【課題】自動車のドア側のシール面とボディー側のシール面との間のシール面間寸法を正確かつ短時間で測定する。
【解決手段】少なくとも片面に配置された複数のターゲットマーク１３を表にして車両のボディー側に取り付けるボディー側ターゲットボード１１と、両面に配置された複数のターゲットマークが表裏から見えるように車両のドア側に取り付けるドア側ターゲットボード１２と、車両のボディー側のシール面およびドア側のシール面にレーザ光を照射するレーザ光照射部２２と、ターゲットボード１１、１２を撮影するステレオカメラ２３と、撮影したレーザ光からボディー側およびドア側のシール面の断面形状を認識し、撮影したターゲットマーク１３を用いてボディー側およびドア側のシール面の断面形状を一致させるように移動させ、ボディー側のシール面とドア側のシール面との間のシール面間寸法を測定する画像処理部３０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】鋼帯連続焼鈍ライン等の鋼帯連続処理ラインに設置されている縦型ルーパー設備において、ルーパーキャリッジの水平度を精度良く測定することができるキャリッジ水平度測定方法およびそれを用いた鋼帯の蛇行修正方法を提供する。
【解決手段】ルーパーキャリッジ１１の水平度（水平度異常量）を光学式距離計２１ａ〜２１ｄを用いて測定するとともに、鋼帯１の寄り量（蛇行量）を測定し、その蛇行量が許容範囲を超えている場合には、ルーパーキャリッジ１１の水平度を許容範囲内で変更して、鋼帯１の蛇行量が許容範囲内に収まるようにする。 （もっと読む）

【課題】オーバーレイ測定、非対称性測定、およびインダイオーバーレイターゲットの再構築を可能にする。
【解決手段】四分くさび光デバイス（ＱＷ）は、基板から散乱した放射の回折次数を別々に再誘導し、第１方向および第２方向の各々に沿って照明から回折次数を分離する。例えば、０次（０、０’）および１次（−１、＋１’）を、各入射方向について分離する。マルチモードファイバ（ＭＦ）での捕捉の後、スペクトロメータ（Ｓ１−Ｓ４）を使用して波長（Ｉ_０’（λ）、Ｉ_０（λ）、Ｉ_＋１’（λ）、およびＩ_−１（λ））の関数としての空間的に再誘導された回折次数の強度を測定する。そして、これをオーバーレイエラーの計算、または単一格子の非対称パラメータの再構築に用いる。 （もっと読む）

【課題】異なる場所から検出した特徴点の見え方が各検出場所で変化する場合であっても、移動体の位置を推定することが可能な、移動体位置推定装置及び移動体位置推定方法を提供する。
【解決手段】撮像部２が撮像する周囲画像の撮像範囲内へ投光した線状光が屈曲している部分である折曲部において折曲部平面から予め設定した角度で立ち上がる立ち上がり線を算出する立ち上がり線算出部１６と、撮像部２が撮像する周囲画像の撮像範囲の変化に応じて、立ち上がり線算出部１６が算出した立ち上がり線と、撮像部２から特徴点までの距離に基づいて、撮像範囲が変化する前の折曲部と撮像範囲が変化した後の折曲部とを照合する特徴点照合部２０と、特徴点照合部２０が照合した撮像範囲が変化する前の折曲部と撮像範囲が変化した後の折曲部との位置の変位量に基づいて、車両Ｖの位置を推定する移動体位置推定部２２を備える。 （もっと読む）

【課題】２つの表面領域を同期測定できるクロマティックポイントセンサ装置（ＣＰＳ装置）の動作方法を提供すること。
【解決手段】２光束アッセンブリが取り付けられた１光束ＣＰＳ光学ペンを用いたセンサ装置の第１測定光束および第２測定光束を、それぞれ第１表面領域および第２表面領域に位置合わせする。２つの反射光が２光束ＣＰＳの共焦点開口部を通過する。第１測定光束および第２測定光束にそれぞれ起因する第１測定および第２測定を含んだ少なくとも１の測定セットを実行する。様々な位置での測定セットの実行のため、少なくとも第１表面領域を移動させる。各測定結果は、極めて良好な分解能（例えば、少なくとも１０ｎｍの分解能）で決定される。本センサ装置と動作方法は、干渉計または他の高額で複雑な構成要素を使わないで、高い分解能と精度を必要とする測定に適用できる。 （もっと読む）

【課題】チップコンデンサやチップ抵抗、二次電池内部の積層電極用アルミニウム箔の製造等に用いて好適な切断装置の刃物の刃先の検査装置を提供する。
【解決手段】光源２０からの光を直立して配されている刃物の側面の第１の研削面１１、第２の研削面１２、第３の研削面１３を横切るように照射しながら移動させる。そして上記刃物に対して側方において、光軸が水平な状態で配されたＣＣＤカメラ２２によって各研削面１１、１２、１３からの反射光を検出し、そのピークから反射面の数を、ピークの幅から各研削面の幅を、またピークが現れる角度から研削面の角度をそれぞれ検出する。またＣＣＤカメラ２２に取込まれた画像によって、各研削面の表面性状を観察する。 （もっと読む）

【課題】物体光について光路長を変えて何度も多数の干渉縞を撮影する必要なく、バンプの高さ測定や形状検査を、簡単かつ正確に行うことを可能とする。
【解決手段】２つの光源２１、２２からの互いに異なる波長の光を重ね合わせたビート光を、分割して、一方を参照ミラー２８で反射させて参照光とし、他方をバンプ２３に照射し反射させて物体とし、参照光と物体光を重畳し干渉させて生じる干渉縞をＣＣＤ３０で撮影して、干渉縞像からバンプの高さ測定又は形状検査を可能とし、ビート光の波長Λ／２は、測定すべきバンプ２３の設計仕様における高さより大きくなるように、２つの光源のそれぞれの波長λ１、λ２を設定する。 （もっと読む）

【課題】互いに平行に形成された２つの面の相対的な傾きを、該２つの面が不透明な部材の表裏両側に位置するような場合でも、１つの測定系により測定可能とする反射偏向素子、相対傾斜測定装置および非球面レンズ測定装置を得る。
【解決手段】干渉計３０からの測定光の一部を、反射偏向素子１０Ｂを介して第１被検面７１に対し垂直に照射するとともに、測定光の他の一部を、反射偏向素子１０Ｂを介さずに第２被検面７２に対し垂直に照射する。第１被検面７１から再帰反射され、反射偏向素子１０Ｂを介して干渉計３０に戻る測定光により形成される第１解析用画像と、第２被検面７１から再帰反射されて干渉計３０に戻る測定光により形成される第２解析用画像とに基づき、第１被検面７１および第２被検面７２の相対的な傾きが解析される。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の半導体チップ接合傾きを効率的かつ正確に測定する装置及び方法を提供すること。
【解決手段】基板に半導体チップを実装した半導体装置の接合部傾き測定装置であって、該半導体装置を測定のために搭載する検査ステージ部と、該半導体装置に可視光線を照射するための照明部と、該基板と該半導体チップの接合部を側面から撮像するためのカメラと、端面検出部と配置計測部とを含む画像計測部と、を含み、該端面検出部は該カメラにより撮像された入力画像から半導体チップ側面部分および該基板のレジスト面に反射された該半導体チップ側面部分の反射画像を画像処理にて検出し、該配置計測部は該端面検出部により検出された該半導体チップ側面部分及び該半導体チップ側面部分の反射画像をもとに該半導体チップ側面部分の下端部の該基板レジスト面に対する傾きを測定する。 （もっと読む）

【課題】向かい合う二面の平行度あるいは角度を秒オーダの精度にて非接触で、安価に、かつ簡易的に、かつリアルタイムに測定できる方法及びそれに用いる光学系を提供する。
【解決手段】光反射性とした第一被測定面５と、光反射性とした第二被測定面６に対し、ミラー８を第二被測定面に垂直に配置し、半透過部材１０を第二被測定面６及びミラー８のいずれに対しても４５度の角度になるように配置し、入射光ビーム２４が半透過部材１０を通過し、ミラー８で反射され、再び半透過部材１０を通過して入射方向へ戻る光の角度を測定し、入射光ビーム２４が半透過部材１０を通過し、ミラー８で反射され、半透過部材１０で第二被測定面６方向に向かい、第二被測定面６で反射され、半透過部材１０を通過し、第一被測定面５で反射され、そして半透過部材１０で反射されて入射方向へ戻る光の角度を測定し、得られた二つの角度から、被測定面５，６の角度差を測定する。 （もっと読む）

【課題】２つのミラーの間の直交度を迅速かつ高い精度で計測する。
【解決手段】第１ミラー５４１および第２ミラー５４０を有する物品における前記第１ミラー５４１の反射面と前記第２ミラー５４０の反射面との直交度を計測する計測方法に係り、前記計測方法は、前記第２ミラー５４０の反射面に対して直角にレーザ光ＬＢ１が入射するように前記レーザ光ＬＢ１の光軸を調整する調整ステップと、前記第１ミラー５４１の反射面に平行な方向に前記物品を既知の距離だけ移動させたときの、前記レーザ光ＬＢ１が入射するように前記第２ミラー５４０の反射面に配置されたコーナーキューブＣＣ１によって反射された前記レーザ光ＬＢ１の光軸の変位量を検出する検出ステップと、前記距離と前記変位量とに基づいて前記第１ミラー５４１の反射面と前記第２ミラー５４０の反射面との間の角度が直角からずれている量を計算する計算ステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】ユーザが定めた計測対象の高さ範囲に適した姿勢でキャリブレーションワークが設置されているかどうかを作業者が容易に判断できるようにする。
【解決手段】キャリブレーション処理の設定画面において、作業者は、高さ計測範囲の下限値および上限値を入力ボックス２０４，２０５に入力した後に、ボタン２０６〜２０８のいずれかによりキャリブレーションワークの姿勢を選択する。この後、作業者がキャリブレーションプレートを選択した姿勢になるように調整すると、正面視用のカメラにより生成された画像を用いた処理により、このカメラの光軸に直交する平面（基準平面）に対するキャリブレーションワークの表面の傾きを示す角度が算出される。さらに算出された角度に基づき、キャリブレーションワークの姿勢が上記の高さ計測範囲が適合しているか否かが判定され、その判定結果が設定画面上に表示される。 （もっと読む）

【課題】試験対象物の第１及び第２表面を干渉法によってプロファイルすることに加えて、第１基準面と第２基準面との間の空間的関係に基づき、試験対象物の幾何学的特性を測定する。
【解決手段】本発明は、試験対象物の幾何学的特性を測定するための方法を特徴とする。この方法は、第１基準面に対して、試験対象物の第１表面を干渉法によってプロファイルする工程と、第１基準面とは異なる第２基準面に対して、試験対象物の第２表面を干渉法によってプロファイルする工程と、第１基準面と第２基準面との間の空間的関係を提供する工程と、干渉法によってプロファイルした表面、並びに第１基準面と第２基準面との間の空間的関係に基づいて、試験対象物の幾何学的特性を計算する工程とを含む。ある実施形態では、この空間的関係は、校正済みのゲージ・ブロックを使用することによって、または変位測定干渉計を使用することによって測定することができる。対応するシステムも説明される。 （もっと読む）

【課題】向かい合う二面の平行度あるいは角度を秒オーダの精度で安価、かつ簡易に測定できる二面の平行度を測定する方法とそれに用いる反射部材を提供する。
【解決手段】反射部材としてのビームスプリッタ７１の第２面９を上部ミラー５に向け、第３面１１を下部ミラー６に向けて配置し、第１面８に入射光ビーム２４を入射し、該第１面８からの第１反射ビーム２５と、該上部ミラー５で反射し該第１面８を透過して戻ってくる第２反射ビーム２６との乖離度を測定する。次に、該第１面８を該下部ミラー６に接して配置し、該第２面９に垂直な方向から該入射光ビーム２４を入射し、該第２面９から反射される第３反射ビームと、該入射光ビーム２４が該第２面９を透過し、さらに該下部ミラー６で反射し該第２面９を透過して戻ってくる第４反射ビームとの乖離度を測定する。該二つの乖離度から、該上部ミラー５と該下部ミラー６との平行性を計算する。 （もっと読む）

【課題】大量の遺物を複数方向から同時計測し、欠損の少ない遺物単位の三次元表面モデルを取得する、レーザ計測装置を用いて被計測物を複数方向から同時計測するシステムを提供する。
【解決手段】ガラステーブル１１上に載置した複数の被計測物Ｒ１〜Ｒ４及び計測用マーカ１６に対し、上下方向からレーザを照射し上記複数の被計測物及び計測用マーカの三次元座標の計測データを取得する複数のレーザ計測装置１２〜１４と、モデリング生成部１５とからなる。モデリング生成部１５は、計測用マーカ１６に関する特徴線について位置合わせを行い、幾何変換行列を獲得した後で、各レーザ計測装置１２〜１４から得られた単位点群を幾何変換して統合データを取得し、ラベリング技術を用いて被計測物毎の統合データに分離してメモリに記憶する。 （もっと読む）

【課題】 微細化トレンドに従って焦点深度が極めて小さくなるに従って、フォーカス検出の高精度化がますます重要となっている。しかしながら要求精度に合致する検出範囲は狭小化の一途にあり、ウエハ表面を確実に検出範囲内に位置付けることが難しくなっており、露光不良の一因となっている。
【解決手段】 ウエハを保持する可動ステージと、面位置計測手段を持った面位置計測方法において、ウエハ表面の全体、又は一部のウエハ表面形状を計測する段階と、計測したウエハ表面形状を記憶する段階を持ち、記憶したウエハ表面形状に沿った軌道で可動ステージを動かしながら面位置の変化量を計測する手段と、軌道からの変化量を駆動する手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】アクティブステレオ法を用いて円柱形状を有する物体の段差間隔、半径、中心位置を高精度に計測する計測方法及びその計測装置を提供する。
【解決手段】円柱の段差面と側面に各々少なくとも３点のビームを投影し、同時に、別の段差面に少なくとも３点のビームを投影し、ポイントビームの全てが写るように異なる方向から第１の画像および第２の画像を撮像し、前記第１および第２の画像からステレオ法に基づき全てのビームの座標を算出し、算出された座標のうち、一方の段差面上の３点のビームの座標から、段差面の平面の式を算出し、他方の段差面上の１点のビームと前記算出した平面との距離を算出することにより段差間距離を求め、算出された座標のうち、側面上の３点のビームの座標を、前記算出した平面に投影し、投影された３点を通る円の式に基づいて、円柱の半径および中心を算出する。 （もっと読む）

【課題】エアギャップ画像と透明部材画像との間のコントラストを改善して、エアギャップを高精度で測定できるエアギャップ測定装置を提供する。
【解決手段】エアギャップ測定装置は、測定対象物ＯＢＪが、対向配置された一対の透明部材の間のエアギャップであって、前記一対の透明部材を前記エアギャップの厚さ方向に交差する方向から拡散光で照明するための面発光光源１０と、面発光光源１０と透明部材との間に設けられ、開口形状が可変である絞り部材２０と、透明部材およびエアギャップの透過画像を撮像するための撮像ユニット３０などで構成され、さらに撮像ユニット３０を光軸方向に位置決めするためのＺステージ４０を備え、撮像ユニット３０を光軸方向にスキャンして得られた複数の画像を合成する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表裏面の三次元測定を高精度かつ高速に行う。
【解決手段】レンズ２０と基準球２０Ａ，２０Ｂと基準平面３０の三次元形状を表面側及び裏面側のいずれ側からでも表裏両面において測定可能な被測定物形状測定治具１０を用いて、基準球２０Ａ，２０Ｂの中心点座標と、基準平面３０の平面の傾きと、レンズ２０のＲ１面及びＲ２面のそれぞれの頂点座標Ｐｒ１，Ｐｒ２及び光軸Ｌ１，Ｌ２の方向を得て、Ｒ２面側測定データをＹ軸回りに１８０°回転させ、Ｒ１面側及びＲ２面側測定データを、例えば基準球２０Ａの中心点座標Ｏ１が一致するように平行移動させ、Ｒ１面に対するＲ２面の偏心ｄ及び傾きθを求める。 （もっと読む）