【課題】被検査体に異物があるか否か、及び異物がある場合にはどの位置に異物があるかを判定する。
【解決手段】透明性の基板８１の表面８１Ｓに遮光膜８２が形成されている被検査体８０の斜め上方から遮光膜８２の表面８２Ｓに第１の光源１１から第１の検査光ＦＬ１を入射させて、その反射光を第１の光検出器２１が受光する。また、被検査体８０の斜め下方から遮光膜８２の裏面８２Ｒに第２の光源１２から第２の検査光ＦＬ２を入射させて、その反射光を第２の光検出器２２が受光する。第１の光検出器２１と第２の光検出器２２とに散乱光が受光されるか否かの組み合わせにより、被検査体８０に異物ＦＳが付着しているか否か、及び付着している場合にはどの位置に付着しているかを判定する。 （もっと読む）

【課題】従来のシリコンウエハ等の薄板状基板の端面を検査は、基板製造工程における基板検査は不可欠な工程であるが、専用の装置は高価格であり高製造コスト化を助長しており、検査装置の占有スペースを減少させ、且つ検査時間の短縮が望まれている。
【解決手段】本発明は、複数の反射ミラー２，３及び４が基板の端面７ａ及び該端面７ａに掛かる表裏面まで回り込む観察視野範囲を有するようにミラー保持部５で保持され、且つミラー保持部５を退避・移動するミラー退避機構１０（ミラー昇降機構を含む）を備える簡易な構成であり、光学観察装置１１となる実像顕微鏡に搭載することにより、基板端面７ａを表面から裏面に至る全範囲に亘って欠陥を実像化された画像を作成し目視検査により簡単に検査判断を行う端面検査装置である。 （もっと読む）

【課題】太陽光がある屋外や外乱光の多い場所でも悪影響を受けることなく使用することのできるヘッドモーショントラッカを提供する。
【解決手段】 頭部装着型表示装置に配置したＬＥＤマーカをカメラで認識してその位置や角度を測定することにより頭部装着型表示装置の現在位置や現在角度を検出する光学式ヘッドモーショントラッカであって、ＬＥＤマーカーの光の通過を許容する範囲内でカメラに入射する太陽光の波長帯域の少なくとも一部を、光学フィルタまたは光学フィルムで遮断するように形成する。これにより、太陽光を著しく減衰させて余分な外乱光を除去し、屋外でもヘッドモーショントラッカを使用することを可能とした。 （もっと読む）

【課題】フラットディスプレイパネルの基板上に形成された塗布膜の表面形状を短時間で、低コストに検査可能な表面検査装置を提供する。
【解決手段】基板１１上に形成された塗布膜１２の表面検査装置であって、点光源２０と、点光源２０から発せられた光の光路に設けられたハーフミラー２１と、ハーフミラー２１を経由した光を平行光に変換して塗布膜１２の表面に照射するとともに塗布膜１２の表面からの反射光を集光するように配置されたフレネルレンズ２２と、フレネルレンズ２２により集光されハーフミラー２１により点光源２０とは別の光路に導かれた反射光の集光結像された光学像を観察するＣＣＤカメラ２６とを有し、フレネルレンズ２２より高い剛性を有する補強平板４０がフレネルレンズ２２に固定されることなくフレネルレンズ２２の凹凸面に接して設けられている。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＤガラス等の大型の試料表面の全範囲にわたり検査員が同一の条件で目視検査を効率的に行える外観検査装置及び外観検査方法において、マクロ観察とミクロ観察の切り替えを短時間で行なえ、また、最適な反射角度で観察できるように改善する。
【解決手段】多関節ロボットＲを用い、そのハンド部分３にマクロ撮像光学ユニット２とミクロ撮像光学ユニット１とを隣り合わせに並べて装着し、ハンド部分３を任意の３次元位置に移動させ、撮像光学ユニット１、２の位置（ｘ１、ｙ１、ｚ１）、（ｘ２、ｙ２、ｚ２）と光軸方向（χ１、ψ１）、（χ２、ψ２）を任意に設定できるようにして、検査するのに適切な撮像光学ユニット１、２の位置と光軸方向、その他の条件をティーチングさせて、マクロ外観検査及びミクロ外観検査ができるようにした。 （もっと読む）

【課題】セラミック板及び／またはラインセンサーカメラを移動させながら検査することが可能であって、セラミック板のエッジを適切な光源によって効果的に照らし、エッジの複数の面を同時に１台のラインセンサーカメラで効果的に撮像し、微細なカケをも効果的に発見し得る検査方法と検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】セラミック板のエッジの端面の法線方向にラインセンサーカメラと光源を配置し、ラインセンサーカメラの視野内に複数のミラーを配置し、光源でセラミック板のエッジを照らし、その反射光を視野内ミラーで反射させて、その反射光をライン センサーカメラに入射させ、セラミック板のエッジを複数の角度から撮像し、該撮像した画像を処理して、セラミック板のエッジを研磨する際に発生するエッジ欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】オブジェクト（１２）に光を投影する光源（２２）、およびオブジェクトから反射した光を受ける画像センサ（２４）を含む光測定システム（１０）と共に使用するマスク（５０、５２）を生成するための方法（７２）を提供すること。
【解決手段】方法は、検査対象のオブジェクトの輪郭（５６）を判別すること（７４）、および判別されたオブジェクトの輪郭に基づいて電子マスクを生成すること（８６）を含んでいる。電子マスクは、光源および画像センサの一方から見た判別されたオブジェクトの輪郭と概ね一致するように定義された輪郭（６４、７０）を有する電子開口部（６２、６８）を備えている。 （もっと読む）

【課題】大幅な設備追加を必要とすることなく、電縫管のシームアニーラ位置ずれを的確且つ迅速に検出する。
【解決手段】シームアニーラ（２４）出側において電縫管１２のシーム位置とシームアニーラにより加熱された領域をそれぞれ検出し、シーム位置の幅方向中央位置ｘ１と加熱された領域の幅方向中央位置ｘ２の偏差Δｘを検出する際に、電縫管表面のシーム位置を含む各部に照射したレーザー光の反射パターンと管表面の放射光を同時に撮像し、撮像した画像群を撮像手段（３５）の視野範囲に基づいてレーザー光の反射パターンと管表面の放射光パターンに分離して演算する。 （もっと読む）

【課題】従来の移動物体計測装置においては、移動物体の３次元軌跡が容易に計測できない、という課題があった。
【解決手段】格納されている２以上の映像画像が有する各画像から、移動物体の移動軌跡を示す移動軌跡情報を、前記２以上の映像画像ごとに取得する移動軌跡情報取得部と、前記移動軌跡情報取得部が取得した前記２以上の映像画像ごとの移動軌跡情報と、格納されている２以上のカメラパラメータに基づいて、視体積交差法を用いて、移動物体の三次元軌跡の情報である三次元軌跡情報を取得する三次元軌跡情報取得部と、前記三次元軌跡情報を出力する三次元軌跡情報出力部を具備する移動物体計測装置により、移動物体の３次元軌跡が容易に計測できる。 （もっと読む）

【課題】従来の液体自動注入装置では，標線付容器を，センサ手段により標線と液面を検出する位置に正確に移動しなければならず，高精度の制御が必要となる。
【解決手段】本発明では，標線付容器に液体を注入する際に位置させる空間を横方向に隔てて，二次元イメージセンサと，それに対向させて，面状投光部と，その左右側に配置し，面状投光部の投光色とは色を異ならせた配色部とから構成し面状照明手段を配置し，標線付容器を二次元イメージセンサにより撮像した二次元画像から水平方向の位置と，標線及び液面の夫々の位置を検出する検出手段と，それにより検出したそれらの位置に基づき液体注入手段を制御する制御手段を構成し，検出手段は，標線付容器の両端縁に線状に表れる配色部の像により，標線付容器の二次元画像上の水平方向の位置を検出する構成として課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】被測定物上の測定点の形状に応じて異なった角度で正反射する光を検出できる複眼機能を備えた光センサーにより、頂点や平坦な面のみならず斜面の変位を測定する技術を提供する。
【解決手段】投光部１００により、光を被測定物上の測定点に集光させ、その測定点から正反射する反射光を受光するための複数の受光部２００，２１０，２２０を備え、その複数の受光部は、投光される光を含み被測定物にほぼ垂直な平面と交差する方向に測定点を軸としてほぼ扇状に配列され、かつ各受光部の受光面が占める測定点から受光できる受光範囲が、隣り合う受光部の受光面同士で連続するように配置する構成とした。 （もっと読む）

【課題】発光・受光素子への外乱光入射を防ぐと共に水滴等の付着を防止し、正確に発光・受光素子の良否を判断することである。また、正しい車形検出を行ない、安全な洗車を提供する装置を実現することを課題としている。
【解決手段】車形検出を行うための発光素子Ｌと受光素子Ｒとを外乱光吸収面で構成される所定深さの溝の中に配置し、可視光線を遮断する可視光カットフィルターを通して光信号を授受する。 （もっと読む）

【課題】欠陥検出に用いるレーザ光の光量が低減することなく、パターン欠陥の検出を高感度にて行うことができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】パターン欠陥検査装置は、試料を移動させるためのステージと、レーザ光源からのレーザ光を試料に照射する照射系と、試料からの光を検出するＴＤＩ（Time Delay Integration：遅延積算）イメージセンサと、イメージセンサの検出感度を補正するための感度補正回路と、感度補正回路の出力より試料の欠陥を判定する欠陥判定回路と、を有する。イメージセンサに隣接して試料からの光を受光する光量検出器を設け、レーザ光源の光量変動情報を得る。感度補正回路は、ステージの速度変動情報とレーザ光源の光量変動情報に基づいて、イメージセンサの検出感度を補正する。 （もっと読む）

【課題】 検出位置を細かいピッチで密に配列することができ、外部の物体から受ける力やその物体の近接を精度よく検知することができ、かつ構成が簡単であり、コストを低減することができる光学式触覚近接センサを提供する。
【解決手段】 外部から作用する力を検知する時に、隣接する２つの発光ダイオードの第１の発光ダイオードＬ１を発光モードに第２の発光ダイオードＬ２を受光モードに設定し、この状態で、第２の発光ダイオードＬ２の受光量Ｉ１を測定する。次いで、第１の発光ダイオードＬ１を受光モードに第２の発光ダイオードＬ２を発光モードに切り換え、この状態で、第１の発光ダイオードＬ１の受光量Ｉ２を測定する。そして、第２及び第１の発光ダイオードＬ２、Ｌ１の受光量Ｉ１、Ｉ２に基づいて光伝播層３に作用する力の大きさＦ又はその位置ｘを算出する。 （もっと読む）

【課題】 測定対象物の光特性及び電気特性を用いて単一の検知手段（センサ）で測定対象物の特性及び位置を簡易で迅速且つ確実に測定できる対象物測定装置を提供する。
【解決手段】測定対象物１００に対して可視光線を照射する光照射手段１と、この可視光線が照射された測定対象物１００からの反射光を受光し、この受光光により二つの電極２２ａ・２２ｂ、２３ａ・２３ｂ間の光電半導体の抵抗値を変化させる二つのＣｄｓセル２２、２３を間隔ｄで離隔配設し、このＣｄｓセル２２の外側の電極に交流電源２５が接続されると共に、他のＣｄｓセル２３の外側の電極２３ａが出力端子２６として形成される検知手段２と、この検知手段２の出力端子２６からの検知信号に基づき前記測定対象物の距離及び材質を判別する測定対象物判別手段３とを備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】小型で安価なカメラ１台を用いたインライン３次元計測装置及び計測方法を提供すること。
【解決手段】対象物体Ｂからの入射光を複数の方向の光に分離し、少なくとも２方向の光を互いに異なる長さの光路を通過させた後、合成して一方向に出射する光学手段５と、一方向に出射された光を受けて２次元画像を出力する１台のカメラ１と、カメラ１より出力された２次元画像を、少なくとも２つの光路の各々を通過した光によって生成された像の各々を含む複数の２次元画像データに分離し、複数の２次元画像データを使用して対象物体Ｂの３次元情報を求める処理手段６とを備える。 （もっと読む）

【課題】 検出を行なっていない時には透光性窓部を閉止して、透光性窓部に対する汚れの付着を防止する汚れ防止構造等を提供することを目的とする
【解決手段】 保護ケースユニット４０は、全体としてはセンサヘッド２０を内部に収容可能な箱型をなすとともに、後面が開放しており、そこから、センサヘッド２０を内部に収容させるようになっている。保護ケースユニット４０の前面には光挿通窓Ｄが設けられるとともに、更に、開閉扉５０が設けられている。この開閉扉５０はエアシリンダ６０の駆動力によって開閉して、光挿通窓Ｄの前面４６Ａを閉止したり、開放する。従って、検出をおこなっていない時には、開閉扉５０を閉じた状態とすることで、光挿通窓Ｄに対する異物の付着を回避することが出来る。 （もっと読む）

【課題】 測定物表面が鏡面であってもその輪郭形状を非接触で測定する表面形状測定装置及び表面形状測定方法を提供する。
【解決手段】 投光部６からのスポット光が、鏡面である測定物表面ＭＰにて反射した反射光を受光する受光面７１を、その法線成分を含む方向に駆動し、受光面７１の法線方向の変位に伴う受光位置の変化に基づいて反射光の光軸位置を決定して、反射光の光軸とスポット光の投光軸との交差位置を測定物表面ＭＰ上の測定点の位置として決定する。 （もっと読む）

【課題】
暗視野照明・反射散乱光検出を備えた欠陥検査装置において、検出器の変更のみで検査装置の感度を向上させる方法を提供すること。
【解決手段】
一次元もしくは二次元の光電変換イメージセンサの前段もしくは後段に電子増倍手段を有する検出器を有し、照明光を検査対象の斜方より照明する照明手段と検査対象からの反射散乱光を斜方もしくは上方に配した検出器で受光する検出手段を有し、検査対象を搭載したステージを走査するかもしくは検出器を走査することにより光学的に画像を取得し、画像処理等により検査対象の欠陥等を検査する。 （もっと読む）

【課題】小形化が可能な測距角調整機構を備えたヘッド部を有する距離設定型光電センサーを提供する。
【解決手段】投光部２１の光軸と、受光素子２００を含む受光部２０の光軸とが成す角度である測距角を調整するための測距角調整機構が投光部２１及び受光部２０と共にヘッド部１１のケース１１１に収容されている。測距角調整機構は、ケース１１１に対して所定の角度範囲内で回動自在に枢支された受光部２０のホルダー２０２と、一端側に回転操作部１１３が設けられた送り螺子１３１と、これに螺合する雌螺子を有するナット部材１３２とを含み、ホルダー２０２とナット部材１３２とがリンク機構２０２ｃ、１３２ｃで接続されており、送り螺子１３１を回転操作するとナット部材１３２が送り螺子１３１の軸方向に移動し、リンク機構２０２ｃ、１３２ｃを介してホルダー２０２が所定の角度範囲内で回動する。 （もっと読む）