【課題】従来よりも小さなトナーパターンで尚且つリアルタイムでのトナー位置検出を可能としたトナー位置検出方法及び反射型光学センサを提供する。
【解決手段】反射型光学センサＯＳ１において、検出光を放射する発光部Ｅ１〜Ｅ２は副方向に交わる２方向に配置されて照射手段となる。Ｅ１とＥ２は副方向において平行ではない。Ｄ１〜Ｄ１０は受光部を示し、ＢＳＰ１、ＢＳＰ２は照射スポットを示している。副方向に交わる任意の２方向に配置した照射手段Ｅ１、Ｅ２のうち１方向に配列した照射手段の検出光に対する支持部材（転写ベルト）の反射特性と、該転写ベルト上に形成されたトナーパターンＤＰ１の反射特性との差を信号Ａ、残りの１方向に配列した照射手段の検出光に対する上記支持部材の反射特性と上記トナーパターンの反射特性との差を信号Ｂとするとき、上記信号Ａと信号Ｂとに基づいてトナーパターンの上記支持部材上における位置を演算的に検出する。 （もっと読む）

【課題】対物レンズの光軸に沿って、被検物を移動させることなく、被検物の形状を測定できるようにする。
【解決手段】MLA１２は、対物レンズ１１の瞳面又は結像面に配置され、撮像素子１３は、MLA１２の背後に設置され、対物レンズ１１による被検物像を撮像する。演算処理回路３４は、撮像素子１３の出力から複数の測定画像を生成し、MLA１２の２次元状に配列された複数のＭＬの各々に対応する撮像素子１３の撮像領域を構成する画素のうち、対物レンズ１１の主光線と交わる位置にある画素から得られる基準画像を、測定画像の補正情報として用いて、被検物の３次元の形状を測定する。本発明は、被検物の３次元の形状を計測する形状測定装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】応力の計測精度を向上させ得る光ファイバセンサを提供する。
【解決手段】光ファイバ３８、４４、５０には、応力の方向を変換する応力方向変換手段としての弾性体５６が装着されている。すなわち、弾性体５６は、光ファイバ３８、４４、５０の長手方向に沿って延在する平坦部５８と、光ファイバ３８に接合された接合部６４ａ、６４ｂと、接合部６４ａ、６４ｂから平坦部５８に橋架された傾斜部６２ａ、６２ｂとを有する。光ファイバ３８、４４、５０の長手方向に対して略直交する方向に剪断応力Ｆが作用すると、平坦部５８が伸張する。これに伴って傾斜部６２ａ、６２ｂが互いに離間するようにさらに傾斜し、その結果、接合部６４ａ、６４ｂ同士が離間して光ファイバ３８、４４、５０ひいてはグレーティング４０、４６、５２が伸張される。伸張されたグレーティング４０、４６、５２においては、隣接する格子同士の間隔が略均等となる。 （もっと読む）

【課題】構造を簡略化しつつ、遠距離から近距離まで幅広く視標の探査・追跡が可能な遠距離視標探査カメラシステムを提供する。
【解決手段】遠距離の視標を探査する遠距離視標探査カメラシステムは、輻輳運動可能な一対の輻輳カメラ１０と、一対の輻輳カメラ１０よりも挟角な視野を有する望遠カメラ２０と、一対の輻輳カメラ１０よりも広角な視野を有する広角カメラと３０とからなる。望遠カメラ２０は、一対の輻輳カメラ１０の視線の交点の軌跡線に略等しい視線を有する。広角カメラ３０は、望遠カメラ２０の視線に略等しい視線を有する。そして、これらが設置される基台４０と、基台４０の運動制御を行う基台運動用モータ５０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能である３次元センサ用光導波路およびそれを用いた３次元センサを提供する。
【解決手段】下記（α）の光導波路単層体Ｖが、その厚み方向に同軸的に複数積層されることにより、その積層された枠状の光導波路単層体Ｖの内側空間を測定用空間Ｈにした３次元センサ用光導波路Ｗ₁ が形成されている。
（α）コア３Ａ，３Ｂと、このコア３Ａ，３Ｂを被覆した状態で形成されたオーバークラッド層４とを備え、全体が枠状に形成され、光を出射するコア３Ａの端部が上記枠状の内側の一側部に位置決めされ、上記出射された光を入射するコア３Ｂの端部が上記枠状の内側の他側部に位置決めされた光導波路単層体Ｖ。 （もっと読む）

【課題】投光部、集光機能レンズ、及び受光部を、広い測定範囲を確保し、かつシャインプルークの条件を満たす構成とし、透過性を有する被測定物の底部からの反射光の入射を防止する遮蔽マスクを設け、かつその遮蔽マスクと受光部で生じる多重反射を防止する。
【解決手段】被測定物、前記集光機能レンズ３及び前記受光部２０は、相互にシャインプルークの条件を満たす位置に配置されており、被測定物の表面から前記集光機能レンズを経て受光部までの反射光の光路は、被測定物の表面における法線に対し４５度を越える角度に設けられており、さらに、遮蔽マスク６は、被測定物を透過して被測定物の裏面で反射し前記集光機能レンズを経てきた裏面反射光が受光部の受光面に入るのを遮る位置であって、受光面における法線に対する集光された光の入射角度と入射角度で入射された集光された光の法線に対する反射角度とを加えた角度範囲内の位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】カメラの撮影時の解像度を変更しながら部品の撮影を行なう外観検査機において、解像度の切り替えタイミングおよびカメラの移動経路を最適化する。
【解決手段】複数の解像度で基板上の部品を撮影し、前記部品の実装状態を検査する外観検査機における検査条件を決定する検査条件決定方法であって、前記部品の撮影時に要求される解像度は予め定められており、前記複数の解像度の各々について、当該解像度で撮影されるべき部品を含むように少なくとも１つの撮影領域を決定する撮影領域決定ステップ（Ｓ２、Ｓ４）と、前記撮影領域決定ステップで決定された撮影領域を巡回する最短の経路を決定する経路決定ステップ（Ｓ１０）とを含む。 （もっと読む）

【課題】被測定物の連続的かつ機械的な駆動なしに焦点面の異なる画像情報を短時間で得られる形状測定装置を提供する。
【解決手段】光量センサー２はセンサー素子２ａ〜２ｄを１次元方向に備える。センサー素子２ａ〜２ｄは光学系（図示せず）によって、被測定物１の計測線１２近傍の高さＨａ，Ｈｂ，Ｈｃ，Ｈｄに焦点Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃ，Ｖｄを結ぶ。被測定物１の表面１３は黒白に塗り分けられ、センサー素子２ａ〜２ｄと光学系を被測定物１の領域Ｙ１から領域Ｙ８方向に移動走査する。時刻で各センサー素子の光量値を読み出し、その値を位置とともに記録する。各センサー素子の光量値は、被測定物１の表面１３に合焦ならば表面色の黒１３ｂまたは白１３ｗに対応し、合焦でなければ黒と白が混ざった灰色の値を持つ。この黒，白，灰色の光量値に基づき高さＨａ〜Ｈｄについて合焦評価を行うことで、各領域Ｙについての高さを同定できる。 （もっと読む）

【課題】被検面の形状を簡易かつ低コストで高精度に測定し得るようにする。
【解決手段】撮像系４において第１撮像手段４０と第２撮像手段７５とを設ける。第１撮像手段４０は、第１の結像面Ｐ_１上において回転走査される１次元イメージセンサ４１を備え、該１次元イメージセンサ４１により、第１の干渉縞において縞の密度が高い第１領域の縞画像情報を取得する。第２撮像手段７５は、第２の結像面Ｐ_１上に配される２次元イメージセンサ７６を備え、該２次元イメージセンサ７６により第２の干渉縞において縞の密度が低い第２領域の縞画像情報を取得する。第１撮像手段４０および第２撮像手段７５からの画像信号に基づき、形状解析手段７１において被検非球面８ａの形状情報を求める。 （もっと読む）

【課題】タッチペン等によるタッチ可能なエリアが、狭くなることを防止できると共に、遮光検出スキャニング速度の向上を図ることが可能なタッチパネル装置を提供する。
【解決手段】複数の投光器７及び複数の受光器８が、方形状のエリアの横方向１ａ，１ｂ及び縦方向の辺に沿って等ピッチ間隔で配列され、受光器８による遮光検出が連続して行われる遮光検出スキャニングの結果に基づいて、上記エリアにおける光の遮光位置の座標値が検出されると共に、複数の投光器７、及び、複数の受光器８は、下層と上層の２層に重ねて配列され、上層の配列における個別の配置位置は、下層の配列における個別の配置位置から半ピッチずれて配置されると共に、下層に配列されている受光器８が用いられる遮光検出スキャニングと、上層に配列されている受光器８が用いられる遮光検出スキャニングとは、同時に並行して行われるようにして、タッチパネル装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】対象物の距離情報を短時間で測定できる、小型の距離測定装置を提供する。
【解決手段】本願発明に係る距離測定装置は、画像センサカメラ１と、画像キャプチャボード２と、画像データを保存するメモリ３と、メモリ３に保存された画像データから対象物までの距離情報を算出する画像処理部４と、画像処理部４で算出された距離情報を表示する表示モニタ５とを備える。画像処理部４は、再構成部４ａと、輝度情報算出部４ｂと、距離情報算出部４ｃとからなる。 （もっと読む）

【課題】検出光がフォトディテクタに入射されない暗状態の直後であっても高精度かつ簡便に基板の面位置を検出しうる露光装置を提供する。
【解決手段】基板４の表面で反射された検出光のフォトディテクタ１３への入射位置に応じて基板の面位置を検出する面位置検出器を備え、検出された第１面位置情報を、検出光がフォトディテクタに入射しない暗状態の期間に応じて補正して、第２面位置情報を出力する補正部１５ｃを備える。または、検出光を検出領域に投光する投光系と検出領域で反射された検出光を検出するフォトディテクタとを有し、フォトディテクタへの検出光の入射位置に応じて検出領域の面位置を検出する面位置検出器を備える。そして、検出領域の外側に基板のショット領域が位置するときに、検出光を投光させ、検出領域で反射させた検出光をフォトディテクタに入射させて、フォトディテクタを所定の状態にセットする制御部１５を備える。 （もっと読む）

【課題】テレセントリック光学系を利用して、画像による状態検査、高精度な寸法計測を可能とした、寸法検査システムを提供する。
【解決手段】テレセントリック光学系において、前側レンズ群の焦点位置に小さな開口の絞りを置いて、レンズ主軸に対する平行な光線のみを選択的に結像させるとしたところを、絞りの位置をレンズ主軸に直交する平面上でずらすことで、レンズ主軸に対して若干傾いた平行光線を結像させることができ、レンズ本体や撮像手段、計測対象を動かすことなく、傾斜した計測対象の正確な寸法計測を可能とする。 （もっと読む）

【課題】表面状態に影響されずに、測定対象の表面形状を正確且つ簡便に測定する。
【解決手段】測定対象物の表面に板状のスリット光を照射して、表面に形成された照射像を二次元撮像手段によって検出する。二次元撮像手段には、受光感度の異なる複数種類の走査線が隣接して設けられている。受光感度の違いによって各走査線で得られる受光量は異なるが、光感度が所定の許容範囲外にある走査線は除いて、許容範囲内の走査線で得られた出力から、照射像の受光位置を走査線毎に検出する。そして、各走査線で得られた受光位置に基づいて測定対象物の形状を測定する。こうすれば、少なくとも何れかの受光感度の走査線では受光位置を検出できるので、受光位置が検出できた走査線を用いて測定することで、測定対象物の表面状態に、より影響されることなく形状を測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】透明の被加工物であってもチャックテーブルに保持された被加工物の上面高さ位置を確実に検出するための高さ位置検出装置を提供する。
【解決手段】レーザー光線発振手段６からのレーザー光線のスポット形状を環状に形成する環状スポット形成手段８２と、該スポット形状が環状に形成されたレーザー光線を第１の経路に導くビームスプリッター８３と、第１の経路に導かれたレーザー光線を集光して被加工物Ｗに照射する集光器７と、被加工物で反射したレーザー光線が前記ビームスプリッターによって分光される第２の経路に配設されたピンホールマスク８４と、ピンホールマスクを通過したスポット形状が環状の反射光をライン状のスポット形状に変換する円錐ミラー８５と、ライン状のスポット形状に変換された反射光の位置を検出する位置検出器８６と、検出された反射光の位置に基いて被加工物の上面高さ位置を求める制御手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】凹凸を有する被検査物の表面の比較的広範囲の傷等の情報をその全範囲においてピントが合った状態で的確に検出することが可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】凹凸を有する被検査物Ｗの表面Ｗｓに光を照射し、該表面Ｗｓでの反射光を受光素子５で検出して被検査物Ｗの表面Ｗｓの検査を行うように構成された表面検査装置１において、束ねられた複数の光ファイバ４１からなり、入力側端部４ａにおけるファイバ位置（ｘ，ｙ）と出力側端部４ｂにおけるファイバ位置（ｘ^＊，ｙ^＊）とが光学的に１対１に対応付けられ、表面Ｗｓでの反射光Ｌreを受光素子５に導くファイババンドル４を備え、ファイババンドル４の入力側端部４ａが、被検査物Ｗの表面Ｗｓの形状と相補的でありかつ等倍または相似な形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ノイズの影響を簡便に低減させ、高画質で高品質の画像データを取得する多重スキャンによる画像取得方法、画像取得装置および試料検査装置を提供する。
【解決手段】 マスク１１が載置されたステージに対して、１次元画像センサのライン方向と交差するＸ方向の走行移動と、ライン方向であるＹ方向のステップ移動と、を繰り返して第１スキャン・・・第９スキャン・・・第ｎスキャンの多重スキャンを行い、１次元画像センサによりマスク１１の２次元画像データを取得する画像取得方法において、ステップ移動量を、１次元画像センサのライン方向の画素数からなるセンサ幅Ｗより小さくして、マスク１１の同一領域の画像を１次元画像センサのライン上の異なる画素で複数回撮像し、これ等の異なる画素で撮像して得た画像データを画素間演算し平均化処理あるいは比較処理する。 （もっと読む）

【課題】微小線幅測定装置等の検査装置においては、カメラのブラックレベルが固定で、調光器により、光量を調整するだけのため、測定するパターンによっては、コントラストが悪い画像となってしまう。
【解決手段】画像処理部と、顕微鏡と、光源と、光源の光量を調整する調光器と、カメラと、調光器による調光を画像の輝度値から行い、測定パターンによってカメラのブラックレベルを最適な値に設定する制御部とを設け、最低輝度の数によって、カメラのブラックレベルを測定パターン毎に最適な値に設定することで、コントラストの高い画像を得る。これによって、カメラのダイナミックレンジを有効利用することが可能となり、高精度な測定を可能とした。 （もっと読む）

【課題】 ラインセンサからの受光量の出力時間を短縮化させ、応答性を向上させた光学式変位計を提供することを目的とする。
【解決手段】 同一の半導体基板上に奇数素子２０ａ及び偶数素子２０ｂが交互に配置されたラインセンサ２０と、奇数素子２０ａの受光量が入力され、当該受光量を順に出力する第１シリアル出力部２１ａと、偶数素子２０ｂの受光量が入力され、当該受光量を順に出力する第２シリアル出力部２０ｂとを備え、奇数素子２０ａ及び偶数素子２０ｂのいずれか一方から出力される同時に露光して求められた受光量に基づいて、上記ラインセンサの投受光条件を求めるフィードバック制御を繰り返し、受光量調整のための時間を短縮化させる。 （もっと読む）

【課題】露光装置の表面位置計測方法において、基板の表面の反射率分布に起因した誤差の影響を低減する。
【解決手段】基板上の複数のショット領域の複数の計測ポイントそれぞれに関して基板の表面の部分領域の位置を計測する計測手段に前記位置を計測させ、該計測された位置に基づいて前記基板のグローバルな形状を求め、該求められたグローバルな形状に基づいて前記複数の計測ポイントそれぞれに関して補正値を算出し、前記複数の計測ポイントに関してそれぞれ対応する前記補正値で補正された計測値に基づいてステージを移動させる制御手段を有し、前記制御手段は、前記複数の計測ポイントの前記計測された位置の再現性に基づいて、前記複数の計測ポイントから一部を選択し、該選択された一部に関する前記計測された位置の重みを他の計測ポイントに関する前記計測された位置の重みより大きくして前記補正値を算出する。 （もっと読む）