【課題】反射エコーを安定して取得可能な熱交換チューブの肉厚測定方法及び熱交換チューブの肉厚測定用治具を提供する。
【解決手段】肉厚測定用治具１０は、ゲル状弾性体２０と、ゲル状弾性体２０を円弧状に屈曲した状態で保持するホルダ３０とを備えている。ゲル状弾性体２０は、フィン２のピッチ間隔Ｐの長さと同じ間隔のスリット２２を有している。また、ゲル状弾性体２０の厚さｔは、フィン２の径方向の高さＨｆよりも長く形成されている。肉厚測定用治具１０を熱交換チューブ１の外周に取り付けてゲル状弾性体２０を熱交換チューブ１の外周面に密着させる。そして、超音波プローブ４をゲル状弾性体２０の外周面に密着させて、フィン２間の熱交換チューブ１の肉厚を測定する。 （もっと読む）

【課題】機械内の可動及び固定部材間のクリアランスを測定するための方法及び装置を提供する。
【解決手段】機械２は、固定部材と可動部材２３と含む。可動部材２３は、中心ハブ及び可動部品を含む。可動部品は、中心ハブに固定連結された第１の端部部分、第２の端部部分、及び中間部分を含む。可動部品の第２の端部部分は、ギャップを形成するように固定部材から間隔を置いて配置される。送信エレメントが、固定部材及び可動部材２３の一方に取付けられる。送信エレメントは、ギャップを横切って所定の周波数を有する音波を放出する。受信エレメント７０が、固定部材及び可動部材２３の他方に取付けられる。受信エレメント７０は、送信エレメントからの音波を受信する。機械２はさらに、ギャップを横切ってきた音波に基づいて可動部材２３及び固定部材間に延びるクリアランス距離を求める制御装置を含む。 （もっと読む）

本発明は、レーザーにより、膜（22）と接する気体または液体媒体中に屈折率回折格子を生じさせて、極めて薄い固体膜（22）を評価する新しい測定法を提供する。第1の実施例では、気体または液体媒体中の励起弾性波（25）が回折プローブビームの強度を変調し、固体試料で励起される弾性モードの周波数よりも低い周波数に信号成分が得られる。この低周波成分の振幅は、膜（22）によって吸収されるエネルギー量、すなわち膜厚と相関があるため、下地誘電体層上の金属膜の膜厚を測定したり、金属膜を検出したりする方法が提供される。
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【課題】 水晶振動子の周波数温度特性を改善し、低レート成膜にも十分に対応できる膜厚監視方法および膜厚監視装置を提供する。
【解決手段】 センサヘッド５に保持された水晶振動子の表面に成膜材料を付着させ、この成膜材料の堆積による水晶振動子の共振周波数の変化量を測定し、被処理基板Ｗ上に堆積される成膜材料の膜厚を監視する膜厚監視方法において、センサヘッド５の温度が８０℃を超えるまでは、水晶振動子１０の冷却処理を行わないようにする。また、水晶振動子１０としては、室温から８０℃付近までにおける温度ドリフトが２０ｐｐｍ以下の水晶基板を用いる。これにより、室温から８０℃付近までの温度範囲における共振周波数の温度ドリフトを微量に抑制し、高精度な膜厚監視および成膜レートの制御を実現できるとともに、数Å／ｓ程度の低レート成膜にも十分に対応可能となる。 （もっと読む）

【課題】 鋳片品質に悪影響を与えることなく鋳片凝固層厚みを精度良く検出することができる、連続鋳造機の鋳片凝固層厚み検出装置を提供すること。
【解決手段】 鋳片５１に接触して回転する鋳造ロール５２の外周面にペースト状又は粉体状の低融点物質からなる鋳造ロール用接触媒質１６を間欠的に供給する鋳造ロール用接触媒質供給手段と、接触媒質１３を介して鋳造ロール５２に接触させる超音波探触子１１と、前記鋳造ロール用接触媒質１６を介して鋳造ロール５２と鋳片５１とが接触しているときの超音波探触子１１で受信した超音波エコーＳ２と鋳造ロール用接触媒質１６が存在せずに接触しているときの超音波エコーＳ１との差分により、鋳片５１の凝固層と未凝固層との境界面エコーを検出し、該境界面エコーに基づいて鋳片凝固層厚みを求める計測手段と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）