数回検出し、各検出において得られた干渉成分の検出値から、測定対象の深さ方向の反射構率分布や散乱係数分布のみを取り出す演算を行うことで、測定対象の構造測定を行う。 （もっと読む）

【課題】干渉計において被検体を効率よく交換できるとともに、簡素な構成であっても被検体と干渉計本体部との間の位置調整を容易に行うことができるようにする。
【解決手段】干渉計１は、被検面１０ａの球心Ｒを軸線Ｏ上に保持する保持突起５と、光源からの可干渉光束を、被検面１０ａに照射する測定光束と参照面で反射された参照光束とに分割して、測定光束による被検面１０ａでの反射光束と参照光束とを干渉させる干渉光学系を収容する干渉計本体部１４と、干渉計本体部１４を保持突起５に対向する位置に配置する架台部２と、干渉計本体部１４を少なくとも軸線Ｏに直交する方向に移動可能に保持し干渉光学系の光軸Ｌを軸線Ｏに対して位置合わせする調整機構２０と、保持突起５を保持し軸線Ｏに沿う方向に移動可能に設けられた可動保持台６と、を備え、調整機構２０と可動保持台６とにより、被検レンズ１０と干渉計本体部１４との位置関係を調整する。 （もっと読む）

【課題】アッベ誤差を解消できる位置決め装置を提供する。
【解決手段】スライダに搭載されたレーザ干渉計と、固定ミラーとを備え、前記レーザ干渉計と前記固定ミラーとの間で往復するレーザ光を用いてレーザ干渉に基づく測長を行うことで前記スライダを位置決めする位置決め装置である。前記レーザ干渉計から得られた直線偏光のレーザ光を折り曲げることで、そのレーザ光の光路を変更させるミラーと、前記ミラーを経由した前記レーザ光を円偏光のレーザ光に変換して前記固定ミラーに照射するλ／４板と、を備える。 （もっと読む）

【課題】波長の異なる２種類の光波の光軸のずれに基づく測定誤差を防止し、高精度な測定が実現可能な２波長レーザ干渉計を提供する。
【解決手段】波長の異なる２種類のレーザ光Ｌ１，Ｌ２を出射する２波長レーザ光源１１と、２種類のレーザ光をそれぞれ参照光Ｌ１１，Ｌ２１と測定光Ｌ１２，Ｌ２２に分割する光分割手段、および、参照光および測定光が参照面および被測定面によって反射された光を重ね合わせる光重ね合わせ手段を有する２波長ビームスプリッタ１５と、この重ね合わされた光から、波長ごとに、被測定面の変位量を求め、これら波長ごとに求められた変位量を用いた演算によって空気屈折率補正された被測定面の変位量を求める演算部２４とを備える。２波長レーザ光源と光分割手段との間には、２波長レーザ光源から出射された波長の異なる２種類のレーザ光を一旦分離したのち互いの光軸を重ね合わせる光軸重ね合わせ光学系１３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】光軸のずれを検出するセンサが小型で、その検出範囲が狭い場合でも、測定中に正確な絶対距離を推定可能とする。
【解決手段】レーザ干渉計１０１と、該レーザ干渉計の光軸のずれを検出する光軸ずれ量検出センサ１０２と、前記レーザ干渉計を任意の方向に向ける２軸回転機構１０４と、該２軸回転機構の回転角を検出する角度センサ１０５と、入射光と平行な方向に反射光を反射する再帰反射体１０７と、前記光軸ずれ量検出センサと角度センサの信号を元に再帰反射体を追尾するように２軸回転機構を駆動するコントローラ１０８とを有する追尾式レーザ干渉計において、前記再帰反射体の停止を検出し、該停止検出時に、前記光軸ずれ量検出センサで求めた移動中の光軸のずれ量の総和と、前記角度センサで求めた移動中の回転角を元に距離を計算する。 （もっと読む）

【課題】各光成分の偏向調整作業が簡単で、出力されるレーザ光の各光成分の平行度を向上させることができ、ロール方向の位置偏差の測定精度を向上させる。
【解決手段】２枚の平面鏡４，５を有する反射鏡２と、互いに直交する２つの直線偏光を入力して分光する偏光ビームスプリッタ８及び分光した各光成分を平面鏡４，５に対して垂直に入反射するように屈折させるバイプリズム６を有し、各光成分をバイプリズム６と反射鏡２との間で２往復させてから出力するレーザ干渉部３とを備えたレーザ干渉計１において、レーザ干渉部３は、各光成分が最初に往復する際に一方の光成分が通過し、各光成分が次に往復する際に他方の光成分が通過するよう、偏光ビームスプリッタ８とバイプリズム６との間に配置され、通過する光成分の偏向方向を調整自在とする一対のウェッジプリズム１５ａ，１５ｂを有する偏向部１５を備えた。 （もっと読む）

【課題】アライメント調整を容易に行うことができるとともに、ノイズ光の発生を抑制しつつ被検光の光量を十分に確保して被測定放物面の形状を高精度に測定し得る光波干渉測定装置を得る。
【解決手段】参照基準板２と被測定放物面４１との間の光路上に球面波生成手段３を配置する。この球面波生成手段３は、被測定放物面４１の焦点位置に配置されるピンホールミラー３１を備えており、該ピンホールミラー３１は、被測定放物面４１に照射された照明用平行光束のうち該被測定放物面４１で反射され、その焦点位置に集光する光束の一部を、波面整形された球面波に変換して反射し被測定放物面４１に向けて出力するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】レンズ部表面からの反射光による光マークを観察し得ない被検レンズに対しても、該被検レンズの光軸と基準球面の光軸とのずれを高精度に自動調整することができ、安定した測定結果を得ることが可能な光波干渉測定装置および光波干渉測定方法を得る。
【解決手段】被検レンズ１からの反射光による第１の干渉縞画像に基づき、被検レンズ１の全体中心位置を特定する手段と、被検レンズ１と基準球面反射鏡７の各光軸が互いに平行となるように調整する手段と、被検レンズ１と基準球面反射鏡７との相対的な位置を調整する手段と、レンズ部２の透過光による第２の干渉縞画像に基づき、被検レンズ１と基準球面反射鏡７との相対的な位置を調整する手段とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 装置が小型であり、かつ、構成部品の位置合わせが容易な干渉計測装置を提供する。
【解決手段】 プリズム３、４、６、７は互いに固着されて一体化されている。又、ガラスや石英等からなり、全て同一物質で形成されている。よって、これらのプリズムを目的に合うように決定して加工して組み立てることにより、非偏光ハーフミラー膜５、偏光ビームスプリット膜８、及び光路の位置合わせができ、装置全体の部品の位置合わせ箇所を大幅に減少させることができる。 （もっと読む）

【課題】 光測長器で円筒面など一方向に曲率を有する曲面の変位測定を行う場合に、被測定面に存在する微細な凹凸の影響を受けずに、精度よく測定を行うことができるようにする。
【解決手段】 レーザー光源１から出射するビームのスポット径を変更するスポット径調整手段を備えている。したがって、干渉計２から出射され、対物レンズ光学系４により集光される集光ビームは、被測定物体５の表面に大きさ可変な集光スポットＰとして照射される。これにより、集光スポットＰの大きさを集光スポットＰが被測定物体を走査する際に横断する傷等（符号Ｑ）に対し十分大きく設定することで、変位測定信号の乱れを排除できる。 （もっと読む）

【課題】干渉計においてステージの回転による基準ビームと測定ビームのずれを最小限に抑える。
【解決手段】第１の方向（Ｚ）に沿った変位を測定するための干渉計システム１００、１００Ａ、４００は、（１）第１の方向に沿って移動するステージ１０８に取り付けられた測定ルーフ状光学部品１０４、４０４（例えばポロプリズム）と、（２）（ａ）測定ルーフ状光学部品に対向する第１の面１０５および（ｂ）該第１の面の反対側の第２の面１０９を備えた偏光ビームスプリッタ１０３と、（３）測定ルーフ状光学部品と偏光ビームスプリッタの第１の面との間に配置された第１の波長板１０６、４０６と、（４）偏光ビームスプリッタの第１の面とは反対側に配置された方向転換光学部品１１０とを含む。システムを通る測定光路は、第１の方向および該第１の方向に対して垂直な第２の方向（ＹまたはＸ）によって画定される平面内に位置するセグメントのみで構成される。 （もっと読む）

レーザー・ビーム（１２、５２）を発生させるレーザー源（１０、１５）と、第１（１６、３６、５７）及び第２（１８、３８、５８）の調節可能な要素とを具えたレーザー・システムと干渉計が開示され、前記第１（１６、３６、５７）及び第２（１８、３８、５８）の調節可能な要素は、それぞれ、第１調節可能要素の回転が一つの平面内でレーザー・ビームの偏向を起こさせ、第２調節可能要素の回転が第２の平面内での偏向を起こさせるように制限された回転運動を行い、レーザー源（１０、５１）からのレーザー・ビーム（１２、５２）は要求されるビーム方向（１４、３４、６０）に対して傾斜しており、前記回転可能要素の回転がレーザー・ビームを偏向させて、レーザー・ビームを要求されるビーム方向に心合わせさせることを可能にしている。これらの調節可能な要素は９０°にわたって回転可能である。前記第１及び第２平面は要求されるビーム方向及び相互に垂直である。少なくとも一つの鏡（４２、５６）が、前記要求される方向に対して角度的にずれた姿勢で設けられている。
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本発明は、変調干渉計（２）と、この変調干渉計（２）と空間的に分離されており且つ変調干渉計（２）と光ファイバ装置（６）を介して結合されているまたは結合可能な測定センサ（３）と、供給されるビームを電気信号に変換し、該信号を位相差に基づき評価する受信装置および評価ユニットとを有する、測定対象（８）の表面の形状、粗さまたは距離を検出する干渉測定装置に関する。狭い孔においても信頼に足る測定を実施できるための有利な構造は、部分透過性領域（３．３）が、光学的なセンサ軸（３．５）に関して射出角度（α）で傾斜されている、センサファイバ（３．１）の射出面（３．３１）と、同様に光学軸（３．５）に関して入射角度（β）で傾斜されている、対象側に続くファイバ部分（３．２）の入射面（３．３２）とを用いて形成されており、射出面（３．３１）と入射面（３．３２）との間には楔状の空隙が形成されていることによって達成される。
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本発明は、変調干渉計（２）と、この変調干渉計（２）と空間的に分離されており且つ変調干渉計（２）と光ファイバ装置（６）を介して結合されているまたは結合可能な測定センサ（３）と、供給されるビームを電気信号に変換し、該信号を位相差に基づき評価する受信装置および評価ユニットとを有する、測定対象（８）の表面の形状、粗さまたは距離を検出する干渉測定装置に関する。正確な表面測定が光学的なセンサ軸（３．５）に対する射出面（３．４）の傾斜角度（γ）が少なくとも４６°であることによって達成される。
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一般的に、一態様において、本発明を特徴付ける装置は、少なくとも３本の出力ビームを生成するように構成された多軸干渉計を含む。各出力ビームは、対応する測定軸に沿っての干渉計と測定物体との間の距離についての干渉分光情報を含み、少なくとも３本の測定軸は共通面内にあり、各出力ビームは、共通のビーム経路に沿って測定物体までの光路を形成する成分を含む。
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