【課題】 多種の作業に対応できる移動作業機の位置検出装置を提供する。
【解決手段】 移動作業機１の作業領域Ａ０の全域を外部から撮影する撮影手段６４と、この撮影手段６４からの画像に画像処理を施す画像処理手段６６とを備えて、作業領域Ａ０における移動作業機１の絶対位置を計測するように構成した。 （もっと読む）

【課題】 雰囲気温度の変動に伴う反射面の形状変化や可動部の加減速に伴う反射鏡の傾きを有効に防止して計測誤差を小さくする。
【解決手段】 移動可能な試料台５０と、試料台５０の位置又は姿勢を測定する干渉計システムと、試料台５０に固定され干渉計システムから射出された計測光を反射する反射面を備えた反射鏡１００とを有し、反射鏡１００は、干渉計システムから射出された第１計測光を反射する第１反射面１０３と、第１反射面１０３に垂直であり且つ干渉計システムから射出された第２計測光を反射する第２反射面１０４とを備えた第１部材１０１と、第１部材１０１の第１反射面１０３と反対側の面に突出するように第１部材１０１と一体的に設けられ、且つ第２反射面１０４に実質的に平行であり試料台５０に当接固定される取付面１０５を備えた第２部材１０２とを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、１台のカメラ装置で撮像される画像に基づいて、カメラ装置で取り込まれた装備品の画像データをカメラ位置を基準とした距離データに変換し、装備品の位置を正確に検出することにある。
【解決手段】 洗車機本体１に取り付けられ洗車処理する自動車の所定部位を含む領域を撮像するカメラ装置７Ａ，７Ｂと、カメラ装置７Ａ，７Ｂで撮像した画像の中から自動車の装備品を抽出し、抽出した装備品の画像中における位置を、装備品の取付データ及びカメラ装置の取付データに基づいて実際のカメラ装置から装備品までの距離に変換し、装備品の位置を検出する装備品位置検出部２９，３１とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】安価、高精度、かつ高スループットに、物体を搬送して受け渡すことができる搬送方法を提供する。
【解決手段】プリアライメント装置４５では、マーク５０Ｍの位置情報と、ウエハＷの位置情報とを非同時に検出する。このようにすれば、マーク５０Ｍの位置情報を検出する検出系と、ウエハＷの位置情報を検出する検出系との少なくとも一部を共通化することができるようになるため、その分だけ、装置コスト及び発熱量を低減することができる。 （もっと読む）

本発明に従えば、乗り物、特に飛行物体（１）の移動を測定するために、当該乗り物に搭載されている画像化光学システム（２）を用いて、周辺環境（４）の画像を検知する。前記システムは、構造に基づいて画像のあらゆるシフトを検知して、当該シフトの測定信号を発生させるべく用いられる光電子シフトセンサー（３）を含み、そのために前記センサーが固有の評価ユニットを含む。当該センサーは、無制限個数の物体を表現できるように配置される。測定信号は、飛行物体の運動および／または位置を表わす量として用いられる。当該シフトセンサーは、光学式マウスに用いられているセンサーに類似している。本発明のシステムはまた、例えば飛行高度を制御すべく、距離の測定にも用いることができる。本発明は更に、制御ループにより飛行物体を自動制御する方法にも関係する。
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偏光ダブルパス干渉計は、偏光ビームスプリッタ（１６）と、基準ビーム（１４）の経路内の基準ミラー（２０）と、測定ビーム（１２）の経路内の可動測定ミラー（２６）と、を含む。基準および測定ビームは、異なる偏光を有する。ガラスウエッジつまりプリズム（３２）のような角度ビーム偏向装置は、一つの偏光の光の他の偏光の光の経路内への漏れによって生じるエラービーム（３０）を除去あるいは分離するように作用する。
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土木構造物での変形の位置を特定し測定するための工程において、平行で、信号の伝達可能な、複数の光ファイバ（２ａ乃至２ｅ）を有する、少なくとも１つのジオシンセティックな繊維（１）が、構造物に、もしくは構造物の下に適用され、光ファイバは、均等に離間され、同じ波長に対応するＮ１個の連続したグレーティングからなるシリーズ（４）に分布するブラッググレーティング（３）を有し、シリーズは、それら自身同一の複数のセットの中に配置され、これらセットの各々は、異なる波長に対応するＮ２個の連続したシリーズを有するということと、少なくとも２つの光ファイバで、１つのシリーズ（４）におけるグレーティングの数Ｎ１と、１つのセット（５）におけるシリーズの数Ｎ２とは、光ファイバの各々に伝達される入射光の波長とブラッググレーティングにより反射される光の波長との間の違いを測定することにより特徴付けられる工程に関する。
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ビデオ強化現実改善外科ナビゲーション・システムにおけるオーバーレイ・エラーを測定するシステムと方法を提供する。本発明の実施例において、システムと方法は、テスト対象物を供給し、このテスト対象物のコンピュータ・モデルである仮想対象物を生成し、テスト対象物を記録し、強化現実システムの測定空間内での様々な位置でのテスト対象物上の制御点の画像を取得し、その取得画像からテスト対象物上の制御点の位置を引き出し、仮想画像内の制御点の位置を計算し、テスト対象物のそれぞれのビデオと仮想画像との間の対応する制御点の位置の位置ずれを計算することによる。この方法とシステムは、さらに、オーバーレイ精度が許容基準を満たしているかどうか評価する。本発明の実施例において、方法とシステムは、そのようなシステムにおけるエラーの様々な要因を見分けるために提供される。本発明の実施例において、ＡＲシステムの精度が決定された後、そのＡＲシステムは、与えられた用途、たとえば、記録エラーのような他のプロセスの精度を評価するツールとして使用される。
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このゲージは、平行移動軸と回転軸との間と、部品表面座標と機械座標との間と、機械座標と埋め込みゲージ座標との間と、の空間関係を決定する際に、また機械と埋込みゲージとの種々のコンポーネントを較正する際に、そしてゲージ自身を機械に位置合わせする際に使用される。機械回転軸をそれぞれの平行移動軸に粗く位置合わせしてこれらの回転軸に公称ゼロ点を設定するステップと、埋込みゲージ本体を機械軸に位置合わせするステップと、埋込みゲージ焦点をスピンドル軸に位置合わせするステップと、このように位置合わせされたときに回転軸間の空間的ずれ（オフセット）を決定するステップと、機械回転軸をそれぞれの平行移動軸に正確に位置合わせするステップと、これらの回転軸に正確なゼロ点を設定するステップと、を備える。 （もっと読む）

図７に示す如く、雄ネジの外観検査装置は、基準の雄ネジのネジ外形画像に対して基準のデジタルゲージを設定し、基準の雄ネジのネジ外形画像と試験用の雄ネジのネジ部片側のネジ外形を撮影して得られたネジ外形画像４２とのずれを求め、基準のデジタルゲージの位置を、雄ネジのずれに応じて位置補正し、位置補正したデジタルゲージ（上側デジタルゲージ７３、下側デジタルゲージ７４）と、ネジ外形画像４２とを画像判定して雄ネジが正常品であるか否かを判定する。 （もっと読む）

基板及び被覆膜を有するオブジェクト及びフォトリソグラフィ装置の一部分の互いに対する位置を決める装置は、フォトリソグラフィ・システムと、ポジショナーと、光学システムと、プロセッサと、を備える。フォトリソグラフィ・システムは、オブジェクトの一部分を第１光パターンで照射するように構成され、かつ基準表面を含む。ポジショナーは、フォトリソグラフィ・システムとオブジェクトとの間の相対位置を変えることができる。光投影装置は、第２光パターンをオブジェクトの被覆薄膜に投影するように構成されている。光学システムは、基板によって拡散散乱される第２光パターンの光を撮像する。プロセッサは、オブジェクトの空間特性を拡散散乱光に基づいて求め、かつポジショナーを動作させてフォトリソグラフィ・システムとオブジェクトとの間の相対位置を変えさせるように構成されている。
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本システムは、仕様書を越える可能性のある領域の表示をオペレータに提供する、或いは前記オペレータによるより詳細な分析を要求する遠隔映像検査装置からの画像の分析を自動的に実行する。パターン認識アルゴリズムは、前記画像の異常或いは欠陥を調査するため連続画像に適用される。前記調査領域は、最初、欠陥の可能性がより高い、検査されるアイテムのエッジに制限される。処理要求及び誤検出の可能性を減らすために、調査領域は制限された視野及び奥行きに狭められる。へこみ及び小さな割れなどの欠陥は、立体測定技術を用いて、或いは公知の補足画像を欠陥と予測することで検出される。この技術は、画像相違マップを提供するのに用いられる。公知の三角アルゴリズムを用いて、前記マップは奥行き及び距離情報を前記処理システムに提供する。
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【課題】 装置内部の可動テーブルの位置を正確に求めるために、１つ、任意選択で２つ以上のカラー干渉計デバイスを使用するリソグラフィ投影装置を提供すること。
【解決手段】 この装置は、前記可動テーブルの少なくとも一部を収容する空間にパージ・ガスを供給するためのフラッシング・ガス手段を備え、パージ・ガスは、干渉計デバイスの動作領域内へのパージ・ガスの漏れが干渉計測定値の有意な誤差をもたらさないように選択される。 （もっと読む）