電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体
【課題】 電子部品のパッケージの撮影画像に含まれるむらや捺印文字等の影響を受けず、真の欠陥のみを確実に判別できる、電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体を提供する。
【解決手段】 撮像手段１０３と、撮影した画像を複数の単位領域に分割して、各単位領域毎に、撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求める手段１０６と、各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域における二値化レベルを求める手段１０７と、撮影した画像の各座標における二値化レベルを、各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算により求める手段１０８と、撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、求めた二値化レベルとを比較して、欠陥の存在を判定する二値化手段１０７とを具備する。
【解決手段】 撮像手段１０３と、撮影した画像を複数の単位領域に分割して、各単位領域毎に、撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求める手段１０６と、各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域における二値化レベルを求める手段１０７と、撮影した画像の各座標における二値化レベルを、各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算により求める手段１０８と、撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、求めた二値化レベルとを比較して、欠陥の存在を判定する二値化手段１０７とを具備する。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体に関し、特に、電子部品のパッケージ等の表面にできた欠陥を外観から検査するための、電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、電子部品の外観検査方法として、電子部品のパッケージ表面にできた小さな穴（以下、ボイドとする）等の製造工程上の欠陥を自動的に検出する検査方法や検査装置がある。
【０００３】第１従来例の検査方法として、特開平５−２８０９５８号公報には、検査対象の表面を撮影した画像を、複数の単位領域に分割し、これら各単位領域における濃淡レベルの平均値で二値化処理し、撮影画像の反射率が小さい領域の形状から、欠陥の有無を判定する方法が開示されており、当該公報記載の技術を第１従来例として説明する。
【０００４】図９は第１従来例の欠陥検査装置のブロック構成図である。
【０００５】図９において、レーザー光源２０から出射した走査ビームは検査対象１０の表面に照射される。この反射光は受光器２８へ導かれ、画像信号ａ１，ａ２として出力される。画像信号ａ１，ａ２は加算手段３２、Ａ／Ｄ変換手段３４、濃度変換手段３６、微分フィルタ３８を経て欠陥の輪郭を強調した信号ａ５として出力される。この信号ａ５は欠陥アドレス検出手段４０によって欠陥アドレス信号Ａｄが求められる一方、信号ａ５は２値化処理手段４２で２値化処理され、欠陥領域抽出手段４８で欠陥アドレスＡｄを基準として欠陥領域を抽出して欠陥画像信号Ａ２として出力される。
【０００６】この欠陥の判定方法としては、検査対象１０の微分画像に基づいて欠陥のアドレスを求め、２値化処理手段４２において、微分画像全体の濃淡レベル分布から求められた第１の閾値ＴＨ１と、注目画素の近傍領域の濃淡レベル平均値から得られた第２の閾値ＴＨ２とから、ＴＨ３＝ＴＨ１−ｋ（ＴＨ１−ＴＨ２）として第３の閾値ＴＨ３を求め、欠陥領域抽出手段４８において、閾値ＴＨ３より濃淡レベルが小さい画素の位置に対応する検査対象１０の表面に欠陥があると判断していた。
【０００７】図１０は図９の検査装置における各領域の概念図である。
【０００８】図１０は、図９における検査対象１０を、より具体的な電子部品２に置換した例を示したものである。受光器２８の撮影画像は、電子部品２のパッケージ２ａと端子２ｂの一部の領域を含んでいる。この内、パッケージ２ａのみを含む領域が検査対象領域Ｒｔとなる。撮影画像として撮影されたパッケージ２ａの画像には、パッケージ２ａにできた欠陥であるボイドＢと、パッケージ２ａに捺印された捺印文字Ｔと、パッケージ２ａ表面又は反射光によって生じたむらＰとが含まれている、図１１は図９の欠陥検査装置における濃淡レベルＬｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標特性線図である。図１１１１は、図１０中のＸ−Ｘ線に沿ってレベルを見たものであり、撮影画像の濃淡レベルＬｃの左側の急激な凹部はボイドＢを、右側のなだらかな凹部はむらＰを、中央の３箇所の突起部分は捺印文字Ｔをそれぞれ示す。
【０００９】ボイドＢでは、ピーク幅が狭く、濃淡レベルＬｃが急激に変化するのに対し、むらＰはボイドＢに比べピーク幅が広く、濃淡レベルＬｃが少しずつ変化する。又、捺印文字Ｔでは、ピーク幅は狭いが濃淡レベルＬｃはパッケージ領域より高くなる。
【００１０】図１１中、濃淡レベルＬｃが二値化レベルＬｓより大きい“１”レベルの領域がボイドがなく正常と判定される領域、濃淡レベルＬｃが二値化レベルＬｓより小さい“０”レベルの領域が「ボイド有り」と判定される領域である。
【００１１】図１１から明かな通り、むらＰでは、濃淡レベルＬｃが広い範囲に亙って少し低下しているが、濃淡レベルＬｃの平均値として求められる二値化レベルＬｓもなだらかに変化している。
【００１２】又、第２従来例の欠陥検査方法として、より単純な処理方法として、パッケージ表面を撮影した画像を、この画像全体に亙って一定の二値化レベルで二値化処理し、撮影画像の反射率が小さい、二値化画像の“０”レベルの領域の面積が予め設定した値以上の場合に、「ボイド有り」と判定する方法がある。
【００１３】図１２は第２従来例の欠陥検査装置における濃淡レベルＬｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標特性線図である。図１２は、図１１と同様に図１０に示すパッケージ２ａの撮影画像に対応したものであり、図１２から明かな通り、二値化レベルＬｓは全領域に亙って一定である。
【００１４】このようにして、従来の欠陥検査方法及び装置は、電子部品のパッケージ表面のボイド等の欠陥の有無を判定していた。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の欠陥検査方法及び装置には、以下のような問題があった。
【００１６】検査対象として電子部品２を用いた場合、パッケージ２ａの画像信号ａ１，ａ２においては、図１１R>１，図１２に示すように、パッケージ２ａ表面に照射される照射光源１の光強度が方向や場所により異なっていたり、パッケージ２ａの樹脂成分や表面状態が均一でなかったり、パッケージ２ａの金型等から付着するしみ等によって、表面の反射率が部分的に異なる場合がしばしばあり、このような場合は、撮影領域の一部において、パッケージ２ａの画像信号ａ１，ａ２の濃淡レベルＬｃが他の部分と全体的に異なる、むらＰが発生し易くなる。
【００１７】よって、このむらＰとボイドＢとの濃淡画像の濃淡レベルがほぼ同じ場合には、むらＰも二値化処理後に“０”レベルの領域と判定されてしまうので、パッケージ２ａにボイドがないにも拘らず、「ボイド有り」と誤判定し易い問題があった。
【００１８】第１従来例の欠陥検査装置では、図１１に示すように、各単位領域における濃淡レベルＬｃの平均値を二値化レベルＬｓとして用いて二値化処理していたが、この方法では、図１１中の捺印文字Ｔ付近では、捺印文字Ｔの濃淡レベルＬｃが高いので、この濃淡レベルＬｃの平均値である二値化レベルＬｓもこれに伴って必要以上に高くなってしまい、この捺印文字Ｔ付近で「ボイド有り」と誤判定する問題があった。
【００１９】又、第２従来例の欠陥検査装置では、図１２R>２に示すように、単純に検査対象領域Ｒｔ全体に亙って一定の二値化レベルＬｓで二値化処理していたが、この方法では、図１２のむらＰ付近では、濃淡レベルＬｃが全体的に低下するので、このむらＰ付近で「ボイド有り」と誤判定する問題があった。
【００２０】ここにおいて本発明は、電子部品のパッケージの撮影画像に含まれるむらや捺印文字等の影響を受けず、真の欠陥のみを確実に判別できる、電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体を提供する。
【００２１】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため、本発明は次の新規な特徴的手法及び手段を採用する。
【００２２】本発明の電子部品の外観検査方法の第１の特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面の画像を撮影し、撮影した画像を複数の単位領域（図５のＲｕ）に分割して、各単位領域（Ｒｕ）毎に、撮影した画像の濃淡レベル（図４のＬｃ）の分布をそれぞれ求め、各単位領域（Ｒｕ）内における濃淡レベル（Ｌｃ）の分布中、最多頻度の濃淡レベル（Ｌｃ）から予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（図４のＬｓ）を求め、撮影した画像の各座標における二値化レベル（図４のＬｓ）を、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（Ｌｓ）に基づいて補間演算によりそれぞれ求め、撮影した画像の各座標における各濃淡レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標における二値化レベル（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃淡レベル（Ｌｃ）が各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい座標に欠陥が存在すると判定することにある。
【００２３】本発明の電子部品の外観検査方法の第２の特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面の画像を撮影し、撮影した画像を複数の単位領域（図５のＲｕ）に分割して、各単位領域（Ｒｕ）毎に、撮影した画像の濃淡レベル（図４のＬｃ）の分布をそれぞれ求め、各単位領域（Ｒｕ）内における濃淡レベル（Ｌｃ）の分布中、最多頻度の濃淡レベル（Ｌｃ）から予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（図４のＬｓ）を求め、撮影した画像の各座標における二値化レベル（図４のＬｓ）を、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（Ｌｓ）に基づいて補間演算によりそれぞれ求め、撮影した画像の各座標における各濃淡レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標における二値化レベル（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃淡レベル（Ｌｃ）が各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい座標を求め、求められた座標が連続する領域（図７のＲｌ１，Ｒｌ２）にラベルを付与し、ラベルが付与された領域（Ｒｌ１，Ｒｌ２）の面積が予め設定された値以上である場合は、ラベルが付与された領域（Ｒｌ１，Ｒｌ２）内に欠陥が有ると判定することにある。
【００２４】本発明の電子部品の外観検査装置の第１の特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面の画像を撮影する撮像手段（図１の１０３）と、撮影した画像を複数の単位領域（図５のＲｕ）に分割して、各単位領域（Ｒｕ）毎に、撮影した画像の濃淡レベル（図４のＬｃ）の分布をそれぞれ求める単位領域内濃淡レベル分布算出手段（図１の１０６）と、各単位領域（Ｒｕ）内における濃淡レベル（Ｌｃ）の分布中、最多頻度の濃淡レベル（Ｌｃ）から予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（図４のＬｓ）を求めるサンプリング座標別二値化レベル算出手段（図１の１０７）と、撮影した画像の各座標における二値化レベル（図４のＬｓ）を、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（Ｌｓ）に基づいて補間演算によりそれぞれ求める画素座標別二値化レベル算出手段（図１R>１の１０８）と、撮影した画像の各座標における各濃淡レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標における二値化レベル（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃淡レベル（Ｌｃ）が各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい座標に欠陥が存在すると判定する二値化手段（図１の１０９）とを具備することにある。
【００２５】本発明の電子部品の外観検査装置の第２の特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面の画像を撮影する撮像手段（図１の１０３）と、撮影した画像を複数の単位領域（図５のＲｕ）に分割して、各単位領域（Ｒｕ）毎に、撮影した画像の濃淡レベル（図４のＬｃ）の分布をそれぞれ求める単位領域内濃淡レベル分布算出手段（図１の１０６）と、各単位領域（Ｒｕ）内における濃淡レベル（Ｌｃ）の分布中、最多頻度の濃淡レベル（Ｌｃ）から予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（図４のＬｓ）を求めるサンプリング座標別二値化レベル算出手段（図１の１０７）と、撮影した画像の各座標における二値化レベル（図４のＬｓ）を、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（Ｌｓ）に基づいて補間演算によりそれぞれ求める画素座標別二値化レベル算出手段（図１R>１の１０８）と、撮影した画像の各座標における各濃淡レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標における二値化レベル（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃淡レベル（Ｌｃ）が各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい座標を求める二値化手段（図１の１０９）と、求められた座標が連続する領域（図７のＲｌ１，Ｒｌ２）にラベルを付与するラベル付け手段（図１の１１０）と、ラベルが付与された領域（Ｒｌ１，Ｒｌ２）の面積が予め設定された値以上である場合は、ラベルが付与された領域（Ｒｌ１，Ｒｌ２）内に欠陥が有ると判定する判定手段（図１の１１１）とを具備することにある。
【００２６】本発明の電子部品の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体の第１の特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面の画像を撮影し、撮影した画像を複数の単位領域（図５のＲｕ）に分割して、各単位領域（Ｒｕ）毎に、撮影した画像の濃淡レベル（図４のＬｃ）の分布をそれぞれ求め、各単位領域（Ｒｕ）内における濃淡レベル（Ｌｃ）の分布中、最多頻度の濃淡レベル（Ｌｃ）から予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（図４のＬｓ）を求め、撮影した画像の各座標における二値化レベル（図４のＬｓ）を、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（Ｌｓ）に基づいて補間演算によりそれぞれ求め、撮影した画像の各座標における各濃淡レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標における二値化レベル（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃淡レベル（Ｌｃ）が各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい座標に欠陥が存在すると判定することをコンピュータに実現させることにある。
【００２７】本発明の電子部品の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体の第２の特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面の画像を撮影し、撮影した画像を複数の単位領域（図５のＲｕ）に分割して、各単位領域（Ｒｕ）毎に、撮影した画像の濃淡レベル（図４のＬｃ）の分布をそれぞれ求め、各単位領域（Ｒｕ）内における濃淡レベル（Ｌｃ）の分布中、最多頻度の濃淡レベル（Ｌｃ）から予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（図４のＬｓ）を求め、撮影した画像の各座標における二値化レベル（図４のＬｓ）を、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（Ｌｓ）に基づいて補間演算によりそれぞれ求め、撮影した画像の各座標における各濃淡レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標における二値化レベル（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃淡レベル（Ｌｃ）が各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい座標を求め、求められた座標が連続する領域（図７のＲｌ１，Ｒｌ２）にラベルを付与し、ラベルが付与された領域（Ｒｌ１，Ｒｌ２）の面積が予め設定された値以上である場合は、ラベルが付与された領域（Ｒｌ１，Ｒｌ２）内に欠陥が有ると判定することをコンピュータに実現させることにある。
【００２８】このような手法及び手段を採用したことにより、本発明の電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体は、各単位領域毎に二値化レベルを求め、これに基づいて各座標における二値化レベルを補間演算により決定するので、局所的なむらＰや捺印文字Ｔによる影響を排除して、欠陥の有無を確実に判定できる。
【００２９】
【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施の形態の電子部品の外観検査装置のブロック構成図である。
【００３０】照射光源１０１は、照射光を照射する。
【００３１】電子部品１０２は、照射光源１０１からの照射光を、表面の反射率に応じて反射する。
【００３２】ＣＣＤカメラ１０３は、電子部品１０２からの反射光を一定領域に亙って撮像し、アナログ画像信号Ｓａとして出力する。
【００３３】ＣＣＤカメラ１０３からのアナログ画像信号Ｓａは、Ａ／Ｄ変換手段１０４によりＡ／Ｄ変換され、ディジタル濃淡画像データＤｂとして出力される。
【００３４】濃淡画像データ記憶手段１０５は、ディジタル濃淡画像データＤｂを内部に一旦格納する。
【００３５】単位領域内濃淡レベル分布算出手段１０６は、ディジタル濃淡画像データＤｂを読み出し、予め検査対象領域Ｒｔ内に設定された複数のサンプリング座標Ｃｓ（図５）を中心とした各単位領域Ｒｕ（図５）内におけるディジタル画像濃淡レベルＬｃ（図４）の分布を、例えばヒストグラム表記すること等によって算出し、単位領域別濃淡レベル分布データＤｃとして出力する。
【００３６】サンプリング座標別二値化レベル算出手段１０７は、単位領域別濃淡レベル分布データＤｃが供給され、各単位領域Ｒｕ（図５）内の最多頻度の濃淡レベルＬｃ（図４）を検索し、検索した濃淡レベルＬｃ（図４R>４）から予め設定したオフセット値を引いた値をサンプリング座標Ｃｓ（図５）における二値化レベルＬｓ（図４R>４）とし、サンプリング座標別二値化レベルデータＤｄとして出力する。
【００３７】画素座標別二値化レベル算出手段１０８は、サンプリング座標別二値化レベルデータＤｄが供給され、サンプリング座標Ｃｓ（図５）における二値化レベルＬｓ（図４）に基づいて補間演算し、検査対象領域Ｒｔ（図５）内の各画素座標について二値化レベルＬｓ（図４）を算出し、画素座標別二値化レベルデータＤｅとして出力する。
【００３８】二値化手段１０９は、画素座標別二値化レベルデータＤｅとディジタル濃淡画像データＤｂとが供給され、各画素座標について、濃淡レベルＬｃ（図４）が当該画素座標の二値化レベルＬｓ（図４）以上であれば当該画素座標における二値化データを“１”レベルに、濃淡レベルＬｃ（図４）が二値化レベルＬｓ（図４R>４）よりも小さければ当該画素座標における二値化データを“０”レベルにした二値化画像を作成し、二値化画像データＤｆとして出力する。
【００３９】ラベル付け手段１１０は、二値化画像データＤｆが供給され、二値化データの“０”レベルが連続する領域毎に同一名称のラベルを付与してラベル付け領域（図７のＲｌ１，Ｒｌ２）とし、各ラベル付け領域（図７のＲｌ１，Ｒｌ２）毎に面積を算出し、ラベルデータＤｇとして出力する。
【００４０】判定手段１１１は、ラベルデータＤｇが供給され、予め設定した面積値よりも面積の大きいラベル付け領域（図７のＲｌ１，Ｒｌ２）が１つでも有れば、「ボイド有り」と判定し、ボイド有りの場合のみ判定信号Ｓｈを出力する。
【００４１】図２は図１の電子部品の外観検査装置における各領域の概念図である。
【００４２】図２において、ＣＣＤカメラ１０３の撮影画像は、電子部品１０２のパッケージ１０２ａと端子１０２ｂの一部の領域を含んでいる。この内、パッケージ１０２ａのみを含む領域が検査対象領域Ｒｔとなる。撮影画像として撮影されたパッケージ１０２ａの画像には、パッケージ１０２ａにできた欠陥であるボイドＢと、パッケージ１０２ａに捺印された捺印文字Ｔと、パッケージ１０２ａ表面又は反射光によって生じたむらＰとが含まれている、図３は図１の電子部品の外観検査装置における検査処理フローチャートである。
【００４３】図１の照射光源１０１から出射した照射光は、パッケージ１０２ａ表面で反射され、ＣＣＤカメラ１０３へ入射した光は、Ａ／Ｄ変換手段１０４によってアナログ／ディジタル変換され、各画素座標における濃淡レベルＬｃを示すディジタル濃淡画像データＤｂとして濃淡画像データ記憶手段１０５に一旦蓄積される（ステップＳ３０１）。
【００４４】図１の単位領域内濃淡レベル分布算出手段１０６は、濃淡画像データ記憶手段１０５に蓄積されたディジタル濃淡画像データＤｂを読み出す（ステップＳ３０２）。
【００４５】図１の単位領域内濃淡レベル分布算出手段１０６は、読み出したディジタル濃淡画像データＤｂから、図５に示す検査対象領域Ｒｔ内に予め設定された複数のサンプリング座標Ｃｓを中心とする各単位領域Ｒｕのそれぞれについて、図６に示すような濃淡レベルＬｃの分布を求め、各単位領域Ｒｕの単位領域別濃淡レベル分布データＤｃとして出力する（ステップＳ３０３）。
【００４６】又、図５において捺印文字Ｔを含む単位領域Ｒｕの面積が小さすぎると、捺印文字Ｔの濃淡レベルＬｃが、この単位領域Ｒｕの最多頻度の分布データとなり、二値化レベルＬｓが本来設定すべきレベルよりも高くなり、誤判定の原因となってしまうので、単位領域Ｒｕの面積は、捺印文字Ｔが存在する単位領域Ｒｕにおいても、捺印文字Ｔ以外の濃淡レベルＬｃが最多頻度となるように設定しておく。
【００４７】図１のサンプリング座標別二値化レベル算出手段１０７は、各単位領域Ｒｕの単位領域別濃淡レベル分布データＤｃから、各単位領域Ｒｕ毎に、図６の濃淡レベルＬｃの分布中の最多頻度の濃淡レベルＬｃをそれぞれ求め、それぞれの最多頻度の濃淡レベルＬｃから予め設定したオフセット値を差し引いた値を、それぞれのサンプリング座標Ｃｓにおける二値化レベルＬｓとし、サンプリング座標別二値化レベルデータＤｄとして出力する（ステップＳ３０４）。
【００４８】このオフセット値は、サンプリング座標別二値化レベル算出手段１０７において、ボイドＢの濃淡レベルＬｃが“０”レベルに、パッケージ１０２ａ表面のボイドＢ以外の領域の濃淡レベルＬｃが“１”レベルになるように予め調整して設定しておく。
【００４９】ここで各単位領域Ｒｕの濃度レベルＬｃの分布中、最多頻度の濃淡レベルＬｃは、パッケージ１０２ａ表面の単位領域Ｒｕ内における平均的な濃淡レベルＬｃを表す。
【００５０】図１の画素座標別二値化レベル算出手段１０８は、サンプリング座標別二値化レベルデータＤｄが示す、サンプリング座標Ｃｓにおける二値化レベルＬｓに基づいて、検査対象領域Ｒｔ内の全ての画素座標について二値化レベルＬｓを補間演算により求め、画素座標別二値化レベルデータＤｅとして出力する（ステップＳ３０５）。
【００５１】ここでは一例として、画素座標Ｃｄ＝（Ｘ，Ｙ）における二値化レベルＬｓを、この画素座標Ｃｄを囲む４つのサンプリング座標Ｃｓ＝（Ｘ１，Ｙ１），（Ｘ２，Ｙ２），（Ｘ３，Ｙ３），（Ｘ４，Ｙ４）のそれぞれの二値化レベルＬｓ１，Ｌｓ２，Ｌｓ３，Ｌｓ４に基づき、以下の式から算出する。
【００５２】Ｌｓ＝（１−α）（１−β）・Ｌｓ１＋α（１−β）・Ｌｓ２＋（１−α）β・Ｌｓ３＋αβ・Ｌｓ４但し、α＝（Ｘ−Ｘ１）／（Ｘ２−Ｘ１），β＝（Ｙ−Ｙ１）／（Ｙ３−Ｙ１）とする。
【００５３】このようにして、ある画素座標Ｃｄを囲む４つのサンプリング座標Ｃｓの二値化レベルＬｓから、この画素座標Ｃｄの二値化レベルＬｓを補間演算して求めている。ここで、ある画素座標Ｃｄを囲むサンプリング座標Ｃｓの数が３つ以下の場合でも、同様に画素座標Ｃｄの二値化レベルＬｓを求めることができる。
【００５４】もし仮に、画素座標Ｃｄの二値化レベルＬｓを、サンプリング座標Ｃｓの二値化レベルＬｓから補間演算して求めないで、画素座標Ｃｄの二値化レベルＬｓをそのままサンプリング座標Ｃｓの二値化レベルＬｓとすれば、隣接し合う単位領域Ｒｕの境界で二値化レベルＬｓが不連続となり急激に変化するので、この境界付近のボイド面積の測定精度が低下してしまい、ボイドを見逃したり、むらＰを「ボイド有り」と誤判定してしまう問題がある。
【００５５】そこで本発明では、この問題を解決する為に、サンプリング座標Ｃｓにおける二値化レベルＬｓに基づいて、画素座標Ｃｄにおける二値化レベルＬｓを補間して求めることにより、検査対象領域Ｒｔ全体に亙って二値化レベルＬｓを連続的かつ滑らかに変化させて急激なレベル変化をなくしたので、隣接し合う単位領域Ｒｕの境界付近においても「ボイド有り」と誤判定しなくなっている。
【００５６】図１の二値化手段１０９は、各画素座標Ｃｄ毎に、ディジタル濃淡画像データＤｂが示す濃淡レベルＬｃが、画素座標別二値化レベルデータＤｅが示す二値化レベルＬｓより高いか低いかを判定基準として二値化処理し、二値化画像データＤｆとして出力する。ここでは各画素毎に、濃淡レベルＬｃが二値化レベルＬｓより高い場合は“１”レベルと判定し、逆の場合は“０”レベルと判定する（ステップＳ３０６）。
【００５７】図１のラベル付け手段１１０は、図７に示すように二値化画像データＤｆの“０”レベルが連続する各領域毎にラベルを付与して、これら各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の位置と面積を示すラベルデータＤｇを出力する（ステップＳ３０７）。
【００５８】図１の判定手段１１１は、図７の各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２毎に、ラベルデータＤｇが示す各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積と、予め内部に設定された面積とを比較し、ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積の方が設定された面積値より大きい場合に、当該ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の位置に欠陥が存在する判断して判定信号Ｓｈを出力する（ステップＳ３０８）。
【００５９】図４は図１の電子部品の外観検査装置における濃淡レベルＬｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標Ｃｄ特性線図である。
【００６０】図４は、図２中のＩＩ−ＩＩ線に沿ってレベルを見たものであり、左側の急激な凹部はボイドＢを、右側のなだらかな凹部はむらＰを、中央の３箇所の突起部分は捺印文字Ｔをそれぞれ示す。
【００６１】図４中、濃淡レベルＬｃが二値化レベルＬｓより大きい“１”レベルの領域がボイドがなく正常と判定される領域、濃淡レベルＬｃが二値化レベルＬｓより小さい“０”レベルの領域が「ボイド有り」と判定される領域である。
【００６２】本実施の形態では、各単位領域Ｒｕ中の最多頻度の濃度レベルＬｃが、パッケージ１０２ａの正常な濃度レベルとなるよう、各単位領域Ｒｕの面積が設定されている限り、むらＰや捺印文字Ｔ等の影響を受けなくなる。
【００６３】ここでもし単位領域Ｒｕの面積が小さすぎると、捺印文字Ｔを含む単位領域Ｒｕでは、単位領域Ｒｕ内の最多頻度の濃淡レベルＬｃが捺印文字Ｔの濃淡レベルＬｃとなってしまい、本来設定したい二値化レベルＬｓよりも実際の二値化レベルＬｓが高くなるので、捺印文字Ｔ以外の全ての領域に亙って「ボイド有り」と誤判定する問題があるので、単位領域Ｒｕの面積は、単位領域Ｒｕ内の捺印文字Ｔの面積よりも捺印文字Ｔ以外の領域の面積が大きくなるよう予め調整して設定しておく。
【００６４】このような原理に基づき、図４に示すように、本実施の形態では、二値化レベルＬｓもむらＰの濃淡レベルＬｃに追従して変化し、むらＰは二値化処理後に“０”レベルと判定されないので、「ボイド有り」と誤判定されなくなる。
【００６５】図５は図１の電子部品の外観検査装置における各座標の概念図である。図５では、各単位領域Ｒｕの中心にサンプリング座標Ｃｓが存在するが、このサンプリング座標Ｃｓは、各単位領域Ｒｕ内のどこにあっても良い。
【００６６】図７は図１の電子部品の外観検査装置におけるラベル付け結果の概念図である。二値化処理後、“０”が連続する各領域にはそれぞれラベルが付与されてラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２とされている。図７の例では、判定手段１１１は、予め設定した面積が“３”であった場合、ラベル付け領域Ｒｌ１にボイドが存在するという判定信号Ｓｈを出力する。
【００６７】以上のように、本実施の形態では、（１）各単位領域Ｒｕの最多頻度の濃度レベルＬｃから各単位領域Ｒｕの二値化レベルＬｓを求め、（２）この各単位領域Ｒｕの二値化レベルＬｓから補間演算により各画素座標における二値化レベルＬｓを求めるようにしたので、むらＰや捺印文字Ｔの影響を排除して、欠陥の有無を確実に検出でき、誤判定を大幅に低減できる。
【００６８】次に、本実施の形態の変形例を説明する。
【００６９】第１の変形例として、図１のラベル付け手段１１０において、図２の検査対象領域Ｒｔの一部に、ラベル付けをしないようにしたマスク領域を設定しても良い。
【００７０】第２の変形例として、図１のラベル付け手段１１０が図７のように各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積を算出し、判定手段１１１において各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積からボイドの有無を判定するのに代えて、ラベル付け手段１１０が、各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の外周上の最も離れた２点間の距離を算出し、この距離が予め設定された閾値以上である場合は、このラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２内にボイド有りと判定しても良い。
【００７１】第３の変形例として、図１のラベル付け手段１１０が図７のようにラベル付けされた各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積を算出し、判定手段１１１において各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積からボイドの有無を判定するのに代えて、ラベル付け手段１１０が、各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積と、各ラベル付け領域Ｒｌ１、Ｒｌ２の外周上の最も離れた２点間の距離との両方を算出し、判定手段１１１にはこれら面積と距離の両方について、予め閾値をそれぞれ設定しておき、何れか一方がそれぞれの閾値より大きい場合は、このラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２に「ボイド有り」と判定しても良い。
【００７２】図８は本発明の第２の実施の形態の電子部品の外観検査装置のブロック構成図である。本実施の形態は、図１の第１の実施の形態の電子部品の外観検査装置を、特にコンピュータ上に構成する場合に適した実施の形態を説明している。
【００７３】本実施の形態の電子部品の外観検査装置は、入力部２０１と、ＣＰＵ２０２と、メモリ２０３と、照射光源２０４ａと、ＣＣＤカメラ２０４ｂと、Ａ／Ｄコンバータ２０４ｃと、表示処理部２０５と、表示部２０６と、外部記憶装置２０７と、インターフェース部２０８と、バス２０９とから構成される。
【００７４】入力部２０１は、各種操作キー等からなる、キーボードやリモコン等の操作手段であり、次のＣＰＵ２０２へ各種指示を付与する。この手段は、特にコンピュータにおいては、アルファニューメリックキーボードや専用の入力装置・マウス・リモコン等で実現される。
【００７５】ＣＰＵ２０２は、マイクロコンピュータ等からなり、内蔵され又は外部から供給されるプログラム等により動作し各部を制御する。
【００７６】メモリ２０３は、ＲＡＭ等のメモリから構成され、ＣＰＵ２０２の制御により各種データを格納する。この手段は、特にコンピュータにおいては、ＲＡＭやフラッシュメモリやハードディスク等の各種記録媒体で実現される。
【００７７】照射光源２０４ａは、照射光を照射する。
【００７８】ＣＣＤカメラ２０４ｂは、電子部品１０２からの反射光を一定領域に亙って撮像し、アナログ画像信号Ｓａとして出力する。
【００７９】Ａ／Ｄコンバータ２０４ｃは、ＣＣＤカメラ２０４ｂからのアナログ画像信号Ｓａをアナログ／ディジタル変換し、ディジタル濃淡画像データＤｂとしてバス２０９へ出力する。
【００８０】表示処理部２０５は、バス２０９に接続され、バス２０９を介して送られてきた画像データを映像信号Ｓｄｐへ変換出力する。
【００８１】表示部２０６はディスプレイ装置やモニタ等の映像表示手段であり、映像信号Ｓｄｐを映像として表示する。この手段は、特にコンピュータにおいては、各種ディスプレイ装置等で実現される。
【００８２】外部記憶装置２０７は、ＣＰＵ２０２の各種処理プログラムや、メモリ２０３に格納されているのと同様なデータ等が格納されている記憶媒体であり、ＣＰＵ２０２の制御により各種データが書き込まれ読み出される。この手段は、特にコンピュータにおいては、ＲＡＭやフラッシュメモリやハードディスク等の各種記録媒体で実現される。
【００８３】インターフェース部２０８は、ＣＰＵ２０２と接続された外部とのインターフェースである。
【００８４】バス２０９は、入力部２０１，ＣＰＵ２０２，メモリ２０３，Ａ／Ｄコンバータ２０４ｃ、表示処理部２０５，外部記憶装置２０７，インターフェース部２０８を相互に接続する。
【００８５】本発明の第２の実施の形態の電子部品の外観検査方法は、第１の実施の形態の電子部品の外観検査方法と同様である。
【００８６】次に本発明の第２の実施の形態の電子部品の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体を説明する。
【００８７】第１の実施の形態の電子部品の外観検査方法及び電子部品の外観検査装置では、電子部品の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを、専用の外観検査装置の制御プログラムとして内蔵しているが、本実施の形態では汎用のコンピュータ装置等においてソフトウェアプログラム等で同様の処理を実現している。
【００８８】このソフトウェアプログラムの記録媒体として、メモリカード・フロッピーディスク・ハードディスク・ＣＤ−ＲＯＭ・ＤＶＤ−ＲＡＭ等の外部記録装置１０７に格納しても良いし、データ記憶部１０３上に当該プログラム専用の格納領域を設けて外部記録装置１０７から読み込んだプログラムを格納しておいても良い。
【００８９】その他の構成や処理フローチャートは前記第１の実施の形態の電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理方法をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体と同様である。
【００９０】尚、前記各実施の形態では、ＣＣＤカメラ１０３，２０４ａの撮影画像の画素毎に二値化処理したが、処理を高速化するために複数の画素をまとめて二値化処理しても構わない。
【００９１】又、補間方法としては、任意の補間方法を採用しても構わない。
【００９２】更に、図５に示すように、各単位領域Ｒｕは互いに重なり合わないように設定したが、各単位領域Ｒｕの大きさが一定以上となるよう設定し、これら各単位領域Ｒｕが互いに重なり合うようにしても良い。このようにすれば、各単位領域Ｒｕの面積が必要以上に小さくなるのを避けることができ、捺印文字Ｔを「ボイド有り」と誤判定する可能性が更に少なくなる。
【００９３】
【発明の効果】以上のような手法及び手段を採用したことにより、本発明の電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体は、次のような効果を発揮する。
【００９４】第１点として、サンプリング座標により定義される、予め設定した各単位領域内の濃淡レベルの分布からサンプリング座標の二値化レベルを求めた後、各画素座標の二値化レベルをサンプリング座標の二値化レベルに基づいて補間演算により求めるので、捺印文字やボイド等の影響を受けず、むらに精度よく追従した連続性のある二値化レベルを設定でき、むらを「ボイド有り」と誤判定することが大幅に低減され、検査精度を大幅に向上できる利点がある。
【００９５】第２点として、二値化処理により得られた“０”レベルの領域をラベル付けし、このラベルの面積に基づいてボイドの有無を最終的に判定するので、むらを「ボイド有り」と誤判定することが大幅に低減され、検査精度を大幅に向上できる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の電子部品の外観検査装置のブロック構成図である。
【図２】図１の電子部品の外観検査装置における各領域の概念図である。
【図３】図１の電子部品の外観検査装置における検査処理フローチャートである。
【図４】図１の電子部品の外観検査装置における濃淡レベルＬｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標Ｃｄ特性線図である。
【図５】図１の電子部品の外観検査装置における各座標の概念図である。
【図６】図１の電子部品の外観検査装置における単位領域Ｒｕ内の濃度レベルＬｃ分布概念図である。
【図７】図１の電子部品の外観検査装置におけるラベル付け結果の概念図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態の電子部品の外観検査装置のブロック構成図である。
【図９】第１従来例の欠陥検査装置のブロック構成図である。
【図１０】図９の欠陥検査装置における各領域の概念図である。
【図１１】図９の欠陥検査装置における濃淡レベルＬｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標特性線図である。
【図１２】第２従来例の欠陥検査装置における濃淡レベルＬｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標特性線図である。
【符号の簡単な説明】
２ 電子部品
２ａ パッケージ
２ｂ 端子
１０ 検査対象
２０ レーザー光源
２８ 受光器
３２ 加算手段
３４ Ａ／Ｄ変換手段
３６ 濃度変換手段
３８ 微分フィルタ
４０ 欠陥アドレス検出手段
４２ ２値化処理手段
４８ 欠陥領域抽出手段
１０１ 照射光源
１０２ 電子部品
１０２ａ パッケージ
１０２ｂ 端子
１０３ ＣＣＤカメラ
１０４ Ａ／Ｄ変換手段
１０５ 濃淡画像データ記憶手段
１０６ 単位領域内濃淡レベル分布算出手段
１０７ サンプリング座標別二値化レベル算出手段
１０８ 画素座標別二値化レベル算出手段
１０９ 二値化手段
１１０ ラベル付け手段
１１１ 判定手段
２０１ 入力部
２０２ ＣＰＵ
２０３ メモリ
２０４ａ 照射光源
２０４ｂ ＣＣＤカメラ
２０４ｃ Ａ／Ｄコンバータ
２０５ 表示処理部
２０６ 表示部
２０７ 外部記憶装置
２０８ インターフェース部
２０９ バス
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体に関し、特に、電子部品のパッケージ等の表面にできた欠陥を外観から検査するための、電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、電子部品の外観検査方法として、電子部品のパッケージ表面にできた小さな穴（以下、ボイドとする）等の製造工程上の欠陥を自動的に検出する検査方法や検査装置がある。
【０００３】第１従来例の検査方法として、特開平５−２８０９５８号公報には、検査対象の表面を撮影した画像を、複数の単位領域に分割し、これら各単位領域における濃淡レベルの平均値で二値化処理し、撮影画像の反射率が小さい領域の形状から、欠陥の有無を判定する方法が開示されており、当該公報記載の技術を第１従来例として説明する。
【０００４】図９は第１従来例の欠陥検査装置のブロック構成図である。
【０００５】図９において、レーザー光源２０から出射した走査ビームは検査対象１０の表面に照射される。この反射光は受光器２８へ導かれ、画像信号ａ１，ａ２として出力される。画像信号ａ１，ａ２は加算手段３２、Ａ／Ｄ変換手段３４、濃度変換手段３６、微分フィルタ３８を経て欠陥の輪郭を強調した信号ａ５として出力される。この信号ａ５は欠陥アドレス検出手段４０によって欠陥アドレス信号Ａｄが求められる一方、信号ａ５は２値化処理手段４２で２値化処理され、欠陥領域抽出手段４８で欠陥アドレスＡｄを基準として欠陥領域を抽出して欠陥画像信号Ａ２として出力される。
【０００６】この欠陥の判定方法としては、検査対象１０の微分画像に基づいて欠陥のアドレスを求め、２値化処理手段４２において、微分画像全体の濃淡レベル分布から求められた第１の閾値ＴＨ１と、注目画素の近傍領域の濃淡レベル平均値から得られた第２の閾値ＴＨ２とから、ＴＨ３＝ＴＨ１−ｋ（ＴＨ１−ＴＨ２）として第３の閾値ＴＨ３を求め、欠陥領域抽出手段４８において、閾値ＴＨ３より濃淡レベルが小さい画素の位置に対応する検査対象１０の表面に欠陥があると判断していた。
【０００７】図１０は図９の検査装置における各領域の概念図である。
【０００８】図１０は、図９における検査対象１０を、より具体的な電子部品２に置換した例を示したものである。受光器２８の撮影画像は、電子部品２のパッケージ２ａと端子２ｂの一部の領域を含んでいる。この内、パッケージ２ａのみを含む領域が検査対象領域Ｒｔとなる。撮影画像として撮影されたパッケージ２ａの画像には、パッケージ２ａにできた欠陥であるボイドＢと、パッケージ２ａに捺印された捺印文字Ｔと、パッケージ２ａ表面又は反射光によって生じたむらＰとが含まれている、図１１は図９の欠陥検査装置における濃淡レベルＬｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標特性線図である。図１１１１は、図１０中のＸ−Ｘ線に沿ってレベルを見たものであり、撮影画像の濃淡レベルＬｃの左側の急激な凹部はボイドＢを、右側のなだらかな凹部はむらＰを、中央の３箇所の突起部分は捺印文字Ｔをそれぞれ示す。
【０００９】ボイドＢでは、ピーク幅が狭く、濃淡レベルＬｃが急激に変化するのに対し、むらＰはボイドＢに比べピーク幅が広く、濃淡レベルＬｃが少しずつ変化する。又、捺印文字Ｔでは、ピーク幅は狭いが濃淡レベルＬｃはパッケージ領域より高くなる。
【００１０】図１１中、濃淡レベルＬｃが二値化レベルＬｓより大きい“１”レベルの領域がボイドがなく正常と判定される領域、濃淡レベルＬｃが二値化レベルＬｓより小さい“０”レベルの領域が「ボイド有り」と判定される領域である。
【００１１】図１１から明かな通り、むらＰでは、濃淡レベルＬｃが広い範囲に亙って少し低下しているが、濃淡レベルＬｃの平均値として求められる二値化レベルＬｓもなだらかに変化している。
【００１２】又、第２従来例の欠陥検査方法として、より単純な処理方法として、パッケージ表面を撮影した画像を、この画像全体に亙って一定の二値化レベルで二値化処理し、撮影画像の反射率が小さい、二値化画像の“０”レベルの領域の面積が予め設定した値以上の場合に、「ボイド有り」と判定する方法がある。
【００１３】図１２は第２従来例の欠陥検査装置における濃淡レベルＬｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標特性線図である。図１２は、図１１と同様に図１０に示すパッケージ２ａの撮影画像に対応したものであり、図１２から明かな通り、二値化レベルＬｓは全領域に亙って一定である。
【００１４】このようにして、従来の欠陥検査方法及び装置は、電子部品のパッケージ表面のボイド等の欠陥の有無を判定していた。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の欠陥検査方法及び装置には、以下のような問題があった。
【００１６】検査対象として電子部品２を用いた場合、パッケージ２ａの画像信号ａ１，ａ２においては、図１１R>１，図１２に示すように、パッケージ２ａ表面に照射される照射光源１の光強度が方向や場所により異なっていたり、パッケージ２ａの樹脂成分や表面状態が均一でなかったり、パッケージ２ａの金型等から付着するしみ等によって、表面の反射率が部分的に異なる場合がしばしばあり、このような場合は、撮影領域の一部において、パッケージ２ａの画像信号ａ１，ａ２の濃淡レベルＬｃが他の部分と全体的に異なる、むらＰが発生し易くなる。
【００１７】よって、このむらＰとボイドＢとの濃淡画像の濃淡レベルがほぼ同じ場合には、むらＰも二値化処理後に“０”レベルの領域と判定されてしまうので、パッケージ２ａにボイドがないにも拘らず、「ボイド有り」と誤判定し易い問題があった。
【００１８】第１従来例の欠陥検査装置では、図１１に示すように、各単位領域における濃淡レベルＬｃの平均値を二値化レベルＬｓとして用いて二値化処理していたが、この方法では、図１１中の捺印文字Ｔ付近では、捺印文字Ｔの濃淡レベルＬｃが高いので、この濃淡レベルＬｃの平均値である二値化レベルＬｓもこれに伴って必要以上に高くなってしまい、この捺印文字Ｔ付近で「ボイド有り」と誤判定する問題があった。
【００１９】又、第２従来例の欠陥検査装置では、図１２R>２に示すように、単純に検査対象領域Ｒｔ全体に亙って一定の二値化レベルＬｓで二値化処理していたが、この方法では、図１２のむらＰ付近では、濃淡レベルＬｃが全体的に低下するので、このむらＰ付近で「ボイド有り」と誤判定する問題があった。
【００２０】ここにおいて本発明は、電子部品のパッケージの撮影画像に含まれるむらや捺印文字等の影響を受けず、真の欠陥のみを確実に判別できる、電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体を提供する。
【００２１】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため、本発明は次の新規な特徴的手法及び手段を採用する。
【００２２】本発明の電子部品の外観検査方法の第１の特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面の画像を撮影し、撮影した画像を複数の単位領域（図５のＲｕ）に分割して、各単位領域（Ｒｕ）毎に、撮影した画像の濃淡レベル（図４のＬｃ）の分布をそれぞれ求め、各単位領域（Ｒｕ）内における濃淡レベル（Ｌｃ）の分布中、最多頻度の濃淡レベル（Ｌｃ）から予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（図４のＬｓ）を求め、撮影した画像の各座標における二値化レベル（図４のＬｓ）を、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（Ｌｓ）に基づいて補間演算によりそれぞれ求め、撮影した画像の各座標における各濃淡レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標における二値化レベル（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃淡レベル（Ｌｃ）が各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい座標に欠陥が存在すると判定することにある。
【００２３】本発明の電子部品の外観検査方法の第２の特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面の画像を撮影し、撮影した画像を複数の単位領域（図５のＲｕ）に分割して、各単位領域（Ｒｕ）毎に、撮影した画像の濃淡レベル（図４のＬｃ）の分布をそれぞれ求め、各単位領域（Ｒｕ）内における濃淡レベル（Ｌｃ）の分布中、最多頻度の濃淡レベル（Ｌｃ）から予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（図４のＬｓ）を求め、撮影した画像の各座標における二値化レベル（図４のＬｓ）を、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（Ｌｓ）に基づいて補間演算によりそれぞれ求め、撮影した画像の各座標における各濃淡レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標における二値化レベル（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃淡レベル（Ｌｃ）が各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい座標を求め、求められた座標が連続する領域（図７のＲｌ１，Ｒｌ２）にラベルを付与し、ラベルが付与された領域（Ｒｌ１，Ｒｌ２）の面積が予め設定された値以上である場合は、ラベルが付与された領域（Ｒｌ１，Ｒｌ２）内に欠陥が有ると判定することにある。
【００２４】本発明の電子部品の外観検査装置の第１の特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面の画像を撮影する撮像手段（図１の１０３）と、撮影した画像を複数の単位領域（図５のＲｕ）に分割して、各単位領域（Ｒｕ）毎に、撮影した画像の濃淡レベル（図４のＬｃ）の分布をそれぞれ求める単位領域内濃淡レベル分布算出手段（図１の１０６）と、各単位領域（Ｒｕ）内における濃淡レベル（Ｌｃ）の分布中、最多頻度の濃淡レベル（Ｌｃ）から予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（図４のＬｓ）を求めるサンプリング座標別二値化レベル算出手段（図１の１０７）と、撮影した画像の各座標における二値化レベル（図４のＬｓ）を、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（Ｌｓ）に基づいて補間演算によりそれぞれ求める画素座標別二値化レベル算出手段（図１R>１の１０８）と、撮影した画像の各座標における各濃淡レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標における二値化レベル（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃淡レベル（Ｌｃ）が各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい座標に欠陥が存在すると判定する二値化手段（図１の１０９）とを具備することにある。
【００２５】本発明の電子部品の外観検査装置の第２の特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面の画像を撮影する撮像手段（図１の１０３）と、撮影した画像を複数の単位領域（図５のＲｕ）に分割して、各単位領域（Ｒｕ）毎に、撮影した画像の濃淡レベル（図４のＬｃ）の分布をそれぞれ求める単位領域内濃淡レベル分布算出手段（図１の１０６）と、各単位領域（Ｒｕ）内における濃淡レベル（Ｌｃ）の分布中、最多頻度の濃淡レベル（Ｌｃ）から予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（図４のＬｓ）を求めるサンプリング座標別二値化レベル算出手段（図１の１０７）と、撮影した画像の各座標における二値化レベル（図４のＬｓ）を、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（Ｌｓ）に基づいて補間演算によりそれぞれ求める画素座標別二値化レベル算出手段（図１R>１の１０８）と、撮影した画像の各座標における各濃淡レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標における二値化レベル（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃淡レベル（Ｌｃ）が各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい座標を求める二値化手段（図１の１０９）と、求められた座標が連続する領域（図７のＲｌ１，Ｒｌ２）にラベルを付与するラベル付け手段（図１の１１０）と、ラベルが付与された領域（Ｒｌ１，Ｒｌ２）の面積が予め設定された値以上である場合は、ラベルが付与された領域（Ｒｌ１，Ｒｌ２）内に欠陥が有ると判定する判定手段（図１の１１１）とを具備することにある。
【００２６】本発明の電子部品の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体の第１の特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面の画像を撮影し、撮影した画像を複数の単位領域（図５のＲｕ）に分割して、各単位領域（Ｒｕ）毎に、撮影した画像の濃淡レベル（図４のＬｃ）の分布をそれぞれ求め、各単位領域（Ｒｕ）内における濃淡レベル（Ｌｃ）の分布中、最多頻度の濃淡レベル（Ｌｃ）から予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（図４のＬｓ）を求め、撮影した画像の各座標における二値化レベル（図４のＬｓ）を、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（Ｌｓ）に基づいて補間演算によりそれぞれ求め、撮影した画像の各座標における各濃淡レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標における二値化レベル（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃淡レベル（Ｌｃ）が各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい座標に欠陥が存在すると判定することをコンピュータに実現させることにある。
【００２７】本発明の電子部品の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体の第２の特徴は、検査対象物（図１の１０２）の表面の画像を撮影し、撮影した画像を複数の単位領域（図５のＲｕ）に分割して、各単位領域（Ｒｕ）毎に、撮影した画像の濃淡レベル（図４のＬｃ）の分布をそれぞれ求め、各単位領域（Ｒｕ）内における濃淡レベル（Ｌｃ）の分布中、最多頻度の濃淡レベル（Ｌｃ）から予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（図４のＬｓ）を求め、撮影した画像の各座標における二値化レベル（図４のＬｓ）を、各単位領域（Ｒｕ）における二値化レベル（Ｌｓ）に基づいて補間演算によりそれぞれ求め、撮影した画像の各座標における各濃淡レベル（Ｌｃ）と、求めた各座標における二値化レベル（Ｌｓ）とをそれぞれ比較し、各濃淡レベル（Ｌｃ）が各二値化レベル（Ｌｓ）より小さい座標を求め、求められた座標が連続する領域（図７のＲｌ１，Ｒｌ２）にラベルを付与し、ラベルが付与された領域（Ｒｌ１，Ｒｌ２）の面積が予め設定された値以上である場合は、ラベルが付与された領域（Ｒｌ１，Ｒｌ２）内に欠陥が有ると判定することをコンピュータに実現させることにある。
【００２８】このような手法及び手段を採用したことにより、本発明の電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体は、各単位領域毎に二値化レベルを求め、これに基づいて各座標における二値化レベルを補間演算により決定するので、局所的なむらＰや捺印文字Ｔによる影響を排除して、欠陥の有無を確実に判定できる。
【００２９】
【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施の形態の電子部品の外観検査装置のブロック構成図である。
【００３０】照射光源１０１は、照射光を照射する。
【００３１】電子部品１０２は、照射光源１０１からの照射光を、表面の反射率に応じて反射する。
【００３２】ＣＣＤカメラ１０３は、電子部品１０２からの反射光を一定領域に亙って撮像し、アナログ画像信号Ｓａとして出力する。
【００３３】ＣＣＤカメラ１０３からのアナログ画像信号Ｓａは、Ａ／Ｄ変換手段１０４によりＡ／Ｄ変換され、ディジタル濃淡画像データＤｂとして出力される。
【００３４】濃淡画像データ記憶手段１０５は、ディジタル濃淡画像データＤｂを内部に一旦格納する。
【００３５】単位領域内濃淡レベル分布算出手段１０６は、ディジタル濃淡画像データＤｂを読み出し、予め検査対象領域Ｒｔ内に設定された複数のサンプリング座標Ｃｓ（図５）を中心とした各単位領域Ｒｕ（図５）内におけるディジタル画像濃淡レベルＬｃ（図４）の分布を、例えばヒストグラム表記すること等によって算出し、単位領域別濃淡レベル分布データＤｃとして出力する。
【００３６】サンプリング座標別二値化レベル算出手段１０７は、単位領域別濃淡レベル分布データＤｃが供給され、各単位領域Ｒｕ（図５）内の最多頻度の濃淡レベルＬｃ（図４）を検索し、検索した濃淡レベルＬｃ（図４R>４）から予め設定したオフセット値を引いた値をサンプリング座標Ｃｓ（図５）における二値化レベルＬｓ（図４R>４）とし、サンプリング座標別二値化レベルデータＤｄとして出力する。
【００３７】画素座標別二値化レベル算出手段１０８は、サンプリング座標別二値化レベルデータＤｄが供給され、サンプリング座標Ｃｓ（図５）における二値化レベルＬｓ（図４）に基づいて補間演算し、検査対象領域Ｒｔ（図５）内の各画素座標について二値化レベルＬｓ（図４）を算出し、画素座標別二値化レベルデータＤｅとして出力する。
【００３８】二値化手段１０９は、画素座標別二値化レベルデータＤｅとディジタル濃淡画像データＤｂとが供給され、各画素座標について、濃淡レベルＬｃ（図４）が当該画素座標の二値化レベルＬｓ（図４）以上であれば当該画素座標における二値化データを“１”レベルに、濃淡レベルＬｃ（図４）が二値化レベルＬｓ（図４R>４）よりも小さければ当該画素座標における二値化データを“０”レベルにした二値化画像を作成し、二値化画像データＤｆとして出力する。
【００３９】ラベル付け手段１１０は、二値化画像データＤｆが供給され、二値化データの“０”レベルが連続する領域毎に同一名称のラベルを付与してラベル付け領域（図７のＲｌ１，Ｒｌ２）とし、各ラベル付け領域（図７のＲｌ１，Ｒｌ２）毎に面積を算出し、ラベルデータＤｇとして出力する。
【００４０】判定手段１１１は、ラベルデータＤｇが供給され、予め設定した面積値よりも面積の大きいラベル付け領域（図７のＲｌ１，Ｒｌ２）が１つでも有れば、「ボイド有り」と判定し、ボイド有りの場合のみ判定信号Ｓｈを出力する。
【００４１】図２は図１の電子部品の外観検査装置における各領域の概念図である。
【００４２】図２において、ＣＣＤカメラ１０３の撮影画像は、電子部品１０２のパッケージ１０２ａと端子１０２ｂの一部の領域を含んでいる。この内、パッケージ１０２ａのみを含む領域が検査対象領域Ｒｔとなる。撮影画像として撮影されたパッケージ１０２ａの画像には、パッケージ１０２ａにできた欠陥であるボイドＢと、パッケージ１０２ａに捺印された捺印文字Ｔと、パッケージ１０２ａ表面又は反射光によって生じたむらＰとが含まれている、図３は図１の電子部品の外観検査装置における検査処理フローチャートである。
【００４３】図１の照射光源１０１から出射した照射光は、パッケージ１０２ａ表面で反射され、ＣＣＤカメラ１０３へ入射した光は、Ａ／Ｄ変換手段１０４によってアナログ／ディジタル変換され、各画素座標における濃淡レベルＬｃを示すディジタル濃淡画像データＤｂとして濃淡画像データ記憶手段１０５に一旦蓄積される（ステップＳ３０１）。
【００４４】図１の単位領域内濃淡レベル分布算出手段１０６は、濃淡画像データ記憶手段１０５に蓄積されたディジタル濃淡画像データＤｂを読み出す（ステップＳ３０２）。
【００４５】図１の単位領域内濃淡レベル分布算出手段１０６は、読み出したディジタル濃淡画像データＤｂから、図５に示す検査対象領域Ｒｔ内に予め設定された複数のサンプリング座標Ｃｓを中心とする各単位領域Ｒｕのそれぞれについて、図６に示すような濃淡レベルＬｃの分布を求め、各単位領域Ｒｕの単位領域別濃淡レベル分布データＤｃとして出力する（ステップＳ３０３）。
【００４６】又、図５において捺印文字Ｔを含む単位領域Ｒｕの面積が小さすぎると、捺印文字Ｔの濃淡レベルＬｃが、この単位領域Ｒｕの最多頻度の分布データとなり、二値化レベルＬｓが本来設定すべきレベルよりも高くなり、誤判定の原因となってしまうので、単位領域Ｒｕの面積は、捺印文字Ｔが存在する単位領域Ｒｕにおいても、捺印文字Ｔ以外の濃淡レベルＬｃが最多頻度となるように設定しておく。
【００４７】図１のサンプリング座標別二値化レベル算出手段１０７は、各単位領域Ｒｕの単位領域別濃淡レベル分布データＤｃから、各単位領域Ｒｕ毎に、図６の濃淡レベルＬｃの分布中の最多頻度の濃淡レベルＬｃをそれぞれ求め、それぞれの最多頻度の濃淡レベルＬｃから予め設定したオフセット値を差し引いた値を、それぞれのサンプリング座標Ｃｓにおける二値化レベルＬｓとし、サンプリング座標別二値化レベルデータＤｄとして出力する（ステップＳ３０４）。
【００４８】このオフセット値は、サンプリング座標別二値化レベル算出手段１０７において、ボイドＢの濃淡レベルＬｃが“０”レベルに、パッケージ１０２ａ表面のボイドＢ以外の領域の濃淡レベルＬｃが“１”レベルになるように予め調整して設定しておく。
【００４９】ここで各単位領域Ｒｕの濃度レベルＬｃの分布中、最多頻度の濃淡レベルＬｃは、パッケージ１０２ａ表面の単位領域Ｒｕ内における平均的な濃淡レベルＬｃを表す。
【００５０】図１の画素座標別二値化レベル算出手段１０８は、サンプリング座標別二値化レベルデータＤｄが示す、サンプリング座標Ｃｓにおける二値化レベルＬｓに基づいて、検査対象領域Ｒｔ内の全ての画素座標について二値化レベルＬｓを補間演算により求め、画素座標別二値化レベルデータＤｅとして出力する（ステップＳ３０５）。
【００５１】ここでは一例として、画素座標Ｃｄ＝（Ｘ，Ｙ）における二値化レベルＬｓを、この画素座標Ｃｄを囲む４つのサンプリング座標Ｃｓ＝（Ｘ１，Ｙ１），（Ｘ２，Ｙ２），（Ｘ３，Ｙ３），（Ｘ４，Ｙ４）のそれぞれの二値化レベルＬｓ１，Ｌｓ２，Ｌｓ３，Ｌｓ４に基づき、以下の式から算出する。
【００５２】Ｌｓ＝（１−α）（１−β）・Ｌｓ１＋α（１−β）・Ｌｓ２＋（１−α）β・Ｌｓ３＋αβ・Ｌｓ４但し、α＝（Ｘ−Ｘ１）／（Ｘ２−Ｘ１），β＝（Ｙ−Ｙ１）／（Ｙ３−Ｙ１）とする。
【００５３】このようにして、ある画素座標Ｃｄを囲む４つのサンプリング座標Ｃｓの二値化レベルＬｓから、この画素座標Ｃｄの二値化レベルＬｓを補間演算して求めている。ここで、ある画素座標Ｃｄを囲むサンプリング座標Ｃｓの数が３つ以下の場合でも、同様に画素座標Ｃｄの二値化レベルＬｓを求めることができる。
【００５４】もし仮に、画素座標Ｃｄの二値化レベルＬｓを、サンプリング座標Ｃｓの二値化レベルＬｓから補間演算して求めないで、画素座標Ｃｄの二値化レベルＬｓをそのままサンプリング座標Ｃｓの二値化レベルＬｓとすれば、隣接し合う単位領域Ｒｕの境界で二値化レベルＬｓが不連続となり急激に変化するので、この境界付近のボイド面積の測定精度が低下してしまい、ボイドを見逃したり、むらＰを「ボイド有り」と誤判定してしまう問題がある。
【００５５】そこで本発明では、この問題を解決する為に、サンプリング座標Ｃｓにおける二値化レベルＬｓに基づいて、画素座標Ｃｄにおける二値化レベルＬｓを補間して求めることにより、検査対象領域Ｒｔ全体に亙って二値化レベルＬｓを連続的かつ滑らかに変化させて急激なレベル変化をなくしたので、隣接し合う単位領域Ｒｕの境界付近においても「ボイド有り」と誤判定しなくなっている。
【００５６】図１の二値化手段１０９は、各画素座標Ｃｄ毎に、ディジタル濃淡画像データＤｂが示す濃淡レベルＬｃが、画素座標別二値化レベルデータＤｅが示す二値化レベルＬｓより高いか低いかを判定基準として二値化処理し、二値化画像データＤｆとして出力する。ここでは各画素毎に、濃淡レベルＬｃが二値化レベルＬｓより高い場合は“１”レベルと判定し、逆の場合は“０”レベルと判定する（ステップＳ３０６）。
【００５７】図１のラベル付け手段１１０は、図７に示すように二値化画像データＤｆの“０”レベルが連続する各領域毎にラベルを付与して、これら各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の位置と面積を示すラベルデータＤｇを出力する（ステップＳ３０７）。
【００５８】図１の判定手段１１１は、図７の各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２毎に、ラベルデータＤｇが示す各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積と、予め内部に設定された面積とを比較し、ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積の方が設定された面積値より大きい場合に、当該ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の位置に欠陥が存在する判断して判定信号Ｓｈを出力する（ステップＳ３０８）。
【００５９】図４は図１の電子部品の外観検査装置における濃淡レベルＬｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標Ｃｄ特性線図である。
【００６０】図４は、図２中のＩＩ−ＩＩ線に沿ってレベルを見たものであり、左側の急激な凹部はボイドＢを、右側のなだらかな凹部はむらＰを、中央の３箇所の突起部分は捺印文字Ｔをそれぞれ示す。
【００６１】図４中、濃淡レベルＬｃが二値化レベルＬｓより大きい“１”レベルの領域がボイドがなく正常と判定される領域、濃淡レベルＬｃが二値化レベルＬｓより小さい“０”レベルの領域が「ボイド有り」と判定される領域である。
【００６２】本実施の形態では、各単位領域Ｒｕ中の最多頻度の濃度レベルＬｃが、パッケージ１０２ａの正常な濃度レベルとなるよう、各単位領域Ｒｕの面積が設定されている限り、むらＰや捺印文字Ｔ等の影響を受けなくなる。
【００６３】ここでもし単位領域Ｒｕの面積が小さすぎると、捺印文字Ｔを含む単位領域Ｒｕでは、単位領域Ｒｕ内の最多頻度の濃淡レベルＬｃが捺印文字Ｔの濃淡レベルＬｃとなってしまい、本来設定したい二値化レベルＬｓよりも実際の二値化レベルＬｓが高くなるので、捺印文字Ｔ以外の全ての領域に亙って「ボイド有り」と誤判定する問題があるので、単位領域Ｒｕの面積は、単位領域Ｒｕ内の捺印文字Ｔの面積よりも捺印文字Ｔ以外の領域の面積が大きくなるよう予め調整して設定しておく。
【００６４】このような原理に基づき、図４に示すように、本実施の形態では、二値化レベルＬｓもむらＰの濃淡レベルＬｃに追従して変化し、むらＰは二値化処理後に“０”レベルと判定されないので、「ボイド有り」と誤判定されなくなる。
【００６５】図５は図１の電子部品の外観検査装置における各座標の概念図である。図５では、各単位領域Ｒｕの中心にサンプリング座標Ｃｓが存在するが、このサンプリング座標Ｃｓは、各単位領域Ｒｕ内のどこにあっても良い。
【００６６】図７は図１の電子部品の外観検査装置におけるラベル付け結果の概念図である。二値化処理後、“０”が連続する各領域にはそれぞれラベルが付与されてラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２とされている。図７の例では、判定手段１１１は、予め設定した面積が“３”であった場合、ラベル付け領域Ｒｌ１にボイドが存在するという判定信号Ｓｈを出力する。
【００６７】以上のように、本実施の形態では、（１）各単位領域Ｒｕの最多頻度の濃度レベルＬｃから各単位領域Ｒｕの二値化レベルＬｓを求め、（２）この各単位領域Ｒｕの二値化レベルＬｓから補間演算により各画素座標における二値化レベルＬｓを求めるようにしたので、むらＰや捺印文字Ｔの影響を排除して、欠陥の有無を確実に検出でき、誤判定を大幅に低減できる。
【００６８】次に、本実施の形態の変形例を説明する。
【００６９】第１の変形例として、図１のラベル付け手段１１０において、図２の検査対象領域Ｒｔの一部に、ラベル付けをしないようにしたマスク領域を設定しても良い。
【００７０】第２の変形例として、図１のラベル付け手段１１０が図７のように各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積を算出し、判定手段１１１において各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積からボイドの有無を判定するのに代えて、ラベル付け手段１１０が、各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の外周上の最も離れた２点間の距離を算出し、この距離が予め設定された閾値以上である場合は、このラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２内にボイド有りと判定しても良い。
【００７１】第３の変形例として、図１のラベル付け手段１１０が図７のようにラベル付けされた各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積を算出し、判定手段１１１において各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積からボイドの有無を判定するのに代えて、ラベル付け手段１１０が、各ラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２の面積と、各ラベル付け領域Ｒｌ１、Ｒｌ２の外周上の最も離れた２点間の距離との両方を算出し、判定手段１１１にはこれら面積と距離の両方について、予め閾値をそれぞれ設定しておき、何れか一方がそれぞれの閾値より大きい場合は、このラベル付け領域Ｒｌ１，Ｒｌ２に「ボイド有り」と判定しても良い。
【００７２】図８は本発明の第２の実施の形態の電子部品の外観検査装置のブロック構成図である。本実施の形態は、図１の第１の実施の形態の電子部品の外観検査装置を、特にコンピュータ上に構成する場合に適した実施の形態を説明している。
【００７３】本実施の形態の電子部品の外観検査装置は、入力部２０１と、ＣＰＵ２０２と、メモリ２０３と、照射光源２０４ａと、ＣＣＤカメラ２０４ｂと、Ａ／Ｄコンバータ２０４ｃと、表示処理部２０５と、表示部２０６と、外部記憶装置２０７と、インターフェース部２０８と、バス２０９とから構成される。
【００７４】入力部２０１は、各種操作キー等からなる、キーボードやリモコン等の操作手段であり、次のＣＰＵ２０２へ各種指示を付与する。この手段は、特にコンピュータにおいては、アルファニューメリックキーボードや専用の入力装置・マウス・リモコン等で実現される。
【００７５】ＣＰＵ２０２は、マイクロコンピュータ等からなり、内蔵され又は外部から供給されるプログラム等により動作し各部を制御する。
【００７６】メモリ２０３は、ＲＡＭ等のメモリから構成され、ＣＰＵ２０２の制御により各種データを格納する。この手段は、特にコンピュータにおいては、ＲＡＭやフラッシュメモリやハードディスク等の各種記録媒体で実現される。
【００７７】照射光源２０４ａは、照射光を照射する。
【００７８】ＣＣＤカメラ２０４ｂは、電子部品１０２からの反射光を一定領域に亙って撮像し、アナログ画像信号Ｓａとして出力する。
【００７９】Ａ／Ｄコンバータ２０４ｃは、ＣＣＤカメラ２０４ｂからのアナログ画像信号Ｓａをアナログ／ディジタル変換し、ディジタル濃淡画像データＤｂとしてバス２０９へ出力する。
【００８０】表示処理部２０５は、バス２０９に接続され、バス２０９を介して送られてきた画像データを映像信号Ｓｄｐへ変換出力する。
【００８１】表示部２０６はディスプレイ装置やモニタ等の映像表示手段であり、映像信号Ｓｄｐを映像として表示する。この手段は、特にコンピュータにおいては、各種ディスプレイ装置等で実現される。
【００８２】外部記憶装置２０７は、ＣＰＵ２０２の各種処理プログラムや、メモリ２０３に格納されているのと同様なデータ等が格納されている記憶媒体であり、ＣＰＵ２０２の制御により各種データが書き込まれ読み出される。この手段は、特にコンピュータにおいては、ＲＡＭやフラッシュメモリやハードディスク等の各種記録媒体で実現される。
【００８３】インターフェース部２０８は、ＣＰＵ２０２と接続された外部とのインターフェースである。
【００８４】バス２０９は、入力部２０１，ＣＰＵ２０２，メモリ２０３，Ａ／Ｄコンバータ２０４ｃ、表示処理部２０５，外部記憶装置２０７，インターフェース部２０８を相互に接続する。
【００８５】本発明の第２の実施の形態の電子部品の外観検査方法は、第１の実施の形態の電子部品の外観検査方法と同様である。
【００８６】次に本発明の第２の実施の形態の電子部品の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体を説明する。
【００８７】第１の実施の形態の電子部品の外観検査方法及び電子部品の外観検査装置では、電子部品の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを、専用の外観検査装置の制御プログラムとして内蔵しているが、本実施の形態では汎用のコンピュータ装置等においてソフトウェアプログラム等で同様の処理を実現している。
【００８８】このソフトウェアプログラムの記録媒体として、メモリカード・フロッピーディスク・ハードディスク・ＣＤ−ＲＯＭ・ＤＶＤ−ＲＡＭ等の外部記録装置１０７に格納しても良いし、データ記憶部１０３上に当該プログラム専用の格納領域を設けて外部記録装置１０７から読み込んだプログラムを格納しておいても良い。
【００８９】その他の構成や処理フローチャートは前記第１の実施の形態の電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理方法をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体と同様である。
【００９０】尚、前記各実施の形態では、ＣＣＤカメラ１０３，２０４ａの撮影画像の画素毎に二値化処理したが、処理を高速化するために複数の画素をまとめて二値化処理しても構わない。
【００９１】又、補間方法としては、任意の補間方法を採用しても構わない。
【００９２】更に、図５に示すように、各単位領域Ｒｕは互いに重なり合わないように設定したが、各単位領域Ｒｕの大きさが一定以上となるよう設定し、これら各単位領域Ｒｕが互いに重なり合うようにしても良い。このようにすれば、各単位領域Ｒｕの面積が必要以上に小さくなるのを避けることができ、捺印文字Ｔを「ボイド有り」と誤判定する可能性が更に少なくなる。
【００９３】
【発明の効果】以上のような手法及び手段を採用したことにより、本発明の電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体は、次のような効果を発揮する。
【００９４】第１点として、サンプリング座標により定義される、予め設定した各単位領域内の濃淡レベルの分布からサンプリング座標の二値化レベルを求めた後、各画素座標の二値化レベルをサンプリング座標の二値化レベルに基づいて補間演算により求めるので、捺印文字やボイド等の影響を受けず、むらに精度よく追従した連続性のある二値化レベルを設定でき、むらを「ボイド有り」と誤判定することが大幅に低減され、検査精度を大幅に向上できる利点がある。
【００９５】第２点として、二値化処理により得られた“０”レベルの領域をラベル付けし、このラベルの面積に基づいてボイドの有無を最終的に判定するので、むらを「ボイド有り」と誤判定することが大幅に低減され、検査精度を大幅に向上できる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態の電子部品の外観検査装置のブロック構成図である。
【図２】図１の電子部品の外観検査装置における各領域の概念図である。
【図３】図１の電子部品の外観検査装置における検査処理フローチャートである。
【図４】図１の電子部品の外観検査装置における濃淡レベルＬｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標Ｃｄ特性線図である。
【図５】図１の電子部品の外観検査装置における各座標の概念図である。
【図６】図１の電子部品の外観検査装置における単位領域Ｒｕ内の濃度レベルＬｃ分布概念図である。
【図７】図１の電子部品の外観検査装置におけるラベル付け結果の概念図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態の電子部品の外観検査装置のブロック構成図である。
【図９】第１従来例の欠陥検査装置のブロック構成図である。
【図１０】図９の欠陥検査装置における各領域の概念図である。
【図１１】図９の欠陥検査装置における濃淡レベルＬｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標特性線図である。
【図１２】第２従来例の欠陥検査装置における濃淡レベルＬｃ及び二値化レベルＬｓ−画素座標特性線図である。
【符号の簡単な説明】
２ 電子部品
２ａ パッケージ
２ｂ 端子
１０ 検査対象
２０ レーザー光源
２８ 受光器
３２ 加算手段
３４ Ａ／Ｄ変換手段
３６ 濃度変換手段
３８ 微分フィルタ
４０ 欠陥アドレス検出手段
４２ ２値化処理手段
４８ 欠陥領域抽出手段
１０１ 照射光源
１０２ 電子部品
１０２ａ パッケージ
１０２ｂ 端子
１０３ ＣＣＤカメラ
１０４ Ａ／Ｄ変換手段
１０５ 濃淡画像データ記憶手段
１０６ 単位領域内濃淡レベル分布算出手段
１０７ サンプリング座標別二値化レベル算出手段
１０８ 画素座標別二値化レベル算出手段
１０９ 二値化手段
１１０ ラベル付け手段
１１１ 判定手段
２０１ 入力部
２０２ ＣＰＵ
２０３ メモリ
２０４ａ 照射光源
２０４ｂ ＣＣＤカメラ
２０４ｃ Ａ／Ｄコンバータ
２０５ 表示処理部
２０６ 表示部
２０７ 外部記憶装置
２０８ インターフェース部
２０９ バス
【特許請求の範囲】
【請求項１】 検査対象物の表面の画像を撮影し、前記撮影した画像を複数の単位領域に分割して、前記各単位領域毎に、前記撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求め、前記各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の前記濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、前記各単位領域における二値化レベルを求め、前記撮影した画像の各座標における二値化レベルを、前記各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算によりそれぞれ求め、前記撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、前記求めた各座標における二値化レベルとをそれぞれ比較し、前記各濃淡レベルが前記各二値化レベルより小さい座標に欠陥が存在すると判定することを特徴とする電子部品の外観検査方法。
【請求項２】 検査対象物の表面の画像を撮影し、前記撮影した画像を複数の単位領域に分割して、前記各単位領域毎に、前記撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求め、前記各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の前記濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、前記各単位領域における二値化レベルを求め、前記撮影した画像の各座標における二値化レベルを、前記各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算によりそれぞれ求め、前記撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、前記求めた各座標における二値化レベルとをそれぞれ比較し、前記各濃淡レベルが前記各二値化レベルより小さい座標を求め、前記求められた座標が連続する領域にラベルを付与し、前記ラベルが付与された領域の面積が予め設定された値以上である場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定することを特徴とする電子部品の外観検査方法。
【請求項３】 前記撮影した画像の領域内に、前記ラベルを付与する対象から除外される領域が設定されることを特徴とする請求項２記載の電子部品の外観検査方法。
【請求項４】 前記ラベルが付与された領域の面積を求め、前記面積に基づいて欠陥の有無を判定するのに代えて、前記ラベルが付与された領域毎の外周上の最も離れた２点間の距離を求め、前記距離が予め設定された値以上の場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定することを特徴とする請求項２又は３の何れかに記載の電子部品の外観検査方法。
【請求項５】 前記ラベルが付与された領域の面積を求め、前記面積に基づいて欠陥の有無を判定するのに代えて、前記ラベルが付与された領域の面積と、前記ラベルが付与された領域の外周上の最も離れた２点間の距離とを求め、前記面積が予め設定された第１の値以上の場合、又は前記距離が予め設定された第２の値以上の場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定することを特徴とする請求項２又は３の何れかに記載の電子部品の外観検査方法。
【請求項６】 検査対象物の表面の画像を撮影する撮像手段と、前記撮影した画像を複数の単位領域に分割して、前記各単位領域毎に、前記撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求める単位領域内濃淡レベル分布算出手段と、前記各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の前記濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、前記各単位領域における二値化レベルを求めるサンプリング座標別二値化レベル算出手段と、前記撮影した画像の各座標における二値化レベルを、前記各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算によりそれぞれ求める画素座標別二値化レベル算出手段と、前記撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、前記求めた各座標における二値化レベルとをそれぞれ比較し、前記各濃淡レベルが前記各二値化レベルより小さい座標に欠陥が存在すると判定する二値化手段とを具備することを特徴とする電子部品の外観検査装置。
【請求項７】 検査対象物の表面の画像を撮影する撮像手段と、前記撮影した画像を複数の単位領域に分割して、前記各単位領域毎に、前記撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求める単位領域内濃淡レベル分布算出手段と、前記各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の前記濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、前記各単位領域における二値化レベルを求めるサンプリング座標別二値化レベル算出手段と、前記撮影した画像の各座標における二値化レベルを、前記各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算によりそれぞれ求める画素座標別二値化レベル算出手段と、前記撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、前記求めた各座標における二値化レベルとをそれぞれ比較し、前記各濃淡レベルが前記各二値化レベルより小さい座標を求める二値化手段と、前記求められた座標が連続する領域にラベルを付与するラベル付け手段と、前記ラベルが付与された領域の面積が予め設定された値以上である場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定する判定手段とを具備することを特徴とする電子部品の外観検査装置。
【請求項８】 前記ラベル付け手段は、前記撮影した画像の領域内に、前記ラベルを付与する対象から除外される領域を設定することを特徴とする請求項７記載の電子部品の外観検査装置。
【請求項９】 前記判定手段は、前記ラベルが付与された領域の面積を求め、前記面積に基づいて欠陥の有無を判定するのに代えて、前記ラベルが付与された領域毎の外周上の最も離れた２点間の距離を求め、前記距離が予め設定された値以上の場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定することを特徴とする請求項７又は８の何れかに記載の電子部品の外観検査装置。
【請求項１０】 前記判定手段は、前記ラベルが付与された領域の面積を求め、前記面積に基づいて欠陥の有無を判定するのに代えて、前記ラベルが付与された領域の面積と、前記ラベルが付与された領域の外周上の最も離れた２点間の距離とを求め、前記面積が予め設定された第１の値以上の場合、又は前記距離が予め設定された第２の値以上の場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定することを特徴とする請求項７又は８の何れかに記載の電子部品の外観検査装置。
【請求項１１】 検査対象物の表面の画像を撮影し、前記撮影した画像を複数の単位領域に分割して、前記各単位領域毎に、前記撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求め、前記各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の前記濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、前記各単位領域における二値化レベルを求め、前記撮影した画像の各座標における二値化レベルを、前記各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算によりそれぞれ求め、前記撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、前記求めた各座標における二値化レベルとをそれぞれ比較し、前記各濃淡レベルが前記各二値化レベルより小さい座標に欠陥が存在すると判定することを特徴とする電子部品の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体。
【請求項１２】 検査対象物の表面の画像を撮影し、前記撮影した画像を複数の単位領域に分割して、前記各単位領域毎に、前記撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求め、前記各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の前記濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、前記各単位領域における二値化レベルを求め、前記撮影した画像の各座標における二値化レベルを、前記各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算によりそれぞれ求め、前記撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、前記求めた各座標における二値化レベルとをそれぞれ比較し、前記各濃淡レベルが前記各二値化レベルより小さい座標を求め、前記求められた座標が連続する領域にラベルを付与し、前記ラベルが付与された領域の面積が予め設定された値以上である場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定することを特徴とする電子部品の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体。
【請求項１３】 前記撮影した画像の領域内に、前記ラベルを付与する対象から除外される領域が設定されることを特徴とする請求項１２記載の電子部品の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体。
【請求項１４】 前記ラベルが付与された領域の面積を求め、前記面積に基づいて欠陥の有無を判定するのに代えて、前記ラベルが付与された領域毎の外周上の最も離れた２点間の距離を求め、前記距離が予め設定された値以上の場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定することを特徴とする請求項１２又は１３の何れかに記載の電子部品の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体。
【請求項１５】 前記ラベルが付与された領域の面積を求め、前記面積に基づいて欠陥の有無を判定するのに代えて、前記ラベルが付与された領域の面積と、前記ラベルが付与された領域の外周上の最も離れた２点間の距離とを求め、前記面積が予め設定された第１の値以上の場合、又は前記距離が予め設定された第２の値以上の場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定することを特徴とする請求項１２又は１３の何れかに記載の電子部品の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体。
【請求項１】 検査対象物の表面の画像を撮影し、前記撮影した画像を複数の単位領域に分割して、前記各単位領域毎に、前記撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求め、前記各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の前記濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、前記各単位領域における二値化レベルを求め、前記撮影した画像の各座標における二値化レベルを、前記各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算によりそれぞれ求め、前記撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、前記求めた各座標における二値化レベルとをそれぞれ比較し、前記各濃淡レベルが前記各二値化レベルより小さい座標に欠陥が存在すると判定することを特徴とする電子部品の外観検査方法。
【請求項２】 検査対象物の表面の画像を撮影し、前記撮影した画像を複数の単位領域に分割して、前記各単位領域毎に、前記撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求め、前記各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の前記濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、前記各単位領域における二値化レベルを求め、前記撮影した画像の各座標における二値化レベルを、前記各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算によりそれぞれ求め、前記撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、前記求めた各座標における二値化レベルとをそれぞれ比較し、前記各濃淡レベルが前記各二値化レベルより小さい座標を求め、前記求められた座標が連続する領域にラベルを付与し、前記ラベルが付与された領域の面積が予め設定された値以上である場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定することを特徴とする電子部品の外観検査方法。
【請求項３】 前記撮影した画像の領域内に、前記ラベルを付与する対象から除外される領域が設定されることを特徴とする請求項２記載の電子部品の外観検査方法。
【請求項４】 前記ラベルが付与された領域の面積を求め、前記面積に基づいて欠陥の有無を判定するのに代えて、前記ラベルが付与された領域毎の外周上の最も離れた２点間の距離を求め、前記距離が予め設定された値以上の場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定することを特徴とする請求項２又は３の何れかに記載の電子部品の外観検査方法。
【請求項５】 前記ラベルが付与された領域の面積を求め、前記面積に基づいて欠陥の有無を判定するのに代えて、前記ラベルが付与された領域の面積と、前記ラベルが付与された領域の外周上の最も離れた２点間の距離とを求め、前記面積が予め設定された第１の値以上の場合、又は前記距離が予め設定された第２の値以上の場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定することを特徴とする請求項２又は３の何れかに記載の電子部品の外観検査方法。
【請求項６】 検査対象物の表面の画像を撮影する撮像手段と、前記撮影した画像を複数の単位領域に分割して、前記各単位領域毎に、前記撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求める単位領域内濃淡レベル分布算出手段と、前記各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の前記濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、前記各単位領域における二値化レベルを求めるサンプリング座標別二値化レベル算出手段と、前記撮影した画像の各座標における二値化レベルを、前記各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算によりそれぞれ求める画素座標別二値化レベル算出手段と、前記撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、前記求めた各座標における二値化レベルとをそれぞれ比較し、前記各濃淡レベルが前記各二値化レベルより小さい座標に欠陥が存在すると判定する二値化手段とを具備することを特徴とする電子部品の外観検査装置。
【請求項７】 検査対象物の表面の画像を撮影する撮像手段と、前記撮影した画像を複数の単位領域に分割して、前記各単位領域毎に、前記撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求める単位領域内濃淡レベル分布算出手段と、前記各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の前記濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、前記各単位領域における二値化レベルを求めるサンプリング座標別二値化レベル算出手段と、前記撮影した画像の各座標における二値化レベルを、前記各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算によりそれぞれ求める画素座標別二値化レベル算出手段と、前記撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、前記求めた各座標における二値化レベルとをそれぞれ比較し、前記各濃淡レベルが前記各二値化レベルより小さい座標を求める二値化手段と、前記求められた座標が連続する領域にラベルを付与するラベル付け手段と、前記ラベルが付与された領域の面積が予め設定された値以上である場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定する判定手段とを具備することを特徴とする電子部品の外観検査装置。
【請求項８】 前記ラベル付け手段は、前記撮影した画像の領域内に、前記ラベルを付与する対象から除外される領域を設定することを特徴とする請求項７記載の電子部品の外観検査装置。
【請求項９】 前記判定手段は、前記ラベルが付与された領域の面積を求め、前記面積に基づいて欠陥の有無を判定するのに代えて、前記ラベルが付与された領域毎の外周上の最も離れた２点間の距離を求め、前記距離が予め設定された値以上の場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定することを特徴とする請求項７又は８の何れかに記載の電子部品の外観検査装置。
【請求項１０】 前記判定手段は、前記ラベルが付与された領域の面積を求め、前記面積に基づいて欠陥の有無を判定するのに代えて、前記ラベルが付与された領域の面積と、前記ラベルが付与された領域の外周上の最も離れた２点間の距離とを求め、前記面積が予め設定された第１の値以上の場合、又は前記距離が予め設定された第２の値以上の場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定することを特徴とする請求項７又は８の何れかに記載の電子部品の外観検査装置。
【請求項１１】 検査対象物の表面の画像を撮影し、前記撮影した画像を複数の単位領域に分割して、前記各単位領域毎に、前記撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求め、前記各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の前記濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、前記各単位領域における二値化レベルを求め、前記撮影した画像の各座標における二値化レベルを、前記各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算によりそれぞれ求め、前記撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、前記求めた各座標における二値化レベルとをそれぞれ比較し、前記各濃淡レベルが前記各二値化レベルより小さい座標に欠陥が存在すると判定することを特徴とする電子部品の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体。
【請求項１２】 検査対象物の表面の画像を撮影し、前記撮影した画像を複数の単位領域に分割して、前記各単位領域毎に、前記撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求め、前記各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の前記濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、前記各単位領域における二値化レベルを求め、前記撮影した画像の各座標における二値化レベルを、前記各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算によりそれぞれ求め、前記撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、前記求めた各座標における二値化レベルとをそれぞれ比較し、前記各濃淡レベルが前記各二値化レベルより小さい座標を求め、前記求められた座標が連続する領域にラベルを付与し、前記ラベルが付与された領域の面積が予め設定された値以上である場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定することを特徴とする電子部品の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体。
【請求項１３】 前記撮影した画像の領域内に、前記ラベルを付与する対象から除外される領域が設定されることを特徴とする請求項１２記載の電子部品の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体。
【請求項１４】 前記ラベルが付与された領域の面積を求め、前記面積に基づいて欠陥の有無を判定するのに代えて、前記ラベルが付与された領域毎の外周上の最も離れた２点間の距離を求め、前記距離が予め設定された値以上の場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定することを特徴とする請求項１２又は１３の何れかに記載の電子部品の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体。
【請求項１５】 前記ラベルが付与された領域の面積を求め、前記面積に基づいて欠陥の有無を判定するのに代えて、前記ラベルが付与された領域の面積と、前記ラベルが付与された領域の外周上の最も離れた２点間の距離とを求め、前記面積が予め設定された第１の値以上の場合、又は前記距離が予め設定された第２の値以上の場合は、前記ラベルが付与された領域内に欠陥が有ると判定することを特徴とする請求項１２又は１３の何れかに記載の電子部品の外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体。
【図１】
【図４】
【図２】
【図５】
【図６】
【図７】
【図３】
【図８】
【図１０】
【図１１】
【図９】
【図１２】
【図４】
【図２】
【図５】
【図６】
【図７】
【図３】
【図８】
【図１０】
【図１１】
【図９】
【図１２】
【公開番号】特開２０００−１６１９２９（Ｐ２０００−１６１９２９Ａ）
【公開日】平成１２年６月１６日（２０００．６．１６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願平１０−３３８１７４
【出願日】平成１０年１１月２７日（１９９８．１１．２７）
【出願人】（０００００４２３７）日本電気株式会社 (19,353)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１２年６月１６日（２０００．６．１６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１０年１１月２７日（１９９８．１１．２７）
【出願人】（０００００４２３７）日本電気株式会社 (19,353)
【Ｆターム（参考）】
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