【課題】回路規模および演算時間の増大を招くことなくキャリブレーションずれを再補正する。
【解決手段】キャリブレーションによって補正された左右のカメラステレオ平行化後画像間のずれ量を、キャリブレーションずれ再補正部１５を含む対応点探索部９による対応点の探索処理中において、キャリブレーションずれ再補正部１５によるキャリブレーションずれ再補正処理で得られるデータを用いて再補正する。こうして、距離計測装置１における内部ハードウェアの回路規模および演算時間を増大させることなく計測精度を高めることができる。また、上記右カメラステレオ平行化後画像を上下にずらして、左右のカメラステレオ平行化後画像の上下方向のずれを再補正する。こうして、問題になり易い上下方向のキャリブレーションずれを低減することができる。その際に、対応点の探索を行う際の右カメラステレオ平行化後画像の最適位置を確実に見出すことができる。 （もっと読む）

【課題】光干渉信号出力をセンサ信号とするセンサには、構成が簡単で、センサ部分の無電源化が可能なホモダイン干渉方式があるが、安定な動作を得るには、使用部品に対し厳しい工作精度と熱膨張対策が必要であると共に、センサ信号として変動できる位相範囲は±９０度以内に限られていた。
【解決手段】干渉計の入力を周期性光パルスとし、参照光パルスの前半と後半で位相を９０度（直交位相）異なる位相とし、計測光パルスと干渉させることにより、９０度異なる２つの干渉出力値ｉ１、ｉ２を得て、その参照光と計測光の値ｒ、ｓとから、参照光と計測光の位相差をθとして、２つの余弦値ｃｏｓθ１、ｃｏｓθ２を算出して余弦曲線上に位置を定め、その角度θ１、θ２を求めることによって、干渉光の強度変動、位相動作点変動の影響を除外するとともに、１周期前との角度の差分を積算して、センサ出力とすることにより、センサ信号として変動できる位相範囲が、±９０度（半波長）を超えることを許容する光ファイバセンサを提供する。 （もっと読む）

【課題】露光時の走査方向の違いによって生じるスキャン精度の差異を求めることが可能
な表面検査装置を提供する。
【解決手段】露光によって作製されたパターンを有するウェハを照明光で照明する照明系
２０と、パターンで反射した照明光を検出する受光系３０および撮像装置３５と、撮像装
置３５により撮像されたウェハの回折画像からパターンの線幅を求め、走査方向によるパ
ターンの線幅の差を求める検査部４２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】暗視野方式の検査装置などにおいて、信号を実測しながら検査条件を決める方法では時間がかかることと、設定した感度条件が適切か否かの判断が作業者の裁量に左右されることが課題である。
【解決手段】検査装置において、試料を保持するステージと、前記ステージ上に保持された試料の表面に照明光を照射する照明光学系と、前記試料に照射された照射光によって発生した散乱光を検出する暗視野光学系と、前記暗視野光学系にて検出された散乱光を電気信号に変換する光電変換部と、前記光電変換部によって変換された電気信号をデジタル信号に変化するＡＤ変換部と、前記試料表面上の異物からの散乱光の大きさから異物の大きさを判定する判定部と、前記試料面からの散乱光情報を用いて、検査条件を決定する信号処理部とを有する。 （もっと読む）

【課題】撮像装置や現実物体に装着された姿勢センサの校正を、簡便かつ正確に行う為の技術を提供する。
【解決手段】姿勢計測値取得部１４５は、撮像装置１２０に装着された姿勢センサ１１０による姿勢計測値、現実物体１２５に装着されたセンサ１１５による姿勢計測値を取得する。画像処理部１３５は、現実物体１２５上に配置された指標の撮像画像上における画像座標を取得する。校正部１６０は、撮像装置１２０に対するセンサ１１０の配置情報、現実物体１２５に対するセンサ１１５の配置情報、のうち少なくとも１つを、上記２つの姿勢計測値、画像座標を用いて求める。 （もっと読む）

【課題】解体対象を固定している固定部材の位置の検出精度を高めること。
【解決手段】解体対象を撮像した撮像画像から、前記解体対象を固定している固定部材の画像として予め決められている固定部材画像を検出する固定部材画像検出部と、前記固定部材画像検出部により検出された前記固定部材画像の位置を示す位置情報を算出する位置情報取得部と、前記解体対象を固定している複数の前記固定部材の予め決められた位置関係を示す配置パターンと前記位置情報とに基づき、前記固定部材画像検出部によって検出された前記固定部材画像が前記配置パターンに含まれる前記複数の固定部材に対応するか否かを判定する配置パターン対応確認部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】樹脂製保持器に対して高精度に欠陥等を検出することができる樹脂製保持器の欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】転動体７が保持されるポケット８を周方向に沿って複数個有する樹脂製保持器１の欠陥を検査する。樹脂製保持器１をその軸心廻りに回転駆動させつつ、樹脂製保持器１のアキシャル方向及び／又はラジアル方向の変位を検出し、この変位量に基づいて良品判定を行う。 （もっと読む）

【課題】測定可能な膜厚の上限値を容易に変更することができる光干渉システム、基板処理装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】光干渉システム１は、光源１０、コリメータ１２、単一の受光素子４１、チューナブルフィルタ４０及び演算装置１５を備える。コリメータ１２は、光源１０からの測定光を測定対象物の第１主面へ出射するとともに、第１主面及び第２主面からの反射光を入射する。単一の受光素子４１は、コリメータ１２からの光の強度を取得する。チューナブルフィルタ４０は、受光素子４１に入射される光の波長を掃引する。演算装置１５は、チューナブルフィルタ４０及び受光素子４１を用いて、波長に依存した強度分布であって第１主面及び第２主面からの反射光の強度分布である干渉強度分布を測定し、干渉強度分布をフーリエ変換して得られる波形に基づいて測定対象物の厚さ又は温度を計測する。 （もっと読む）

【課題】所望の計測部分の幾何的な物理量を選択的にかつ容易に取得することが可能な画像処理装置および画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】対象物画像データに基づいて対象物画像ＯＩが表示されるとともに、指定画像データに基づいて対象物画像の特定部分に対応する計測部分指定画像ＡＩが表示される。使用者による操作部の操作により、表示される計測部分指定画像ＡＩが対象物画像ＯＩに相対的に移動される。計測部分指定画像ＡＩが対象物画像ＯＩの特定部分に移動された場合、その特定部分に対応するように予め設定された計測対象物の計測部分の物理量が計測される。 （もっと読む）

【課題】画像から所望の領域を容易に抽出可能な画像処理装置および画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】画像データに基づく初期画像ＩＭが表示部２６０に表示される。使用者が初期画像ＩＭにおいて抽出すべき領域を含む抽出範囲を指定することにより、抽出範囲内で設定された抽出条件に基づいて一または複数の領域が抽出される。抽出された一または複数の領域から、領域に関する特徴情報に基づいて特徴領域が選択される。選択された特徴領域が抽出領域として決定される。使用者が初期画像ＩＭにおいて抽出すべき他の領域を含む抽出範囲を指定することにより、抽出範囲内で設定された抽出条件に基づいて一または複数の領域が抽出される。抽出された一または複数の領域から、領域に関する特徴情報に基づいて特徴領域が選択される。選択された特徴領域は、既に決定された抽出領域に加えられる。 （もっと読む）

【課題】高精度に調整可能な露光装置の調整方法を提供することにある。
【解決手段】本発明の露光装置の調整方法は、鏡面部に光散乱部位を有する鏡面部材を有する露光装置の上記鏡面部に対し、レーザー光を照射する工程と、上記鏡面部の上記光散乱部位からの上記レーザー光の散乱光に基づき、上記光散乱部位までの距離を演算する工程と、上記演算工程に基づき上記鏡面部の形状を判定する工程と、上記判定結果に基づき、上記鏡面部の形状を調整する工程と、を有する。かかる方法によれば、鏡面部であっても光散乱により鏡面部の形状認識が可能となり、これに基づき、鏡面部の表面形状を調整することで、露光光の平行度の補正を効果的に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】研磨部及び再研磨部の仕上がり具合を簡単な手法で定量的に評価できる金属板の外観評価方法を提供する。
【解決手段】この金属板の外観評価方法では、金属板１の表面のデジタル画像１０をスキャナ４によって取得し、デジタル画像１０の一部画像１１に含まれる各ピクセルのＲＧＢ値をグレースケール変換して得られるＡｃ値の波形パターンに基づいて研磨部２及び再研磨部３の外観の可否を判断する。波形パターンを用いることで、研磨部２及び再研磨部３の外観を容易かつ定量的に判断できる。また、この方法では、波形パターンに基づいて、研磨部２及び再研磨部３の研磨方向がスキャナ４の走査方向と一致しているデジタル画像１０を判断対象として選別する。この前処理により、外観判断工程で用いる波形パターンのＳ／Ｎ比が向上し、判断精度が高められる。 （もっと読む）

【課題】シート材の影響を抑制してテストパターンの位置を検出する画像形成装置を提供すること。
【解決手段】液滴の吐出タイミングを調整する装置１００であって、テストパターンからの反射光を読み出す読み取り手段３０と、均一パターンの印刷データを記憶する印刷データ記憶手段５４と、均一パターンを記録媒体に印刷した後、テストパターンを均一パターン上に印刷するパターン形成手段５２と、読み取り手段を等速で移動させる相対移動手段３１３と、テストパターンが形成された記録媒体に対し読み取り手段が相対移動しながら、テストパターンを光が横断する際に前記受光手段が受光した反射光の第１の検出データを取得する第１の検出データ取得手段６１７と、予め定められた上限値と下限値の間に含まれる第１の検出データにライン位置決定演算を施してテストパターンの位置を検出する位置検出手段６１６、を有する。 （もっと読む）

【課題】透明体であるワークの安定的な位置を検出することができるワーク位置検出システムを提供する。
【解決手段】透明体であるワークの端面が発光するように光を照射する少なくとも一つの投光部（２１ａ〜２１ｃ）と、光によってワークの端面に生じた発光箇所を撮像する撮像部（２２ａ、２２ｂ）と、撮像部による撮像結果に基づいてワークの位置を検出する検出部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】片眼でも立体感を得ることができる立体感提示装置を提供する。
【解決手段】間隔をおいて配置された２台のカメラから出力されるステレオ画像データを構成する左右の画像データに基づいて距離画像データを生成する距離画像生成手段53と，生成された距離画像データを用いて，上記の左または右の画像データに，距離に応じた焦点ぼけを与えてぼけ画像データを生成するぼけ画像生成手段55を備える。生成されたぼけ画像データに基づいて対象の焦点ぼけ画像を表示装置に表示する。 （もっと読む）

【課題】投影装置の動作をフレームごとに制御することを可能にする。
【解決手段】投影装置を制御するための投影制御装置は、複数の色成分で構成された映像信号を受信し、受信した映像信号の各フレームについて特定の色成分の情報を制御情報として抽出し、抽出された制御情報に基づいて投影装置の動作を制御するための投影制御情報をフレームごとに生成し、生成した投影制御情報を投影装置に供給する。 （もっと読む）

【課題】鏡面反射面の形状を測定する方法が提供される。
【解決手段】ターゲット面１４２に配置されたターゲット１４０の表面１４４に表示されたパターンを測定面１２２に配置された鏡面反射面１２４から反射させる。反射の画像が撮像面１５４において記録される。撮像面１５４に対する鏡面反射面１２４上の複数の点の位置が決定される。反射の画像上の複数のフィーチャ位置とパターン上の複数のフィーチャ位置との間の第１の関係が決定される。複数の点の位置を初期状態として用いて、鏡面反射面の表面プロファイル及び第１の関係を含む第２の関係から鏡面反射面の形状が決定される。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＯＳ型イメージセンサ等を用いて、ローリングシャッター方式で撮像されたボール像が歪んでいても、ボールの運動を正確に解析することができるようにする。
【解決手段】撮像装置１００は、ボール像が楕円形に歪んだ状態で含まれるフレームを、内領域Ａ３とその内領域Ａ３と内領域Ａ３の外側の外領域Ａ４とを有する楕円分離度フィルターによってフィルタリング処理することによって、分離度を算出する分離度算出手段７ｇと、内領域Ａ３の中心位置、長径、短径及び傾斜角を変更しながら分離度算出手段７ｇによって算出される分離度が最大となる中心位置、長径、短径及び傾斜角をボール像の中心位置、長径、短径及び傾斜角として推定する推定手段７ｈと、推定手段７ｈによって推定されたボール像の中心位置の差分とフレーム間のフレーム数とフレームレートとから、ボールの速度を算出する速度算出手段７ｐと、を備える。 （もっと読む）

【課題】被計測物が様々な屈折率で、かつ様々な厚さの透明媒質の下に配置されていても、その被計測物の高さを容易に計測する。
【解決手段】高さ計測装置１は、照明光から分岐された第１照明光を被計測物６に導く対物レンズ２４と、照明光から分岐された第２照明光を参照ミラー２８に導く対物レンズ２６と、第２照明光の光路長を調整する移動部３６と、被計測物６及び参照ミラー２８で反射される２つの照明光の干渉像を撮像する高速度カメラ１２と、対物レンズ２４と被計測物６とを光軸方向に相対移動するピエゾ駆動装置１８と、を備える。 （もっと読む）