【課題】クラックでない線状の領域の誤検出を招くことなく、高精度にクラックを検出する。
【解決手段】クラックの領域を映している可能性がある画素を選別する画素選別処理部４と、画素選別処理部４により選別された画素を繋ぎ合わせて線状の画像領域を形成し、その画像領域がクラックの一部を構成している線分であるか否かを判別する線分判別処理部５と、線分判別処理部５によりクラックの一部を構成していると判別された線分を繋ぎ合わせて折れ線を形成し、その折れ線がクラックに相当する折れ線であるか否かを判別する折れ線判別処理部６とを設け、折れ線判別処理部６によりクラックに相当すると判別された折れ線を表示する。 （もっと読む）

【課題】正常製品群に基づいて作成された基準空間に基づいて決定された検査閾値と、被検査製品の画像のマハラノビス距離とを比較することでその被検査製品の画像の検査を行う画像検査方法、画像検査装置において、基準空間の質を高めること。
【解決手段】当初の基準空間を使用した検査の結果（Ｓ３１〜Ｓ３５）、不良と判定された被検査製品の画像である不良判定画像が、誤判定であるか否かが評価されたとして、電子計算機は、その評価によって誤判定であると評価された不良判定画像である誤判定画像を記憶装置に記憶させる（Ｓ３７）。その記憶装置に記憶された誤判定画像の数量Ｎが、所定量Ｎ_０に達しか否かを判定する（Ｓ３８）。所定量Ｎ_０に達した場合は（Ｓ３８、Ｙｅｓ）、記憶装置から誤判定画像を読み出す（Ｓ３９）。読み出した誤判定画像を当初の基準画像の群に加えて、基準空間を再度作成する（Ｓ４０）。 （もっと読む）

【課題】はんだ印刷工程における基板の抜き取りや再投入が基板の品質に及ぼす影響を容易に確認できるようにする。
【解決手段】はんだ印刷検査機において、毎時の検査対象基板の識別コードおよび検査時刻をメモリに蓄積し、この蓄積データを１つずつ遡りながら現在の検査対象基板と識別コードが一致するものを検索する。該当する基板が見つかったとき、その基板が不良により抜き取られ、抜き取られた基板を再投入したものが検査対象基板であると認識する。また、毎回の検査結果に基づき、各基板の品質を表す情報を時系列に並べたグラフを作成してモニタに表示すると共に、このグラフに含まれるデータのうち、再投入と認識された基板に対応するデータを『Ｒ』の記号により明示する。 （もっと読む）

【課題】ワイヤーロープを走行しながら連続撮影を行った撮影画像を基にワイヤーロープの状態を確実に検査できるワイヤーロープ検査装置を提供する。
【解決手段】ワイヤーロープ検査装置において、ワイヤーロープ１００を走行しながら連続撮影を行うカメラ１０と、撮影画像とワイヤーロープ位置の対応付けを行って撮影画像を保存する画像保存手段と、表示したいワイヤーロープ位置を指定することで、その指定位置に対応するワイヤーロープの撮影画像を表示する画像表示部１６と、画像処理によってワイヤーロープ１００の素線切れを検査する素線切れ検出部１８とを備えた。 （もっと読む）

【課題】画像ファイルのファイル名から良否の判定結果を知ることを可能にし、さらに良否の判定結果を越える内容もファイル名から知ることを可能にする。
【解決手段】撮像装置１で撮像した検査対象物の画像から抽出した文字について、文字領域抽出部２，特徴量記憶部３、特徴量抽出部４、特徴量照合部５により文字認識を行う。判断部６は、検査対象物を撮像した画像に含まれる文字に対する文字認識の結果について所望の文字と一致するか否かの良否判定を行う。ファイル名生成部７は、判断部６において不一致と判定されたときに少なくとも一致しなかった文字と判定結果とを含むファイル名を生成する。ファイル名生成部７で生成されたファイル名は、当該画像の画像ファイルとともに画像記憶部１０に保存される。 （もっと読む）

【課題】画像と判定結果とを重ね合わせた画像を保存して画面に表示する描画処理の処理負荷を軽減し、結果的に描画時間の遅れによる作業性の低下を抑制する。
【解決手段】良否判定部３は、撮像装置１で撮像した検査対象物の画像データを用いて外観の良否判定を行う。結果画像生成部４は、良否判定の結果を示す画像データである結果画像データを生成する。登録画像生成部５は、結果画像データを検査対象物の画像データと重ね合わせた登録画像データを生成する。画像記憶部６は登録画像データを保存し、表示処理部７は登録画像データをモニタ装置８の画面に表示させる。 （もっと読む）

【課題】検査性能が安定したパターン欠陥検査装置を実現すること。
【解決手段】複数の構成ユニットを有し試料面上の欠陥を検査する欠陥検査装置において、一部または全部の構成ユニットの経時変化や故障をモニタリングするモニタリングする手段とモニタリングした結果をユーザに通知する手段を備える。また、補正が可能であるユニットに関しては、補正を行う手段を備える。また、故障した部品を、装置内に用意しておいた予備部品と交換する手段を備える。 （もっと読む）

【課題】問題が発生した場合にその原因を把握して、検査装置の復旧を迅速に行う。
【解決手段】被検査物を搬送する搬送装置と、前記被検査物を検査する検査装置とを備えた検査システムである。前記検査装置は、全体的な動作状況、検査の進行状況等が表示される操作状況等表示部と、前記検査装置の制御部及び前記搬送装置の制御部で同期させて進行されるタイミングチャートの処理状況をリアルタイムの映像として表示するハンドシェイク図表示部と、現在の動作状況及び問題発生時の状況を文章で表示する動作コメント表示部とを備えた。 （もっと読む）

【課題】試料表面のパターン形状の良否を、環境温度変化の影響を受けることなく判定する表面検査方法を提供する。
【解決手段】偏光子７及び対物レンズ９を含み、ウェハ１０の表面を照明する照明光学系２１と、ウェハ１０の表面からの反射光を、対物レンズ９を介して集光し、偏光子７とクロスニコル条件を満たすように配置された検光子１２を通して対物レンズ９の瞳面の像を結像する検出光学系２２と、瞳面の像を検出する第１の撮像素子１７と、を有する表面検査装置１００による表面検査方法は、第１の基準像を取得する第１のステップと、検査像を取得する第２のステップと、第２の基準像を取得する第３のステップと、第１及び第２の基準像の階調値の差を求め、当該差が所定値を越えたときに、検査像の階調値を補正する第４のステップと、補正後の検査像及び第１若しくは第２の基準像の階調値を用いてウェハ１０の欠陥を検出する第５のステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、経時変化による部品実装基板の品質低下を容易に判別可能とした基板検査装置及び基板検査方法を提供するものである。
【解決手段】配線基板へ部品を実装する工程における配線基板の各領域の静止画像を静止画像情報出力手段１１により撮像して、領域毎の静止画像情報を配線基板毎に出力し、静止画像情報出力手段１１から出力される領域毎の静止画像情報に基づいて、領域毎の良否を良否判定手段１２により判定する。また、静止画像情報出力手段１１から出力される領域毎の静止画像情報を記憶手段１５に記憶し、その後、記憶手段１５に記憶した静止画像情報に基づいて領域毎の動画像情報を動画像情報生成手段１６により生成し、領域毎の動画像情報を表示部に表示する。 （もっと読む）

【課題】欠陥を漏れなく精度良く検査するとともに、検査結果を分かりやすく正確に表示し、検査に必要な各装置を自在に増設して、効率良く外観検査を行うシステムを安価に提供する。
【解決手段】外観検査システム１０で扱うレンズ１７は、検査トレイ１６に配列され、外観検査装置２２で良，不良，再検査の何れかに各々評価される。レンズ１７の評価や検査に用いた画像は、サーバ２１のデータベース２８に登録される。レンズ１７を配置した検査トレイ１６がトレイ保管庫２６に保管されている間に、再検査装置２３でサーバ２１から検査時の画像等が読み出され、再検査のレンズ１７は良又は不良に分類される。検査結果表示装置２４には検査時のままレンズが配列された検査トレイ１６が配置され、サーバ２１から取得した各々のレンズ１７の評価が各々のレンズ１７に直接的に表示され、レンズ１７は選別される。 （もっと読む）

【課題】
マルチ撮像ヘッド方式の複数の画像処理部は、各画像処理部を制御するための操作が複雑になり操作者の負担が増大するため、複数の画像処理部を効率的に操作できるマルチ撮像ヘッド方式の画像処理装置の実現が望まれている。
【解決手段】
試料台と、上記試料台上の被測定対象物を撮像する複数の撮像部と、上記複数の撮像部で撮像された上記被測定対象物の映像信号を処理する複数の画像処理部と、上記画像処理部からの出力信号を表示する表示部と、入出力切替部と、上記複数の画像処理部および上記入出力切替部を制御する制御部を有し、上記制御部の制御に基づいて上記入出力切替部を制御し、上記複数の画像処理部の出力信号のいずれか一方の出力信号を上記表示部に表示するように構成される。 （もっと読む）

【課題】検査作業者の負担軽減を図ることが可能な目視検査用の拡大観察装置を提供すること。
【解決手段】所定の観察領域内の検査対象を撮像する撮像部１２と、撮像部１２により撮像された撮像画像の画像データを記憶する記憶領域１４ａと、記憶領域１４ａに記憶された画像データに基づいて撮像画像を表示する表示装置２０と、を備える目視検査用の拡大観察装置において、表示装置２０の画面上に付加情報を書き込む入力部１５ａ及び入力装置１５ｂと、付加情報を、撮像画像の画像データとは別に記憶する記憶領域１４ｂと、を備え、表示装置２０は、記憶領域１４ｂに記憶された付加情報を読み出し、該付加情報と検査対象の撮像画像とを重ねあわせて表示する。 （もっと読む）

【課題】粒子などのフィラーが存在するフィルムの中から、迅速かつ高精度な欠陥検査を可能にし、該欠陥検査の情報を記録若しくは添付したフィルム状製品を提供することにある。
【解決手段】光学的特性が異なる粒子などのフィラーが存在するフィルム状検査対象に対して、斜方照明と落射照明の２系統の検出光学系を備え、照明光の照射角および照明光の波長を選択することで、撮像される画像から欠陥とフィルム中に存在するフィラーの濃淡度の相違を検出し、これに基づいて欠陥を弁別し、さらに欠陥種、大きさ、欠陥の検出座標を検査結果として記録若しくは添付することで、フィルム状製品の品質管理を改善して付加価値を高める。 （もっと読む）

【課題】検査領域（非検査領域）を効率よく設定することができる検査領域設定装置および外観検査装置を提供する。
【解決手段】表示部２は、検査領域または非検査領域の設定対象となる検査対象物上の複数の領域の位置関係を示すマップを表示する。操作部１の操作によって領域が指定された場合に、検査領域情報生成部６は、指定された領域と所定の位置関係にある他の領域、および指定された領域を検査領域または非検査領域に設定するための検査領域情報を生成する。 （もっと読む）

【課題】
複数ある検査条件の中から高感度に検査可能な条件を早く簡単に求める欠陥検査方法とその装置を提供する。
【解決手段】
検査対象となる欠陥種(形状,材料,近接するパターンなど)に対応して、多様な光学機能を備えており、各光学機能別に検出したい欠陥及び検出したくない擬似欠陥の濃淡差などを蓄積し、高感度、低擬似率検査に有利な条件を効率的に選択する。光学系としては、明視野・暗視野・明暗視野複合照明方式や照明波長帯及び、偏光フィルタや空間フィルタなどの条件の選択が可能である。 （もっと読む）

【課題】 板状体側面の切断角度、切断面の平面度に関わらず、正確な外観検査が可能となる板状体の欠陥検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】１つの投光装置１５については、ＸＹ軸を含む平面内における、電子写真用ブレード１２の測定点を含む側面部（観察面１２ａ）に対して投光装置１５の投光軸１５ａのなす角度θ１が２５度を超え４５度以下に、他の１つの投光装置１５については、前期観察面に対して投光装置１５の投光軸１５ａのなす角θ２が８０度を超え１１０度以下に設定されている。また、１つの投光装置１５については、電子写真用ブレード１２の測定点を含む水平面に対して投光装置１５の投光軸１５ａがＺ軸上方向へ傾斜する角度θ３が１度を超え１０度未満に、他の１つの投光装置１５については、前記水平面に対して投光装置１５の投光軸１５ａがＺ軸下方向へ傾斜する角度θ４が１度を超え１０度未満に設定されている。 （もっと読む）

【課題】
農産物の予め定めた計測部位を計測するに適した投光手段と受光手段を複数採用して、例えば農産物の異なる内部品質を効率的に高精度で判定すると共に、各受光手段からの計測信号を単一の処理手段で処理して装置のコストの低減化を図る農産物の内部品質判定装置を提供する。
【解決手段】
搬送手段により一列で搬送される農産物に投光手段により光を照射し、該照射により農産物を透過した光を受光手段により受光し、該受光された光に基づいて農産物の内部品質を判定する農産物の内部品質判定装置において、前記搬送手段で搬送される農産物の異なる部位をそれぞれ独立して計測するために、対となった投光手段及び受光手段を搬送手段の搬送方向に沿って複数配置すると共に、各受光手段からそれぞれ得られた光情報に基づいて単一の処理手段により農産物の内部品質を判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 被検査体の撮像方向における寸法が変化しても精度のよい検査を実行可能とする外観検査装置の提供。
【解決手段】 基板２の外観を検査するための外観検査装置２００は、基板２の表面を撮像する表面側撮像ユニット８０ａと、表面側撮像ユニット８０ａに対応して設けられて基板２の画像データに基づいて検査を行うスレーブＰＣ１４０ａおよび１４０ｂと、基板２の裏面を撮像する裏面側撮像ユニット８０ｂと、裏面側撮像ユニット８０ｂに対応して設けられて基板２の画像データに基づいて検査を行うスレーブＰＣ１４０ｃおよび１４０ｄとを備え、表面側撮像ユニット８０ａには、基板２の厚さに応じて像倍率を変えることなく被検査体である基板２に焦点を合わせる焦点合わせ機構を構成する焦点調整モータ４０等が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 液浸系対物レンズを用いた半導体ウエハ等の標本の外観検査後に、標本上に残存する液体を速やかに乾燥して、標本への塵埃等の付着やウォーターマークの発生を著しく減少させることができる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】 ウエハＷの外観検査を行う顕微鏡装置１において、、ウエハＷを保持する保持ステージ３１及び保持ステージ３１を傾斜させる駆動部３２を有する液体乾燥装置３０と、検査ステージ２１と保持ステージ３１との間でウエハＷの搬送を行うウエハ搬送装置４０とを備え、外観検査終了後、吸引ノズル２２ｄにより液体Ｅが吸引されたウエハＷを、搬送アーム４２により検査ステージ２１から保持ステージ３１へ搬送した後に、この保持ステージ３１を駆動部３２により傾斜させ（図２中の矢印（１）参照）且つ回転部３３により回転させて（図２中の矢印（２）参照）、該ウエハＷの表面に残留した液体Ｅを振り切って、ウエハＷを乾燥させる。 （もっと読む）