【課題】 低倍率視野内のワークを高倍率視野内へ自動搬送してワークの寸法を高い精度で測定することができる寸法測定装置を提供する。
【解決手段】 ＸＹ方向に移動可能な可動ステージ１２と、特徴量情報及び測定箇所情報を保持する測定設定データ記憶手段と、ワークＷを低倍率で撮影し、低倍率画像を生成する低倍率撮像手段と、特徴量情報に基づいて、低倍率画像におけるワークＷの位置及び姿勢を特定するワーク検出手段と、特定された位置及び姿勢に基づいて、ワークＷの測定対象箇所が高倍率視野内に収まるように、可動ステージ１２を制御するステージ制御手段と、高倍率視野内に移動した測定対象箇所を高倍率で撮影し、高倍率画像を生成する高倍率撮像手段と、測定箇所情報に基づいて、高倍率画像から測定対象箇所のエッジを抽出するエッジ抽出手段と、抽出されたエッジに基づいて、測定対象箇所の寸法値を求める寸法値算出手段により構成される。 （もっと読む）

【課題】 ワークの寸法を高い精度で測定することができるとともに、被写界深度を越える段差を有するワークであっても、測定対象とする箇所を容易に設定することができる寸法測定装置を提供する。
【解決手段】 可動ステージ１２上のワークＷを撮影する撮像手段と、可動ステージ１２のＺ方向の位置が異なる複数のワーク画像を深度合成し、深度合成画像を生成する深度合成手段と、マスターピースを撮影して得られる深度合成画像をマスター画像Ｍ１として画面表示するマスター画像表示手段と、マスター画像Ｍ１に対し測定対象箇所及び測定方法を指定し、測定箇所情報を生成する測定箇所情報生成手段と、測定箇所情報に基づいて、ワークＷを撮影して得られた深度合成画像から測定対象箇所のエッジを抽出するエッジ抽出手段と、抽出されたエッジに基づいて、測定対象箇所の寸法値を求める寸法値算出手段により構成される。 （もっと読む）

【課題】簡単な機構で、測定中の作業性の低下を防ぐことができる測定装置を提供すること。
【解決手段】測定の対象である測定対象物を保持して二次元に移動可能なステージと、前記ステージの位置を検出する検出手段と、手動操作により前記ステージを駆動するための軸部材と、前記軸部材の軸方向に延在し、手動により姿勢変更可能な手動駆動力の伝達部材と、前記伝達部材の姿勢に応じて、前記測定を制御する制御信号を発生する制御信号発生手段とを備えたことを特徴とする測定装置。 （もっと読む）

【課題】 複数のワークについて、相対的な位置関係を把握し易く、測定結果を容易に識別することができる寸法測定装置を提供する。
【解決手段】 特徴量情報、測定対象箇所情報及び設定値情報を保持する測定設定データ記憶部２１と、ワークの位置及び姿勢をそれぞれ検出する配置状態検出部２４と、ワーク画像Ａ１から測定対象箇所のエッジを抽出するエッジ抽出部２４と、抽出されたエッジに基づいて測定対象箇所の寸法値を算出し、測定対象箇所及びワークの良否判定を行う良否判定部２５と、ワークの良否判定の結果をワーク画像Ａ１上に表示する測定結果表示手段と、ワークのいずれかを選択するためのワーク選択部２７により構成される。測定結果表示部２６は、選択されたワークについて、測定対象箇所の良否判定の結果を表示する。 （もっと読む）

【課題】 複数のワークについて、輪郭の不一致度合いを容易に識別することができる画像測定装置を提供する。
【解決手段】 ワーク画像Ａ２からエッジを抽出するエッジ抽出手段と、ワーク画像Ａ２及び予め保持されたマスター画像Ａ１を比較する画像比較手段と、比較結果に基づいて、ワーク画像Ａ２のエッジ位置とこのエッジ位置に対応するマスター画像Ａ１上の位置との変位量を示す誤差を算出する誤差算出手段と、複数のワーク画像Ａ２について算出された誤差の統計情報をエッジ位置ごとに算出する統計情報算出手段と、統計情報を、その値に応じた表示態様でワーク画像Ａ２又はマスター画像Ａ１から抽出されたエッジ位置に沿って表示する統計情報表示手段により構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、比較的安価で狭視野なテレセントリックレンズなどの光学系レンズを使用して高精度、かつ全体を見渡した測定を行うことが可能となる測定顕微鏡に関するものである。
【解決手段】本発明は、ステージ１上に載置された被検物Ｂを撮影するために光学系レンズ５を装着した被検物撮影カメラ２と、前記被検物Ｂ周辺を含んで撮影する周辺撮影カメラ４とを設置し、前記周辺撮影カメラ４で撮影した映像内に前記被検物撮影カメラ２で撮影した映像を出力した測定顕微鏡Ａである。 （もっと読む）

【課題】被測定物の角度の測定に際し、測定精度を高めることができるようにする。
【解決手段】ロータリエンコーダ４１は、十字線などのレチクル４２と機械的に連動して回転するように構成され、レチクル４２が回転操作されると、その回転操作に応じたパルス信号を出力する。CPU３１は、そのパルス信号から回転角度を算出し、その回転角度に応じた補正値を、補正テーブル保持部３４の補正テーブル３４ａから取得し、その補正値を用いて回転角度を補正する。そして、カウント表示部３３は、補正後の正確な回転角度を表示する。本発明は、例えば、顕微鏡用のデジタルプロトラクタに適用できる。 （もっと読む）

【課題】物体の角度を測定する際の基準位置を容易に設定する。
【解決手段】十字線が示されるレチクル２６を保持し、ドーナツ型のスケール円板２５が上面の端部に固定されている回転筒２４が、レンズ２３の光軸Ａ回りに回転可能となるようにケース２１の内部に設置されている。基準ピン２９は、回転筒２４の基準穴２４Ａに適合し、回転筒２４を基準位置に設定したときに、基準穴２４Ａに挿入することが可能である。エンコーダセンサヘッド２７は、スケール円板２５の回転量および回転角を検出し、カウンタ表示部３４は、検出された回転量および回転方向に基づいて、表示値がリセットされたときのスケール円板２５の回転方向の位置を基準にして、スケール円板２５の回転角を表示する。本発明は、例えば、顕微鏡用のデジタルプロトラクタに適用できる。 （もっと読む）

【課題】 測長対象物の姿勢に関わらず、正確且つ容易に測長を行うこと。
【解決手段】 測定対象物３が表面５ａに形成される基板本体５と、該基板本体５の表面上５ａで、測定対象物３が形成される領域近傍に少なくとも一方向に延びるよう設けられた基準スケール６とを備え、該基準スケール６が、集束イオンビームＦＩＢを利用して形成され、予め決められた間隔毎に隣接配置された複数の目盛り７を有している基板２を提供する。 （もっと読む）