【課題】改善されたリソグラフィ装置及び方法を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、基板の目標部分にパターンを生成するよう構成されている光学コラムであって、ビームを与えるよう構成されている制御可能素子９０６と、目標部分にビームを投影するよう構成されている投影系と、を備える光学コラムと、基板に対して光学コラムの少なくとも一部９２４、９３０を移動させるよう構成されているアクチュエータ９３６と、光学コラムの少なくとも一部の位置を測定するよう構成されている測定システム９３８、９４０と、制御可能素子を駆動するよう構成されているコントローラ９４２と、を備え、コントローラに測定システムの出力信号が与えられる。 （もっと読む）

【課題】作業スペースと設備投資との問題を解決し、外観検査の自動化を行うことが可能な検査システム及びその方法を提供する。
【解決手段】本発明の検査システムは、固定されておらず、不確定な位置で検査対象の外観を撮像し撮像画像とする撮像装置と、予め検査対象を撮像した参照画像を記憶する記憶部と、撮像装置の撮像座標上の撮像画像を、参照画像を撮像した際の参照撮像座標上に座標変換し、変換した結果を比較画像として出力する画像処理部と、参照画像と比較画像とを比較するマッチング処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】工事進捗に応じた構造物のたわみ量を算定することができる光ファイバセンサを備えた構造物のたわみ量の算定方法および装置を提供する。
【解決手段】構造物の上側のひずみと下側のひずみとを光ファイバセンサで計測し、光ファイバセンサで計測した上側のひずみと下側ひずみとの差を構造物の上下方向の高さで除算してたわみ量を規定するたわみ曲率を求め、たわみ曲率を構造物の水平方向に関して２回積分して任意の積分定数を含む数式からなる基本たわみ量を求め、基本たわみ量に対して構造物の所定の工事進捗における境界条件を適用して積分定数の値を決定し、決定した積分定数の値が代入された基本たわみ量に基づいて構造物の所定の工事進捗におけるたわみ量を算定するようにする。 （もっと読む）

【課題】 原料ヤードにおける原料山の状態を従来よりも高精度に計測できるようにする。
【解決手段】 ブーム１０６ａに取り付けられた２Ｄレーザ距離計１０１ａ、１０１ｂから原料山１００にレーザ光を照射し、原料山１００からの反射光を受光し、受光した反射光と、そのときのレーザ光の照射方向とから求められる原料山１００の表面の座標を、ＩＭＵ１０３及びＧＰＳコンパス１０４で測定されるブーム１０６ａの姿勢に基づいて変更し、変更した原料山１００の表面の座標に基づいて、原料山１００の３次元形状と、原料山１００の体積とを計算し表示する。 （もっと読む）

【課題】
コンクリート軌道表面の凹凸に影響され難くかつ段差等の軌道の急峻な位置変化に対して対応可能でかつ検測車両の走行状態で高低狂い、通り狂い等の測定を行うことができるコンクリート製軌道の軌道狂い測定方法および測定装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、検測車両の走行状態におけるコンクリート製軌道の軌道狂い測定において、距離検出器から得られるデジタル値の測定信号の測定値に対してコンクリート表面の凹凸を除去する幅を設定したメディアンフィルタ処理を行い、メディアンフィルタ処理により得られた測定値に基づいてモノレールの軌道狂い量の算出を行うものである。 （もっと読む）

【課題】坏被測定物の製造ライン中に組み込んで使用することが可能である表面粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物１０を載置する載置板５と、載置板５に被測定物１０を載置したときの被測定物１０の中心軸を中心にして被測定物１０の周囲を回転する回転運動、及び被測定物１０の中心軸方向に移動する直線運動の両方の動きをすることができるとともに、回転運動と直線運動とを合わせた動きをすることができる、被測定物１０の表面粗さを測定するレーザー変位計４とを備え、レーザー変位計４で被測定物１０の表面粗さを測定するときに、レーザー変位計４のスキャンスピードＶ（ｍ／秒）と、レーザー変位計のサンプリング間隔Ｘ（秒）との関係が、下記式（１）を満たす関係となる表面粗さ測定装置。
Ｖ×Ｘ≦４×１０^−６（ｍ）・・・（１） （もっと読む）

【課題】被測定物の見かけの形状をできるだけ歪ませることなく形状計測できると共に、長い物や連続的に移動する物であっても形状計測できる高速三次元計測装置を提供する。
【解決手段】高速三次元計測装置は、被測定物の上に、一つの方向に沿って光強度が周期的に変化する縞状パターン光を照射するパターン光源と、前記被測定物からの前記縞状パターン光の反射光を前記一つの方向に沿ったラインについて一組の光信号として取り込むラインカメラと、取り込んだ一組の前記光信号について、前記縞状パターン光との関係に基づいて前記被測定物の高さを算出する計測部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、フォトマスクの特性を検出することができるフォトマスクの特性検出装置およびフォトマスクの特性検出方法を提供する。
【解決手段】被検出体に形成されたパターンの光学像に基づいて検出データを作成する検出データ作成部と、前記パターンに関する参照データを作成する参照データ作成部と、特性の検出対象となるパターンに対応する参照パターンと、前記参照パターンの位置情報と、を前記参照データから抽出する抽出部と、前記参照パターンに基づいて特性を検出する領域を設定するとともに、前記位置情報に基づいて前記検出データから前記特性の検出対象となるパターンを抽出する第１の領域設定部と、前記特性を検出する領域における前記特性の検出対象となるパターンの特性を受光面上に結像された光学像を光電変換することで検出する検出部と、前記検出された特性を集計する集計部と、を備えたことを特徴とするフォトマスクの特性検出装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】光学定位装置の設置が簡単で、使用が容易となる光学定位装置及びその定位方法の提供。
【解決手段】光学定位装置は、被測定装置６の空間中における第一軸方向、第二軸方向、第三軸方向の座標位置を定位し、メインフレーム２、校正装置４を備え、メインフレーム２上には第一、第二光学感知ユニット８、１０、処理ユニット１４を設置し、光学定位方法は、第一、第二光学感知ユニット８、１０は第一距離を隔て、第一、第二光学感知ユニット８、１０は、校正装置４をそれぞれ感知し、処理ユニット１４は、校正ステップを執行し、第一、第二光学感知ユニット８、１０は、被測定装置６をそれぞれ感知し、処理ユニット１４は定位ステップを執行し、これにより、光学定位装置は、固定距離を隔てる第一、第二光学感知ユニット８、１０を使用し、校正装置４を経て校正後、視差原理を使用して、被測定装置６の座標を計算し、被測定装置６を定位する。 （もっと読む）

【課題】高次局所自己相関特徴を用いて異常の有無と共にその位置を高い精度で検出できる高速かつ汎用的な異常領域検出装置を提供すること。
【解決手段】異常領域検出装置は、画像データから画素毎に高次局所自己相関によって特徴データを抽出する手段、画素毎に、その画素を含む所定の範囲の画素群について特徴データを加算する手段、正常領域を示す部分空間に対する特徴データの異常さを示す指標を計算する手段、指標に基づき異常判定する手段、異常と判定した画素位置を出力する手段とを備える。変位幅の異なる複数の高次局所自己相関特徴データを抽出してもよい。更に、特徴データから主成分分析手法により主成分ベクトルに基づく正常領域を示す部分空間を求める手段を備えていてもよい。画素対応に異常判定が可能であり、異常領域の位置を正確に検出可能である。 （もっと読む）

【課題】基板上に成膜された薄膜の厚さを精度良く測定可能な膜厚測定装置及び膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板２上に成膜されて且つレーザ加工装置１から照射される加工用レーザによってスクライブ溝Ｇｖが形成される薄膜の厚さを測定する膜厚測定装置６であって、レーザ加工装置１から薄膜に照射された加工用レーザのガラス基板２平面内における照射位置が格納された照射位置情報に基づいて、検査対象薄膜３ａに形成されたスクライブ溝Ｇｖの位置を特定する。そして、特定した位置に形成されているスクライブ溝Ｇｖの深さを測定し、その測定値に基づいて検査対象薄膜３ａの厚さを取得する。 （もっと読む）

【課題】実際の道路形状を的確に検出することが可能な道路形状認識装置を提供する。
【解決手段】道路形状認識装置１は、自車両が走行する道路面について実空間上の距離Ｚと高さＹの情報を有する距離データＤを互いに異なる複数の地点で検出する距離高さ検出手段６と、複数の距離データＤを自車両に近い側の群Ｇ_１と遠い側の群Ｇ_２とに分割し、群Ｇ_１、Ｇ_２の境界ＤＬ部分の距離データＤを一方の群から他方の群に移し替えるごとに距離データＤの近似直線Ｌ_１、Ｌ_２を算出する近似直線算出手段１０と、距離データＤを移し替えた群Ｇ_１、Ｇ_２ごとにそれぞれの近似直線Ｌ_１、Ｌ_２に基づく統計値をそれぞれ算出する統計値算出手段１１と、統計値に基づいて近似直線Ｌ_１、Ｌ_２の組み合わせの中から１つを選択し、選択した近似直線Ｌ_１、Ｌ_２の組み合わせを用いて道路形状モデルを生成する道路形状モデル生成手段１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】刃先位置を正確に検出することができる刃先位置検出方法を提供すること。
【解決手段】カメラで撮像した画面の中に工具刃先を位置させた状態で、当該画面内で所定の走査方向に所定間隔で第１のサンプリング走査を行い、当該走査の際に明度変化点に基づいて前記工具刃先の上側稜線上の点および下側稜線上の点を認識する工程と、前記認識された２本の稜線上の点をそれぞれ関連付けて２本の一次近似直線を最小自乗法によって求める工程と、前記２本の一次近似直線の各々についてそれと垂直な方向に所定間隔で第２のサンプリング走査を行い、当該走査の際に明度変化点に基づいて前記工具刃先の上側稜線上の点および下側稜線上の点を改めて認識する工程と、前記改めて認識された２本の稜線上の点をそれぞれ関連付けて２本の二次近似直線を最小自乗法によって求める工程と、前記二次近似直接の交点を刃先として工具刃先位置座標を得る工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 膜状の測定対象物の膜厚の時間変化を精度良く測定することが可能な膜厚測定装置、及び膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】 第１波長λ_１の測定光成分、及び第２波長λ_２の測定光成分を含む測定光を測定対象物１５へと供給する測定光源２８と、測定対象物１５の上面からの反射光及び下面からの反射光の干渉光について、第１波長λ_１の干渉光成分、及び第２波長λ_２の干渉光成分に分解する分光光学系３０と、第１、第２干渉光成分のそれぞれの各時点での強度を検出する光検出器３１、３２と、膜厚解析部４０とを有して膜厚測定装置１Ａを構成する。膜厚解析部４０は、第１干渉光成分の検出強度の時間変化での第１位相と、第２干渉光成分の検出強度の時間変化での第２位相との位相差に基づいて、測定対象物１５の膜厚の時間変化を求める。 （もっと読む）

【課題】回転体の回転に伴って生じる都合５軸方向の運動誤差を高精度で測定することのできる５自由度誤差測定装置を提供する。
【解決手段】回転体２の外周面に回転体２の回転軸の方向に一定の間隔を置いて設けられた複数の周溝から形成された回折格子面３を設け、回転体２の径方向に相当するセンサ座標系第１軸と回転体２の軸方向に相当するセンサ座標系第２軸に沿った回折格子面の相対移動変位を検出する２軸干渉センサユニットＳ１，Ｓ２，Ｓ３を回転体２の外周面から径方向外側に間隙をおき、かつ、相互に重合しないようにして回転体２の周方向の相異なる少なくとも３つの位置に固定配備し、３つの２軸干渉センサユニットＳ１，Ｓ２，Ｓ３のセンサ座標系第１軸の干渉信号とセンサ座標系第２軸の干渉信号に基いて都合５軸方向の運動誤差Δｘ，Δｙ，Δｚ，Δｕ，Δｖを同時に求める。 （もっと読む）

【課題】被検体の回転に伴う回転中心線の位置変動を高精度に測定することが可能な回転中心線の位置変動測定方法および装置を得る。
【解決手段】位置指標３２を有する測定用治具３を被検体５と一体的に回転し得るように設置し、被検体５が回転する過程の複数の時点において、顕微鏡１により形成される位置指標３２の拡大像を撮像カメラ１７によりそれぞれ撮像する。撮像された各々の拡大像の移動軌跡を求め、求められた移動軌跡に基づき、被検体５の回転中心線Ａの位置変動量を算定する。 （もっと読む）

【課題】計測装置において、計測対象物の変位計測または二次元画像の撮像について、より高度な計測を実現する。
【解決手段】コントローラ２００では、センサヘッド１００の変位計測部に、計測対象物５００の高さの計測のためのフォトダイオード２の受光信号を出力させ、これに基づき、計測対象物５００の表面の高さを計測する。次に、コントローラ２００では、計測対象物５００の高さに基づいて、画像取得タイミングを決定する。具体的には、テーブルから、算出された計測対象物５００の高さＴに対応するピント調整値Ｐが取得され、そして、当該ピント調整値Ｐを実現するタイミングで画像取得信号を撮像素子９に送信する。これにより取得された画像より、計測対象物５００の高さに基づいて、計測対象物５００上の２点間の長さを演算する。 （もっと読む）

本願発明は、１つのマイクロキャビティ測定法、および微小焦点距離コリメーションに基づく２種類の検出装置を含み、不規則なマイクロキャビティ、特に"サブマクロ"なマイクロキャビティの測定に使用することができる。本願発明においては、微小焦点距離を有する円筒レンズまたは球面レンズがファイバプローブと組み合わされて点光源の平行光結像光学システムを形成し、ファイバプローブの２次元または３次元の動きを超高感度で像の変化に変換する。本願発明は、微小測定力、高アスペクト比、および小型化の容易さ等の利点のみならず、高検出分解能、検出システムの単純な構造、および高速測定といった利点も有する。 （もっと読む）

【課題】搬送する物品の載置状態や搬送速度が一定でない場合でもそれに影響されることなく、搬送中の物品の寸法を正しく測定することができる寸法測定装置を提供する。
【解決手段】物品を搬送する搬送装置を備えた寸法測定装置であって、前記搬送装置の搬送方向に沿って所定間隔をおいて配置され、該搬送装置で搬送される物品を検出する複数個の物品検出センサと、前記搬送中の物品の所定位置の両側端部を検出する側端部検出センサと、前記側端部検出センサの一定時間間隔で検出した信号について、一つの物品検出センサが物品を検出してから次の物品検出センサが前記物品を検出するまでの信号を前記の物品検出センサ間の距離に応じた位置に記憶し、少なくとも物品の側端部を前記側端部検出センサが検出しなくなるまで記憶するメモリと、前記メモリのデータから物品の外形寸法を算出する寸法算出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】表面検査における検出感度の低下、及び熱ダメージの増加を抑制しつつ、検査時間を短縮することができる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物を主走査として回転移動させると共に副走査として並進移動させ、半導体ウエハ１００の表面に照明光２１を照射して、その照明光２１の照射範囲である照明スポット３を形成し、照明スポットからの散乱・回折・反射光を検出し、その検出結果に基づいて半導体ウエハ１００の表面上または表面近傍内部に存在する異物を検出する表面検査装置において、副走査の並進移動速度を、半導体ウエハ１００の主走査における回転中心から照明スポットまでの距離に応じて制御する。 （もっと読む）