【課題】光学的自動検査システムと方法を提供する。
【解決手段】光学的自動検査システムは、イメージ捕捉モジュール、データ処理ユニット、及び、比較ユニット、からなる。イメージ捕捉モジュールは、単位時間に、異なる被写界深度（depth of field）状態で被検査物の複数の測定値を捕捉する。データ処理ユニットは、イメージ捕捉モジュールにより捕捉された測定値を受信し、演算後、比較値を出力する。比較ユニットは、データ処理ユニットに電気的に接続されて、比較値と参考値を比較し、被検査物に欠陥がないか判断する。上述のシステムは、被検査物が検査中の際に焦点から逸脱し、鮮明なイメージが捕捉できない問題を克服することができる。光学的自動検査方法も開示される。 （もっと読む）

【課題】切断する以前に欠陥を検出し、欠陥に応じて検査対象を切断するサイズを変更すること。
【解決手段】連続した状態で搬送されて搬送方向と直交する方向に切断装置によって切断される検査対象から欠陥を検出する欠陥検出部と、前記検査対象が前記切断装置によって予め決められた第１サイズに切断される前記切断位置に到達するよりも前に、前記第１サイズに切断される前記検査対象の範囲から欠陥が検出された場合、当該第１サイズよりも小さい第２サイズで前記検査対象を切断することを指示する制御信号を前記切断装置に出力する制御部と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検査体の表面内を均一な検出感度にて検査することができる表面検査装置及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】表面検査装置は、被検査体移動ステージ、照明装置と、検査座標検出装置、光検出器と、Ａ／Ｄ変換器と、異物・欠陥判定部、を有する。照明装置は、検査座標検出装置によって得られた照明スポットの半径方向の位置に基づいて、照明スポットの円周方向の寸法を変化させるように構成されている。照明スポットが被検査体上を外周部から中心部に移動する間に、照明スポットにおける照射光量密度が一定となるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の欠け等の検査に際し、検査効率及び検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置２１は、容器フィルムのポケット部に収容された錠剤に対し光を照射可能な照明装置２２と、これにより照明された範囲内の錠剤を撮像可能なカメラ２３と、カメラ２３から出力される画像信号を処理する画像処理装置２４とを備えている。画像処理装置２４は、画像信号から得た画像データに基づき、錠剤の輪郭を抽出する輪郭抽出処理と、輪郭上の所定点における接線が当該輪郭上に他の接点を有するか否かを判定する接線判定処理と、所定点における接線が他に接点を有する場合に、当該接線と輪郭により囲まれた欠け領域の面積を算出する欠け面積算出処理と、欠け領域の面積が許容範囲内か否かを判定する良否判定処理とを行う。 （もっと読む）

【課題】 前面ガラスの裏面に配置された異種の物質の影響を受けずに、前面ガラスの損傷を低コストで検知すること。
【解決手段】 薄型表示装置は、表示部の前面ガラスの損傷を光学的に検出する機能をもつ。光源１１乃至１７は前面ガラス３０に対して光を発し、光は前面ガラス３０の端面３１から入射して内部を進行し、前面ガラス３０の端面３２から出射して受光素子２１乃至２９に到達する。前面ガラス３０にヒビ８が生じた場合、受光素子２１乃至２９が検出する受光量が変化し、損傷の発生が検出される。 （もっと読む）

【課題】欠陥が連続して多発しても検査処理性能の低下を抑え、検査装置自体が処理不能
な状態になることを防ぐ印刷物検査装置を提供する。
【解決手段】同一絵柄が繰り返し印刷された印刷物の印刷欠陥を検出する印刷物検査装置であって、撮像用トリガ信号を発生する信号発生手段と、撮像用トリガ信号を得て印刷物を撮像する撮像手段と、撮像手段によって撮像された被検査画像と被検査画像を撮像する以前に撮像された基準画像を比較して印刷欠陥を検出する画像処理手段と、連続して印刷欠陥が多発した場合には欠陥多発と判定する欠陥多発判定手段と、欠陥多発と判定された場合は検査処理を即時に中断する検査処理中断手段と、中断の後検査処理を再開するための検査再開手段と、を備えたことを特徴とする印刷物検査装置。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハの高速検査を可能にする。
【解決手段】半導体ウェーハ２０の一部の並行検査を同時に実行するために、複数の独立した低コスト光学検査サブシステム３０がパッケージ化及び統合される。ここで、検査に関連するウェーハ位置は、ウェーハ全体が光学サブシステムからなるシステムによってラスタスキャンモードで画像化されるように制御される。単色の可干渉性（コヒーレントな）光源がウェーハ表面を照明する。暗視野光学システムが散乱光を集光し、フーリエフィルタリングを使用して、ウェーハに作り込まれた周期的な構造によって生成されたパターンをフィルタリングする。フィルタリングされた光は、汎用デジタル信号プロセッサによって処理される。ウェーハの欠陥を検出するために、画像を比較する方法が使用され、こうした欠陥は、統計的な工程制御、特に製造設備を支援するために、メインコンピュータ５０に報告される。 （もっと読む）

【課題】作業者が管状物の展開画像を立体的に認識することが可能な管内壁面画像展開システムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る管内壁面画像展開システム５０によれば、画像データＳｖｐに対し視点の異なる２つの第１サンプリング位置Ｐａ、第２サンプリング位置Ｐｂで第１画像データＳＰａ、第２画像データＳＰｂをサンプリングし２つの第１展開画像Ｓｆａ、第２展開画像Ｓｆｂを作成する。そして、同一位置の第１展開画像Ｓｆａ、第２展開画像Ｓｆｂを左右に並べて表示することで、作業者は第１展開画像Ｓｆａ、第２展開画像Ｓｆｂを一つの立体的な展開画像として認識することができる。 （もっと読む）

【課題】試料へのダメージを抑えつつ、偏光検出を利用した欠陥検出感度向上とHaze計測を両立させる欠陥検査方法および欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】試料に対し、エネルギの吸収が小さい波長帯域を有するレーザビームを発振する光源と、前記光源から発振されたレーザビーム照射により、欠陥から発生する欠陥散乱光を検出する欠陥検出光学系と、ウエハ表面荒れから発生するラフネス散乱光を検出するHaze検出光学系の二つを独立に備え、前記二つの検出光学系で検出した散乱光に対し独立に偏光検出を行い、前記二つの異なる検出信号に基づき欠陥判定および、Haze計測を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来、製造プロセスの不良対策は、該検査装置で検出された欠陥を分析することにより行われている。一方、光散乱方式の欠陥検査装置の検出結果として総検出個数や欠陥の検出座標、欠陥の寸法などの情報を出力している。光散乱方式の欠陥検査においては、散乱光を用いて欠陥の寸法を測定しているが、寸法が適切に算出できない場合があった。
【解決手段】光学的系により検査する欠陥検査装置において、欠陥検出とほぼ同時に欠陥の寸法を測定する。欠陥寸法の測定を高精度化するために、標準粒子などの標準試料を用いて欠陥寸法を校正する手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】 低廉な装置構成により移動物品の欠陥部等を精度よく確実に検出し、しかも検出処理を短時間で行うことのできる移動物品の画像処理用データの前処理方法、画像処理プログラム並びにデータ処理装置を提供する。
【解決手段】
検出手段により連続して入力される移動中の物品からの物理データを所要の読み取り間隔で読み取って単位時間当たりの複数の読み取りデータを記憶手段により順次記憶させる。記憶された物品からの物理データを画素データとして順次分割されたフレームに読み出し、物品の移動速度と読み取り時間間隔とに相関する物品の移動量に対応した抽出幅で各フレームのデータから抽出して各フレームデータからそれぞれ抽出画素データを生成し、抽出された画素データを基礎にこれらを処理して欠陥部等の検出を行う。検出時間短縮と高精度の検出を実現する。 （もっと読む）

【課題】目視検査を実行できる正確さ及び速度を改善することにより、運転停止期間を短縮し、原子力発電所の操作員にかかる多大な費用を節約する。
【解決手段】容器内目視検査システムなどの撮影システムの定量的画質評価の方法及びシステム５６は、対象１０、撮像装置１８及びコンピュータ５８を有する。対象は、種々に異なる空間解像度及び複数の所定の空間周波数を有する１つ以上の画像特徴を含む。撮像装置は対象１０の画像を撮像するように構成される。コンピュータ５８はプロセッサ、メモリ６０及びコンピュータ実行可能命令を含む。コンピュータ５８は、撮像された画像を受信し、所定の空間周波数に応答して撮像された画像に沿った１つ以上の輝度プロファイルを作成し、１つ以上の輝度プロファイルに応答して変調伝達関数を判定するように構成される。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出の分解能（精度）を向上させるためには、θエンコーダの分解能を上げることが必要であるが、エンコーダの分解能を向上させるには限度があり、欠陥検出の位置精度向上が困難であった。
【解決手段】欠陥検出を行うＡ／Ｄ変換のサンプリング時間間隔を、ウェーハが回転移転するときに得られる角度情報（θエンコーダ）の時間間隔より小さくなるように構成し、サンプリングされたＡ／Ｄ変換結果から、そのピーク位置が角度情報の１単位内のどこに存在するかを計測（Δθを計測）する手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】光軸のずれを容易に把握することが可能な異物検出装置を提供する。
【解決手段】微小異物検出装置Ｓはレーザ光を出射可能な投光ユニット３０、受光面４１Ａに撮像素子を行列状に配した受光部４１を有する受光カメラ４０、並びにコントローラ５０から構成される。コントローラ５０はＣＰＵ５１、制御回路５３、フレームメモリ５５、ＲＡＭ５６、ＲＯＭ５７等より構成される。ＣＰＵ５０は、予め検出エリアＡ１の画像データに基づく基準データをＲＡＭ５６に記憶しておき、判定時に、検出エリアＡ１の画像データに基づく検出データを基準データと比較することで、光軸のずれの有無を判定する。光軸にずれがあると判定された場合には外部に報知されるため、作業者が光軸にずれが生じたことを容易に把握することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、干渉縞（モアレ）が発生しても、欠陥の正確な検出をすることができるパターンの検査方法、パターンの検査装置および電子デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】検査対象物上のパターンを撮像することにより検査を行うパターンの検査方法であって、撮像された画像を分割して複数の検査画像を作成し、前記検査画像が有する周期情報に基づいて参照画像を作成し、前記参照画像の位相を前記検査画像の位相に合わせ、前記位相を合わせた参照画像の振幅を前記検査画像の振幅に合わせ、前記振幅を合わせた参照画像をサンプリングすることにより前記検査画像を復元させることを特徴とするパターンの検査方法が提供される。 （もっと読む）

【解決課題】 製品の品質のばらつきを抑えつつ、製品を構成するモジュールの歩留まりを向上させることができる検査装置、検査システム、検査方法及び検査プログラムを提供する。
【解決手段】 複写機１０を構成する複数種類のモジュールの検査対象としないモジュールの特性を示す特性情報を予め記憶部４６に記憶しておき、特性算出部４４によって、検査対象とする前記モジュールの特性を示す特性情報が計測され、確率算出部５０によって、記憶部４６に記憶されている特性情報と特性算出部４４により計測された特性情報とに基づいて複写機１０全体としての特性を示す特性情報が算出され、合否判定部５２によって、前記特性算出部４４による算出結果に基づいて前記検査対象とするモジュールの合否を判定している。 （もっと読む）

この発明は、飲料などの液体製品のパッケージを検査するための方法に関する。この方法は、パッケージを回転させるステップと、回転中のパッケージに予め定められた波長の放射線を照射するステップと、回転中のパッケージの内容物の少なくとも一部の、少なくとも一続きの少なくとも２つの録画を行なうステップとを含んでいる。この方法は、予め定められた波長で録画を行なうことに好適な画像記録装置を用いて行なわれる。
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【課題】効率良く欠陥検査データを活用する欠陥解析装置を提供する。
【解決手段】半導体基板に複数の半導体チップを形成した半導体装置を製造するにあたり、各工程での半導体基板の欠陥を検査および解析するために用いられ、欠陥検査装置１１０、画像取り込み装置１０、データ解析装置１３０及び電気特性測定装置１８０を備えて構成される。データ解析装置は、欠陥情報管理手段と、入力部及び出力部と、欠陥解析手段とを備えている。欠陥情報管理手段は、欠陥分布情報、基板観察情報及び電気特性情報を合成して欠陥情報とする。 （もっと読む）

【課題】 電子部品のパッケージの撮影画像に含まれるむらや捺印文字等の影響を受けず、真の欠陥のみを確実に判別できる、電子部品の外観検査方法、外観検査装置及び外観検査処理をコンピュータに実現させるためのプログラムを記録した記録媒体を提供する。
【解決手段】 撮像手段１０３と、撮影した画像を複数の単位領域に分割して、各単位領域毎に、撮影した画像の濃淡レベルの分布をそれぞれ求める手段１０６と、各単位領域内における濃淡レベルの分布中、最多頻度の濃淡レベルから予め設定されたオフセット値を差し引いて、各単位領域における二値化レベルを求める手段１０７と、撮影した画像の各座標における二値化レベルを、各単位領域における二値化レベルに基づいて補間演算により求める手段１０８と、撮影した画像の各座標における各濃淡レベルと、求めた二値化レベルとを比較して、欠陥の存在を判定する二値化手段１０７とを具備する。 （もっと読む）