【課題】 レジストなどの塗布液を基板に塗布して塗布膜を形成した後に、塗布膜の膜厚のむらを簡易な手法で定量的に検出し、短時間で評価することが可能な塗布膜のむら測定方法を提供する。
【解決手段】 基板に塗布液を塗布した後、複数の測定ポイントの膜厚を測定する膜厚測定工程と、測定された各測定ポイントの膜厚から、任意の測定ポイント間における膜厚の変化率を求める演算工程と、前記変化率を、予め設定されたしきい値と比較することにより、むらの有無を判定する判定工程と、を含むことを特徴とする、塗布むら検出方法。 （もっと読む）

【課題】 電磁石を高精度に位置合わせ可能な位置調整装置を提供する。
【解決手段】 建屋の基準位置に配置して、加速装置のビーム搬送ラインに配置した電磁石１２の位置情報を測定する測定手段と、前記電磁石１２の配置位置を鉛直方向、垂直方向に移動させるアクチュエータ１８と、前記測定手段からの計測値と、予め設定してある設定位置とに基づいて前記電磁石１２の移動量を算出し、前記アクチュエータ１８によって前記電磁石１２を調整制御させる制御手段２０と、を備えたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】自動調節装置を、より少ない処理で、より迅速に較正することができる較正方法を提供する。
【解決手段】自動車１０のボディ１２の姿勢に基づいて、自動車のヘッドライト１３の角度位置を自動調節する自動調節装置１８の較正方法であって、自動調節装置は、ヘッドライトを旋回させる少なくとも１つのアクチュエータ２０と、自動車の瞬間的な測定姿勢を示す姿勢信号を発生する少なくとも１つのセンサ２２と、姿勢信号に基づいて、アクチュエータを制御する電子制御ユニット２４とを備える較正方法において、測定姿勢と自動車のボディ１２の長手方向の実際姿勢との誤差を補償するステップは、測定姿勢に対応するヘッドライトの実際角度位置を機械的に修正し、実際基準姿勢と対応する理想的角度位置に一致させるようになっている較正方法である。 （もっと読む）

本発明は、ドリル穴測定装置と、この測定装置を装備した削岩装置とに関するものである。測定装置（１）は保護要素（３）を有し、その内側においてセンサ（６）を移送装置（４）によって移送可能である。
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【課題】インナーリングとアウターリングの位置関係を高精度に計測する。
【解決手段】調整工程（ステップ２１０）において調整された第１、第２センサヘッドと第１、第２スケール部とを固定工程（ステップ２１２）において固定し、該固定した状態で、各センサのスケール部をインナーリングに接続し、各センサヘッドをアウターリングに接続する（ステップ２１４）。そして、解除工程（ステップ２１６）において、スケール部とセンサヘッドとの固定を解除する。従って、取り付け後に各センサの計測軸間の位置姿勢関係の調整が不要となる。また、取り付け前に計測軸間の位置姿勢関係の調整が行われるので、その位置姿勢関係の高精度な調整、設定が可能である。 （もっと読む）

【課題】 移動体としてのステージ自体に歪みが生じていてもステージの位置検出精度を向上させることができる面形状計測方法等を提供する。
【解決手段】 レーザ干渉計１３を用いてウェハステージＷＳＴに設けられた移動鏡１２のＺ軸に対する傾きを計測し、この計測結果に基づいてＺ軸に対する移動鏡１２の傾きが零となるようにウェハステージＷＳＴの姿勢を制御し、多点フォーカス位置検出系２１を用いてこのときのウェハステージＷＳＴの姿勢を計測する。以上の処理を計測対象の移動鏡１２の鏡面に沿ってウェハステージＷＳＴを微小移動させながら繰り返す。 （もっと読む）

【課題】容易に姿勢調整が可能であり、迅速に測定できる非球面偏心測定装置等を提供すること。
【解決手段】非球面レンズ１０１を保持するレンズホルダ１１０と、保持する吸着力を制御する吸着力可変機構１１４と、レンズホルダ１００を回転軸１２０の周りに回転させるモータ１１２等と、その回転角を検出するエンコーダ１１３と、非球面１０２、１０３からの反射光によるスポットの軌跡を検出するスポット軌跡検出部１１５と、非球面１０２、１０３の形状を測定する形状測定部１１７、１１８と、スポット軌跡検出部１１５と形状測定部１１７等とエンコーダ１１３との各検出結果に基づいて、非球面偏心を演算する演算部１１９とを有し、吸着力可変機構１１４は、レンズホルダ１１０上で非球面レンズ１０１の姿勢調整が可能な第１の吸着力と、第１の吸着力よりも大きな第２の吸着力とに制御する。 （もっと読む）

【課題】 複数のセンサを用いて簡単かつ正確に６自由度移動体の位置・姿勢を計測する。
【解決手段】 固定子と、固定子に対して６自由度変位する移動子と、複数のセンサとを備えた６自由度移動体の位置・姿勢計測装置において、適当な移動座標系と固定座標系を設定し、一定順番の回転座標変換を含む座標変換を行い、複数のギャップセンサ１、２、３、及び二次元センサ５、６を適切な場所に設置し、複数のセンサの検出情報および与えられた初期位置情報に基づいて可動子が変位した後の位置および姿勢を計算する。 （もっと読む）

【課題】段取り作業の効率化を図ると共に、測定精度を向上させることにある。
【解決手段】モータ１により水平回転駆動される回転テーブル２上にその中心軸に直交する回転平面上で互いに直交するＸ方向及びＹ方向に移動可能な移動調整テーブル４を載せ、その上に被測定物１０を支持する複数個のジャッキ３が搭載テーブルを載せて構成された回転部と、複数のアームを鉛直方向に移動可能に、且つ水平方向に移動可能にそれぞれ支持し、これら各アームの先端部に被測定物の面や円弧面を計測する測定器８を取付けて構成された測定器移動部と、回転テーブル２の回転軸線上で互いに交差するスリット状の複数のレーザ光を照射するレーザ発生器９と、被測定物の予定角度位置での面の高さや円弧面における半径方向の長さの測定値がそれぞれ取込まれ、被測定物の傾き量や回転テーブルの中心に対する被測定物の中心の偏心量を求める演算処理部２０と備える。 （もっと読む）

【課題】 物体に装着した較正対象指標の該物体に対する配置情報と、該物体に装着したセンサの該物体に対する配置情報とを、同時に簡便かつ正確に求めることができるようにする。
【解決手段】 物体を客観視点位置から撮影した客観視点画像を取得し、センサの計測値を入力し、客観視点画像から較正対象指標の画像座標に関する情報を検出し、計測値と較正対象指標の画像座標に関する情報とを用いて、物体に装着した較正対象指標の物体に対する配置情報と、物体に装着したセンサの物体に対する配置情報とを求める。 （もっと読む）

【課題】 長距離の計測においても精度の高い線形計測が可能なパイプラインの形状計測評価方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 パイプラインの始点及び終点におけるピグ本体の姿勢を予め取得しておき、始点におけるピグ本体の姿勢に対して、ピグ本体の走行によって得られた姿勢変化角を順次累積して始点から終点までの順方向の姿勢データを求めるとともに、終点におけるピグ本体の姿勢に対して、ピグ本体の走行によって得られた姿勢変化角を順次累積して終点から始点までの逆方向の姿勢データを求め、順方向の姿勢データと逆方向の姿勢データとを用いて姿勢誤差を低減した姿勢データを再計算し、再計算後の姿勢データを用いてパイプラインの線形形状を求める。 （もっと読む）

【課題】 連続したリアルタイムの計測ができ、かつ／または、動的形状を追跡できる。
【解決手段】 少なくとも１つのフィールド測定センサと、基体内の少なくとも１つの曲率測定センサとを有したセンサアレイであって、フィールド測定センサはフィールドに対して基体の配向データを得ることができ、曲率測定センサは動的・静的形状と、地質学的、構造的、生物学的物体の振動を測定するための、構造体内の相対的配向データを得ることができる。 （もっと読む）

リソグラフィ投影装置が開示される。この装置は、パターン形成装置を照射するのに使用される放射ビームを提供するための照射系と、パターン形成装置を支持する第１の支持台とを備える。パターン形成装置は、放射ビームをパターン形成することができる。この装置はまた、基板を支持する第２の支持台と、パターン形成した放射ビームを、基板の目標部分上に投影するための投影系と、投影系の速度と加速度の少なくとも一方に基づいて投影系の位置と向きの少なくとも一方を制御する、投影系の位置決めモジュールとを備える。
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少なくとも一つの三次元座標系（５；２４）内の本体（３６）の位置と方向を検出する装置であり、この装置は、Ａ）位置検出センサー（１）；およびＢ）少なくとも一つの座標系（５；２４；２６）内で本体（３６）の位置と方向を算定するために位置検出センサー（１）へ接続したコンピュータ（８）を含み、Ｃ）前記装置は重力ベクトル（１９）の方向を算定する補助手段（２５）を含む。重力または地球の磁場に関連した影響から生ずる欠陥に関して磁気光学Ｘ線写真（３５）を修正する方法であり、この方法は以下の段階：ａ）重力ベクトル（１９）の方向を検出する段階；ｂ）Ｘ線器械（２８）の位置と方向を算定する段階；ｃ）重力により引き起こされたＸ線器械（２８）の機械的変形によるＸ線写真（３５）のゆがみを算定する段階；ｄ）地球の局所的磁場により引き起こされたＸ線写真（３５）の欠陥を算定する段階；ｅ）受像機（２９）に生成するＸ線写真（３５）の光学的変形を算定する段階；およびｆ）コンピュータ（８）を用いて、段階ｃ）、ｄ）およびｅ）で算定された欠陥に関してデジタル化したＸ線写真を修正する段階を含む。 （もっと読む）