一実施形態は、データ入力デバイスとある表面（304）との間の相対的な動作を、該表面での連続するフレーム内における光学的な特徴の変位を判定することによって感知するための光学変位センサに関する。前記センサは、少なくとも検出器、第１の回路構成、及び第２の回路構成を含む。前記検出器は、第１及び第２のアレイ（例えば1502及び1504）に編成された複数の感光素子を含む。前記第１の回路構成は、前記第１のアレイのＭ番目毎の素子からの信号を組み合わせて、Ｍグループ信号を生成するよう構成され、前記第２の回路構成は、前記第２のアレイのＭ’番目毎の素子からの信号を組み合わせて、Ｍ’グループ信号を生成するよう構成される。前記ＭとＭ’とは、互いに異なる数である。他の実施形態もまた開示した。
（もっと読む）

【課題】マイクロカンチレバーの変位（撓みなど）及び／又は移動を検出することによって測定が実施される例えばマイクロカンチレバーに基づく測定システムでの使用に適する機械的要素の変位の検出のためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】本発明は、光ビーム（４）をアレイ（２）に向けて放出することにより、かつ反射光ビームを光位置検出器上で受光することにより、アレイ（２）の一部を形成するマイクロカンチレバーのような複数の要素（１）の撓みのような変位を検出し、それによって光ビームの入射位置が対応する要素の変位によって判断されるシステム及び方法に関する。システムは、光ビームが個々の要素（１）によってアレイ（２）に沿って順番に反射されるように、光ビーム（４）をアレイ（２）に沿って変位させるための走査手段（７）と、光ビームが要素によって反射された時を検出するための反射検出手段（１１）とを更に含む。システムは、光ビームが要素によって反射されたことを反射検出手段（１１）が検出した時に、検出器上の光の対応する入射位置が要素の変位の指示として取られるように配置される。 （もっと読む）

本発明は、別個の光路内に設けられた２つの音響光学変調器、アナログ信号を形成する受光器、及び、該受光器の後ろ側に接続された、アナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器を有しており、一方の変調周波数ｆ_１の一方の音響光学変調器と、他方の変調周波数ｆ_２の他方の音響光学変調器が制御され、一方の変調周波数ｆ_１及び他方の変調周波数ｆ_２の差は、ヘテロダイン周波数ｆ_Ｈｅｔを形成し、Ａ／Ｄ変換器で、アナログ信号からデジタル信号にサンプリング周波数ｆ_ａで変換されるヘテロダインインターフェロメータの制御方法に関する。
そのようなヘテロダインインターフェロメータで、変調周波数ｆ_１，ｆ_２及びサンプリング周波数ｆ_ａからなる各周波数の少なくとも２つを、共通の発振器の基本周波数ｆ_{Ｑｕａｒｚ}から形成することによって、各変調周波数の固定比が保持され、この各変調周波数の固定比が、経年変化及びドリフトによって相互にシフトしないようにすることができる。
更に、こうすることによって、サンプリング周波数ｆ_ａが、ヘテロダイン周波数ｆ_Ｈｅｔの各変調周波数ｆ_１，ｆ_２の差周波数に対して固定の位相比となるようにされる。サンプリングは、一定位相でドリフト及び経年変化とは無関係に行われるので、測定精度が高められる。
（もっと読む）

パラメータの自由度が小さいモデルＭ’のＡＩＣ（Ｍ’）と、パラメータの自由度が大きいモデルＭのＡＩＣ（Ｍ）との小さい方をＥＧＡのモデルとして選択する（ステップ５０２）。モデルＭが選択され、その残差が所定値以上である場合には、モデルＭよりもパラメータ自由度が大きいすべての係数がパラメータであるモデルが選択される。有効サンプル数が、このモデルでのパラメータ自由度よりも小さい場合には、有効サンプル数を増やし、さらにサンプルショットを追加計測する。今回選択されたモデルの係数を、次回のウエハアライメントの際の事前知識に反映する（ステップ５２４）とともに、今回のモデルのパラメータの自由度に応じて、有効サンプル数を増減させる（ステップ５０８又はステップ５１８）。 （もっと読む）

【課題】 電子部品のパッケージの撮影画像に含まれるむらや捺印文字等の影響を受けず、真の欠陥のみを確実に判別できる、電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体を提供する。
【解決手段】 撮像手段１０３と、撮影した画像を複数の単位領域に分割して、各単位領域毎に、撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求める手段１０６と、各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域における二値化レベルを求める手段１０７と、撮影した画像の各座標における二値化レベルを、各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算により求める手段１０８と、撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、求めた二値化レベルとを比較して、欠陥の存在を判定する二値化手段１０７とを具備する。 （もっと読む）

高周波成分をＳ₁＝ｃｏｓ（ω・ｔ）と理想化できる変調された周期的波形を有する光エネルギーを放射してターゲットを照射することにより、距離及び／または輝度を測る、好ましくはＣＭＯＳで実施可能な方法とシステム。放射された光エネルギーの一部分は、ターゲットにより反射され、複数の半導体光検出器のうち少なくとも一つにより検出される。光検出器の量子効率は、検出した信号を処理してターゲットと光検出器を隔てる距離ｚに比例するデータを作り出すために変調されている。検出は、放射された光エネルギーと反射された光エネルギーの一部分の間の位相変化の測定することを含む。量子効率は固定位相法または可変位相法により変調でき、高められた光電荷収集、差動変調、空間的マルチプレクシング及び時間的マルチプレクシングを用いて高めることができる。光検出器の容量と動作周波数において共振するインダクターを使って、本システムの必要電力条件を削減することもできる。本システムはチップ上の光検出器、関連エレクトロニクス、処理を含む。 （もっと読む）