【課題】一つの情景中の全ての画素から実質的に同時に深度情報を得る、改善された測距カメラを提供する。
【解決手段】電子流を変調するためのマイクロチャンネルアレイ装置であって、マイクロチャンネルプレートであって、それを通して電子が加速されるマイクロチャンネルプレートと、上記マイクロチャンネルプレートに近接する複数のスイッチ可能な電極であって、その電極の各々が上記プレートの対応する領域中の電子の加速を変調する上記電極と、を含む。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ表面や表面近傍に存在する異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する異方性を有する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】光源１１からの光はビームスプリッタ１２で、略等しい仰角を有し、互いに略直交する２つの方位角からの２つの照明ビーム２１、２２となり、半導体ウェハ１００に照射され、照明スポット３、４となる。照明光２１、２２による散乱・回折・反射光の和を検出するとウェハ１００自身又はそこに存在する異物や欠陥が照明方向に関する異方性の影響を解消できる。これにより、異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能となる。 （もっと読む）

【課題】被検査物体表面等に存在する異物や欠陥により発生する散乱光の強度が照明方向等に依存する場合であっても異物や欠陥の粒径の算出精度を高く維持した上で測定系のダイナミックレンジを拡大可能な表面検査方法を実現する。
【解決手段】等しい波長と等しい仰角と等しい方位角と等しい偏光特性を有し、強度が１００：１だけ異なる２つの照明ビーム３、４によって、被検査物体１００表面を照明する。照明光３、４による散乱・回折・反射光の間の強度比は、被検査物体１００表面や表面近傍に存在する異物や欠陥に由来して発生する散乱光の強度が照明方向または検出方向に依存する異方性を有する場合であっても、それらに依存することなく常に１００：１の一定値であり、異物や欠陥の粒径の算出精度を前記異物や欠陥の異方性や粒径に関らず常に高く維持した上で、測定系のダイナミックレンジを拡大できる。 （もっと読む）

【課題】カメラもしくは検査対象物を移動させ、移動させながら得られた時系列の映像から、使用したカメラの画素分解能よりも高い画素分解能の画像を作成し、使用したカメラとほぼ同様のサンプリング速度により画像を出力し表示することができる検査装置を提供する。
【解決手段】高精細画像作成装置により作成した高精細画像と局所カメラから出力された画像とを比較して高精細画像の復元度を求め、この復元度に基づいて高精細画像作成装置を制御することにより、この高精細画像作成装置により作成される高精細画像を制御する画像比較装置５ｂと、高精細画像作成装置により作成した高精細画像を表示する表示装置５ｆと、を備えた。 （もっと読む）

【課題】半導体パターンに形成された欠陥を容易に探し出すことのできる集積回路装置製造用マスクの検査装置及びその検査方法を提供する。
【解決手段】集積回路装置製造用マスクに形成された半導体パターンの欠陥有無を検査するマスク検査装置において、マスクに入射される光ビームによって発生するマスクイメージと外部から入射される基準ビームとを受け、マスクイメージと基準ビームとを結合して結合されたイメージを生成し、マスクに形成された半導体パターンに対応する波形を含むマスクイメージと同じ光路方向に出射するイメージ結合部と、イメージ結合部から出射された結合されたイメージが入射され、入射された結合されたイメージの光度を増大させる２次非線形光学システムと、２次非線形光学システムから出射されるイメージを検査して、マスクに形成された半導体パターンの欠陥有無を判定する検査部とを有する。 （もっと読む）

【課題】指の指紋などの生体特徴を２次元のイメージセンサを使用して安定に入力することのできる小型で低廉な画像読取装置を提供する。
【解決手段】複数の受光素子がマトリクス状に配列された２次元イメージセンサ１を備えた画像読取装置において、指７を２次元イメージセンサ１の上面から一定の距離で非接触状態に保つ複数の隔壁２２が、多数のスリット２１を形成するように２次元イメージセンサ１の上面に形成されている。突起を成す隔壁２２が設けられているため、２次元イメージセンサ１の上面に押し当てられた指７は、その腹部が平坦になるほど比較的強く押し当てられても、２次元イメージセンサ１の上面から一定の距離で非接触状態に保たれ、その状態で、指７の皮膚表面から放射される放射光による画像が２次元イメージセンサ１によって撮像される。 （もっと読む）

【課題】昼間太陽光の下においてもトロリ線の摩耗部分の幅を測定する装置を提供するにある。
【解決手段】ラインセンサ１を用いてラインセンサ画像を作成して入力画像として保存する手段１０と、前記ラインセンサ画像全体に対して２値化処理を行う手段２０と、２値化処理された前記ラインセンサ画像に対して外部から入力されてくるトロリ線高さパラメータと実際のトロリ線の太さのパラメータを用いて画面上のトロリ線の太さを計算し、それ以上大きさの白の領域を黒の領域に反転する反転処理を行う手段３０と、２値化処理及び反転処理された前記ラインセンサ画像に対してノイズ除去処理を行う手段４０と、２値化処理、反転処理及びノイズ除去処理された前記ラインセンサ画像における白領域をトロリ線摩耗部として、該トロリ線摩耗部のエッジを検出する手段５０と、検出された前記エッジから前記トロリ線摩耗部の幅の計算を行う手段６０からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】実質的に透過性の材料で形成された機械加工ツールの先端と表面との間の距離を求める装置および方法を提供する。
【解決手段】
狭い帯域幅の光のビームを表面と機械加工ツールの先端との間に放射することで、狭い帯域幅の光のビームを回折させ、その際には、回折されたビームの一部が、近接場光学的結合を介して、機械加工ツールの中に光学的に結合されるようにする。機械加工ツールに光学的に結合された回折後のビームの一部のパワーが計測される。その後、機械加工ツールの先端と表面との間の距離を、計測されたパワーに基づいて求める。 （もっと読む）

【課題】被写体やレンズの倍率に依存せず、ノイズの影響が小さい最適な調光を実現する。
【解決手段】顕微鏡４１と、光源の光量を調整する調光器４４と、アンプゲインとシャッタスピードにより調光制御可能な撮像装置４０とを有し、調光器による輝度調整とカメラによる輝度調整とを、映像の輝度値により制御可能で、被写体やレンズ倍率に依存しない調光を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、外乱光に曝された検査対象範囲を対象に自動で異物を検出する検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の検査装置（１４）は、物体を撮像する撮像手段（１４０）と、前記物体の一部分を表わす部分画像データごとに異物判定基準値を求め、該異物判定基準値に基づいて前記物体中の異物を前記部分画像データ単位で検出する画像データ処理手段（１４４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電源の使用効率を十分に向上させ、回路設計の複雑性が減少し、外在の環境因子により及ぼされた誤動作の確率を低減でき、さらに解像度がより高いという利点を有する手指の接触検出機能を具する光学式指紋ピックアップ装置及びその方法を提供する。
【解決手段】一つの基板上に、一つの光源３、一つの光学式指紋センサー・モジュール２と一つの手指の接触検出センサー素子１を具備する。その中でも、手指の接触センサー素子１は、光学式指紋センサー・モジュール２に電気的に接続し且つその周囲に設けられ、手指の接触検出センサー素子１により、測定待ちの手指１１が既に光学式指紋センサー・モジュール２に接触するかどうかを検出するが、測定待ちの手指１１が既に光学式指紋センサー・モジュール２に接触していると検出すれば、光学式指紋センサー・モジュール２を起動することにより、指紋ピックアップ作業を実行する。 （もっと読む）

【課題】正確な三次元形状を高速に計測することが可能な三次元形状計測システムを提供すること。
【解決手段】三次元形状計測システム１は、測定対象物１０を搬送する搬送テーブル１２と、スリット光を照射するスリット光源１４１〜１４９と、測定対象物１０表面によるスリット光の反射光を映す反射鏡１７１〜１７９と、反射光を撮像するカメラ１６と、撮像された反射光の像の位置に基づいて測定対象物１０の三次元形状を算出するコンピュータ装置とを備えている。反射鏡１７１〜１７９は、スリット光の測定対象物１０表面による反射光を、当該スリット光の長軸方向に沿って複数に分割し、当該分割された複数の反射光が長軸方向と垂直方向に配置されてカメラ１６によって撮像されるように、形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、歪み及び／又は温度を高精度かつ高空間分解能で測定し得る分布型光ファイバセンサを提供する。
【解決手段】本発明では、内側に向かうほど光強度が大きくなるように光強度が階段状になった光パルスを周波数を変えながら射出する階段状光パルス光源１１と、光パルスが入射される検出用光ファイバ２０と、光パルスに起因して生じる自然ブリルアン散乱光を検出用光ファイバ２０から受光して自然ブリルアン散乱光に基づき検出用光ファイバ２０の長尺方向の歪み及び／又は温度を測定するブリルアン時間領域検出部１９とを備える分布型光ファイバセンサ１において、ブリルアン時間領域検出部１９は、自然ブリルアン散乱光のスペクトルにおける半値半幅より狭い透過周波数帯域を持つ狭帯域光バンドパスフィルタ２０４を介して自然ブリルアン散乱光を受光して歪み及び／又は温度を計測する。 （もっと読む）

【課題】光伝導度が高い導波路を用いた光学式位置センサー部品、光学式位置センサー及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】光学式位置センサー部品は、入力用導光部１３と受光用導光部２３とを備える。入力用導光部１３は、近赤外の発光源１１において発光した光を入射し、入射した光を複数の末端からコリメート用のレンズ１４へ出射する高分子導波路からなる。受光用導光部２３は、入力用導光部１３から出射された光を末端から入射し、入射した光を近赤外の受光素子２１へ出射する複数の高分子導波路からなる。また、入力用導光部１３及び受光用導光部２３において、高分子導波路を構成するコア部分に感光性樹脂組成物の硬化物を用いている。 （もっと読む）

【課題】散乱拡散光のみを用いた場合には困難であった、測定部が鏡面に近い電子部品においても、正反射光を用いた三次元測定を可能とする。
【解決手段】部品８の下方よりライン光４３Ａを照射し、部品８の下方に備えた撮像手段（撮像カメラ５４）によって光切断線を測定する部品の三次元測定装置５０において、部品８へ照射したライン光４３Ａの、拡散反射光４３Ｂを撮像手段（撮像カメラ５４）によって撮像するための光路と、正反射光４３Ｃを撮像手段（撮像カメラ５４）によって撮像するための光路との双方を持つ。 （もっと読む）

【課題】伝搬光による光スポットを微小化するとともに、その位置を変位させることができるようにする。
【解決手段】光軸対称で凸の錐体面を光射出面として有する透明な光学素子１０の光射出面１０Ａから、光軸ＡＸに直交する面内で光射出面の断面形状に相似な形状で、光軸から所望の内径と幅とを有する光軸対称な光束部分Ｌ１２を射出させて、光学素子外の光軸上に微小な光スポットＳＰを形成させ、光軸対称な光束部分Ｌ１２の光軸ＡＸからの内径：Ｒと幅：Δのうち、少なくとも光軸からの内径：Ｒを変化させることにより微小な光スポットＳＰの形成位置を変化させる。 （もっと読む）

【課題】 ラミネートフィルムの樹脂層の欠損部分（膜割れ、樹脂割れ）を検出する。
【解決手段】 ラミネートフィルム１に光を照射する照射装置２４と、ラミネートフィルム１を撮像するカメラ２３とを備える。カメラ２３は、照射装置２４からラミネートフィルム１に照射された光の反射光を撮像する。カメラ２３は、ラミネートフィルム１においてガイドローラ１７の周面の頂よりも下がった部位を撮像する。ガイドローラ１７として、表面が無光沢の黒色のものを用いる。 （もっと読む）

【課題】スキャナの駆動特性の評価装置及びその評価方法を提供する。
【解決手段】ビームを照射する光源１０１と、光源とスキャニングミラー１００との間に配置されスキャニングミラー上に焦点を有する対物レンズ１０９と、スキャニングミラーで反射されて対物レンズを透過した反射ビームを受光して、スキャニングミラーの回転角の変化を感知する位置感知素子１１５と、位置感知素子で感知された信号を処理する信号処理部１２１、１２５とを備え、スキャニングミラーの回転角の変化にかかわらず反射ビームを光源から照射されて対物レンズに入射されるビームに対して平行なビームにする。 （もっと読む）

【課題】測定対象の膜に送光部から測定光を送光すると共に，その反射光を受光部で受光して，反射光の強度スペクトルを検出し，その極大と極小から膜厚を測定する光学式膜厚測定方法においては，測定可能範囲内に極大又は極小のいずれもが位置していないと測定が良好に行えない。
【解決手段】そこで本発明では，上記膜厚測定装置において，送光部６は，測定対象の膜９に対する光の入射角度θを可変に構成すると共に，受光部８の受光角度を上記入射角度の変化に連動して可変に構成した光学式膜厚測定装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】従来より知られた固体撮像素子を用いてコスト高を招来することなく、十分に実用になる三次元画像を取得する。
【解決手段】画素が所定の方向と上記所定の方向とは直交する方向とに沿って２次元マトリクス状に配置された固体撮像素子により、被写体に照射された光の上記被写体からの反射光を受光して上記被写体の三次元画像を取得する固体撮像素子を用いた三次元画像取得方法において、被写体に対して第１の所定時間間隔でパルス状に光を照射し、上記被写体からの反射光を所定の方向に沿った画素群毎に、上記所定の方向とは直交する方向に沿って第２の所定時間間隔を開けて順次に受光してストライプ状の三次元画像を取得する。 （もっと読む）