【課題】 時間分解能の制限から従来不可能であった種々の画像解析を可能とする。
【解決手段】 入力フォトンを電流に変換するフォトダイオードＦＤ、入力された外部電気信号Ｓに応じてフォトダイオードＦＤにより発生した電流を変調するトランジスタ対、およびトランジスタ対により変調された電流を時間積分するコンデンサＣを有する複数の受光素子を備え、複数の受光素子を走査して各コンデンサＣの積分値を順次読み出す。 （もっと読む）

本発明は実質的に直線状のコントラストエッジ（Ｅ）の高精度光学的検知方法と装置に関する。装置において、第１の方向を横切る別の方向において、平行移動（Ｓ）により、“光学センサ（Ｄ１，Ｄ２）の全視野角（Δφ）の周期的スキャン（Ω）が実行される。
前記平行移動は、スキャン期間の一部分において、一様ではない角速度（Ω）の周期的スキャン”を引き起こす。そして、前記センサ（Ｄ１，Ｄ２）により与えられる信号から与えられる時間差（Δｔ）を測定する。前記時間差は前記スキャン規則（Ω）から全視野角（Δφ）内のレファレンス方向（ＯＹ12）に関連する、コントラストエッジ（Ｅ）の角度位置に依存するものである。前記レファレンス方向は時間差（ｔ）の特定値に結びついている。
上記発明は、視線の空間的安定化、コントラストエッジを呈する目標物の高精度のトラッキングと固定化に対する応用される。 （もっと読む）

負荷されていない状態で、シート部品の少なくとも１つの結合部またはスプライス接続部における欠陥を検出するための方法、および／または結合部またはスプライス接続部の幾何学的特徴を検出するための方法であって、
ａ．前記結合部またはスプライス接続部を非一方向電磁放射線に当て；
ｂ．前記結合部またはスプライス接続部によって反射または屈折された放射線の二次元検出を行い；
ｃ．前記二次元検出に対応する出力信号を形成し；
ｄ．当該出力信号を分析することによって、前記結合部またはスプライス接続部の少なくとも一部の生じている可能性のある欠陥または幾何学的特徴を定める、
ステップを有している、
ことを特徴とする方法。
（もっと読む）

【課題】 光学システムにおいて、位相および振幅情報を含む波面分析、ならびに３Ｄ測定を実行する方法および装置、特に、光学システムの画像面のような、中間面の出力の分析に基づく方法および装置を提供する。
【解決手段】 薄膜コーティング、または多層構造の個々の層が存在する表面トポグラフィの測定について記載する。多重波長分析を、位相および振幅マッピングと組み合わせて利用する。マクスウェルの方程式の解に基づき、仮想波面伝搬を用いて、波面伝搬および再合焦によって位相および表面トポグラフィの測定を改良する方法について記載する。このような位相操作方法によって、または広帯域およびコヒーレント光源の組み合わせを利用する方法によって、光学撮像システムにおいてコヒーレント・ノイズの低減を達成する。本方法は、集積回路の分析に適用され、コントラストを高めることにより、または１回のショット撮像における３Ｄ撮像によってオーバーレイ測定技法を改善する。 （もっと読む）

本発明は、偏向器システムにおいて任意の形状のパターンの座標を決定するための方法に関する。この方法は、基本的に、前記パターンを第１の方向Ｘへと移動させる工程と、前記パターンのエッジの位置の計算を、垂直な方向Ｙに実行されるマイクロ・スイープの数を前記エッジが検出されるまでカウントすることによって行う工程と、前記座標の決定を、カウントされたマイクロ・スイープの数を前記パターンの前記移動の速さに関係付けることによって行う工程とを含む。また、本発明は、この方法を実装するソフトウェアに関する。
（もっと読む）

３次元モデル記憶手段（１７０）は、対象物体の３次元形状データおよび照明基底データを予め記憶する。比較画像生成手段（１１０）は、３次元形状データおよび照明基底データにもとづいて、入力画像と同じ照明条件の下で、現時点での推定値の位置／姿勢に対象物体がある再現画像を比較画像として生成する。画像変位分布検出手段（１２０）は、比較画像を部分画像（小領域）に分割し、小領域ごとに比較画像と入力画像との画像変位分布を検出する。姿勢差分検出手段（１３０）は、画像変位分布および３次元形状データにもとづいて位置姿勢差分値を算出する。そして、終了判定手段（１４０）は、位置姿勢差分値が所定の閾値より小さいと判断した場合に、現在の位置姿勢推定値を最適位置姿勢推定値（１３）として出力する。これにより、画像に含まれる物体の位置や姿勢を高速に推定できるようになる。 （もっと読む）

物体の三次元モデルを構築するための走査システム及び方法であって、走査システムは走査装置（２）と走査テンプレート部材（４）とを含む。走査装置（２）は光を投影するためのエミッター（２０）と像を撮像するためのセンサー（２２）とを有し、エミッターとセンサーが使用時に相対的に固定された位置に配置される。走査テンプレート部材（４）は既知の二次元テンプレート（４２）を有する。処理手段は、データを生成して走査装置（２）と走査テンプレート（４２）との間に配置された物体（８）の三次元モデルを構築することができ、使用時に走査テンプレート（４２）に対する物体（８）の情報を生成し、この情報はエミッターによって投影光が投影される同一の像から生成される。測定は同一の基準面に対して行われる。 （もっと読む）

【課題】機械部品の存在を検出するための装置、より具体的には、長尺工具の完全性を検査するための装置を提供する。
【解決手段】工具の完全性を検査するための装置は、レーザ光線（２１）を用いる光電子検査機構（７）と、工具と光電子検査機構との間の相対的な移動を可能とする長手方向（Ｘ）に沿って移動可能な載置台（６）と、例えば送受波器（９、１０）を含む前記相対的な位置を検査するための装置と、を備えている。光電子検査機構のセンサ（２２）は、光線の遮光を検出する。この遮光時の送受波器の信号に基づき、これを既知の値と比較することによって、工具の完全性が検査される。載置台に連結された光電子検査機構の連結機構（２４）は、横方向基準面に沿って光電子検査機構を振動させることができ、この振動により感知可能な画定領域（３３）が画成される。振動はモータ（２６）により制御され、光線の遮光はセンサにより検出されて、該センサにより工具の端部が感知可能な画定領域に干渉する瞬間が示される。
（もっと読む）

本システムは、仕様書を越える可能性のある領域の表示をオペレータに提供する、或いは前記オペレータによるより詳細な分析を要求する遠隔映像検査装置からの画像の分析を自動的に実行する。パターン認識アルゴリズムは、前記画像の異常或いは欠陥を調査するため連続画像に適用される。前記調査領域は、最初、欠陥の可能性がより高い、検査されるアイテムのエッジに制限される。処理要求及び誤検出の可能性を減らすために、調査領域は制限された視野及び奥行きに狭められる。へこみ及び小さな割れなどの欠陥は、立体測定技術を用いて、或いは公知の補足画像を欠陥と予測することで検出される。この技術は、画像相違マップを提供するのに用いられる。公知の三角アルゴリズムを用いて、前記マップは奥行き及び距離情報を前記処理システムに提供する。
（もっと読む）

【課題】電線を圧接刃間に圧入した圧接端子の幅を正確に測定できる圧接端子の圧接時の幅測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】圧接端子の圧接時の幅測定装置は発光する発光部と発光部からの光を受光して撮像する撮像部と発光部と撮像部との間に設けられた端子取付部を備えている。圧接端子は表面上に電線を位置付ける底壁と一対の側壁と圧接刃とを備えている。側壁は底壁の両縁から立設している。端子取付部は圧接端子を取り付ける。ステップＳ１で発光部の光軸と撮像部の光軸とを合わせる。ステップＳ２では端子取付部に取り付けられた圧接端子を撮像する。ステップＳ３では２値化する。ステップＳ４ではエッジを抽出する。ステップＳ５では圧接端子に圧接された電線の中心を求める。ステップＳ６では中心を通りかつ圧接端子の底壁に表面に沿う方向の一対の側壁の外面間の距離を求める。 （もっと読む）

【課題】 透明な層間絶縁膜上の微細パターンおよび同一層の欠陥を感度良く検出する一方、下層のパターンおよび同一層の欠陥をデフォーカスした状態で検出し、本来検査したい工程の欠陥のみを検出可能とすること。
【解決手段】 本来同一形状となるべきパターンが複数規則的に配置された被検査物の検査装置において、解像度０．１８μｍ以下、より好ましくは０．１３μｍ以下となる照明波長と対物レンズ開口数の関係を備えた撮像光学系と、撮像光学系の結像位置に配置された光電変換器と 撮像光学系とは別に設けられた光路からなり入射角度８５度以上、より好ましくは８８度以上で照明する自動焦点光学系と、自動焦点光学系の検出信号に基づき撮像光学系の焦点位置を調節する手段と、光電変換器の電気信号を処理する手段とを、具備した構成をとる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、白ねぎのぼけ部の端部の検出を定量的に行うことができる白ねぎのぼけ部検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 白ねぎ３を拡散照明する蛍光管７および拡散板８と、赤外線を吸収し青色の光のみ透過する光学フィルタ４と、拡散照明された白ねぎ３の反射光を光学フィルタ４を介して入力し、白ねぎのぼけ部３Ｂおよびその近傍を撮影するＣＣＤカメラ５と、ＣＣＤカメラ５の画像信号により、白ねぎの軟白部３Ａよりぼけ部３Ｂに移るぼけ部端部を検出する検出装置11を備える。この構成によれば、ぼけ部３Ｂの輝度データから、常に同一のしきい値によりぼけ部３Ｂの端部が検出されることにより、選別過程で等級選別に大きく係る軟白部３Ａの長さＬが自動で定量的に検出され、人間の主観に依存することなく、均一な白ねぎ３の等級の判定が可能となり、白ねぎ３の品質を安定して均一に維持できる。 （もっと読む）