【課題】溶接ワークの開先角が９０°以下で様々な角度をとる場合に、溶接対象部における反射スリット光を特定領域に集めるようにカメラ及び投光器を配置することで、本来のスリット光を容易に検出して、安定的に溶接ワークの開先形状を計測する。
【解決手段】溶接ワークＷの開先Ｋにある溶接線Ｌに対して直交するように投光器２からスリット光Ｓを照射し、スリット光Ｓが照射された溶接ワークＷの開先Ｋをカメラ３で撮像する場合に、投光器２とカメラ３とを、溶接ワークＷの開先Ｋがなす開先角θの２等分線Ｒと溶接線Ｌとを含む平面Ｈ上で、且つ撮像画像Ｇ中においてスリット光Ｓが反射スリット光Ｓ’よりも投光器２の照射方向の基側に存在するように配置して、撮像画像Ｇを投光器２の照射方向の基側から探索してスリット光Ｓを抽出することにより、溶接ワークＷの開先Ｋの形状を計測する。 （もっと読む）

【解決手段】 物品の表面に平行に所定間隔で形成されたライン２Ａを撮影して、該ライン２Ａの欠け２Ｂを検査する物品検査方法に関する。
カメラ５が撮影した検査画像Ｇからライン２Ａを示すライン領域Ａを抽出したら、上記ライン領域Ａの外郭となる輪郭線をその形状を保ったまま所定の方向に移動させて、隣接するライン領域Ａとの隙間がなくなるように該ライン領域Ａを拡張させる。
そして上記検査画像Ｇに、拡張させたライン領域Ａに該当しない空白領域Ｂが存在する場合、ライン２Ａに欠け２Ｂが存在すると判定する。
【効果】 物品の表面に平行に所定間隔で形成されたライン２Ａの欠け２Ｂを検査する場合に、モデルデータと撮影した検査画像Ｇとの位置合せを不要とすることができる。 （もっと読む）

【課題】光学画像のパターンと基準画像のパターンとの位置合わせを高い精度で行いつつ、且つ、高速で欠陥検出のできる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】画像センサから試料の光学画像を取得する工程と、光学画像および判定の基準となる基準画像のいずれか一方について、そのＸ方向とＹ方向の移動量をそれぞれα（０≦α＜１）とβ（０≦β＜１）として、αおよびβと光学画像と基準画像の差分の２乗和との関係を表す方程式を求める工程と、この方程式から得られる差分の２乗和が最小となる（α，β）の組から、位置合わせに最適な移動量を求める工程とを有する。この方程式についてαおよびβの偏微分を解くことにより、位置合わせに最適な移動量を求めてもよい。 （もっと読む）

【課題】フォトインターラプターを、アームやギアなどといった可動部材の位置検出に応用する場合、位置検出の対象である可動部材に取り付けられる遮光板と、フォトインターラプターとのクリアランスを厳密に調整しないと、遮光不良が生じたり、遮光板とフォトインターラプターとが接触したりして、部材の位置を正確に検出することができないため、装置の組み立てや調整のためのコストが上昇するという課題があった。
【解決手段】フォトインターラプター６６６用の遮光板６６３１に、遮光部材６６３２を取り付けることによって、フォトインターラプター６６６における遮光不良を防止する。 （もっと読む）

【課題】タイヤの一周分の厚みを、短時間で正確に計測することができるタイヤの形状測定方法および形状測定装置を提供する。
【解決手段】タイヤ外面および内面の画像データからタイヤの外面形状データおよび内面形状データを検出する外面および内面形状測定工程と、外面および内面形状データ中のタイヤ周方向に沿う一周分の凹凸をフーリエ変換してそれぞれの一次の波形成分を取り出す外面および内面一次成分抽出工程と、双方の波形成分のタイヤ周方向位置を合わせてそのタイヤ周方向位置を調整する周方向位置調整工程と、第一および第二のカメラの配置角度と位置情報とから外面形状データと内面形状データとのタイヤ半径方向断面内位置を調整する断面内位置調整工程と、調整されたタイヤ周方向位置およびタイヤ半径方向断面内位置に基づき、外面形状データと内面形状データとを合成する形状データ合成工程とを含むタイヤの形状測定方法である。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクのパターン寸法をパターン形状が次世代フォトマスクのように複雑な形状であっても精度良く測定することのできるパターン寸法測定方法を提供する。
【解決手段】フォトマスクのパターンを撮像してパターン寸法を測定する際に、パターン画像の画素数をパターン寸法に変換するパターン寸法変換式をテストパターンの寸法計測値とテストパターン画像の画素数とから求めておき、パターン画像の画素数をパターン寸法変換式によりパターン寸法に変換してフォトマスクのパターン寸法を測定する。 （もっと読む）

【課題】
被写体の三次元計測時に用いる投影パターンをより高い密度で投影できるようにした技術を提供する。
【解決手段】
情報処理装置は、複数の計測線パターンと、当該複数の計測線パターンに対して複数の交点を有するとともに交点間の形状が特徴付けられる基準線パターンとを含むパターンデータを生成し、当該生成されたパターンデータに基づく投影パターン光が投影された被写体を撮像した撮像画像を入力し、当該撮像画像から交点を抽出し、撮像画像における基準線パターン上の交点間に特徴付けられた形状の一次元的又は二次元的な配置を示す情報を同定情報として取得し、当該同定情報に基づいてパターンデータにおける基準線パターンと撮像画像における基準線パターンとを対応付け、当該対応付け結果に基づいてパターンデータにおける計測線パターンと撮像画像における計測線パターンとを対応付ける。 （もっと読む）

【課題】高精度な光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】本発明のエンコーダは、移動可能な格子スケールと、前記格子スケールに照射した光束の反射光または透過光を光電変換して、互いに位相差が異なるＮ相（Ｎは６以上の整数）の周期信号を生成する複数の受光素子と、前記受光素子で生成された各相の前記周期信号に対してＭ組（Ｍは２以上の整数）の係数群を乗算し、該係数群を乗算して得られた値の総和からＭ相の正弦波状周期信号を生成する増幅器とを有する。 （もっと読む）

【課題】エッジ検出動作（装置の稼動）を中断することなく、貼り合わせウエハの製造プロセス全体にわたって必要とされるエッジ検出精度を確保することが可能なウエハアライメント装置を提供する。
【解決手段】このウエハアライメント装置１００は、シリコンウエハ１１１とウエハ支持ガラス基板１１２とを含む貼り合わせウエハ１１０のエッジを検出するとともに、開始端２１ａが貼り合わせウエハ１１０の中心側に設定されたラインセンサ２１と、ラインセンサ２１に対向する光源２２と、貼り合わせウエハ１１０のエッジの検出時に、ラインセンサ２１を貼り合わせウエハ１１０の中心側からエッジ側に向かって走査するとともに、所定の場合に、シリコンウエハ１１１のエッジ検出と、ウエハ支持ガラス基板１１２のエッジ検出とを切り替えるように制御するコントローラ４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 距離画像の計測値の欠損に起因した精度低下を軽減することが可能な位置姿勢の計測技術を提供すること。
【解決手段】 対象物体の位置姿勢を計測する位置姿勢計測装置は、対象物体の距離画像上の画素に対して距離が最小となる形状モデル上の点が、第１の探索部により得られた欠損モデル領域内に存在するか否かを判定する判定部と、形状モデル上の点が欠損モデル領域内に存在すると判定された場合に、第２の探索部により得られた、距離が最小となる距離画像上の画素と形状モデル上の点との組み合わせに補正を施す補正部と、補正が施された、距離画像上の画素と形状モデル上の点との組み合わせにおいて、距離画像上の画素と形状モデル上の点との間の距離の総和を最小にする形状モデルの位置及び姿勢を、対象物体の位置及び姿勢の計測値として算出する算出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】距離画像から対象物体の位置姿勢を算出する位置姿勢算出の精度低下を防ぎながら処理速度を維持向上させる。
【解決手段】対象物体までの距離画像を取得する取得部と、距離画像から対象物体の概略位置姿勢を決定する概略位置姿勢決定部と、形状モデル上の所定領域に対応する、距離画像における領域の距離情報のばらつきの程度を示すばらつき値を算出する算出部と、ばらつき値が小さい程、サンプル点の数が少なくなるように、形状モデル上の所定領域ごとに当該所定領域からサンプル点をサンプリングするサンプリング部と、概略位置姿勢からサンプル点と距離画像上の２次元計測点を３次元座標に変換した３次元計測点とを対応付ける対応付け部と、各サンプル点と各３次元計測点との間の距離の総和が最小になるように対象物体の位置姿勢を決定する位置姿勢決定部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の欠け等の検査に際し、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置は、錠剤に光を照射する照明装置と、その反射光を撮像するカメラと、カメラから出力される画像信号を処理する画像処理装置とを備えている。画像処理装置は、所定の三次元計測法により錠剤の三次元データを取得し、それに基づき、錠剤の複数の断面部の輪郭を抽出し、各断面部の輪郭上の所定点における接線が当該断面部の輪郭上に他の接点を有するか否かを判定し、所定点における接線が他に接点を有する場合に、当該接線と輪郭により囲まれた領域を欠け領域として認識し、当該欠け領域の連結成分である欠け空間の大きさを認識し、欠け空間の大きさが許容範囲内か否かを判定することで良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】検査対象の大きさに関わらず、非破壊でビードののど厚を算出可能なビード検査方法及びビード検査装置を提供する。
【解決手段】ビードＢの品質を検査するビード検査工程Ｓ１及びビード検査装置１であって、ビード検査装置１は、ろう付けワイヤＷの供給速度を計測するワイヤ供給速度計測装置１１と、第一母材Ｍ１、第二母材Ｍ２、及びビードＢの表面の位置座標データを計測し、解析する解析部１２とを具備し、ろう付け前に第一形状データを計測する第一形状データ計測工程Ｓ１０を行い、ろう付け後に第二形状データを計測する第二形状データ計測工程Ｓ３０を行い、第一形状データ、第二形状データ、及びろう付けワイヤＷの供給速度に基づいて、特徴量の予測値を算出する特徴量算出工程Ｓ４０を行い、特徴量の実測値と、のど厚の実測値とに基づいて作成される回帰式によってのど厚の予測値を算出するのど厚算出工程Ｓ５０を行う。 （もっと読む）

【課題】計測対象物の平面部と凹部とを正確に分離可能な表面計測装置を実現する。
【解決手段】計測点読取処理１１０が読み取った計測点データは範囲外点排除処理１１１で範囲外データが排除される。最頻点抽出処理１１２は抽出した計測点データから最小二乗法で直線を作成し計測点と直線との差を作成する。ヒストグラムを作成し第１の閾値と平均値を算出し閾値と平均値とが同一とみなせるかどうかを判定する。同一ではない場合、閾値以下の計測データを排除し、直線近似から再処理を行い、閾値と平均値とを再度算出する。算出した閾値と平均値とが同一とみなせるまで処理を繰り返し実行する。 （もっと読む）

光学測定装置は、固定された主軸台（５７）が取り付けられた基準支持体（４０）、ならびに、固定された主軸台に対向し、および測定される部品を主軸台（５７）と心押し台（６０）との間で維持するために主軸台（５７）に近づいてくる、またはそこから離れて移動するための線形軸（ｘ）に沿って移動可能である、移動可能な心押し台（６０）、ならびに線形軸（ｘ）に沿って移動可能な可動式往復台（１００）を含むものであって、往復台は、コリメート光束が測定中の部品によって遮られるようにｘ軸を横切って方向付けるための光源（１１０）を担持し、往復台は、光源（１１０）に配列され、および測定中の部品によって遮られなかったコリメート光束の残留光を受けるように配置されている光学検出器（１２０）を、さらに担持する。測定装置は、光学往復台（１００）および心押し台（６０）が摺動可能に係合されている基準支持体（４０）上に固定されている直線状ガイド（４７）を有するのに対し、主軸台（５７）は、基準表面上に固定され、少なくとも一部が前記直線状ガイド（４７）上に懸下している主軸台担持部（５０）上に設置されている。
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【課題】 測定物の位置に関わらず、正しい演算結果が得られるように校正する作業を簡略化することができる測定システムを提供する。
【解決手段】 センサ出力から測定値ｙ２を求める子機コントローラ３０と、センサ出力から測定値ｙ１を求める親機コントローラ２０により構成される。親機コントローラ２０は、測定値ｙ１及びｙ２から測定物の厚さを示す演算値ｚを求め、第１及び第２校正用測定物の既知の厚さとして、第１及び第２目標値を記憶し、第１校正用測定物から得られた測定値ｙ２を記憶する。そして、第１校正用測定物を測定軸方向に移動させて得られた測定値ｙ２と測定値記憶部２４ａ内の測定値ｙ２との間の変化量に基づいて、測定値ｙ１の校正を実行する。また、第１校正用測定物から算出された第１演算値を記憶し、第１及び第２目標値と第１演算値と第２校正用測定物から算出された第２演算値とに基づいて、演算値ｚの校正を実行する。 （もっと読む）

【課題】撮像面と撮像対象との位置関係を測定または判定する。
【解決手段】データ表示／センサ装置１００は、入力表示画面およびバックライトを有する表示／光センサ部と、入力表示画面に照明光を照射する外部照明部とを備えている。表示／光センサ部は、バックライトからの照明光が撮像対象に反射することによって生じる反射像を含む反射光画像と、外部照明部からの照明光によって生じる撮像対象の影の像を含む影画像とを撮像する。また、データ表示／センサ装置１００は、撮像対象から入力表示画面に下ろした垂線の足の位置である反射像位置を反射光画像から算出する反射像位置算出部７０５と、入力表示画面における上記影の位置を影画像から算出する影像位置算出部７０６と、反射像位置と影の位置とのずれに基づいて撮像対象の入力表示画面からの距離を算出する距離算出部８０２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】数十μｍから百数十μｍ程度の孔径の孔においても正確な検査が実施できる検査方法を提供する。
【解決手段】検査方法は、孔基板に形成された孔の状態を検査する検査方法であって、孔基板における第一の面の方向から撮影した孔の孔画像を取得する画像取得工程と、孔画像から孔の状態を判定する状態判定工程と、を有し、状態判定工程は、孔画像における孔基板の第一の面と反対側の第二の面から孔の壁面にかけて形成された膜の端面の部分の端面画像から、端面の位置である膜端位置を取得する膜端位置取得工程と、膜端位置によって膜の第二の面からの入り込み量を判定する入り込み量判定工程と、を有す。 （もっと読む）

【課題】測定点群と基準点群との合同変換が適正に行われるとともに、基準点群と測定点群とのずれから欠陥を検出する際に型修正に起因する欠陥誤検出が低減される物体形状評価装置を提供する。
【解決手段】物体形状評価装置は、金型を用いて製作された測定対象物の測定点と基準点との間の距離を逐次収束させることで測定点と基準点とを位置合わせする位置合わせ処理手段５０と、位置合わせ処理後の基準点と適正に対応せず互いに隣接する複数の測定点からなる誤対応測定点群を欠陥と判定する欠陥評価手段６とを備えている。欠陥評価手段６には、前回での欠陥位置を含む欠陥情報に基づいて当該欠陥を型修正箇所とみなす型修正評価部６３と、これによって評価された型修正箇所に関する型修正箇所情報が型修正箇所情報格納部８３に登録される。 （もっと読む）